Oled面板減薄裝置、減薄系統(tǒng)及減薄方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種OLED面板減薄裝置、減薄系統(tǒng)及減薄方法，本發(fā)明的OLED面板減薄裝置主要包括旋轉(zhuǎn)機(jī)架、流體導(dǎo)管及旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔，旋轉(zhuǎn)機(jī)架固定安裝于旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔內(nèi)，流體導(dǎo)管的端口位于旋轉(zhuǎn)機(jī)架中心位置的正上方，其原理是通過旋轉(zhuǎn)機(jī)架旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使刻蝕液由OLED面板的中心向外均勻擴(kuò)散，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)OLED面板的刻蝕和減?。槐景l(fā)明還公開了基于該OLED面板減薄裝置的OLED面板減薄方法，該減薄裝置及方法克服了浸泡式減薄中刻蝕液因污染造成減薄品質(zhì)降低的不足，同時(shí)克服了噴淋式減薄中易形成凹點(diǎn)、刻蝕厚度不均等問題。
【專利說明】OLED面板減薄裝置、減薄系統(tǒng)及減薄方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于OLED顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種OLED面板減薄裝置、減薄系統(tǒng)及減
薄方法。
【背景技術(shù)】
[0002]平板顯示技術(shù)的不斷發(fā)展要求OLED顯示屏更輕更薄。受到制造工藝的限制，OLED基板玻璃的厚度已經(jīng)無(wú)法做到更薄，因此，目前的減薄技術(shù)一般是待OLED面板完成封裝后再進(jìn)行刻蝕減薄。常用的刻蝕減薄技術(shù)主要分為浸泡式減薄和噴淋式減薄，浸泡式減薄是指將多張完成封裝的OLED面板同時(shí)置于刻蝕液中浸泡一定時(shí)間達(dá)到減薄的方法，其不足在于OLED面板的刻蝕物易造成刻蝕液的污染，被污染的刻蝕液會(huì)降低后面刻蝕的OLED面板的減薄品質(zhì)；噴淋式減薄是指采用均勻流動(dòng)的刻蝕液對(duì)OLED面板進(jìn)行減薄，這種方法克服了因刻蝕液污染造成的減薄質(zhì)量下降，但是該方法中受噴頭位置和OLED面板尺寸的影響，被刻蝕的OLED面板易產(chǎn)生凹點(diǎn)且面板很難達(dá)到厚度均勻的效果。此外，浸泡式減薄和噴淋式減薄均只適用于小尺寸OLED面板的減薄，當(dāng)OLED面板推進(jìn)到大尺寸后，這兩種技術(shù)方案較難與前后工藝進(jìn)行銜接且較難實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題，提供一種適用于大尺寸OLED面板且自動(dòng)化程度高的減薄裝置及減薄系統(tǒng)。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種OLED面板減薄裝置，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)架、流體導(dǎo)管及旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔，旋轉(zhuǎn)機(jī)架固定安裝于旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔內(nèi)，流體導(dǎo)管的端口位于旋轉(zhuǎn)機(jī)架中心位置的正上方。
[0006]進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)架包括底座和固定連接在底座上、兩兩夾角相等的四條支撐臂。
[0007]進(jìn)一步地，所述OLED面板減薄裝置還包括護(hù)蓋，所述護(hù)蓋與旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔鉸接，所述液體導(dǎo)管固定在護(hù)蓋的下表面上。
[0008]進(jìn)一步地，所述OLED面板減薄裝置還包括均勻分布于護(hù)蓋上的熱風(fēng)噴口。
[0009]進(jìn)一步地，所述護(hù)蓋的開啟與閉合由旋轉(zhuǎn)氣缸控制。
[0010]進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔的底部設(shè)置有排液口。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)架由變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
[0012]進(jìn)一步地，一種基于所述OLED面板減薄裝置的OLED面板減薄方法，包括以下步驟:
[0013]S1:將OLED面板放置于OLED面板減薄裝置旋轉(zhuǎn)機(jī)架的四條支撐臂上；
[0014]S2:閉合護(hù)蓋并打開排液口 ；
[0015]S3:開啟變頻電機(jī)，進(jìn)行OLED面板的減薄，具體包括以下兩個(gè)階段:
[0016]第一階段:清洗OLED面板，主要包括以下步驟:31)旋轉(zhuǎn)機(jī)架在變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)下開始加速旋轉(zhuǎn)，進(jìn)入預(yù)設(shè)中速狀態(tài)后保持勻速；32)開啟去離子水進(jìn)行面板清洗，清洗設(shè)定時(shí)間后關(guān)閉去離子水；33)調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架進(jìn)入預(yù)設(shè)勻速高速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，通過高速旋轉(zhuǎn)的方式甩干殘留在OLED面板表面的去離子水；第二階段:刻蝕OLED面板，主要包括以下步驟:34)根據(jù)工藝要求，調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架進(jìn)入預(yù)設(shè)低速狀態(tài)；35)開啟刻蝕液，在低速狀態(tài)下使刻蝕液從OLED面板中心向外均勻擴(kuò)散，達(dá)到工藝設(shè)定時(shí)間后，關(guān)閉刻蝕液；36)調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架進(jìn)入預(yù)設(shè)中速刻蝕甩干階段甩干殘留在OLED面板表面的刻蝕液；37)打開位于護(hù)蓋上的熱風(fēng)噴口對(duì)刻蝕后的OLED面板進(jìn)行吹干，與此同時(shí)，旋轉(zhuǎn)機(jī)架的轉(zhuǎn)速逐步下降至零；
[0017]S4:開啟護(hù)蓋，取出完成減薄的OLED面板。
[0018]進(jìn)一步地，一種基于所述OLED面板減薄裝置的OLED減薄系統(tǒng)，包括若干臺(tái)并行排列的OLED面板減薄裝置、無(wú)人搬運(yùn)車(Automated Guided Vehicle,AGV)、關(guān)節(jié)機(jī)器人、關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道和用于放置OLED面板的卡匣，其中，并行排列的OLED面板減薄裝置、AGV和機(jī)器人軌道平行排列且機(jī)器人軌道位于并行排列的OLED面板減薄裝置和AGV之間，關(guān)節(jié)機(jī)器人位于關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道上并沿關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道運(yùn)動(dòng)，卡匣放置于AGV上。
[0019]進(jìn)一步地，所述關(guān)節(jié)機(jī)器人的末端為帶有真空吸附盤的叉臂。
[0020]進(jìn)一步地，一種基于所述OLED面板減薄系統(tǒng)的OLED面板減薄方法，包括以下步驟:
[0021]S1:在每個(gè)卡匣內(nèi)放置若干張OLED面板，將裝有OLED面板的卡匣放置于無(wú)人搬運(yùn)車上備用；
[0022]S2:位于第一個(gè)OLED面板減薄裝置相應(yīng)位置的關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂從位于無(wú)人搬運(yùn)車上的卡匣中抓取一張OLED面板并將該OLED面板放置于第一個(gè)OLED面板減薄裝置中進(jìn)行減?。?br>
[0023]S3:待上一個(gè)OLED面板減薄裝置的護(hù)蓋閉合后，關(guān)節(jié)機(jī)器人在機(jī)器人軌道前進(jìn)至下一個(gè)OLED面板減薄裝置的相應(yīng)位置，關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂從位于無(wú)人搬運(yùn)車上的卡匣中再次抓取一張OLED面板并將該OLED面板放置于相應(yīng)的OLED面板減薄裝置中進(jìn)行減??；
[0024]S4:重復(fù)S3若干次至所有的OLED面板減薄裝置都進(jìn)入減薄過程，關(guān)節(jié)機(jī)器人返回至第一個(gè)OLED面板減薄裝置的相應(yīng)位置；
[0025]S5:待第一個(gè)OLED面板減薄裝置中的OLED面板完成減薄后，位于第一個(gè)OLED面板減薄裝置相應(yīng)位置的關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂將減薄后的OLED面板取出并放置于位于無(wú)人搬運(yùn)車上的空的卡匣里；
[0026]S6:關(guān)節(jié)機(jī)器人沿機(jī)器人軌道前進(jìn)至下一個(gè)OLED面板減薄裝置的相應(yīng)位置，待OLED面板完成減薄后，關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂將刻蝕后的OLED面板取出并放置于位于無(wú)人搬運(yùn)車上的空的卡匣里；
[0027]S7:重復(fù)S6若干次，直至取出所有的OLED面板減薄裝置中完成減薄的OLED面板，完成一輪自動(dòng)化減薄過程。
[0028]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
[0029](I)本發(fā)明的OLED面板減薄裝置通過旋轉(zhuǎn)機(jī)架旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使刻蝕液從OLED面板的中心向外均勻擴(kuò)散，實(shí)現(xiàn)OLED面板減薄的目的，克服了浸泡式減薄中刻蝕液被污染的不足，同時(shí)，因?yàn)榭涛g液的流動(dòng)受離心力控制，離心力越大，刻蝕液的流速越快，OLED面板受刻蝕作用越均勻，減薄也越均勻，克服了噴淋式減薄中易形成凹點(diǎn)、刻蝕厚度不均等問題；
[0030](2)本發(fā)明的OLED面板減薄裝置通過護(hù)蓋的設(shè)置保證了減薄過程旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔內(nèi)的密閉性，防止了刻蝕過程中飛濺的液體濺出腔外造成環(huán)境污染；
[0031](3)本發(fā)明的OLED面板減薄裝置還通過旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔底部設(shè)置的排液口及時(shí)將刻蝕后的刻蝕液排出，防止了其對(duì)OLED面板的減薄品質(zhì)的影響；
[0032](4)本發(fā)明的OLED面板減薄裝置的旋轉(zhuǎn)機(jī)架由變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)，便于調(diào)整和控制旋轉(zhuǎn)機(jī)架的轉(zhuǎn)速，進(jìn)而控制離心力的大小，保證刻蝕的均勻性；
[0033](5 )本發(fā)明還提供了 一種基于所述OLED面板減薄裝置的OLED減薄系統(tǒng)，該系統(tǒng)利用減薄時(shí)間和機(jī)器人裝卸OLED面板所需時(shí)間的不同，采用錯(cuò)時(shí)并行運(yùn)行的方式實(shí)現(xiàn)OLED面板的自動(dòng)化減薄；
[0034](6)本發(fā)明的OLED面板減薄裝置及基于所述OLED面板減薄裝置的OLED面板減薄系統(tǒng)非常適用于大尺寸的OLED面板，且操作簡(jiǎn)便，便于在業(yè)內(nèi)推廣使用。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0035]圖1為本發(fā)明的OLED面板減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖2為本發(fā)明的OLED面板減薄裝置完成一次減薄的速度控制圖；
[0037]圖3為本發(fā)明的OLED面板減薄系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0039]如圖1所示，本實(shí)施例中的OLED面板減薄裝置包括旋轉(zhuǎn)機(jī)架1、流體導(dǎo)管2及旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔3，旋轉(zhuǎn)機(jī)架I固定安裝于旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔3內(nèi)，流體導(dǎo)管2的端口位于旋轉(zhuǎn)機(jī)架I中心位置的正上方，減薄時(shí)，將OLED面板固定于旋轉(zhuǎn)機(jī)架I上。為了便于放置OLED面板、調(diào)節(jié)OLED面板的水平度和保證OLED面板的中心與旋轉(zhuǎn)機(jī)架I的中心重合，本實(shí)施例中的旋轉(zhuǎn)機(jī)架I包括底座11和固定連接在底座11上、兩兩夾角相等的四條支撐臂12。
[0040]為了防止減薄過程中飛濺的液體濺出旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔3造成環(huán)境污染，本實(shí)施例中的OLED面板減薄裝置還包括護(hù)蓋4，護(hù)蓋4與旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔3鉸接，可以實(shí)現(xiàn)開啟和閉合，為了便于控制和保證減薄過程中旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔3的密閉性，這里護(hù)蓋4的開合由旋轉(zhuǎn)氣缸控制，為了準(zhǔn)確定位流體導(dǎo)管2的位置，將流體導(dǎo)管2固定于護(hù)蓋4的下表面上。
[0041]為了防止刻蝕過的刻蝕液留在旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔3內(nèi)部，降低OLED面板的刻蝕質(zhì)量，本實(shí)施例中的OLED面板減薄裝置的旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔3的底部設(shè)置有排液口 31。
[0042]為了加快刻蝕后面板的干燥，提高減薄效率，本實(shí)施例中的OLED面板減薄裝置還包括均勻分布于護(hù)蓋4上的熱風(fēng)噴口 41。
[0043]為了便于調(diào)整旋轉(zhuǎn)機(jī)架I的轉(zhuǎn)速，滿足刻蝕過程不同的轉(zhuǎn)速要求，本實(shí)施例中的旋轉(zhuǎn)機(jī)架I由變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)。[0044]基于本實(shí)施例所述的OLED面板減薄裝置的OLED面板減薄方法主要包括以下步驟:
[0045]S1:將OLED面板放置于OLED面板減薄裝置旋轉(zhuǎn)機(jī)架I的四條支撐臂12上；
[0046]S2:閉合護(hù)蓋4并打開排液口 31 ；
[0047]S3:開啟變頻電機(jī)，進(jìn)行OLED面板的減薄，減薄過程中旋轉(zhuǎn)機(jī)架I的轉(zhuǎn)速控制如圖2所示，減薄過程分為以下兩個(gè)階段:
[0048]第一階段:清洗OLED面板，主要包括以下步驟:31)旋轉(zhuǎn)機(jī)架I在變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)下開始加速旋轉(zhuǎn)，進(jìn)入預(yù)設(shè)中速狀態(tài)a后保持勻速；32)開啟去離子水進(jìn)行面板清洗，清洗設(shè)定時(shí)間后關(guān)閉去離子水；33)調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架I進(jìn)入預(yù)設(shè)勻速高速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)b，通過高速旋轉(zhuǎn)的方式甩干殘留在OLED面板表面的去離子水；第二階段:刻蝕OLED面板，主要包括以下步驟:34)根據(jù)工藝要求，調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架I進(jìn)入預(yù)設(shè)低速狀態(tài)c ；35)開啟刻蝕液，在低速狀態(tài)下使刻蝕液從OLED面板中心均勻向外擴(kuò)散，達(dá)到工藝設(shè)定時(shí)間后，關(guān)閉刻蝕液；36)調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架I進(jìn)入預(yù)設(shè)中速刻蝕甩干階段d甩干殘留在OLED面板表面的刻蝕液；37)打開位于護(hù)蓋4上的熱風(fēng)噴口 41對(duì)刻蝕后的OLED面板進(jìn)行吹干，與此同時(shí)，旋轉(zhuǎn)機(jī)架I的轉(zhuǎn)速逐步下降至零；
[0049]S4:開啟護(hù)蓋4，取出完成減薄的OLED面板。
[0050]本實(shí)施例還提供了一種基于所述OLED面板減薄裝置的OLED減薄系統(tǒng)，如圖3所示，該系統(tǒng)包括若干臺(tái)并行排列的OLED面板減薄裝置5、AGV6、關(guān)節(jié)機(jī)器人7、關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道71和用于放置OLED面板的卡匣8，其中，并行排列的OLED面板減薄裝置5、AGV6和機(jī)器人軌道71平行排列且機(jī)器人軌道71位于并行排列的OLED面板減薄裝置5和AGV6之間，關(guān)節(jié)機(jī)器人7位于關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道71上并沿關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道71運(yùn)動(dòng)，卡匣8放置于AGV6上。
[0051]為了防止裝載卸載過程中OLED面板的滑落，這里關(guān)節(jié)機(jī)器人7的末端為帶有真空吸附盤的叉臂72。
[0052]基于本實(shí)施例所述的OLED面板減薄系統(tǒng)的OLED面板減薄方法主要包括以下步驟:
[0053]S1:在每個(gè)卡匣8內(nèi)放置20張OLED面板，將裝有OLED面板的卡匣8放置于AGV6上備用;
[0054]S2:位于第一個(gè)OLED面板減薄裝置5相應(yīng)位置的關(guān)節(jié)機(jī)器人7通過其末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂72從位于AGV6上的卡匣8中抓取一張OLED面板并將該OLED面板放置于第一個(gè)OLED面板減薄裝置5中進(jìn)行減薄；
[0055]S3:待上一個(gè)OLED面板減薄裝置5的護(hù)蓋4閉合后，關(guān)節(jié)機(jī)器人7在機(jī)器人軌道
71前進(jìn)至下一個(gè)OLED面板減薄裝置5的相應(yīng)位置，關(guān)節(jié)機(jī)器人7通過其末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂72從位于AGV6上的卡匣8中再次抓取一張OLED面板并將該OLED面板放置于相應(yīng)的OLED面板減薄裝置5中進(jìn)行減??；
[0056]S4:重復(fù)S3若干次至所有的OLED面板減薄裝置5都進(jìn)入減薄過程，關(guān)節(jié)機(jī)器人7返回至第一個(gè)OLED面板減薄裝置5的相應(yīng)位置；
[0057]S5:待第一個(gè)OLED面板減薄裝置5中的OLED面板完成減薄后,位于其相應(yīng)位置的關(guān)節(jié)機(jī)器人7通過其末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂72將減薄后的OLED面板取出并放置于位于AGV6上的空的卡匣8里；
[0058]S6:關(guān)節(jié)機(jī)器人7沿機(jī)器人軌道71前進(jìn)至下一個(gè)OLED面板減薄裝置5的相應(yīng)位置，待其內(nèi)的OLED面板完成減薄后，關(guān)節(jié)機(jī)器人7通過其末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂72將刻蝕后的OLED面板取出并放置于位于AGV6上的空的卡匣8里；
[0059]S7:重復(fù)S6若干次，直至取出所有的OLED面板減薄裝置5中完成減薄的OLED面板，完成一輪自動(dòng)化減薄過程。
[0060]上述過程中，由于OLED面板的平均減薄時(shí)間為40分鐘作用，而關(guān)節(jié)機(jī)器人7裝載卸載OLED面板的時(shí)間為15秒左右，因此可以采用錯(cuò)時(shí)并行運(yùn)行的方式使用一臺(tái)關(guān)節(jié)機(jī)器人7對(duì)應(yīng)多臺(tái)OLED面板減薄裝置5，還可以通過進(jìn)一步地優(yōu)化設(shè)計(jì)，充分利用二者的時(shí)間差，計(jì)算出一臺(tái)關(guān)節(jié)機(jī)器人7所對(duì)應(yīng)的OLED面板減薄裝置5的臺(tái)數(shù)，以進(jìn)一步提高刻蝕效率。
[0061]本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會(huì)意識(shí)到，這里所述的實(shí)施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理，應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實(shí)施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實(shí)質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種OLED面板減薄裝置，其特征在于:包括旋轉(zhuǎn)機(jī)架、流體導(dǎo)管及旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔，旋轉(zhuǎn)機(jī)架固定安裝于旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔內(nèi)，流體導(dǎo)管的端口位于旋轉(zhuǎn)機(jī)架中心位置的正上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED面板減薄裝置，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)機(jī)架包括底座和固定連接在底座上、兩兩夾角相等的四條支撐臂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的OLED面板減薄裝置，其特征在于:還包括護(hù)蓋，所述護(hù)蓋與旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔鉸接，所述液體導(dǎo)管固定在護(hù)蓋的下表面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的OLED面板減薄裝置，其特征在于:還包括均勻分布于護(hù)蓋上的熱風(fēng)噴口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED面板減薄裝置，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)機(jī)架腔的底部設(shè)置有排液口。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED面板減薄裝置，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)機(jī)架由變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
7.一種基于權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的OLED面板減薄裝置的OLED面板減薄方法，其特征在于:包括以下步驟: S1:將OLED面板放置于OLED面板減薄裝置旋轉(zhuǎn)機(jī)架的四條支撐臂上； S2:閉合護(hù)蓋并打開排液口 ； 53:開啟變頻電機(jī)，進(jìn)行OLED面板的減薄，具體包括以下兩個(gè)階段: 第一階段:清洗OLED面板，主要包括以下步驟:31)旋轉(zhuǎn)機(jī)架在變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)下開始加速旋轉(zhuǎn)，進(jìn)入預(yù)設(shè)中速狀態(tài)后保持勻速；32)開啟去離子水進(jìn)行面板清洗，清洗設(shè)定時(shí)間后關(guān)閉去離子水；33)調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架進(jìn)入預(yù)設(shè)勻速高速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，通過高速旋轉(zhuǎn)的方式甩干殘留在OLED面板表面的去離子水；第二階段:刻蝕OLED面板，主要包括以下步驟:34)根據(jù)工藝要求，調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架進(jìn)入預(yù)設(shè)低速狀態(tài)；35)開啟刻蝕液，在低速狀態(tài)下使刻蝕液從OLED面板中心向外均勻擴(kuò)散，達(dá)到工藝設(shè)定時(shí)間后，關(guān)閉刻蝕液；36)調(diào)節(jié)變頻電機(jī)使旋轉(zhuǎn)機(jī)架進(jìn)入預(yù)設(shè)中速刻蝕甩干階段甩干殘留在OLED面板表面的刻蝕液；37)打開位于護(hù)蓋上的熱風(fēng)噴口對(duì)刻蝕后的OLED面板進(jìn)行吹干，與此同時(shí)，旋轉(zhuǎn)機(jī)架的轉(zhuǎn)速逐步下降至零； 54:開啟護(hù)蓋，取出完成減薄的OLED面板。
8.一種基于權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的OLED面板減薄裝置的OLED減薄系統(tǒng)，其特征在于:包括若干臺(tái)并行排列的OLED面板減薄裝置、無(wú)人搬運(yùn)車、關(guān)節(jié)機(jī)器人、關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道和用于放置OLED面板的卡匣，其中，并行排列的OLED面板減薄裝置、無(wú)人搬運(yùn)車和機(jī)器人軌道平行排列且機(jī)器人軌道位于并行排列的OLED面板減薄裝置和無(wú)人搬運(yùn)車之間，關(guān)節(jié)機(jī)器人位于關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道上并沿關(guān)節(jié)機(jī)器人軌道運(yùn)動(dòng)，卡匣放置于無(wú)人搬運(yùn)車上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的OLED減薄系統(tǒng)，其特征在于:所述關(guān)節(jié)機(jī)器人的末端為帶有真空吸附盤的叉臂。
10.一種基于權(quán)利要求8或9所述的OLED面板減薄系統(tǒng)的OLED面板減薄方法，其特征在于:包括以下步驟: S1:在每個(gè)卡匣內(nèi)放置若干張OLED面板，將裝有OLED面板的卡匣放置于無(wú)人搬運(yùn)車上備用;52:位于第一個(gè)OLED面板減薄裝置相應(yīng)位置的關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂從位于無(wú)人搬運(yùn)車上的卡匣中抓取一張OLED面板并將該OLED面板放置于第一個(gè)OLED面板減薄裝置中進(jìn)行減薄； 53:待上一個(gè)OLED面板減薄裝置的護(hù)蓋閉合后，關(guān)節(jié)機(jī)器人在機(jī)器人軌道前進(jìn)至下一個(gè)OLED面板減薄裝置的相應(yīng)位置，關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂從位于無(wú)人搬運(yùn)車上的卡匣中再次抓取一張OLED面板并將該OLED面板放置于相應(yīng)的OLED面板減薄裝置中進(jìn)行減??； 54:重復(fù)S3若干次至所有的OLED面板減薄裝置都進(jìn)入減薄過程，關(guān)節(jié)機(jī)器人返回至第一個(gè)OLED面板減薄裝置的相應(yīng)位置； 55:待第一個(gè)OLED面板減薄裝置中的OLED面板完成減薄后，位于第一個(gè)OLED面板減薄裝置相應(yīng)位置的關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂將減薄后的OLED面板取出并放置于位于無(wú)人搬運(yùn)車上的空的卡匣里； 56:關(guān)節(jié)機(jī)器人沿機(jī)器人軌道前進(jìn)至下一個(gè)OLED面板減薄裝置的相應(yīng)位置，待OLED面板完成減薄后，關(guān)節(jié)機(jī)器人通過末端設(shè)置的帶有真空吸附盤的叉臂將刻蝕后的OLED面板取出并放置于位于無(wú)人搬運(yùn)車上的空的卡匣里； 57:重復(fù)S6若干次，直至取出所有的OLED面板減薄裝置中完成減薄的OLED面板，完成一輪自動(dòng)化減 薄過程。
【文檔編號(hào)】H01L27/32GK103456766SQ201310439051
【公開日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2013年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月24日
【發(fā)明者】向欣, 任海, 黃 俊, 敬啟毓, 唐元?jiǎng)? 何江 申請(qǐng)人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司