半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，包括：本體和墊片，所述墊片固設(shè)在所述本體的頂部，所述本體上設(shè)有一與外部氣源連通的通孔，所述通孔貫穿所述本體與墊片的中心。本實(shí)用新型僅采用一個(gè)通孔，即達(dá)到吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品的效果，取消了橫孔設(shè)計(jì)，無(wú)需多次加工，節(jié)省工藝；且無(wú)需使用塞頭，節(jié)省生產(chǎn)成本。
【專利說(shuō)明】半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中，經(jīng)常需要在一道工序完成后，將所涉及的半導(dǎo)體器件從一個(gè)制造平臺(tái)拾取到另一個(gè)制造平臺(tái)，以便進(jìn)行下一道加工程序。由于半導(dǎo)體器件是精細(xì)元器件，對(duì)半導(dǎo)體器件的拾取通常要求污染小、損傷小以及完好率高。
[0003]目前的半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，如圖1所示，包括本體10和墊片20，由于本體10頂部設(shè)有兩個(gè)不同的氣孔30，其中一個(gè)氣孔30直接與氣源直接相通，而另外一個(gè)氣孔30則通過(guò)一橫孔與氣源連通。當(dāng)吸嘴工作時(shí)，需要將橫孔的一端用塞頭40塞住。目前的吸嘴的制作復(fù)雜，難以一次加工完成，生產(chǎn)成本較高。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中吸嘴結(jié)構(gòu)復(fù)雜，生產(chǎn)成本高的問(wèn)題。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，包括:本體和墊片，所述墊片固設(shè)在所述本體的頂部，所述本體上設(shè)有一與外部氣源連通的通孔，所述通孔貫穿所述本體與墊片的中心。
[0006]作為優(yōu)選，所述墊片和本體之間通過(guò)一插銷固定連接。
[0007]作為優(yōu)選，所述通孔的頂端直徑為0.5mm。
[0008]作為優(yōu)選，所述墊片焊接固定在所述本體的頂端。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型僅采用一個(gè)通孔，即達(dá)到吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品的效果，取消了橫孔設(shè)計(jì)，無(wú)需多次加工，節(jié)省工藝；且無(wú)需使用塞頭，節(jié)省生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型一【具體實(shí)施方式】中半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，本實(shí)用新型附圖均采用簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0013]請(qǐng)參照?qǐng)D2，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，包括:本體100和墊片200，所述墊片200固設(shè)在所述本體100的頂部，所述本體100上設(shè)有一與氣源連通的通孔300，所述通孔300貫穿所述本體100與墊片200的中心。[0014]作為優(yōu)選，請(qǐng)繼續(xù)參考圖2，所述墊片200和本體100之間通過(guò)一插銷400固定連接，當(dāng)然，所述墊片200也可以通過(guò)焊接固定在所述本體100的頂端。
[0015]作為優(yōu)選，所述通孔300的頂端直徑為0.5mm。
[0016]本實(shí)用新型僅采用一個(gè)通孔300，即達(dá)到吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品的效果，取消了橫孔設(shè)計(jì)，無(wú)需多次加工，節(jié)省工藝；且無(wú)需使用塞頭，節(jié)省生產(chǎn)成本。
[0017]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，包括:本體和墊片，其特征在于，所述墊片固設(shè)在所述本體的頂部，所述本體上設(shè)有一與氣源連通的通孔，所述通孔貫穿所述本體與墊片的中心。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，其特征在于，所述墊片和本體之間通過(guò)一插銷固定連接。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，其特征在于，所述通孔的頂端直徑為0.5mm。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測(cè)吸嘴，其特征在于，所述墊片焊接固定在所述本體的頂端。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK203481204SQ201320522975
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年8月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月26日
【發(fā)明者】余志和 申請(qǐng)人:昆山鼎聯(lián)電子科技有限公司