一種新型擴散石英管的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種新型擴散石英管。
【背景技術(shù)】
[0002]晶體硅太陽能電池是以硅材料為基礎(chǔ)的太陽能電池，而擴散石英管是一種加工硅材料核心工藝擴散摻雜的石英器具。目前所使用的石英管作擴散工藝時，通過溫度的調(diào)節(jié)來控制整個爐管的均勻性，爐口溫度比爐尾溫度高10?13度來控制整爐摻雜濃度，P型硅片在擴散后表面變成N型，形成PN結(jié)，使得硅片具有光伏效應(yīng)。擴散的濃度、深度以及均勻性直接影響太陽電池的電性能，擴散進雜質(zhì)的總量用方塊電阻來衡量，雜質(zhì)總量越小，方塊電阻越大。PN結(jié)是太陽電池的核心結(jié)構(gòu)，PN結(jié)的好壞直接決定著太陽電池的電性能。因此擴散制結(jié)是硅太陽電池生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
[0003]現(xiàn)在各硅太陽電池生產(chǎn)商多采用的擴散方式為POCV液態(tài)源擴散，整個工藝都在石英管內(nèi)完成。目前的石英管采用爐尾通源，通過時間、流量控制通入的P0CL3的量的多少，從而影響進入硅片的P原子的多少。而擴散采用的原理就是高濃度向低濃度擴散過程，溫度是控制整爐400片硅片的整體摻雜濃度均勻性的一個重要因素。目前采用閉管擴散(如圖1所示)，反應(yīng)生成的氣體通過管道5排出管外；目前的石英管中心溫度865度，要保證整爐的均勻性，要控制爐口溫度873度，爐尾857度，從而導(dǎo)致爐口 200片、爐尾200片的條件差異，造成爐口、爐尾硅片摻雜濃度不一致，電阻不均勻等問題。
[0004]因此，有必要采用新型的石英管，使得整個爐管的溫度可以與中心溫度偏差不超2度，保證爐口、爐尾摻雜濃度的一致性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，設(shè)計一種新型擴散石英管，提高硅片整體摻雜濃度均勻性，使整爐的方塊電池電阻均勻性提升，降低由于滲雜表面濃度不一導(dǎo)致燒結(jié)后的電性能差異。
[0006]技術(shù)方案:一種新型擴散石英管，為“U”形管，包括對稱的上管路1、下管路2，以及位于上管路I和下管路2中間的進氣口 3，從進氣口 3中流入的P0CL3氣體，分別進入上管路I和下管路2 ;
[0007]所述上管路I和下管路2各包括一段彎弧管及一段直管，在每段直管上開設(shè)若干擴散孔4，向置于上管路1、下管路2之間的硅片擴散P0CL3氣體，進行均勻滲透；在下管路2靠近其直管與彎弧管過渡位置處開設(shè)有出氣管5，將反應(yīng)生成的氣體排出管外。
[0008]優(yōu)選的，所述上管路I和下管路2直徑為20臟，所述擴散孔4的直徑為3mm。
[0009]本實用新型的有益效果:本實用新型的P0CL3氣體經(jīng)過內(nèi)部上、下管路，可以保證整爐400片硅片的一致性，中心溫度865度，爐口爐尾正負偏差在2度之內(nèi)，均勻地對硅片進行P擴散，使?fàn)t口 200片與爐尾200片硅片表面滲雜濃度達到均衡，使整爐的方塊電池電阻均勻性得到提升。
【附圖說明】
[0010]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中閉管擴散石英管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實用新型擴散石英管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3是本實用新型擴散石英管上、下管路的直管徑向截面圖；
[0013]圖4是本實用新型擴散石英管上管路的直管仰視圖(或下管路的直管俯視圖)。
【具體實施方式】
[0014]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細描述。
[0015]圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中閉管擴散石英管的結(jié)構(gòu)示意圖，進氣通源從靠近爐尾的進氣口進入，對爐尾200片、爐口 200片逐漸進行擴散，反應(yīng)生成的氣體通過出氣管排出管外。
[0016]圖2所示，一種新型擴散石英管，為“U”形管，包括對稱的上管路1、下管路2，以及位于上管路I和下管路2中間的進氣口 3，從進氣口 3中流入的P0CL3氣體，分別進入上管路I和下管路2 ;
[0017]所述上管路I和下管路2各包括一段彎弧管及一段直管，在每段直管上開設(shè)若干擴散孔4，向置于上管路1、下管路2之間的硅片擴散P0CL3氣體，進行均勻滲透；在下管路2靠近其直管與彎弧管過渡位置處開設(shè)有出氣管5，將反應(yīng)生成的氣體排出管外。
[0018]優(yōu)選的，圖3所示，所述上管路I和下管路2直徑為20mm ;圖4所示，所述擴散孔4的直徑為3mm ο
[0019]以上所述僅為本實用新型的較佳實例而已，并不用以限制本實用新型，在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種新型擴散石英管，其特征在于，為“U”形管，包括對稱的上管路(1)、下管路(2)，以及位于上管路(I)和下管路(2)中間的進氣口(3)，從進氣口(3)中流入的P0CL3氣體，分別進入上管路(I)和下管路(2);所述上管路(I)和下管路(2)各包括一段彎弧管及一段直管，在每段直管上開設(shè)若干擴散孔(4)，向置于上管路(1)、下管路(2)之間的硅片擴散P0CL3氣體，進行均勻滲透；在下管路(2)靠近其直管與彎弧管過渡位置處開設(shè)有出氣管(5)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型擴散石英管，其特征在于，所述上管路(I)和下管路(2)的直徑為20臟，所述擴散孔(4)的直徑為3mm。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型擴散石英管，為“U”形管，包括對稱的上管路(1)、下管路(2)，以及位于上管路(1)和下管路(2)中間的進氣口(3)；所述上管路(1)和下管路(2)各包括一段彎弧管及一段直管，在每段直管上開設(shè)若干擴散孔(4)，向置于上管路(1)、下管路(2)之間的硅片擴散POCL3氣體，進行均勻滲透；在下管路(2)靠近其直管與彎弧管過渡位置處開設(shè)有出氣管(5)。本實用新型的POCL3氣體經(jīng)過內(nèi)部上、下管路，可以保證整爐400片硅片的一致性，均勻地對硅片進行P擴散，使?fàn)t口200片與爐尾200片硅片表面滲雜濃度達到均衡，使整爐的方塊電池電阻均勻性得到提升。
【IPC分類】C30B31/16
【公開號】CN204727993
【申請?zhí)枴緾N201520166418
【發(fā)明人】黃鎮(zhèn), 俞洪林, 李虹罡, 韓俊國
【申請人】中建材浚鑫科技股份有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請日】2015年3月23日