本實(shí)用新型主要涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種新型芯片清洗裝置。

背景技術(shù)：

在微電子科學(xué)與工程技術(shù)領(lǐng)域中，芯片是制作微電子器件的基本元件，而在半導(dǎo)體芯片制作過(guò)程中，芯片清洗的好壞直接決定芯片的質(zhì)量。在對(duì)芯片進(jìn)行清洗時(shí)，首先需要將芯片浸泡在化學(xué)試劑中一定時(shí)間，使用化學(xué)試劑對(duì)芯片表面進(jìn)行浸泡清洗，然后再將經(jīng)化學(xué)試劑清洗過(guò)的芯片使用高純水進(jìn)行清洗，以置換掉殘留化學(xué)試劑和雜質(zhì)離子等?，F(xiàn)有技術(shù)中在對(duì)芯片進(jìn)行化學(xué)試劑清洗后拿出芯片時(shí)，需要借助其他工具一個(gè)一個(gè)的拿出芯片在放入水槽內(nèi)進(jìn)行清洗，浪費(fèi)時(shí)間而且很不方便，操作時(shí)容易碰觸到清洗液，對(duì)人體造成傷害，存在一定的危險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供一種新型芯片清洗裝置，通過(guò)推動(dòng)裝置可以將移動(dòng)置物板由第一升降置物架直接移動(dòng)至第二升降置物架上，無(wú)需直接接觸芯片和清洗液，提高操作安全性，同時(shí)芯片是放置在移動(dòng)置物板上的，無(wú)需一個(gè)一個(gè)的取出芯片進(jìn)行水洗，便于若干個(gè)芯片的整體移動(dòng)清洗，簡(jiǎn)單方便，提高工作效率。

本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種新型芯片清洗裝置，包括作業(yè)柜，所述作業(yè)柜內(nèi)部設(shè)置酸槽和水槽，所述酸槽內(nèi)設(shè)置第一升降置物裝置，所述第一升降置物裝置包括第一升降置物架、第一滑軌和第一絲杠，所述第一滑軌豎直設(shè)置于靠近水槽一側(cè)的酸槽內(nèi)壁上，所述第一絲杠與第一滑軌平行，且位于酸槽內(nèi)遠(yuǎn)離水槽的一側(cè)，所述第一絲杠與酸槽轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述酸槽上設(shè)置帶動(dòng)第一絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)的第一電機(jī)，所述第一升降置物架的兩側(cè)分別設(shè)有與第一滑軌相適應(yīng)的第一滑塊和與第一絲杠相適應(yīng)的第一絲母，所述酸槽的底部設(shè)置排酸閥；所述水槽內(nèi)設(shè)置第二升降置物裝置，所述第二升降置物裝置包括第二升降置物架、第二滑軌和第二絲杠，所述第二滑軌豎直設(shè)置于靠近酸槽一側(cè)的水槽內(nèi)壁上，所述第二絲杠與第二滑軌平行，且位于水槽內(nèi)遠(yuǎn)離酸槽的一側(cè)，所述第二絲杠與水槽轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述水槽上設(shè)置帶動(dòng)第二絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī)，所述第二升降置物架的兩側(cè)分別設(shè)有與第二滑軌相適應(yīng)的第二滑塊和與第二絲杠相適應(yīng)的第二絲母，所述水槽的底部設(shè)置排水閥；還包括移動(dòng)置物板和設(shè)置在酸槽上的推動(dòng)裝置，所述移動(dòng)置物板的底部設(shè)有漏液孔，當(dāng)?shù)谝簧抵梦锛堋⒌诙抵梦锛芊謩e上升至酸槽、水槽頂端時(shí)，通過(guò)推動(dòng)裝置的推動(dòng)，移動(dòng)置物板可以由第一升降置物架移動(dòng)至第二升降置物架上。

所述推動(dòng)裝置包括設(shè)置在酸槽上的液壓桿。

所述推動(dòng)裝置包括設(shè)置在酸槽上的滑動(dòng)桿，所述滑動(dòng)桿與酸槽滑動(dòng)連接。

所述第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，所述框架的頂部設(shè)有導(dǎo)向凸塊，所述移動(dòng)置物板的底部設(shè)有與導(dǎo)向凸塊相適應(yīng)的導(dǎo)向凹槽。

所述框架為圓環(huán)形框架或者橢圓環(huán)形框架或者長(zhǎng)方環(huán)形框架。

所述第一升降置物架與第一滑塊、第一絲母可拆卸連接，所述第二升降置物架與第二滑塊、第二絲母可拆卸連接。

所述作業(yè)柜上設(shè)置進(jìn)水管，所述進(jìn)水管位于水槽的上側(cè)，所述進(jìn)水管上設(shè)置噴頭。

對(duì)比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型有益效果在于：

1、本實(shí)用新型通過(guò)推動(dòng)裝置可以將移動(dòng)置物板由第一升降置物架直接移動(dòng)至第二升降置物架上，無(wú)需直接接觸芯片和清洗液，提高操作安全性，同時(shí)芯片是放置在移動(dòng)置物板上的，無(wú)需一個(gè)一個(gè)的取出芯片進(jìn)行水洗，便于若干個(gè)芯片的整體移動(dòng)清洗，簡(jiǎn)單方便，提高工作效率。

2、推動(dòng)裝置包括設(shè)置在酸槽上的液壓桿，可以通過(guò)液壓桿直接控制移動(dòng)置物板的移動(dòng)，簡(jiǎn)單方便。

3、推動(dòng)裝置包括設(shè)置在酸槽上的滑動(dòng)桿，滑動(dòng)桿與酸槽滑動(dòng)連接，通過(guò)手動(dòng)推動(dòng)滑動(dòng)桿，即可實(shí)現(xiàn)移動(dòng)置物板的移動(dòng)，簡(jiǎn)單方便。

4、第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，框架的頂部設(shè)有導(dǎo)向凸塊，移動(dòng)置物板的底部設(shè)有與導(dǎo)向凸塊相適應(yīng)的導(dǎo)向凹槽，通過(guò)導(dǎo)向凸塊和導(dǎo)向凹槽的配合，使移動(dòng)置物板在移動(dòng)過(guò)程中不會(huì)發(fā)生偏移，便于移動(dòng)置物板的移動(dòng)。

5、述第一升降置物架與第一滑塊、第一絲母可拆卸連接，第二升降置物架與第二滑塊、第二絲母可拆卸連接，便于第一升降置物架、第二升降置物架的更換。

6、作業(yè)柜上進(jìn)水管的設(shè)置，方便高純水的直接使用，簡(jiǎn)單方便；進(jìn)水管上噴頭的設(shè)置，可以先對(duì)經(jīng)過(guò)化學(xué)試劑處理的芯片進(jìn)行噴水清洗，然后在使用高純水浸泡，可以節(jié)約水資源，降低成本，還可以提高工作效率。

附圖說(shuō)明

附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖2是框架的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖3是附圖1中I的局部放大圖。

附圖4是移動(dòng)置物板的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中所示標(biāo)號(hào)：1、作業(yè)柜；11、進(jìn)水管；12、噴頭；2、酸槽；21、第一升降置物架；22、第一滑軌；23、第一絲杠；24、第一電機(jī)；25、第一滑塊；26、第一絲母；27、排酸閥；28、框架；29、導(dǎo)向凸塊；3、水槽；31、第二升降置物架；32、第二滑軌；33、第二絲杠；34、第二電機(jī)；35、第二滑塊；36、第二絲母；37、排水閥；4、移動(dòng)置物板；41、漏液孔；42、導(dǎo)向凹槽；43、凸緣擋板；5、滑動(dòng)桿；51、滑槽。

具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所限定的范圍內(nèi)。

一種新型芯片清洗裝置，包括作業(yè)柜1，所述作業(yè)柜1上設(shè)置酸槽2和水槽3。所述酸槽2內(nèi)設(shè)置第一升降置物裝置，所述第一升降置物裝置包括第一升降置物架21、第一滑軌22和第一絲杠23，所述第一滑軌22豎直設(shè)置于靠近水槽3一側(cè)的酸槽2內(nèi)壁上，所述第一絲杠23與第一滑軌22平行，且位于酸槽2內(nèi)遠(yuǎn)離水槽3的一側(cè)，所述第一絲杠23與酸槽2轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述酸槽2上設(shè)置帶動(dòng)第一絲杠23轉(zhuǎn)動(dòng)的第一電機(jī)24，具體的，可以在酸槽2的底部設(shè)置下安裝座，在酸槽的頂部設(shè)置上安裝座，第一絲杠23設(shè)置在下安裝座和上安裝座之間，且第一絲杠與下安裝座、上安裝座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一電機(jī)24設(shè)置在上安裝座上，同時(shí)第一電機(jī)24與第一絲杠23傳動(dòng)連接。所述第一升降置物架21的兩側(cè)分別設(shè)有與第一滑軌22相適應(yīng)的第一滑塊25和與第一絲杠23相適應(yīng)的第一絲母26，通過(guò)第一電機(jī)24的運(yùn)行帶動(dòng)第一絲杠23轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)第一絲母26在第一絲杠23上的上下移動(dòng)，最終帶動(dòng)第一升降置物架21上下移動(dòng)。所述酸槽2的底部設(shè)置排酸閥27，用于排出廢液。所述水槽3內(nèi)設(shè)置第二升降置物裝置，所述第二升降置物裝置包括第二升降置物架31、第二滑軌32和第二絲杠33，所述第二滑軌32豎直設(shè)置于靠近酸槽2一側(cè)的水槽3內(nèi)壁上，所述第二絲杠33與第二滑軌32平行，且位于水槽3內(nèi)遠(yuǎn)離酸槽2的一側(cè)，所述第二絲杠33與水槽3轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述水槽3上設(shè)置帶動(dòng)第二絲杠33轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī)34，具體的，可以在水槽3的底部設(shè)置下安裝座，在水槽的頂部設(shè)置上安裝座，第二絲杠33設(shè)置在下安裝座和上安裝座之間，且第二絲杠33與下安裝座、上安裝座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第二電機(jī)34設(shè)置在上安裝座上，同時(shí)第二電機(jī)34與第二絲杠33傳動(dòng)連接。所述第二升降置物架31的兩側(cè)分別設(shè)有與第二滑軌32相適應(yīng)的第二滑塊35和與第二絲杠33相適應(yīng)的第二絲母36，通過(guò)第二電機(jī)34的運(yùn)行帶動(dòng)第二絲杠33轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)第二絲母36在第二絲杠33上的上下移動(dòng)，最終帶動(dòng)第二升降置物架31上下移動(dòng)。所述水槽3的底部設(shè)置排水閥37，用于排出廢液。還包括移動(dòng)置物板4和設(shè)置在酸槽2上的推動(dòng)裝置，所述移動(dòng)置物板4的底部設(shè)有漏液孔41，移動(dòng)置物板4上放置帶清洗的芯片?？梢栽谝苿?dòng)置物板4的邊緣設(shè)置凸緣擋板43，避免芯片從移動(dòng)置物板4周?chē)袈?。?dāng)?shù)谝簧抵梦锛?1、第二升降置物架31分別上升至酸槽2、水槽3頂端時(shí)，通過(guò)推動(dòng)裝置的推動(dòng)，移動(dòng)置物板4可以由第一升降置物架21移動(dòng)至第二升降置物架31上。

在使用本實(shí)用新型時(shí)，第一步，先將帶清洗的芯片放置在移動(dòng)置物板4上；第二步，首先運(yùn)行第一電機(jī)24，使第一升降置物架21上升至酸槽2上側(cè)，將盛放了芯片的移動(dòng)置物板4放置在第一升降置物架21上，這樣可以避免放置時(shí)與清洗芯片的化學(xué)試劑接觸，提高操作安全性，然后，控制第一電機(jī)24運(yùn)行，使第一升降置物架21下降至酸槽2下側(cè)，即可將芯片浸泡在化學(xué)試劑中，實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片的初步清洗；第三步，當(dāng)在化學(xué)試劑中浸泡一定時(shí)間后，通過(guò)控制第一電機(jī)24的運(yùn)行，使第一升降置物架21上升至酸槽2頂端，通過(guò)控制第二電機(jī)34的運(yùn)行，使第二升降置物架31上升至水槽3頂端，使用推動(dòng)裝置推動(dòng)移動(dòng)置物板4，將移動(dòng)置物板4由第一升降置物架21推動(dòng)至第二升降置物架31上，避免了手與將移動(dòng)置物板4和化學(xué)試劑的直接接觸，提高操作安全性，且移動(dòng)置物板4內(nèi)的芯片可以全部移動(dòng)至水槽3內(nèi)進(jìn)行下一的清洗，簡(jiǎn)單方便，提高工作效率；第四步，通過(guò)控制第二電機(jī)34的運(yùn)行，使第二升降置物架31下降至水槽3內(nèi)，使用高純水進(jìn)行芯片的清洗。

所述推動(dòng)裝置包括設(shè)置在酸槽2上的液壓桿，可以將液壓桿安裝在酸槽2上設(shè)置的上安裝座上，通過(guò)液壓桿直接控制移動(dòng)置物板4的移動(dòng)，簡(jiǎn)單方便。

所述推動(dòng)裝置包括設(shè)置在酸槽2上的滑動(dòng)桿5，所述滑動(dòng)桿5與酸槽2滑動(dòng)連接，可以在酸槽2上設(shè)置的上安裝座上設(shè)置滑槽51，將滑動(dòng)桿5安裝在滑槽51內(nèi)，通過(guò)手動(dòng)推動(dòng)滑動(dòng)桿5，即可實(shí)現(xiàn)移動(dòng)置物板4的移動(dòng)，簡(jiǎn)單方便。

進(jìn)一步的，所述第一升降置物架21、第二升降置物架31均包括框架28，所述框架28的頂部設(shè)有導(dǎo)向凸塊29，所述移動(dòng)置物板4的底部設(shè)有與導(dǎo)向凸塊29相適應(yīng)的導(dǎo)向凹槽42，通過(guò)導(dǎo)向凸塊29和導(dǎo)向凹槽42的配合，使移動(dòng)置物板4在移動(dòng)過(guò)程中不會(huì)發(fā)生偏移，便于移動(dòng)置物板4的移動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述框架28為圓環(huán)形框架28或者橢圓環(huán)形框架28或者長(zhǎng)方環(huán)形框架28。

進(jìn)一步的，所述第一升降置物架21與第一滑塊25、第一絲母26可拆卸連接，所述第二升降置物架31與第二滑塊35、第二絲母36可拆卸連接，便于第一升降置物架21、第二升降置物架31的更換。

進(jìn)一步的，所述作業(yè)柜1上設(shè)置進(jìn)水管11，所述進(jìn)水管11位于水槽3的上側(cè)，進(jìn)水管11的設(shè)置方便高純水的直接使用，簡(jiǎn)單方便。所述進(jìn)水管11上設(shè)置噴頭12。通過(guò)噴頭12的設(shè)置，可以先對(duì)經(jīng)過(guò)化學(xué)試劑處理的芯片進(jìn)行噴水清洗，然后在使用高純水浸泡，可以節(jié)約水資源，降低成本，還可以提高工作效率。

實(shí)施例

一種新型芯片清洗裝置，包括作業(yè)柜1，所述作業(yè)柜1內(nèi)部設(shè)置酸槽2和水槽3。所述酸槽2內(nèi)設(shè)置第一升降置物裝置，所述第一升降置物裝置包括第一升降置物架21、第一滑軌22和第一絲杠23，所述第一滑軌22豎直設(shè)置于靠近水槽3一側(cè)的酸槽2內(nèi)壁上，所述第一絲杠23與第一滑軌22平行，且位于酸槽2內(nèi)遠(yuǎn)離水槽3的一側(cè)，所述第一絲杠23與酸槽2轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述酸槽2上設(shè)置帶動(dòng)第一絲杠23轉(zhuǎn)動(dòng)的第一電機(jī)24，所述第一升降置物架21的兩側(cè)分別設(shè)有與第一滑軌22相適應(yīng)的第一滑塊25和與第一絲杠23相適應(yīng)的第一絲母26，所述酸槽2的底部設(shè)置排酸閥27。所述第一升降置物架21與第一滑塊25、第一絲母26可拆卸連接。所述水槽3內(nèi)設(shè)置第二升降置物裝置，所述第二升降置物裝置包括第二升降置物架31、第二滑軌32和第二絲杠33，所述第二滑軌32豎直設(shè)置于靠近酸槽2一側(cè)的水槽3內(nèi)壁上，所述第二絲杠33與第二滑軌32平行，且位于水槽3內(nèi)遠(yuǎn)離酸槽2的一側(cè)，所述第二絲杠33與水槽3轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述水槽3上設(shè)置帶動(dòng)第二絲杠33轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī)34，所述第二升降置物架31的兩側(cè)分別設(shè)有與第二滑軌32相適應(yīng)的第二滑塊35和與第二絲杠33相適應(yīng)的第二絲母36，所述水槽3的底部設(shè)置排水閥37。所述第二升降置物架31與第二滑塊35、第二絲母36可拆卸連接。還包括移動(dòng)置物板4和設(shè)置在酸槽2上的推動(dòng)裝置，所述移動(dòng)置物板4的底部設(shè)有漏液孔41，當(dāng)?shù)谝簧抵梦锛?1、第二升降置物架31分別上升至酸槽2、水槽3頂端時(shí)，通過(guò)推動(dòng)裝置的推動(dòng)，移動(dòng)置物板4可以由第一升降置物架21移動(dòng)至第二升降置物架31上。所述推動(dòng)裝置包括設(shè)置在酸槽2上的滑動(dòng)桿5，所述滑動(dòng)桿5與酸槽2滑動(dòng)連接。所述第一升降置物架21、第二升降置物架31均包括框架28，所述框架28的頂部設(shè)有導(dǎo)向凸塊29，所述移動(dòng)置物板4的底部設(shè)有與導(dǎo)向凸塊29相適應(yīng)的導(dǎo)向凹槽42。所述框架28為圓環(huán)形框架28或者橢圓環(huán)形框架28或者長(zhǎng)方環(huán)形框架28。所述作業(yè)柜1上設(shè)置進(jìn)水管11，所述進(jìn)水管11位于水槽3的上側(cè)，所述進(jìn)水管11上設(shè)置噴頭12。本實(shí)施例的有益效果在于：通過(guò)推動(dòng)裝置可以將移動(dòng)置物板4由第一升降置物架21直接移動(dòng)至第二升降置物架31上，無(wú)需直接接觸芯片和清洗液，提高操作安全性，同時(shí)芯片是放置在移動(dòng)置物板4上的，無(wú)需一個(gè)一個(gè)的取出芯片進(jìn)行水洗，簡(jiǎn)單方便，提高工作效率。