非接觸運送裝置制造方法
【專利摘要】【課題】提供如下非接觸運送裝置：能夠?qū)⒀b置成本抑制為較低，安裝作業(yè)也容易且被運送物的頂端部分能夠不碰撞相鄰的運送軌道地轉(zhuǎn)移到相鄰的運送軌道?！炯夹g(shù)方案】非接觸運送裝置（1）包括：非接觸運送軌道（2）；非接觸運送軌道（3），其與所述非接觸運送軌道（2）在被運送物（G）的運送方向（X）上相鄰地排列；和非接觸吸引裝置（5），其配在這些非接觸運送軌道（2、3）的接縫（S）的上方隔著所述接縫（S）的空間部分相對，并對被運送物進行吸引。所述非接觸運送裝置（1）能夠由一對支柱（8）、頂板（9）和吸引保持體（10）構(gòu)成，該一對支柱（8）隔著所述非接觸運送軌道（2、3）的所述接縫（S）的空間部分相對并且在所述非接觸運送軌道（2、3）的寬度方向上相對地豎立設(shè)置，頂板（9）跨所述支柱（8）之間而架設(shè)，吸引保持體（10）在所述頂板（9）的下表面固定附著。
【專利說明】非接觸運送裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于生產(chǎn)大型液晶顯示器(IXD)、等離子顯示器(PDP)等平板顯示器(FPD)和/或太陽能電池面板(solar panel,太陽能板)等的非接觸運送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在生產(chǎn)FPD和/或太陽能面板等時，采用了通過使I張面板大型化來提高生產(chǎn)效率的方法。例如，在生產(chǎn)IXD的情況下，第10代面板成為2850X3050X0.7mm的大小。由此，若如以往那樣，將液晶玻璃放置于多個排列的滾子(roller )上而滾動運送，則因?qū)L子進行支撐的軸的撓曲和/或滾子高度的尺寸偏差，在液晶玻璃上局部地作用較強的力，恐會對該液晶玻璃造成斑痕、擦傷等損傷。
[0003]在能夠避免這樣的FPD和/或太陽能面板等被運送物的損傷的、通過空氣進行上浮運送的【技術(shù)領(lǐng)域】中，以在專利文獻1、專利文獻2以及專利文獻3中所記述的空氣上浮的運送裝置為代表，提出了各種非接觸運送裝置，本 申請人:也提出了通過渦流(旋流)使被運送物上浮并運送的非接觸運送裝置(專利文獻4)。
[0004]根據(jù)在該專利文獻4中所記述的非接觸運送裝置，通過在渦流形成體的表面?zhèn)犬a(chǎn)生向上方的上升渦流從而使被運送物上浮，由此，具有能夠使用以往的1/2左右的空氣流量來進行運送這一優(yōu)點。
[0005]然而，在上述非接觸運送裝置中，在延長被運送物的運送距離的情況下，將運送軌道沿被運送物的運送方向拼接來延長距離，但是此時，若運送軌道與和該運送軌道相鄰的運送軌道之間的接縫的空間部分變大，則如圖16所示，因為在該接縫的空間部分S空氣膜壓不作用于被運送物(例如玻璃)G，所以在因被運送物G的自重而從運送軌道2、3懸垂的部位產(chǎn)生撓曲，被運送物G的端部恐會與運送軌道2、3的端部碰撞并破損。即使為了避免該撓曲而將上浮量設(shè)得較大，因為被運送物G的端部的撓曲也成比例地變大，所以無法避免被運送物G碰撞運送軌道2、3。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻1:日本特開平6-127738號公報
[0009]專利文獻2:日本特開2003-63643號公報
[0010]專利文獻3:日本特開2006-264804號公報
[0011]專利文獻4:國際公開第2009/119377號小冊子
[0012]專利文獻5:國際公開第2010/058689號小冊子

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]發(fā)明要解決的課題
[0014]作為避免在上述運送軌道之間的接縫的空間部分被運送物的懸垂部位碰撞運送軌道的技術(shù)，在所述專利文獻2中公開了如下運送裝置:由上浮腔和寬度方向一對運送滾子列構(gòu)成，該上浮腔在運送面上的與運送方向垂直的寬度方向中央部位置配置并且是在運送方向上長的箱狀體，該寬度方向一對運送滾子列在運送面上的寬度方向上的兩端位置沿運送方向配置，上浮腔具有與運送面平行且相當于箱狀體的蓋的上表面板，在該上表面板上形成有多個氣體噴出小孔，在箱狀體的上浮腔的運送方向后側(cè)的端面板的上端緣與上表面板的運送方向后端緣之間形成有間隙，通過從該間隙流出動壓氣體來構(gòu)成動壓上浮單
J Li ο
[0015]所述專利文獻3公開了使用上浮單元的非接觸運送裝置，該上浮單元具備:基礎(chǔ)體，其與要運送的大型玻璃基板相對應；供氣部，其設(shè)置于該基礎(chǔ)體的底面；多孔部，其設(shè)置于基礎(chǔ)體的上表面；排氣部，其使從供氣部流入基礎(chǔ)體內(nèi)并從多孔部流出而使基板上浮的空氣從基礎(chǔ)體的上表面向底面流出，并且使其排氣到基礎(chǔ)體外；流量調(diào)整器，其設(shè)置于該排氣部；和邊緣孔部，其在基礎(chǔ)體的上表面的邊緣部形成且通過動壓空氣使基板上浮。
[0016]專利文獻5是公開了一種非接觸運送裝置，其將多個運送軌道沿被運送物的運送方向配置并在該多個運送軌道上方使該被運送物上浮同時進行運送，其具備:第I流體噴出單元，其設(shè)置于運送軌道的端部以外的運送面，并產(chǎn)生上升渦流來使被運送物上??；和第2流體噴出單元，其設(shè)置于運送軌道的端部的運送面，當在該運送軌道上方被運送的被運送物的端部到達相鄰的運送軌道之間的接縫或者其附近時，向被運送物的端部吹送流體使該被運送物的端部上浮。
[0017]在所述專利文獻2、專利文獻3以及專利文獻5中所記述的技術(shù)是避免在運送軌道之間的接縫的空間部分被運送物的從該運送軌道懸垂的部位碰撞運送軌道的技術(shù)，其中，在被運送物被運送到運送軌道的運送方向的頂端部側(cè)時，從下方向被運送物的頂端部噴射空氣，使該被運送物的端部上浮。
[0018]在專利文獻3所記述的裝置中，需要按每個上浮單元來設(shè)置流量調(diào)整機，另外在專利文獻5記述的裝置中，需要按每個運送軌道來設(shè)置作為第2噴出單元的噴出狹縫，這會引起裝置自身的成本增長，另外還存在使安裝作業(yè)復雜化等問題。
[0019]本發(fā)明是鑒于上述諸點而做成的，以提供如下非接觸運送裝置為目的:能夠?qū)⒀b置成本抑制為較低，安裝作業(yè)也容易且被運送物的頂端部分能夠不碰撞相鄰的運送軌道地向相鄰的運送軌道轉(zhuǎn)移。
[0020]用于解決課題的技術(shù)方案
[0021]為了達成所述目的，本發(fā)明是一種非接觸運送裝置，其特征在于，包括:非接觸運送軌道；非接觸運送軌道，其與該非接觸運送軌道在被運送物的運送方向上相鄰地排列；和非接觸吸引裝置，其在這些非接觸運送軌道的接縫的上方隔著該接縫的空間部分相對地配置并對所述被運送物進行吸引。
[0022]根據(jù)本發(fā)明涉及的非接觸運送裝置，被搬運物由配置為在非接觸搬運導軌的接縫的上方并隔著該接縫的空間部分相對的非接觸吸引裝置在與該吸引裝置非接觸的狀態(tài)下吸引保持在該吸引裝置側(cè)，并且保持該被吸引保持的狀態(tài)、通過該接縫的空間部分而被搬運，所以被搬運物的搬運方向的頂端部不沖撞在搬運方向上相鄰的非接觸搬運導軌，也不會使被搬運物受損傷。
[0023]所述吸引保持體能夠包括俯視為矩形的基體和裝配在該基體上的渦流形成體，并將裝配了該渦流形成體一側(cè)的面作為下表面而固定附著于該頂體的下表面。[0024]所述基體具備:圓筒收置凹部，其具有在上表面開口的俯視為圓形的開口部并且具備底面部；帶狀圓筒壁面部，其在該圓筒收置凹部的圓筒內(nèi)壁面部經(jīng)由該圓筒內(nèi)壁面部和環(huán)狀肩部而擴徑；空氣通路，其沿該基板的長邊方向形成且一部分在該圓筒收置凹部的底面部開口 ；和空氣供給口，其一個端部在該基體的背面開口，另一個端部在該空氣通路開□。
[0025]所述渦流形成體具備:圓筒狀主體，其具備在一個端部具有俯視大致為圓形的開口部且在另一個端部具有底面部的圓筒狀凹部；環(huán)狀凸緣部，其在該圓筒狀主體的圓筒狀凹部的開口部的外周緣形成；多個卡合垂下部，其從該環(huán)狀凸緣部的外周面向下方垂下，在頂端具有卡定突起且在該外周面的徑向上相對地形成；凹部，其在所述圓筒狀凹部的圓筒內(nèi)壁面上且在沿該圓筒內(nèi)壁面的切線方向上并隔著該圓筒狀凹部的中心在對角線上相對的位置，從該圓筒內(nèi)壁面向徑向外方凹入，且俯視為三角形；空氣噴出口，其形成在該每個凹部的內(nèi)側(cè)壁面部，向圓筒狀凹部的圓筒內(nèi)壁面?zhèn)确謩e向相反方向開口 ；和空氣取入口，其與該空氣噴出口相連通，在從圓筒狀主體的外周面突出的凹部的外側(cè)壁面部開口，所述圓筒狀主體的環(huán)狀凸緣部的外周面壓入并嵌合于所述基體的所述圓筒收置凹部的圓筒內(nèi)壁面部，并使所述卡合垂下部的卡定突起分別卡合于該基體的所述圓筒內(nèi)壁面部的環(huán)狀肩部，從而將該渦流形成體裝配到該基體的圓筒收置凹部中。
[0026]在具備包括上述基板和在該基板上所裝配的渦流形成體的吸引保持體的吸引上浮裝置中，若從基板的空氣通路經(jīng)由該基板的圓筒收置凹部而向在該圓筒收置凹部內(nèi)裝配的渦流形成體供給壓縮空氣，則壓縮空氣經(jīng)由該渦流形成體的流體供給口而從流體噴出孔向圓筒狀凹部內(nèi)噴出，在圓筒狀凹部的內(nèi)部空間中成為渦流而從該圓筒狀凹部的開口部流出。在其流出時，若被運送物被運送到與渦流形成體的環(huán)狀凸緣部的端面相對的位置，則空氣沿環(huán)狀凸緣部的端面成為高速流而流出，所以環(huán)狀凸緣部的端面與被運送物之間成為負壓。被運送物因該負壓被向環(huán)狀凸緣部的端面?zhèn)任?，另一方面因從圓筒狀凹部的開口部流出而作為渦流存在于環(huán)狀凸緣部的端面與被運送物之間的空氣而受到斥力，通過其平衡，被運送物在與環(huán)狀凸緣部的端面相對的狀態(tài)下非接觸地被保持。
[0027]這樣，被運送物由隔著運送軌道之間的接縫的空間部分而在運送方向上相對設(shè)置的非接觸吸引裝置以與該吸引裝置非接觸的狀態(tài)吸引保持在該吸引裝置側(cè)，所以被運送物的運送方向的頂端部不碰撞在運送方向上相鄰的非接觸運送軌道，也不會使被運送物受損傷。
[0028]發(fā)明效果
[0029]如以上那樣，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供如下非接觸運送裝置裝置:能夠?qū)⒀b置成本抑制為較低，安裝作業(yè)也容易且被運送物的頂端部分能夠不碰撞相鄰的運送軌道地轉(zhuǎn)移到相鄰的運送軌道。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1是示出本發(fā)明的非接觸運送裝置的整體的俯視圖。
[0031]圖2是圖1的主剖視圖。
[0032]圖3是圖1的1-1線剖視圖。
[0033]圖4是基板的俯視圖。[0034]圖5是圖4的I1-1I線剖視圖。
[0035]圖6是圖5的局部放大剖視圖。
[0036]圖7是圖4的II1-1II線剖視圖。
[0037]圖8是基板的后視圖。
[0038]圖9是示出產(chǎn)生俯視右旋方向(順時針方向)的渦流的渦流形成體的圖，Ca)是主視圖，(b)是俯視圖，(c)是仰視圖，(d)是(b)的IV-1V線剖視圖，(e)是(c)的A部分的放大剖視圖，(f)是(d)的B分部的放大剖視圖。
[0039]圖10是示出產(chǎn)生俯視左旋方向(逆時針方向)的渦流的渦流形成體的圖，(a)是主視圖，(b)是俯視圖，(c)是仰視圖，(d)是(c)的V-V線剖視圖，(e)是(c)的D部分的放大剖視圖，(f)是(d)的E部分的放大剖視圖。
[0040]圖11是示出在基板上裝配了渦流形成體的吸引保持體的俯視圖。
[0041]圖12是圖11的V1-VI線剖視圖。
[0042]圖13是圖12的局部放大剖視圖。
[0043]圖14是圖11的右側(cè)視圖。
[0044]圖15是示出吸引保持體的其他的實施方式的俯視圖。
[0045]圖16是示出運送軌道之間的接縫的空間部分與被運送物的關(guān)系的說明圖。
【具體實施方式】
[0046]接著，基于圖示的優(yōu)選例對本發(fā)明的實施方式進一步詳細地進行說明。此外，在下面的說明中，以作為被運送物運送液晶玻璃(下面稱作“玻璃”。)的情況為例進行說明。
[0047]在圖1至圖3中，在本例中，非接觸運送裝置I由非接觸運送軌道2、3列非接觸運送軌道3、非接觸吸引裝置5以及5和多個驅(qū)動滾子7構(gòu)成，該非接觸運送軌道2在寬度方向上共3列都隔開預定的間隔配置，該3列非接觸運送軌道3與該非接觸運送軌道2在運送方向X上相鄰地配置，該非接觸吸引裝置5以及5在該非接觸運送軌道2與3的運送方向X上的接縫4的空間部分S的上方且隔著該接縫4的空間部分S在運送方向X上相對地配置，壁部6以及6在寬度方向上夾著非接觸運送軌道2以及3地沿運送方向X配置，該多個驅(qū)動滾子7作為驅(qū)動裝置且自由旋轉(zhuǎn)地被支撐于該壁部6以及6，玻璃G由驅(qū)動滾子7沿運送方向X運送。
[0048]非接觸吸引裝置5由一對支柱8以及8、頂板9以及9和吸引保持體10以及10構(gòu)成，該一對支柱8以及8在非接觸運送軌道2以及3的運送方向X上隔著接縫4的空間部S相對并且夾著驅(qū)動滾子7各自相對地豎立設(shè)置，該頂板9以及9跨該支柱8之間而架設(shè)，該吸引保持體10以及10固定附著于該頂板9以及9的下表面。
[0049]吸引保持體10由俯視為矩形的基體11和裝配于該基體11的渦流形成體12或13形成。
[0050]如圖4至圖8所示，基體11具備:圓筒收置凹部17，其沿該基體11的長邊方向Y且在該基體11的寬度方向上供形成為2列，并具有在該基體11的上表面14開口的俯視為圓形的開口部15且具備底面部16 ;帶狀圓筒壁面部20，其在該圓筒收置凹部17的圓筒內(nèi)壁面部18經(jīng)由該圓筒內(nèi)壁面部18和環(huán)狀肩部19而擴大直徑；空氣通路21，其沿該基體11的長邊方向Y形成且一部分在該圓筒收置凹部17的底面部16開口，該空氣通路21的一個端部封閉，另一個端部通過與形成于每個該空氣通路21的端部的陰螺紋部22螺合固定的閉塞栓23 (參照圖14)來閉塞。
[0051]在該基體11的背面24形成有一個端部在該背面24開口而另一個端部在該空氣通路21分別形成開口的空氣供給口 25，供給泵連結(jié)于該空氣供給口 25 (未圖示)。
[0052]該基體11通過與在該基體11設(shè)置的多個螺紋孔26螺合的螺釘(未圖示)而固定附著于頂板9的下表面。
[0053]對于在基體11的圓筒收置凹部17內(nèi)配置的渦流形成體，可分別單獨地使用圖9(a)至(f)所示的產(chǎn)生右旋方向(順時針方向)的渦流的渦流形成體12或圖10 (a)至(f)所示的產(chǎn)生左旋方向(逆時針方向)的渦流的渦流形成體13，或者將兩者組合起來使用。
[0054]圖9 (a)至(f)所示的產(chǎn)生右旋方向(順時針方向)的渦流的渦流形成體12具備:圓筒狀主體12d，其具備在一個端部具有俯視大致為圓形的開口部12a且在另一個端部具有底面部12b的圓筒狀凹部12c ;環(huán)狀凸緣部12e，其在該圓筒狀主體12d的圓筒狀凹部12c的開口部12a的外周緣形成；卡合垂下部12h，，其從該環(huán)狀凸緣部12e的外周面12f向下方垂下，在頂端具有卡定突起12g且在該外周面12f的徑向上相對地形成有多根、在本例中是4根；凹部12j以及12j，其在圓筒狀凹部12c的圓筒內(nèi)壁面12i上且在沿該圓筒內(nèi)壁面12?的切線方向并隔著該圓筒狀凹部12c的中心O在對角線上相對的位置，從該圓筒內(nèi)壁面12i向徑向外方凹入，且俯視為三角形；空氣噴出口 121以及121，其在每個凹部12j以及12j的內(nèi)側(cè)壁面部12k以及12k形成，并向圓筒狀凹部12c的圓筒內(nèi)壁面12i側(cè)向互相的相反方向開口 ；和空氣取入口 12ο以及12ο，其與該空氣噴出口 121以及121相連通，在從圓筒狀主體12d的外周面12m突出的凹部12j以及12j的外側(cè)壁面部12η以及12η開口。
[0055]從所述渦流形成體12的空氣取入口 12ο以及12ο供給的空氣經(jīng)由各空氣噴出口121以及121噴出到圓筒狀主體12d的圓筒狀凹部12c內(nèi)，在該圓筒狀凹部12c的內(nèi)部空間中成為俯視為右旋方向的渦流(圖9 (b)中的箭頭C方向)而從該圓筒狀凹部Ild的開口部Ila流出。
[0056]圖10 (a)至(f)所示的產(chǎn)生左旋方向的上升渦流的渦流形成體13與所述渦流形成體12同樣地，具備:圓筒狀主體13d，其具備在一個端部具有俯視大致為圓形的開口部13a且在另一個端部具有底面部13b的圓筒狀凹部13c ;環(huán)狀凸緣部13e，其在該圓筒狀主體13d的圓筒狀凹部13c的開口部13a的外周緣形成；卡合垂下部13h，其從該環(huán)狀凸緣部13e的外周面13f向下方垂下，在頂端具有卡定突起13g且在該外周面13f的徑向上相對地形成多根、在本例中是4根；凹部13j以及13j，其在圓筒狀凹部13c的圓筒內(nèi)壁面13i上且在沿該圓筒內(nèi)壁面13i的切線方向并隔著該圓筒凹部13c的中心O在對角線上相對的位置，從該圓筒內(nèi)壁面13i向徑向外方凹入，并且俯視為三角形；空氣噴出口 131以及131，其在每個凹部13j以及13j的內(nèi)側(cè)壁面部13k以及13k形成，并向圓筒狀凹部13c的圓筒內(nèi)壁面13i側(cè)向互相的相反方向開口 ；和空氣取入口 13ο以及13ο，其與該空氣噴出口 131以及131相連通，在從圓筒狀主體13d的外周面13m突出的凹部13 j以及13 j的外側(cè)壁面部13η以及13η開口。
[0057]從所述渦流形成體13的空氣取入口 13ο以及13ο供給的空氣經(jīng)由各空氣噴出口131以及131噴出到圓筒狀主體13d的圓筒狀凹部13c，在該圓筒狀凹部13c的內(nèi)部空間中成為俯視為左旋的渦流(圖10 (b)中的箭頭F方向)而從該圓筒狀凹部13d的開口部13a流出。
[0058]該潤流形成體12以及13例如由聚縮醒(polyacetal)樹脂、聚苯硫醚樹脂(PPS)等熱塑性合成樹脂制成。
[0059]所述渦流形成體12通過下述方式裝配于該基體11的圓筒收置凹部17:將圓筒狀主體12d的環(huán)狀凸緣部12e的外周面12f壓入并嵌合于所述基板11的圓筒收置凹部17的圓筒內(nèi)壁面部18,并使卡合垂下部12h的卡定突起12g卡合在每個該基體11的圓筒內(nèi)壁面部18的環(huán)狀肩部19上。
[0060]渦流形成體13也通過與所述渦流形成體12同樣的方法裝配于基體11的圓筒收置凹部17內(nèi)。
[0061]將渦流形成體12裝配到基體11的圓筒收置凹部17內(nèi)而形成的吸引保持體10，以裝配有該渦流形成體12側(cè)的面換言之為基體11的上表面14朝下的方式固定附著在頂板9 (參照圖1至圖3)的下表面。
[0062]接著，對包括上述結(jié)構(gòu)的非接觸運送裝置I的工作，一邊主要參照圖1以及圖2 —邊進行說明。
[0063]在非接觸運送軌道2上方配置的玻璃G在該運送軌道2上方上浮同時由驅(qū)動滾子7沿運送方向X運送。在玻璃G逼近該運送軌道2與在運送方向X上與該運送軌道2相鄰的運送軌道3之間的接縫4的空間部分S之前，向非接觸吸引裝置5以及5的吸引保持體10的空氣供給口 25供給壓縮空氣，壓縮空氣從空氣通路21向與該空氣通路21相連通的圓筒收置凹部17的底面部16流動。流動到圓筒收置凹部17的壓縮空氣，從在該圓筒收置凹部17中裝配的渦流形成體12的空氣取入口 12ο以及12ο經(jīng)由空氣噴出口 121以及121噴出到圓筒狀主體12d的圓筒狀凹部12c內(nèi)。噴出到該圓筒狀凹部12c的壓縮空氣，在圓筒狀凹部12c的內(nèi)部空間中成為俯視為右旋方向的渦流而從該圓筒狀凹部12c的開口部12a流出。
[0064]此時，因為玻璃G被運送至與渦流形成體12的環(huán)狀凸緣部12e的端面相對的位置，所以從圓筒狀凹部12c的開口部12a流出的空氣沿環(huán)狀凸緣部12e的端面成為高速流而流出，因此該環(huán)狀凸緣部12e的端面與玻璃G之間成為負壓。玻璃G因該負壓被向環(huán)狀凸緣部12e側(cè)吸引，但是由于從圓筒狀凹部12c的開口部12a流出而在環(huán)狀凸緣部12e的端面與玻璃G之間作為渦流而存在的空氣而受到斥力，通過該斥力和負壓的平衡，玻璃G在與環(huán)狀凸緣部12e的端面相對的狀態(tài)下非接觸地被保持。
[0065]這樣，因為玻璃G —邊保持非接觸狀態(tài)一邊被向該吸引保持體10側(cè)吸引保持，所以玻璃G能夠在運送軌道2與3之間的接縫4的空間部分S不懸垂、不碰撞運送軌道3地轉(zhuǎn)移到相鄰的運送軌道3。
[0066]此外，在上面的說明中，對使用了在基體11的圓筒收置凹部17內(nèi)裝配了渦流形成體12而形成的吸引保持體10的實施方式進行了說明，但是也可以使用在基體11的圓筒收置凹部17內(nèi)裝配了渦流形成體13而形成的吸引保持體10，另外也可以使用將渦流形成體12以及13沿運送方向X交互地裝配而形成的吸引保持體10。另外，如圖15所示，作為吸引保持體10也可以使用在基體11上在長邊方向上交錯地裝配了渦流形成體12或13的吸引保持體10。
[0067]如以上那樣，沿非接觸運送軌道2上浮運送的玻璃G的運送方向上的頂端部，在被運送到該非接觸運送軌道2與在運送方向上相鄰的非接觸運送軌道3之間的接縫4的空間部分S之前，在隔著該接縫4的空間部分S在運送方向上相對設(shè)置的非接觸吸引裝置5以及5中，由形成該吸引裝置5的吸引保持體10以與該吸引保持體10非接觸的狀態(tài)吸引保持，并且保持該被吸引保持的狀態(tài)地通過該接縫4的空間部分S而被運送，所以能夠提供玻璃G的運送方向的頂端部不與在運送方向上相鄰的非接觸運送軌道3碰撞且不會使玻璃G受損傷的非接觸運送裝置。
[0068]附圖標記說明
[0069]I非接觸運送裝置
[0070]2、3非接觸運送軌道
[0071]4 接縫
[0072]5非接觸吸引裝置
[0073]6 壁部
[0074]7驅(qū)動滾子
[0075]8 支柱
[0076]9 頂板
[0077]10吸引保持體
[0078]11 基體
[0079]12、13渦流形成體
[0080]14上表面
[0081]15 開口部
[0082]16底面部
[0083]17圓筒收置凹部
[0084]18圓筒內(nèi)壁面部
[0085]19環(huán)狀肩部
[0086]20帶狀圓筒壁面部
[0087]21空氣通路
[0088]22陰螺紋部
[0089]23閉塞栓
[0090]24 背面
[0091]25空氣供給口
[0092]26螺紋孔
【權(quán)利要求】
1.一種非接觸運送裝置，其特征在于，包括: 非接觸運送軌道； 非接觸運送軌道，其與該非接觸運送軌道在被運送物的運送方向上相鄰地排列；和非接觸吸引裝置，其在這些非接觸運送軌道的接縫的上方隔著該接縫的空間部分相對地配置并對所述被運送物進行吸引。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸運送裝置，其特征在于， 所述非接觸吸引裝置包括:一對支柱，其隔著所述非接觸運送軌道的接縫的空間部分相對并且在非接觸運送軌道的寬度方向上相對地豎立設(shè)置；頂板，其跨該支柱之間而架設(shè)；和吸引保持體，其固定附著于該頂板的下表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非接觸運送裝置，其特征在于， 所述吸引保持體包括俯視為矩形的基體和裝配在該基體上的渦流形成體，并將裝配了該渦流形成體一側(cè)的面作為下表面而固定附著于該頂體的下表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的非接觸運送裝置，其特征在于， 所述基體具備: 圓筒收置凹部，其具有在上表面開口的俯視為圓形的開口部并且具備底面部； 帶狀圓筒壁面部，其在該圓筒收置凹部的圓筒內(nèi)壁面部經(jīng)由該圓筒內(nèi)壁面部和環(huán)狀肩部而擴徑； 空氣通路，其沿該基板的長邊方向形成且一部分在該圓筒收置凹部的底面部開口 ；和 空氣供給口，其一個端部在該基體的背面開口，另一個端部在該空氣通路開口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的非接觸運送裝置，其特征在于， 所述渦流形成體具備:圓筒狀主體，其具備在一個端部具有俯視大致為圓形的開口部且在另一個端部具有底面部的圓筒狀凹部； 環(huán)狀凸緣部，其在該圓筒狀主體的圓筒狀凹部的開口部的外周緣形成； 多個卡合垂下部，其從該環(huán)狀凸緣部的外周面向下方垂下，在頂端具有卡定突起且在該外周面的徑向上相對地形成； 凹部，其在所述圓筒狀凹部的圓筒內(nèi)壁面上且在沿該圓筒內(nèi)壁面的切線方向上并隔著該圓筒狀凹部的中心在對角線上相對的位置，從該圓筒內(nèi)壁面向徑向外方凹入，且俯視為三角形； 空氣噴出口，其形成在該每個凹部的內(nèi)側(cè)壁面部，向圓筒狀凹部的圓筒內(nèi)壁面?zhèn)确謩e向相反方向開口 ；和 空氣取入口，其與該空氣噴出口相連通，在從圓筒狀主體的外周面突出的凹部的外側(cè)壁面部開口， 所述圓筒狀主體的環(huán)狀凸緣部的外周面壓入并嵌合于所述基體的所述圓筒收置凹部的圓筒內(nèi)壁面部，并使所述卡合垂下部的卡定突起分別卡合于該基體的所述圓筒內(nèi)壁面部的環(huán)狀肩部，從而將該渦流形成體裝配到該基體的圓筒收置凹部中。
【文檔編號】H01L21/677GK103717517SQ201280036821
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月26日
【發(fā)明者】小澤秀夫, 角田耕一, 安田貴裕, 池田俊之 申請人:翁令司工業(yè)股份有限公司