一種用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，包括石英管帽本體（1），石英管帽本體（1）上的外表面上設(shè)有石英手把（2），其特征在于所述石英管帽本體（1）的內(nèi)表面呈平面狀態(tài)使得石英管帽本體（1）的內(nèi)表面與石英管（4）的管口平面全接觸；所述的石英手把（2）上設(shè)有壓緊彈簧（5），該壓緊彈簧（5）使得石英管帽本體（1）的內(nèi)表面與石英管（4）的管口平面相互貼合。本發(fā)明通過將石英管帽與石英管的接觸方式改為平面接觸，并采用壓緊彈簧將石英管帽壓緊在石英管的端面上起到密封作用，使得石英管帽與石英管的分離更容易；具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便且密封性好的特點(diǎn)，提高了工作效率，適宜在半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中推廣使用。
【專利說明】一種用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝中硅片的擴(kuò)散設(shè)備，具體地說是一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便且密封性好用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有工藝上，一般采用有磨口的石英帽密封石英管，現(xiàn)有技術(shù)中的石英管帽和密封石英管時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖如附圖1所示，該石英管帽包括石英管帽本體1、石英手把2和出氣孔3，石英管帽本體I靠其自身內(nèi)壁上的磨口與石英管4的端部外壁上的磨口相互嚙合在一起，實(shí)現(xiàn)石英管4的密封和石英管帽本體I的固定，石英管帽本體I的背側(cè)設(shè)有石英手把2且石英手把2旁側(cè)的石英管帽本體I上設(shè)有出氣孔3。該石英管帽在使用時(shí)，當(dāng)使用到生成偏磷酸的擴(kuò)散石英管上的時(shí)候，生成的偏磷酸使石英管與石英管帽粘結(jié)在一起，管帽取不下來；且平時(shí)石英管帽和石英管4的分離也相對(duì)麻煩。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有石英管帽存在的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便且密封性好用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案解決的:
一種用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，包括石英管帽本體，石英管帽本體上的外表面上設(shè)有石英手把，其特征在于所述石英管帽本體的內(nèi)表面呈平面狀態(tài)使得石英管帽本體的內(nèi)表面與石英管的管口平面全接觸；所述的石英手把上設(shè)有壓緊彈簧，該壓緊彈簧使得石英管帽本體的內(nèi)表面與石英管的管口平面相互貼合。
[0005]所述的石英管帽本體呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本體中的立面與石英管的管口平面相互貼合。
[0006]所述的石英管帽本體上設(shè)有出氣孔。
[0007]所述的出氣孔位于石英管帽本體的立面上。
[0008]所述的石英管帽本體和石英手把采用純石英制成。
[0009]本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)有如下優(yōu)點(diǎn):
本發(fā)明通過將石英管帽與石英管的接觸方式改為平面接觸，并采用壓緊彈簧將石英管帽壓緊在石英管的端面上起到密封作用，石英管帽與石英管接觸處無磨口、平整無漏氣且完全接觸，使得石英管帽與石英管的分離更容易；該石英管帽具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便且密封性好的特點(diǎn)，提高了工作效率，適宜在半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中推廣使用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]附圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的石英管帽和密封石英管時(shí)的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖2為本發(fā)明的石英管帽和密封石英管時(shí)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]其中:1 一石英管帽本體；2—石英手把；3—出氣孔；4一石英管；5—壓緊彈簧?！揪唧w實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
[0013]如圖2所示:一種用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，包括石英管帽本體1，石英管帽本體I上的外表面上設(shè)有石英手把2，石英管帽本體I和石英手把2采用純石英制成，該石英管帽本體I的內(nèi)表面呈平面狀態(tài)使得石英管帽本體I的內(nèi)表面與石英管4的管口平面全接觸，石英手把2上設(shè)有壓緊彈簧5，該壓緊彈簧5使得石英管帽本體I的內(nèi)表面與石英管4的管口平面相互貼合；具體地說石英管帽本體I呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本體I中的立面與石英管4的管口平面相互貼合。另外在石英管帽本體I上設(shè)有出氣孔3，該出氣孔3位于石英管帽本體I的立面上。
[0014]本發(fā)明的改進(jìn)型石英管帽使用時(shí)，將石英管帽本體I的立面與石英管4的管口平面相互貼合，然后定位壓緊彈簧5，使得石英管帽本體I的內(nèi)表面緊密貼合在石英管4的管口平面上，起到密封作用；當(dāng)該改進(jìn)型石英管帽不使用時(shí)，解除壓緊彈簧5的定位，即可將該改進(jìn)型石英管帽從石英管4的管口取下。
[0015]本發(fā)明通過將石英管帽與石英管4的接觸方式改為平面接觸，并采用壓緊彈簧將石英管帽壓緊在石英管4的端面上起到密封作用，石英管帽與石英管4接觸處無磨口、平整無漏氣且完全接觸，使得石英管帽與石英管4的分離更容易；該石英管帽具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便且密封性好的特點(diǎn)，提高了工作效率，適宜在半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中推廣使用。
[0016]以上實(shí)施例僅為說明本發(fā)明的技術(shù)思想，不能以此限定本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡是按照本發(fā)明提出的技術(shù)思想，在技術(shù)方案基礎(chǔ)上所做的任何改動(dòng)，均落入本發(fā)明保護(hù)范圍之內(nèi)；本發(fā)明未涉及的技術(shù)均可通過現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，包括石英管帽本體(1)，石英管帽本體(I)上的外表面上設(shè)有石英手把(2)，其特征在于所述石英管帽本體(I)的內(nèi)表面呈平面狀態(tài)使得石英管帽本體(I)的內(nèi)表面與石英管(4)的管口平面全接觸；所述的石英手把(2)上設(shè)有壓緊彈簧(5)，該壓緊彈簧(5)使得石英管帽本體(I)的內(nèi)表面與石英管(4)的管口平面相互貼合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本體(I)呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本體(I)中的立面與石英管(4)的管口平面相互貼合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本體(I)上設(shè)有出氣孔(3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，其特征在于所述的出氣孔(3 )位于石英管帽本體(I)的立面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于密封石英管的改進(jìn)型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本體(I)和石英手把(2 )采用純石英制成。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK103915366SQ201410099823
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2014年3月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月18日
【發(fā)明者】左亞兵, 王鈺庭, 周敏華 申請(qǐng)人:宜興市環(huán)洲微電子有限公司