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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號(hào):11956117閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件,包含:

基底;

設(shè)于該基底上的柵極結(jié)構(gòu);

環(huán)繞該柵極結(jié)構(gòu)的層間介電層;

設(shè)于該層間介電層內(nèi)的第一接觸插塞;

設(shè)于該層間介電層上的第二介電層;

設(shè)于該第二介電層中并電連接該第一接觸插塞的第二接觸插塞;以及

設(shè)于該第二接觸插塞及該第二介電層之間的側(cè)壁子。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,還包含:

設(shè)于該層間介電層上的第一介電層,其中,該第一接觸插塞設(shè)于該層間介電層及該第一介電層中;以及

設(shè)于該第一介電層上的停止層,其中該第二接觸插塞設(shè)于該停止層及該第二介電層中。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件,其中該第一介電層及該第二介電層包含氧化硅。

4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件,其中該停止層包含氮化硅。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中該側(cè)壁子選自氧化硅、氮化硅、氮氧化硅及氮碳化硅。

6.一種半導(dǎo)體器件,包含:

基底;

設(shè)于該基底上的柵極結(jié)構(gòu);

環(huán)繞該柵極結(jié)構(gòu)的層間介電層;

設(shè)于該層間介電層內(nèi)的第一接觸插塞;

設(shè)于該層間介電層上的第二介電層;

設(shè)于該第二介電層中并電連接該第一接觸插塞及該柵極結(jié)構(gòu)的第二接觸插塞;以及

設(shè)于該第二接觸插塞及該第二介電層之間的側(cè)壁子。

7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體器件,還包含:

設(shè)于該層間介電層上的第一介電層,其中該第一接觸插塞設(shè)于該層間介電層及該第一介電層中;以及

設(shè)于該第一介電層上的停止層,其中該第二接觸插塞設(shè)于該停止層、該第一介電層及該第二介電層中。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,其中該第一介電層及該第二介電層包含氧化硅。

9.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,其中該停止層包含氮化硅。

10.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體器件,其中該側(cè)壁子選自氧化硅、氮化硅、氮氧化硅及氮碳化硅。

11.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體器件,還包含截頭側(cè)壁子,其設(shè)于該第二介電層中并設(shè)于該第一接觸插塞及該柵極結(jié)構(gòu)之間。

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