用于處理平面基板的設(shè)備和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于潤濕平面基板的設(shè)備，其中當(dāng)基板沿著輸送路徑通過時由流體來潤濕基板的底側(cè)，所述設(shè)備具有相對于輸送方向垂直布置的潤濕輥，所述潤濕輥從下方恰好延伸到輸送平面之前，且它浸入到位于其下方的流體源中。所述設(shè)備為能夠與潤濕輥和流體源的狹長容器一起獨(dú)立地操作的組件，所述容器具有狹長設(shè)計，其為在頂部具有狹長開口的封閉的槽，所述開口基本上由潤濕輥充滿。所述潤濕輥基本上在容器內(nèi)延伸，所述容器在其下部區(qū)域中具有排出開口，所述排出開口在底部進(jìn)入布置在所述容器下方的排出槽中。
【專利說明】用于處理平面基板的設(shè)備和系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于潤濕平面基板的設(shè)備，其中當(dāng)基板沿著輸送平面中的輸送路徑通過時，由流體來潤濕基板底側(cè)。此外，本發(fā)明涉及一種系統(tǒng)，用于處理具有處于輸送平面中的輸送路徑的平面基板，多個所述設(shè)備沿所述輸送路徑布置。
【背景技術(shù)】
[0002]DE102005062527A1和DE102005062528A1已披露以基本相應(yīng)的方法處理基板，其中使基板在潤濕輥上運(yùn)行通過，所述潤濕輥在其下部區(qū)域浸入到具有流體的大水槽中。其結(jié)果是，可以實現(xiàn)基板底側(cè)的全部區(qū)域或僅局部的潤濕。然而同時，首先需要大量的流體，其次隨著從流體中產(chǎn)生氣體，會帶來與重量相關(guān)的問題?？赏ㄟ^如DE102005062527A1中描述的氣體提取裝置來減少和避免這些不足

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明基于如下問題，即提供在開始時提到的設(shè)備和在開始時提到的具有多個這種類型的設(shè)備的系統(tǒng)，通過該設(shè)備和系統(tǒng)，現(xiàn)有技術(shù)的問題可以得到解決，且尤其是可以實現(xiàn)令人滿意的基板底側(cè)的潤濕，并可以有效地使用所需流體。
[0004]這個問題通過具有權(quán)利要求1的特征的設(shè)備和具有權(quán)利要求13的特征的系統(tǒng)來解決。本發(fā)明的有利的和優(yōu)選的改進(jìn)是從屬權(quán)利要求的主題，并將在下文中更詳細(xì)地進(jìn)行說明。這里，下文中所描述的部分特征僅用于說明設(shè)備或僅用于說明系統(tǒng)。然而，盡管如此，它們能夠獨(dú)立地應(yīng)用于設(shè)備和系統(tǒng)。權(quán)利要求的表述通過表示參考合并到說明書的內(nèi)容中。
[0005]提供了如下設(shè)備，該設(shè)備具有潤濕輥，特別是單根潤濕輥。所述潤濕輥相對于所述輸送方向橫向地延伸，從下面恰好到達(dá)輸送平面之前。它至少部分浸入位于其下方的流體源中，例如直到它的一半或甚至更多。
[0006]根據(jù)本發(fā)明提供了如下設(shè)備，該設(shè)備有利地為基本閉合的結(jié)構(gòu)單元，其可首先與潤濕輥而后與流體源的容器一起獨(dú)立地進(jìn)行處理。所述容器為狹長結(jié)構(gòu)，為在頂部具有狹長開口的封閉的槽或罐的形式，所述開口大致上由潤濕輥充滿。潤濕輥大致上在容器內(nèi)延伸，其結(jié)果是，所述容器有利地僅比潤濕輥稍長、稍寬。容器在其下部區(qū)域中(尤其是在底部上或在底部內(nèi))在向下方向上具有排出開口。所述排出開口并入到布置在容器下方的排出槽中，以將流體排出到容器之外。有利的是還提供了流體、特別是新鮮流體的輸送裝置。所述輸送裝置將在下文中更詳細(xì)地解釋。
[0007]其結(jié)果是，首先，極多數(shù)量的流體或非常大的流體罐是沒有必要的，因此不必對它們進(jìn)行填充，并且在整個系統(tǒng)有利地具有多個這種類型的設(shè)備且因此沿著輸送路徑具有多個優(yōu)選彼此間隔開特定距離的潤濕輥這樣的情況下，只需要相當(dāng)?shù)偷牧黧w總量。另外，主要由于容器不具有任何用于流體的氣體釋放的特別大的開口，而是更準(zhǔn)確地說頂部的開口大致上由潤濕輥所封閉，因此流體的氣體釋放顯著降低。在系統(tǒng)中存在氣體提取裝置的情況下，這能夠有利地減少在廢氣中具有有害成分的廢氣問題，這可導(dǎo)致改善的生態(tài)平衡和降低的成本。此外，對容易釋放出氣體的流體成分的消耗也大大減少，在將易揮發(fā)組分(例如HF)用于刻蝕作為基板的太陽能電池晶片的情況中，這也可導(dǎo)致大量地節(jié)省成本。
[0008]在本發(fā)明的一個有利的改進(jìn)中，除了頂部的所述狹長開口，所述設(shè)備相對外界封閉。因此有利的是，也沒有可通過其進(jìn)行流體的氣體釋放的側(cè)孔或類似物。布置在容器下側(cè)的排出槽也特別有利地被關(guān)閉，和/或排出槽可以是管或軟管，也就是說不是開放的排出槽或類似物。
[0009]在本發(fā)明的一個有利的改進(jìn)中，所述潤濕輥可以在側(cè)向上填充狹長開口的寬度，只留出數(shù)個毫米，這可以有利地大約為只有I毫米。因此，例如大約一半的潤濕輥可以浸入到流體中，且因此其以最大寬度浸入到流體中，并且因此大致上沒有流體區(qū)域位于其上方并可能釋放氣體。此外，也可以另外向頂部設(shè)置一種篩板，潤濕輥通過該篩板的篩板槽向上突出，以與基板底側(cè)接觸，同時篩板也從側(cè)部被拉動到非常靠近潤濕輥，使得只留下狹窄的開口槽。這種方式也可以減少氣體的釋放。因此，在本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)中，除了狹長開口以外，設(shè)備可以在頂部大致關(guān)閉，特別是在頂部可以僅具有該狹長開口。
[0010]該潤濕輥向上超出容器或超出容器邊緣的伸出長度有利地位于數(shù)個毫米的范圍內(nèi)。因此也可以減小流體的氣體釋放。
[0011]該潤濕輥有利地比容器或它的狹長開口稍短。潤濕輥特別有利地僅以輪軸端部或軸短頭側(cè)向地伸出容器。所述輪軸端部在容器之外安裝在上述用于處理基板的系統(tǒng)上，例如安裝在相應(yīng)合適的支承載體上。所述支承載體也可以具有用于潤濕輥的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，例如與至少一個輪軸端部上的齒輪相互作用的齒輪。因此，潤濕輥的實際安裝以及因此潤濕輥的重量支撐可以在系統(tǒng)上或所述支承載體上進(jìn)行。潤濕輥的安裝也可以為可調(diào)節(jié)的，特別是系統(tǒng)的所有潤濕輥在相同的時間以相同的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0012]因此在本發(fā)明的一個擴(kuò)展中，輪軸端部可以布置成使得它們被密封，并且可以在容器的端部側(cè)上相對于它們所穿過的容器壁移動。移動可為豎直的和/或水平的，其結(jié)果是潤濕輥的支承功能被移出設(shè)備，但潤濕輥的密封作用基本上保持在容器內(nèi)。因此，當(dāng)潤濕輥和容器之間的相對位置，以及因此還有浸入到設(shè)備的容器中的深度在系統(tǒng)中對所有設(shè)備一次設(shè)定時，在固定容器的情況下，潤濕輥可以例如通過上述支承載體一起調(diào)節(jié)。浸入到流體中的深度因此也針對所有潤濕輥均勻地改變。
[0013]此外，潤濕輥的穿過容器端壁的輪軸端部的引導(dǎo)部具有可在引導(dǎo)部開口內(nèi)調(diào)節(jié)的密封件。其結(jié)果是，可以在保持密封功能的同時保證保持上述豎直和/或水平的可移動性。在密封件的外側(cè)有利地側(cè)向設(shè)置外容器的外端壁，作為一種雙層端壁。其具有用于輪軸端部通過的相對較大的切口，該相對較大的切口使得所述輪軸端部具有所述豎直的和/或水平的可移動性，且不會阻礙所述可移動性。在所述切口下方設(shè)置有收集槽，所述收集槽通向上述排出槽，或通向所述排出槽的排出部。因此基于可調(diào)節(jié)密封件，在輪軸端部的引導(dǎo)部處從容器逸出的流體可以在收集槽中收集起來并排出。
[0014]在本發(fā)明的一個有利的發(fā)展中，可以設(shè)置到流體源的輸送件，準(zhǔn)確地說，其有利地通過排出槽，即從下面進(jìn)入到流體源中。這可以優(yōu)選居中地進(jìn)行至容器中。特別優(yōu)選為此目的在流體源中和恰好在潤濕輥下面提供狹長的分配線。所述狹長分配線可以具有大約潤濕輥的長度，或者可以稍短。為了將盡可能新鮮的所供給的流體帶到潤濕輥和從而帶到基板底側(cè)，可以設(shè)置為，分配線具有向上定向的流體排出開口。所述排出開口可以例如到達(dá)相對靠近潤濕輥處。這里也可以設(shè)置成，潤濕輥在其中運(yùn)行的流體源的液位僅略高于所述分配線。因此，設(shè)備中或容器中的流體總量被限制，這具有在一開始就針對其指出的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]所述排出槽可以相對于水平線傾斜地延伸，并在較低端具有排出部。因此，通過將單一線路用于輸入和將單一線路用于排出，可以簡單的方式實現(xiàn)到設(shè)備或容器的流體連接。這里，排出槽的傾斜路線保證了流體也向排出部移動，更準(zhǔn)確地說，不需要復(fù)雜的輔助工具。
[0016]在這里可以設(shè)置成，位于上方的流體源的容器底部平行于排出槽。這具有如下優(yōu)勢，可以得到簡單的設(shè)計，或排出槽與流體源或其容器的連接。
[0017]在本發(fā)明的一個改進(jìn)中可以設(shè)置成，上述從流體源到排出槽的排出開口的橫截面可以調(diào)節(jié)。有利地，它們可以一起調(diào)節(jié)。其結(jié)果是，特別是與所提供的流體的量的設(shè)定一起來調(diào)節(jié)流體源或容器中的交換?？梢詾檫@種類型的可調(diào)節(jié)性設(shè)置滑動件，所述滑動件覆蓋多個排出開口，且另外具有對應(yīng)于排出開口的滑動開口。因此，通道橫截面取決于相對于彼此重疊或位移的程度而變化?？傮w上可以提供兩個滑動件，例如，每個分別在中央輸送件的一側(cè)進(jìn)入到流體源或上述分配線中。
[0018]除了容器中流體的交換的設(shè)置，有利的是，可以直接設(shè)置容器中的流體的填充水平。為此，可以在容器內(nèi)提供溢流部，溢流部的高度可以設(shè)置，且因此溢流部可以對可能的填充水平進(jìn)行更直接和更精確的設(shè)定。這種類型的溢流部可以具有例如位于剛性容器外壁內(nèi)的滑動件，所述滑動件可豎直調(diào)節(jié)，并緊密連接到容器。在其內(nèi)部，所述滑動件可具有向下到達(dá)排出槽中的通道，其結(jié)果是，在流體液位到達(dá)滑動件的上側(cè)且因此到達(dá)通道的情況下，流體流出到排出槽中，且因此規(guī)定了最大填充水平。
[0019]在根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)中，設(shè)置有多個特別是同一實施例中的上述設(shè)備，其在相對于所述輸送路徑的橫向方向上設(shè)置，且彼此間隔一定距離地設(shè)置。為了連接設(shè)備之間的間距以輸送基板，設(shè)置了輸送輥，然而它們自身構(gòu)造為不具有處理或潤濕功能。盡管它們與基板底側(cè)接觸，且因此與位于其上的流體相接觸，它們相應(yīng)地為不敏感的構(gòu)造，且有利地為非常狹窄的，其結(jié)果是它們不影響或不會負(fù)面地影響潤濕。
[0020]此外，在系統(tǒng)的輸送路徑下面設(shè)置有收集罐，所述收集罐至少大到使得所有上述設(shè)備都布置在它上面，并且因此可以收集逸出的流體。
[0021 ] 此外，在收集罐上(有利地在其下側(cè))提供了氣體提取開口，其結(jié)果是，所產(chǎn)生的少量的從流體中釋放的氣體也仍然可以收集和移除。因此，首先，可以避免在某些情況下不期望的所述氣體對基板上側(cè)的負(fù)面影響。其次，能夠避免有害氣體逸出到系統(tǒng)的周圍。遠(yuǎn)低于設(shè)備或潤濕輥地布置氣體提取開口具有如下優(yōu)點(diǎn)，即可以首先以改進(jìn)的和比較完整的方式提取通常也比空氣重的氣體，且其次，可以朝遠(yuǎn)離基板上側(cè)的方向提取通常也比空氣重的氣體。
[0022]氣體提取開口可以有利地通向共同的氣體提取裝置。這本身為已知的。
[0023]此外，氣體提取開口的開口橫截面可以調(diào)節(jié)。這可以通過具有可相對于彼此進(jìn)行調(diào)節(jié)的相應(yīng)開口的滑動格柵來進(jìn)行。由此，所有氣體提取開口的調(diào)節(jié)也可以在一個步驟中作為連接的滑動格柵的結(jié)果來進(jìn)行。
[0024]有利的是，在系統(tǒng)中，在兩個上述設(shè)備之間提供兩到四行輸送輥。這也取決于基板底側(cè)需要以什么樣的頻率一個接著一個地以新鮮流體來潤濕，和/或所輸送的基板的敏感程度。
[0025]除了權(quán)利要求，也可從說明書和附圖中明顯得出這些和其它特征，在本發(fā)明的實施例中或在其他領(lǐng)域中，單獨(dú)的特征可以自己分別實現(xiàn)，或以子組合的形式多個一起實現(xiàn)，且單獨(dú)的特征可以代表能夠自己單獨(dú)得到保護(hù)且此處要求保護(hù)的有利的實施方案。將本申請切分為單獨(dú)的部分和中間標(biāo)題不會限制針對它們提出的評論的普遍有效性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]附圖中示意性顯示了本發(fā)明的一個示例性實施例，且在下文中將更詳細(xì)地對其進(jìn)行說明。在附圖中:
[0027]圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)的簡化側(cè)視圖，其具有平面基板的輸送路徑和多個涂布模塊；
[0028]圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的涂布模塊的從上方斜視的平面圖；
[0029]圖3顯示了被引導(dǎo)至容器之外的具有可移動密封件的輪軸端部的顯著放大圖；
[0030]圖4顯示了圖2的涂布模塊的剖視圖；
[0031]圖5以類似圖3的方式顯示了側(cè)視剖視圖；
[0032]圖6以顯著放大的方式顯示了圖5的視圖的右手區(qū)域；和
[0033]圖7從上方顯示了根據(jù)圖6的涂布模塊的右手端的平面圖，顯示了作為滑動件的溢流部。
【具體實施方式】
[0034]圖1以示意性的方式顯示了整個系統(tǒng)11，平面基板13可通過該系統(tǒng)11來處理?；?3在輸送路徑17上從左向右地運(yùn)行，其上側(cè)14朝上且下側(cè)15朝下。輸送路徑17首先由輸送輥18形成，輸送輥18如本領(lǐng)域技術(shù)人員通常已知的那樣，且可以是對基板13只具有輸送功能的簡單的窄輥。
[0035]此外，輸送路徑17具有彼此以相同的間距布置并相對于所述輸送路徑橫向延伸的至少三個涂布模塊20。它們的具體結(jié)構(gòu)和功能將在下文更詳細(xì)地解釋。然而，它們在原則上以在開始提到的DE102005062528A1中所描述的方式工作。
[0036]在輸送路徑17之下，系統(tǒng)11具有提取罐22，例如為平坦罐，它大致具有輸送路徑17的長度和寬度。提取罐22具有朝向頂部的開口 24作為入口，在開口 24之上可移動式地(如箭頭所示)布置有穿孔格柵23。穿孔格柵23中的孔原則上對應(yīng)于開口 24，并可以通過穿孔格柵23的位移來實現(xiàn)提取橫截面可調(diào)節(jié)的打開或關(guān)閉。其結(jié)果是，所述提取裝置還可以在系統(tǒng)11上變化，該提取裝置從提取箱22向右側(cè)引導(dǎo)。所述提取裝置用于實現(xiàn)在一開始引用的DE102005062527A1中所述的目的，但如在開始時所解釋的那樣其作用可以是相當(dāng)小的，因為在處理基板13的過程中僅發(fā)生相當(dāng)?shù)偷臍怏w釋放。此外，除了氣態(tài)組成部分，落下的剩余流體也可以由提取罐22來收集，并同樣可移除。
[0037]從圖2中可見涂布模塊20的放大比例的從上方觀測的斜視圖。涂布模塊20具有狹長的潤濕輥26，其具有向后的短輪軸端部27a和向前的短輪軸端部27b。用來驅(qū)動的齒輪29設(shè)置在輪軸端部27b處。[0038]潤濕輥26布置在涂布模塊20的容器31中，并精確地通過輪軸端部27a和27b而側(cè)向地伸出。與圖5和圖6比較可以看到，潤濕輥26僅向上伸出至超過容器31的邊緣一點(diǎn)，例如數(shù)個毫米，或2mm至5mm。
[0039]容器31具有兩個縱向容器壁32a和32b，它們延伸過整個容器的高度。雖然縱向容器壁32a在下部區(qū)域中具有階梯形輪廓，但這對于本發(fā)明的功能性方面而言并不重要。此外，容器31具有兩個內(nèi)端壁33a和33b，它們與縱向容器壁32a和32b —起限定或界定了潤濕輥26周圍的容積。
[0040]圖3以放大的尺寸顯示了在所述內(nèi)端壁33a和33b中設(shè)置有密封嵌件34a和34b，用于密封輪軸端部27a和27b。可以在圖3上看到放大的所述密封嵌件34a和34b。它們是多件式結(jié)構(gòu)，并且布置在相比對于輪軸端部27所實際必要的而言更大的開口中。它們分別在內(nèi)側(cè)和外側(cè)與內(nèi)端壁31a和31b重疊，但構(gòu)造得比相應(yīng)的孔小。它們因而可以在內(nèi)端壁33a和33b的平面中水平地和豎直地移動，但盡管它們并不同時完全密封內(nèi)端壁33a和33b，它們可以密封后者的大部分。除了密封功能，此處大致關(guān)鍵的地方是，潤濕輥26或它的輪軸端部27a和27b相對于容器31在低旋轉(zhuǎn)摩擦之下的相對容易的可移動性。
[0041]由于仍然存在一定概率發(fā)生如下情況，即流體從可以低于且應(yīng)該低于容器31內(nèi)的流體液面的密封嵌件34a和34b處逸出，在每個內(nèi)端壁33a和33b的前方在外側(cè)還布置有外端壁36a和36b。所述外端壁36a和36b甚至比所述內(nèi)端壁33a和33b更加延伸至底部，如隨后的圖3所示。圖6清楚地顯示了從側(cè)面觀測的截面，內(nèi)端壁33a和33b和外端壁36a和36b在中間區(qū)域中彼此間隔一定距離，其結(jié)果是在此處形成了收集通道38b。這里，從密封嵌件34a和34b處逸出的流體被收集在收集通道38a和38b中，并被向下引導(dǎo)，這將在下文中更詳細(xì)地解釋。無論如何，沒有任何流體會越過外端壁36a和36b。
[0042]在所述外端壁36a和36b上提供有螺釘緊固件37a和37b。因此，系統(tǒng)11中的容器31或涂布模塊20可以牢固地擰到側(cè)壁上的在開始時所提到的支承物或類似物中。
[0043]圖4、圖5和圖6顯示了涂布模塊20和容器31的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。容器31的內(nèi)底部40在內(nèi)端壁33a和33b之間延伸，該內(nèi)底部40側(cè)向支承著縱向容器壁32a和32b，即在容器31內(nèi)形成了指定的容積。該容積也是之前所述的體積，其中設(shè)置有潤濕輥26或潤濕輥26浸入到其中的流體源?？梢钥闯?，內(nèi)底部40相對于水平線和潤濕輥26傾斜地延伸，并確切地說朝向具有齒輪29的輪軸端部27b下降。這樣做的原因在于，位于它下面的外底部42在外端壁36a和36b之間延伸，并在內(nèi)側(cè)支承著縱向容器壁32a和32b，并且內(nèi)底部40形成了上述排出槽43且具有布置在最右側(cè)的排出部44。排出部44連接到排出管線(未顯示)，用于將流體從涂布模塊20排出。
[0044]最重要的是，排出槽43以及因此還有外底部42相對于水平線傾斜地延伸。因此，可以確保所有流出的流體傳遞到作為單一位置點(diǎn)的排出部44，而沒有必要以任何特別的方式將其引導(dǎo)到那里。
[0045]內(nèi)底部40將用于潤濕輥26的流體源和排出槽43分開，并且具有排出開口 46，如圖4所示，排出開口 46精確地排成一行，并具有大致相同的間距。排出開口 46由滑動件48a和48b所覆蓋，后者位于內(nèi)底部40的上側(cè)，并具有滑動孔49?；瑒涌?9的布置與排出開口 46相對應(yīng)，其結(jié)果可以很容易地看出，可以通過內(nèi)底部40上的滑動件48a和48b的位移來設(shè)定從流體源到排出槽43的排出橫截面。因此，特別是從圖4至圖6中可以容易地看出，容器31在其端壁和底部上是雙層壁結(jié)構(gòu)，并且雙層壁內(nèi)逸出的流體可被收集并且以可控的方式排出。
[0046]狹長分配線53在位于內(nèi)底部40上方的流體源51中延伸。分配線53具有中央流體輸送器54。輸進(jìn)的流體而后流出分配線53的排出開口 56而到流體源中，更確切地說是在其整個長度上進(jìn)行，也就是說在潤濕輥26的整個長度上進(jìn)行。其結(jié)果是，實現(xiàn)了由潤濕輥26將輸進(jìn)的新鮮流體大致引導(dǎo)至基板13的底側(cè)15，用于潤濕或處理它們，如先前已描述的并且由開始所引用的DE102005062528A1明顯可知的那樣。因此可以實現(xiàn)，底側(cè)15由盡可能新鮮和有可能已經(jīng)調(diào)節(jié)過的流體來潤濕，而已經(jīng)在流體源51中有相對長的時間的流體由更新鮮的輸入流體來替換，并且通過排出開口 46向下流出到排出槽43中，并被排出以尤其用于再生。
[0047]可以從圖7的平面圖看出，潤濕輥26與縱向容器壁32a和32b的內(nèi)側(cè)之間的間隙58是比較窄的。在軋輥直徑為數(shù)個厘米的情況下，其可以是數(shù)個毫米，其結(jié)果是可實現(xiàn)如下情況，即流體源51中的流體能夠從容器31或涂布模塊20中釋放氣體的可能性非常之小。此外，可以用這種方式來實現(xiàn)如下情況，即潤濕輥26在流體源中的非常小的區(qū)域中移動，即在根據(jù)圖5的分配線53之上移動，其結(jié)果是，這里可以很容易連續(xù)地提供盡可能新鮮的流體，并允許舊的流體流走。
[0048]從圖7可以很清楚地看到密封嵌件34b的結(jié)構(gòu)，內(nèi)端壁33b、外端壁36b以及它們之間的收集通道38b的布置。
[0049]此外，從圖7還可以看到溢流部59。溢流部59作為溢流滑動件62插入到容器32a內(nèi)側(cè)上的寬的、槽狀凹部61中。溢流滑動件62被密封地引導(dǎo)至縱向容器壁32a的內(nèi)側(cè)上，并且可以由螺釘65來調(diào)節(jié)其高度。此外，溢流滑動件62具有溢流孔63，溢流孔63為通道結(jié)構(gòu)，并延伸到分配線53之下的流體源51中，或甚至延伸至排出槽43中，溢流滑動件62當(dāng)然也是同樣的長度。流體源51的液面所達(dá)到的高度可通過用螺釘65調(diào)節(jié)溢流滑動件62或其溢流孔63在豎直方向上的高度來設(shè)置。如果有更多的流體輸入，則其立刻通過寬的溢流孔63流走。因此其結(jié)果是，相比于通過滑動件48a和48b來調(diào)節(jié)流體輸送件54或排出開口 46，可以非常精確地并以相當(dāng)簡單的方式來設(shè)定潤濕輥26的最大浸入深度?？梢匀菀椎乩斫?，所述潤濕輥26的浸入流體源51的流體中的深度即限定了施加到基板13的底側(cè)15的流體的量。
【權(quán)利要求】
1.用于潤濕平面基板的設(shè)備，其中當(dāng)基板沿著輸送平面中的輸送路徑通過時由流體來潤濕基板的底側(cè)，所述設(shè)備具有相對于輸送方向橫向布置的潤濕輥，所述潤濕輥從下方恰好到達(dá)輸送平面或輸送平面之前，且它至少部分地浸入到位于其下方的流體源中， 其特征在于，所述設(shè)備為能夠與潤濕輥和流體源的容器一起獨(dú)立地進(jìn)行處理的結(jié)構(gòu)單元，所述容器為狹長 結(jié)構(gòu)，其為在頂部具有狹長開口的封閉的槽，所述開口基本上由潤濕輥充滿，所述潤濕輥基本上在容器內(nèi)延伸，所述容器在其下部區(qū)域中具有排出開口，所述排出開口向下進(jìn)入布置在所述容器下方的排出槽中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，除了頂部的所述狹長開口，所述設(shè)備相對外界封閉，尤其地，布置在所述容器的下側(cè)的排出槽也關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述潤濕輥在側(cè)向上填充了所述狹長開口的寬度，只留出數(shù)個毫米，尤其大約為I毫米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，除了頂部的所述狹長開口，所述設(shè)備、尤其是包括排出槽和排出部的所述容器大致上為封閉結(jié)構(gòu)，用于封閉式處理和引導(dǎo)所述流體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，所述潤濕輥向上伸出，超出容器或超出容器邊緣數(shù)個毫米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到5中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，所述潤濕輥比容器或狹長開口的長度稍短，且優(yōu)選僅通過輪軸端部側(cè)向地伸出容器，所述輪軸端部尤其是在容器之外安裝在用于處理基板的系統(tǒng)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，所述輪軸端部布置成使得它們被密封，并且能夠在容器的端部側(cè)上相對于它們所穿過的容器壁豎直和/或水平地移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1到7中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，所述潤濕輥的穿過容器端壁的輪軸端部的引導(dǎo)部具有能夠在引導(dǎo)部開口內(nèi)調(diào)節(jié)的密封件，在其外側(cè)側(cè)向地設(shè)置有外容器的外端壁，其具有用于輪軸端部通過的相對較大的切口，在其下方設(shè)置有收集槽，所述收集槽通向所述排出槽或通向排出部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1到8中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，設(shè)置通過排出槽到流體源的輸送件，尤其從外側(cè)居中地通至容器中，優(yōu)選在流體源中恰好在潤濕輥下面提供狹長的分配線，所述分配線具有大約潤濕輥的長度，且優(yōu)選具有向上指向的流體排出開口，所述流體居中地輸送到流體源中。
10.根據(jù)權(quán)利要求1到9中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，所述排出槽相對于水平線傾斜地延伸，并在較低端具有排出部，其上方的流體源的容器底部平行于所述排出槽。
11.根據(jù)權(quán)利要求1到10中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，從流體源到排出槽的排出開口的橫截面能夠調(diào)節(jié)，尤其能夠共同地調(diào)節(jié)，優(yōu)選通過至少一個滑動件來調(diào)節(jié)，所述滑動件覆蓋多個排出開口，且具有對應(yīng)于排出開口的滑動開口，并可以針對它們進(jìn)行調(diào)節(jié)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1到11中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，容器中的流體源具有能夠在豎直方向上調(diào)節(jié)的溢流部，用于設(shè)置流體源的液位和/或所述潤濕輥的浸入深度，優(yōu)選在剛性的容器外壁內(nèi)布置滑動件，所述滑動件密封式連接到所述容器，并在其內(nèi)部具有向下到達(dá)排出槽中的通道。
13.具有處在輸送平面中的輸送路徑的用于處理平面基板的系統(tǒng)，設(shè)置有多個根據(jù)權(quán)利要求I到12中任一項所述的設(shè)備，所述設(shè)備沿所述輸送路徑在相對于所述輸送路徑的橫向方向上設(shè)置，且彼此間隔一定距離，在所述設(shè)備之間設(shè)置了用于形成輸送路徑的輸送輥，所述輸送輥構(gòu)造為不具有處理功能或潤濕功能，且所述系統(tǒng)在輸送路徑下方設(shè)置有收集槽，所述收集槽優(yōu)選在下側(cè)具有氣體提取開口。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體提取開口通向共同的氣體提取裝置。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體提取開口的開口橫截面能夠調(diào)節(jié)，尤其是通過具有能相對于彼此進(jìn)行調(diào)節(jié)的相應(yīng)開口的滑動格柵來進(jìn)行。
16.根據(jù)權(quán)利要求13到15中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，在兩個根據(jù)權(quán)利要求1到12中任一項所述的設(shè)備之間提供兩到四行輸送輥。
17.根據(jù)權(quán)利要求13到16中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，沿輸送路徑在其外側(cè)設(shè)置用于安裝潤濕輥的支承載 體，用于潤濕輥的驅(qū)動機(jī)構(gòu)、尤其是齒輪優(yōu)選設(shè)置在所述支承載體上，用于驅(qū)動所述潤濕輥。
【文檔編號】H01L21/67GK103765572SQ201280042853
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年8月24日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月1日
【發(fā)明者】約爾格·蘭普雷克特, 馬蒂亞斯·瑞斯?fàn)? 凱·魏瑟爾, 黑爾格·哈佛坎普, 尼特哈默爾·邁克爾 申請人:德國施密特兄弟有限公司