光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述工藝步驟為：步驟一、將裝有硅片的兩個花籃并排放置，且兩個花籃一正一反放置；步驟二、將一個花籃中的硅片水平推進進入另一個花籃中，從而使得第二個花籃中的每一個槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片；步驟三、將第二個花籃中的硅片推導進入石英舟內(nèi)。本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，效率高且碎片率低。
【專利說明】光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石英舟上硅片的裝載工藝，尤其是涉及一種在光伏擴散工序中對石墨舟進行硅片裝載的工藝，屬于太陽能光伏【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池板生產(chǎn)工藝中的擴散是指:一種在硅片兩面通過化學反應(yīng)制備PN結(jié)的工藝，是光伏電池生產(chǎn)過程中最重要的工序之一；石英舟是擴散工序所使用的治具，一般是分成100個槽，但是由于對應(yīng)的花籃由兩組50個槽的模塊構(gòu)成，因此需要重復(fù)操作兩次才能進行裝卸片，在石英舟的每個槽內(nèi)背對背放置2片硅片，即一個石英舟一次共可以擴散200片硅片；在擴散工序進行前，需要將200片硅片裝載進入石英舟內(nèi)；
目前，石英舟裝卸片有兩種方式:人工和機器；
一、依靠人工操，此方式勞動強度大，效率低，碎片率高；
二、依靠機械，行業(yè)內(nèi)目前使用的一種石英舟自動化裝卸片的設(shè)備，都是采取伺服和吸盤實現(xiàn)裝卸片(如中國專利201310506596公布的“擴散石英舟的新型插片裝置”)，每次操作裝卸一個石英舟，但是由于其采用的花籃的兩組模塊之間有一定的間隔(該間隔大于花籃節(jié)距，因此無法整體操作，需要分成兩次進行作業(yè))，兩次操作才能完成一次裝卸片200片，最快速度每小時可以同時裝片或者卸片7600片；并且目前設(shè)備不僅速度慢，并且機器制造的成本高，故障率高，定位和碎片問題都不理想。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種效率高且碎片率低的光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝。
[0004]本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的:
一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述工藝步驟為:
步驟一、將裝有硅片的兩個花籃并排放置，且兩個花籃一正一反放置；
步驟二、將一個花籃中的硅片水平推進進入另一個花籃中，從而使得第二個花籃中的每一個槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片；
步驟三、將第二個花籃中的硅片推導進入石英舟內(nèi)。
[0005]本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，上述步驟一和步驟二依靠裝片機實現(xiàn)，該裝片機包含有裝片機架，所述裝片機架的工作臺面上安裝有花籃固定架，所述花籃固定架內(nèi)并排放置有兩個花籃，且所述裝片機架的工作臺面上通過直線導軌滑動設(shè)置有裝片推進架，該裝片推進架位于上述花籃固定架旁，且裝片推進架靠近花籃固定架的一側(cè)豎向設(shè)置有導條。
[0006]本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，上述步驟三依靠導片機實現(xiàn)，該導片機包含有導片機架，所述導片機架的工作臺面斜向設(shè)置，所述導片機架的工作臺面上并排設(shè)置有導片花籃固定架和石英舟固定座，所述導片花籃固定架旁設(shè)置有利用直線導軌滑動設(shè)置于導片機架工作臺面上的移動條，所述移動條朝向?qū)ɑ@固定架的一面設(shè)置有推動條，所述石英舟固定座旁設(shè)置有利用直線導軌滑動設(shè)置于導片機架工作臺面上的移動引導條，所述移動引導條朝向石英舟固定座的一面設(shè)置有引導梳齒。
[0007]本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，上述步驟三依靠石英舟裝載機實現(xiàn)，所述石英舟裝載機包含有機架，所述機架的工作臺面上并排設(shè)置有定位座一和定位座二，所述定位座一旁設(shè)置有推桿，所述定位座二旁設(shè)置有導向機構(gòu)，所述導向機構(gòu)包含有一位于定位座二底部的下導向梳齒板，以及位于定位座二上方的上導向梳齒板，所述上導向梳齒板的下表面和下導向梳齒板的上表面均設(shè)置有供娃片插入的齒槽；
本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述上導向梳齒板連接與一橫桿上，該橫桿通過一豎向設(shè)置的直線導軌滑接于機架上，且橫桿位于一豎向安裝的擱置架的頂部凹槽內(nèi)。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明工藝簡單，有效的降低了整個工藝的流程的復(fù)雜性，能夠有效降低硅片在工藝中的破片率，且實現(xiàn)工藝的裝置結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低廉，操作方便，能夠一次性對100+100片硅片轉(zhuǎn)移至石英舟內(nèi)，從而極大的提高了生產(chǎn)效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的裝片機的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2為本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的導片機的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖3為本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的石英舟裝載機的結(jié)構(gòu)示意圖(石英舟處于裝片狀態(tài))。
[0012]圖4為本發(fā)明一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝中所用的石英舟裝載機的結(jié)構(gòu)示意圖(石英舟處于卸片狀態(tài))。
[0013]其中:
裝片機1、導片機2、石英舟裝載機3 ；
裝片機架1.1、花籃固定架1.2、花籃1.3、裝片推進架1.4、導條1.5 ；
導片機架2.1、導片花籃固定架2.2、移動條2.3、推動條2.4、移動引導條2.5、引導梳齒
2.6、石英舟固定座2.7 ;
機架3.1、定位座一 3.2、定位座二 3.3、推桿3.4、導向機構(gòu)3.5 ；
橫桿3.5.1、上導向梳齒板3.5.2、下導向梳齒板3.5.3、擱置架3.5.4。

【具體實施方式】
[0014]參見圖1，本發(fā)明涉及的一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，所述工藝步驟為:
步驟一、將裝有硅片的兩個花籃并排放置，且兩個花籃一正一反放置；
步驟二、將一個花籃中的硅片水平推進進入另一個花籃中，從而使得第二個花籃中的每一個槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片； 步驟三、將第二個花籃中的硅片推導進入石英舟內(nèi)；
上述步驟一和步驟二依靠裝片機I實現(xiàn)，該裝片機I包含有裝片機架1.1，所述裝片機架1.1的工作臺面上安裝有花籃固定架1.2，所述花籃固定架1.2內(nèi)并排放置有兩個花籃
1.3，且所述裝片機架1.1的工作臺面上通過直線導軌滑動設(shè)置有裝片推進架1.4，該裝片推進架1.4位于上述花籃固定架1.2旁，且裝片推進架1.4靠近花籃固定架1.2的一側(cè)豎向設(shè)置有導條1.5 ；
使用時，通過裝片推進架1.4推動導條1.5移動，從而利用導條1.5將一個花籃1.3內(nèi)的硅片進入另一花籃內(nèi)，上述花籃1.3具有100個槽，且100個槽均勻布置；
上述步驟三依靠導片機2實現(xiàn)，該導片機2包含有導片機架2.1，所述導片機架2.1的工作臺面斜向設(shè)置，所述導片機架2.1的工作臺面上并排設(shè)置有導片花籃固定架2.2和石英舟固定座2.7，所述導片花籃固定架2.2旁設(shè)置有利用直線導軌滑動設(shè)置于導片機架2.1工作臺面上的移動條2.3，所述移動條2.3朝向?qū)ɑ@固定架2.2的一面設(shè)置有推動條
2.4，所述石英舟固定座2.7旁設(shè)置有利用直線導軌滑動設(shè)置于導片機架2.1工作臺面上的移動引導條2.5,所述移動引導條2.5朝向石英舟固定座2.7的一面設(shè)置有引導梳齒2.6 ；
上述步驟三還可依靠石英舟裝載機3實現(xiàn)，所述石英舟裝載機3包含有機架3.1，所述機架3.1的工作臺面上并排設(shè)置有定位座一 3.2和定位座二 3.3，所述定位座一 3.2旁設(shè)置有推桿3.4，所述定位座二 3.3旁設(shè)置有導向機構(gòu)3.5，所述導向機構(gòu)3.5包含有一位于定位座二 3.3底部的下導向梳齒板3.5.3，以及位于定位座二 3.3上方的上導向梳齒板
3.5.2,所述上導向梳齒板3.5.2的下表面和下導向梳齒板3.5.3的上表面均設(shè)置有供娃片插入的齒槽；所述上導向梳齒板3.5.2連接與一橫桿3.5.1上,該橫桿3.5.1通過一豎向設(shè)置的直線導軌滑接于機架3.1上，且橫桿3.5.1位于一豎向安裝的擱置架3.5.4的頂部凹槽內(nèi)；
參見圖3，上述石英舟裝載機3進行裝片時，上導向梳齒板3.5.2和下導向梳齒板
3.5.3均設(shè)置有兩塊，定位座一 3.2上用于安放花籃，定位座二 3.3上用于安放石英舟，橫桿3.5.1在豎向設(shè)置的直線導軌的導向作用下上升，然后利用推桿3.4將花籃內(nèi)的硅片在上導向梳齒板3.5.2和下導向梳齒板3.5.3的導向作用下引導進入石英舟內(nèi)即可；
參見圖4，上述石英舟裝載機3還可用于卸片，上導向梳齒板3.5.2和下導向梳齒板
3.5.3均設(shè)置為單塊，此時定位座一 3.2上用于安放石英舟，定位座二 3.3上用于安放花籃，橫桿3.5.1在豎向設(shè)置的直線導軌的導向作用下上升，然后利用推桿3.4將石英舟內(nèi)的硅片在上導向梳齒板3.5.2和下導向梳齒板3.5.3的導向作用下引導進入花籃內(nèi)即可；從而使得利用石英舟裝載機3該一種結(jié)構(gòu)即可對石英舟實現(xiàn)裝片和卸片作業(yè)；
使用時，引導梳齒2.6對硅片起到定位引導作用，推動條2.4推動硅片在引導梳齒2.6的引導作用下進入石英舟的槽內(nèi)；且導片花籃固定架2.2上的花籃具有100個槽，且100個槽均勻布置，從而使得本專利可以一次進行轉(zhuǎn)移；
另外:需要注意的是，上述【具體實施方式】僅為本專利的一個優(yōu)化方案，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)上述構(gòu)思所做的任何改動或改進，均在本專利的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:所述工藝步驟為: 步驟一、將裝有硅片的兩個花籃并排放置，且兩個花籃一正一反放置； 步驟二、將一個花籃中的硅片水平推進進入另一個花籃中，從而使得第二個花籃中的每一個槽內(nèi)均具有背靠背設(shè)置的兩片硅片； 步驟三、將第二個花籃中的硅片推導進入石英舟內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:上述步驟一和步驟二依靠裝片機(I)實現(xiàn)，該裝片機(I)包含有裝片機架(1.1)，所述裝片機架(1.1)的工作臺面上安裝有花籃固定架(1.2)，所述花籃固定架(1.2)內(nèi)并排放置有兩個花籃(1.3)，且所述裝片機架(1.1)的工作臺面上通過直線導軌滑動設(shè)置有裝片推進架(1.4)，該裝片推進架(1.4)位于上述花籃固定架(1.2)旁，且裝片推進架(1.4)靠近花籃固定架(1.2)的一側(cè)豎向設(shè)置有導條(1.5)。
3.如權(quán)利要求1或2所述一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:上述步驟三依靠導片機(2)實現(xiàn)，該導片機(2)包含有導片機架(2.1)，所述導片機架(2.1)的工作臺面斜向設(shè)置，所述導片機架(2.1)的工作臺面上并排設(shè)置有導片花籃固定架(2.2)和石英舟固定座(2.7)，所述導片花籃固定架(2.2)旁設(shè)置有利用直線導軌滑動設(shè)置于導片機架(2.1)工作臺面上的移動條(2.3)，所述移動條(2.3)朝向?qū)ɑ@固定架(2.2)的一面設(shè)置有推動條(2.4)，所述石英舟固定座(2.7)旁設(shè)置有利用直線導軌滑動設(shè)置于導片機架(2.1)工作臺面上的移動引導條(2.5)，所述移動引導條(2.5)朝向石英舟固定座(2.7)的一面設(shè)置有引導梳齒(2.6)。
4.如權(quán)利要求1或2所述一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:上述步驟三依靠石英舟裝載機(3)實現(xiàn)，所述石英舟裝載機(3)包含有機架(3.1)，所述機架(3.1)的工作臺面上并排設(shè)置有定位座一(3.2)和定位座二(3.3)，所述定位座一(3.2)旁設(shè)置有推桿(3.4)，所述定位座二(3.3)旁設(shè)置有導向機構(gòu)(3.5)，所述導向機構(gòu)(3.5 )包含有一位于定位座二(3.3)底部的下導向梳齒板(3.5.3),以及位于定位座二(3.3)上方的上導向梳齒板(3.5.2),所述上導向梳齒板(3.5.2)的下表面和下導向梳齒板(3.5.3)的上表面均設(shè)置有供硅片插入的齒槽； 如權(quán)利要求4所述一種光伏擴散工序中石英舟裝載硅片工藝，其特征在于:所述上導向梳齒板(3.5.2)連接與一橫桿(3.5.1)上,該橫桿(3.5.1)通過一豎向設(shè)置的直線導軌滑接于機架(3.1)上，且橫桿(3.5.1)位于一豎向安裝的擱置架(3.5.4)的頂部凹槽內(nèi)。
【文檔編號】H01L21/677GK104409403SQ201410612182
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月5日
【發(fā)明者】李長英, 陳 光, 高玉良 申請人:江陰方艾機器人有限公司