專利名稱：金剛石薄膜片狀溫度電阻器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種熱敏電阻裝置，尤其是一種金剛石薄膜片狀溫度電阻裝置。
溫度是七種基本物理量之一，在日常生活中以及各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中，都要測量控制溫度，溫度熱敏器件是各類器件中應(yīng)用最大，最廣泛的一種熱敏元件。由于金剛石薄膜具有最高的硬度、最高的熱導(dǎo)率、最低的熱膨脹系數(shù)以及化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)異的特征，所以近年來國內(nèi)外都在研制金剛石薄膜，并想利用金剛石薄膜制成溫度電阻常(如

圖1所示)，這種金剛石薄膜溫度電阻器，由于兩極間的距離較長，橫截面積較小，所以電阻太高，(如圖2所示)不能正常使用。
本實(shí)用新型的目的為了提供一種能夠正常使用的金剛石薄膜片狀溫度電阻器。
本實(shí)用新型由金屬襯底1、金剛石薄膜2及電極3組成其特征在于在金屬襯底1上設(shè)置一層厚度為2-10微米、直徑為5-40毫米或長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的金剛石薄膜2，在金剛石薄膜2的另一面上設(shè)置一層電極。
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征進(jìn)一步說明。
圖1為國內(nèi)外正在研究的金剛石薄膜溫度電阻器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1的工作參數(shù)圖，其中縱座標(biāo)表示電阻，橫座標(biāo)表示溫度。
圖3是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，其中金屬襯底1采用鉬或銅金屬片制成。
金剛石薄膜2利用公知的沉積方法設(shè)置在金屬襯底1上，其厚度為2-10微米，直徑為5-40毫米。另外金剛石薄膜2還可以采用厚度為2-10微米，長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的方形金剛石薄膜。電極3是采用鈦或鉬、鉭等金屬并利用公知的蒸鍍或?yàn)R射的方法設(shè)置在金剛石薄膜2的另一面上。其制造方法簡單、容易實(shí)施。
圖4是圖3的工作參數(shù)圖，其中縱座標(biāo)表示電阻，橫座標(biāo)表示溫度。
從圖3可以看出本實(shí)用新型的金剛石薄膜厚度很薄為2-10微米，相對來說橫截面積較大，由于元件電阻與元件長度成正比，與元件橫截面積成反比，所以本實(shí)用新型的電阻很小，能夠在室溫至高溫的范圍內(nèi)正常使用。從圖4可看出在室溫-600℃范圍內(nèi)本金剛石薄膜片狀溫度電阻器的電阻值對溫度的變化相當(dāng)敏感，所以在通用的簡單檢測電路的測試范圍內(nèi)也能正常使用，無需利用任何復(fù)雜的輔助儀器進(jìn)行測試。
本實(shí)用新型為無引線片狀電阻器，生產(chǎn)工藝簡單，成本低，電性能優(yōu)越，可靠性高，能夠長期在高溫及較惡劣的條件下工作。
權(quán)利要求一種金剛石薄膜片狀溫度電阻器，由金屬襯底，金剛石薄膜及電極組成，其特征在于在金屬襯上設(shè)置一層厚度為2-10微米，直徑為5-40毫米或長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的金剛石薄膜，在金剛石薄膜的另一面上設(shè)置一層電極。
專利摘要一種金剛石薄膜片狀溫度電阻器，由金屬襯底、金剛石薄膜及電極組成，其具體結(jié)構(gòu)是在金屬襯底上設(shè)置一層厚度為2-10微米、直徑為5-40毫米，或長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的金剛石薄膜，在金剛石薄膜的另一面上設(shè)置一電極。本實(shí)用新型的兩極間距離非常小，橫截面積增大，所以其電阻很小能夠在室溫至高溫的范圍內(nèi)正常工作，解決了原有產(chǎn)品不能正常使用的問題。
文檔編號H01C7/04GK2261066SQ95208898
公開日1997年8月27日 申請日期1995年4月28日 優(yōu)先權(quán)日1995年4月28日
發(fā)明者常明, 劉蘭田, 孫偉, 劉爾凱, 侯立 申請人:常明