技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種源?漏復合場板垂直型電力電子器件，其自下而上包括：肖特基漏極(11)、襯底(1)、漂移層(2)、孔徑層(3)、兩個對稱的電流阻擋層(4)、溝道層(6)、勢壘層(7)和柵極(10)，勢壘層上的兩側(cè)淀積有兩個源極(9)，兩個源極下方有兩個注入?yún)^(qū)(8)，除肖特基漏極底部以外的所有區(qū)域覆蓋有鈍化層(12)，電流阻擋層之間形成孔徑(5)；電流阻擋層采用二級臺階結(jié)構(gòu)，鈍化層左右兩邊的上部和背面分別刻有整數(shù)個源階梯和漏階梯，階梯上淀積有金屬，分別形成源場板(13)和漏場板(14)，源場板與源極電氣連接，漏場板與漏極電氣連接。本發(fā)明雙向擊穿電壓高、導通電阻小、成品率高，可用于電力電子系統(tǒng)。

技術(shù)研發(fā)人員：毛維;叢冠宇;郝躍;杜鳴;張金風
受保護的技術(shù)使用者：西安電子科技大學
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.29
技術(shù)公布日：2017.09.15