線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法及線鋸的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明是一種線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，在切斷途中暫時(shí)中斷工件的切斷之后，再次開始該切斷，特征在于，具有以下步驟：一邊檢測鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度并按時(shí)間序列記錄，一邊切斷前述工件；及，再次開始工件的切斷時(shí)，根據(jù)至工件的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，控制鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，再次開始進(jìn)行切斷，以使鋼線的往復(fù)周期在工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。由此，在由線鋸所實(shí)施的工件的切斷中，即便在由于鋼線的斷線等而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷的情況下，也能確實(shí)地抑制加工后的晶圓的納米形貌的惡化，從而完成切斷。
【專利說明】線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法及線鋸
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種線鋸，一邊向鋼線供給漿液一邊壓抵半導(dǎo)體晶棒等工件來進(jìn)行切斷，尤其涉及一種切斷中斷時(shí)的線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法及其線鋸。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為將半導(dǎo)體晶棒等工件切成晶圓(wafer)狀的裝置，已知一種線鋸。在此線鋸中，切斷用鋼線多數(shù)次地卷繞在二個(gè)以上帶凹槽滾筒的周圍而形成鋼線列，該切斷用鋼線往軸向被高速驅(qū)動，且一邊適當(dāng)?shù)毓┙o漿液一邊相對于鋼線列切入進(jìn)給工件，由此，此工件在各鋼線位置同時(shí)地被切斷。
[0003]另外，線鋸的鋼線采用一種耐磨耗、富有耐張力性而且高硬度的線材，例如鋼琴線等；另外，為了防止鋼線的損傷，帶凹槽滾筒使用一種特定硬度的樹脂滾筒，但是由于鋼線持續(xù)地磨耗或疲勞，在工件的切斷時(shí)，鋼線會發(fā)生斷線，而可能無法繼續(xù)切斷工件。
[0004]在這種情況下，以往，在進(jìn)行使工件的切入從鋼線脫離的脫離作業(yè)之后，以手動的方式將鋼線拉出，或利用手控的方式來操作帶凹槽滾筒驅(qū)動裝置，將鋼線的斷線處拉至其中一方的帶凹槽滾筒的適當(dāng)外側(cè)處為止，然后將該斷線部彼此連結(jié)起來，之后，進(jìn)行拉出作業(yè)，將鋼線彼此的連接部，再次拉至不與工件切斷直接相關(guān)的位置，在不能使用時(shí)，則進(jìn)行更換作業(yè)而換成新的鋼線。
[0005]并且，在這種鋼線修補(bǔ)處理之后，進(jìn)行復(fù)原作業(yè)，使工件的各切入處對應(yīng)于鋼線的各列，并使其卡合來進(jìn)行復(fù)原作業(yè)，然后使工件的切斷再次開始，由此，使工件的切斷得以完成。
[0006]在從開始進(jìn)行鋼線的復(fù)原作業(yè)至再次開始工件的切斷為止所需要的時(shí)間極短的情況，例如，當(dāng)鋼線的斷線并不是發(fā)生在與帶凹槽滾筒嵌合之處，則只要將鋼線彼此連接，便能完成鋼線處理；但是，除此以外，在鋼線修補(bǔ)處理需要較長時(shí)間(I小時(shí)以上)的情況下，由于帶凹槽滾筒的軸承部和鋼線等處的摩擦熱，原本熱膨脹中的帶凹槽滾筒會冷卻而收縮，由于鋼線列的間距會比原先進(jìn)行切斷的狀態(tài)更狹窄，所以在此狀態(tài)下，如果再次開始工件的切斷，則在切出來的晶圓的切斷面，會有產(chǎn)生無法修正的階梯差這樣的問題。
[0007]對于此問題，在專利文獻(xiàn)I中，揭示出一種線鋸的運(yùn)轉(zhuǎn)方法及線鋸，所述線鋸的運(yùn)轉(zhuǎn)方法是通過向帶凹槽滾筒與工件供給分別獨(dú)立地控制溫度的溫度調(diào)整介質(zhì)，將帶凹槽滾筒的軸向的變位量與工件的溫度調(diào)整成與工件的切斷中斷時(shí)相同，之后，再次開始進(jìn)行切斷。
[0008]根據(jù)此方法及裝置，即使在鋼線修補(bǔ)處理需要較的長時(shí)間的情況下，也可以避免由帶凹槽滾筒的收縮或工件的收縮所導(dǎo)致的晶圓表面產(chǎn)生階梯差。
[0009][先行技術(shù)文獻(xiàn)]
[0010](專利文獻(xiàn))
[0011]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-29955號公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0012][發(fā)明所要解決的問題]
[0013]但是，如上所述地再開始進(jìn)行切斷且鋼線修補(bǔ)處理在I小時(shí)以下的較短時(shí)間內(nèi)完成，基本沒有帶凹槽滾筒或工件的收縮的影響的情況下，在晶圓加工后的納米形貌測定中，仍可能會不良。
[0014]本發(fā)明是鑒于這種問題而完成，目的在于提供一種線鋸的運(yùn)轉(zhuǎn)再開始方法及其線鋸，所述線鋸的運(yùn)轉(zhuǎn)再開始方法在由線鋸所實(shí)施的工件的切斷中，即便在由于鋼線的斷線等異常而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷并再次開始的情況下，也能確實(shí)地抑制加工后的晶圓(wafer)的納米形貌(Nanotopography)的惡化,并可以防止在納米形貌檢查中成為不良。
[0015][解決問題的技術(shù)手段]
[0016]為了達(dá)成上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，針對使卷繞在二個(gè)以上帶凹槽滾筒上的鋼線以特定的周期在軸向上作往復(fù)行進(jìn)，一邊將切斷用漿液供給至前述鋼線，一邊將工件相對地壓下，使其壓抵作往復(fù)行進(jìn)的前述鋼線來進(jìn)行切入進(jìn)給，將前述工件切斷成晶圓狀的線鋸的運(yùn)轉(zhuǎn)，在切斷途中暫時(shí)中斷前述工件的切斷之后，再次開始該切斷，所述線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征在于，具有以下步驟:一邊檢測前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度并按時(shí)間序列記錄，一邊切斷前述工件；及，再次開始前述工件的切斷時(shí)，根據(jù)至前述工件的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，控制前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，再次開始進(jìn)行切斷，以使前述鋼線的往復(fù)周期在前述工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。
[0017]如果是這種方法，即便在由于鋼線的斷線等異常而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷并再次開始的情況下，也能抑制加工后的晶圓的納米形貌的惡化從而完成切斷，并可以防止在納米形貌檢查中成為不良。
[0018]此時(shí)，優(yōu)選為，在再次開始前述工件的切斷之前，通過供給溫度調(diào)整介質(zhì)，將前述帶凹槽滾筒的軸向的變位量與前述工件的溫度，調(diào)整為分別與前述工件的切斷中斷時(shí)相同。
[0019]這樣一來，可以避免由于帶凹槽滾筒的收縮或工件的收縮所導(dǎo)致的晶圓切斷面產(chǎn)生階梯差，并可以更有效地抑制納米形貌的惡化。
[0020]此外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種線鋸，具備:鋼線，卷繞在二個(gè)以上帶凹槽滾筒上，并在軸向上作往復(fù)行進(jìn)；漿液供給裝置，將切斷用漿液供給至該鋼線；及，工件進(jìn)給裝置，將要被切斷成晶圓狀的工件相對地壓下，使其壓抵作往復(fù)行進(jìn)的前述鋼線來進(jìn)行切入進(jìn)給；而且，所述線鋸的特征在于:還具備鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置，在前述工件的切斷中，檢測前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向與行進(jìn)速度并按時(shí)間序列記錄；及，控制裝置，控制前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向、與向各方向行進(jìn)的時(shí)間和行進(jìn)速度，以使前述鋼線以特定的周期作往復(fù)行進(jìn)；并且，在切斷途中暫時(shí)中斷前述工件的切斷之后，再次開始前述工件的切斷時(shí)，前述控制裝置，利用前述鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置，根據(jù)至前述工件的切斷中斷時(shí)之為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，來控制前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，以使前述鋼線的往復(fù)周期在前述工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。
[0021]如果是這種線鋸，即便在由于鋼線的斷線等異常而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷并再次開始的情況下，也能抑制加工后的晶圓的納米形貌的惡化，從而完成切斷，并可以防止在納米形貌檢查中成為不良。
[0022]此時(shí)，優(yōu)選為，還具有溫度調(diào)整介質(zhì)供給裝置，該溫度調(diào)整介質(zhì)供給裝置向前述帶凹槽滾筒和前述工件供給分別獨(dú)立地控制溫度的溫度調(diào)整介質(zhì)，在再次開始前述工件的切斷之前，通過供給前述溫度調(diào)整介質(zhì)，將前述帶凹槽滾筒的軸向的變位量和前述工件的溫度，分別調(diào)整為與前述工件的切斷中斷時(shí)相同。
[0023]如果是這種線鋸，就可以避免由帶凹槽滾筒的收縮或工件的收縮所導(dǎo)致的晶圓表面產(chǎn)生階梯差，并可以更有效地抑制納米形貌的惡化。
[0024](發(fā)明的效果)
[0025]在本發(fā)明中，于由線鋸所實(shí)施的工件的切斷中，一邊檢測前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度并按時(shí)間序列記錄，一邊切斷前述工件，中斷該工件的切斷之后，再次開始前述工件的切斷時(shí)，根據(jù)至前述工件的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，控制前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，再次開始進(jìn)行切斷，以使前述鋼線的往復(fù)周期在前述工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性，因此，即便在由于工件的切斷中發(fā)生的鋼線的斷線等異常而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷并再次開始的情況下，也能抑制加工后的晶圓的納米形貌的惡化，從而完成切斷，并可以防止在納米形貌檢查中成為不良。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1是表示本發(fā)明的線鋸的一例的略圖。
[0027]圖2是表示本發(fā)明的線鋸的另一例的略圖。
[0028]圖3是表示隨著鋼線的行進(jìn)方向而使晶圓的厚度形狀發(fā)生微細(xì)變化的情況的說明圖。(A)是晶圓切斷面的側(cè)視圖。(B)是晶圓位置與被切斷部分的厚度的關(guān)系。
[0029]圖4是表示實(shí)施例1至3、比較例I至3中的鋼線行進(jìn)速度曲線的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]以下，說明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)，但本發(fā)明并不限定于此實(shí)施形態(tài)。
[0031]以往，在由線鋸所實(shí)施的工件的切斷中，在由于鋼線的斷線等異常而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷的情況下，如果再次開始工件的切斷，晶圓切斷面會產(chǎn)生無法修正的階梯差，針對這一問題，已知有以下方法:通過向帶凹槽滾筒與工件供給分別獨(dú)立地控制溫度的溫度調(diào)整介質(zhì)，將帶凹槽滾筒的軸向的變位量與工件的溫度，調(diào)整為與工件的切斷中斷時(shí)相同，之后，再次開始進(jìn)行切斷。
[0032]這樣一來，即便在鋼線修補(bǔ)處理需要較長時(shí)間的情況下，也能避免由于帶凹槽滾筒的收縮或工件的收縮而導(dǎo)致的晶圓切斷面產(chǎn)生階梯差，并可以基本消除帶凹槽滾筒或工件的收縮的影響。但是，即便進(jìn)行這種處理，在切斷后的晶圓的納米形貌測定中，仍然可能為不良。
[0033]因此，本發(fā)明人對其產(chǎn)生原因努力進(jìn)行調(diào)查后，明確了下述內(nèi)容。S卩，在由切斷工件時(shí)將衆(zhòng)液供給至鋼線的游離磨粒(loose abrasive)方式的線鋸所實(shí)施的切斷中，切斷而成的晶圓的厚度形狀為錐體形狀，厚度從鋼線進(jìn)入工件的進(jìn)入側(cè)向脫離側(cè)增加，且此錐體的方向是在使鋼線前進(jìn)來切斷的位置、與使鋼線后退來切斷的位置上形成逆轉(zhuǎn)的有規(guī)則的階梯差形狀。
[0034]圖3(A)、(B)是示意性表示此情況的圖。圖3(A)是工件的切斷面的側(cè)視圖,表示在A部的切斷與B部的切斷之間，鋼線的行進(jìn)方向逆轉(zhuǎn)的情況。圖3(B)是表示此時(shí)的A部的切斷中的從鋼線進(jìn)入側(cè)算起的晶圓位置與被切斷部分的厚度的關(guān)系的圖。如圖3(B)所示，A部與B部的厚度形狀為如上所述的錐體形狀逆轉(zhuǎn)的形狀。
[0035]這種晶圓切斷面的有規(guī)則的階梯差形狀較為微細(xì)，當(dāng)連續(xù)進(jìn)行切斷時(shí)，在納米形貌檢查中并非不良。
[0036]然而，例如，在鋼線向前進(jìn)方向的行進(jìn)正好在終止之處停止的情況下，在后續(xù)的切斷再次開始時(shí)，如果是從向前進(jìn)方向的行進(jìn)起始之處開始，由于中斷及再次開始進(jìn)行切斷的位置，將會以通常兩倍的距離，在鋼線于前進(jìn)方向上行進(jìn)的狀態(tài)下被切斷，因此階梯差形狀的間距比前后的位置更寬，納米形貌惡化，在切斷后的晶圓的納米形貌檢查中成為不良。當(dāng)切斷在鋼線的行進(jìn)周期的途中被中斷時(shí)，也將發(fā)生同樣的問題。
[0037]然后，本發(fā)明人進(jìn)一步反復(fù)研究，想到為了使鋼線的往復(fù)周期(reciprocatingcycle)在工件的切斷中斷前與再次開始后保持連續(xù)性，可以通過控制鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間并再次開始進(jìn)行切斷，來抑制由上述原因所產(chǎn)生的納米形貌的惡化，從而完成切斷，結(jié)果可以防止在納米形貌檢查中成為不良，從而完成本發(fā)明。
[0038]圖1是本發(fā)明的線鋸的一例的略圖。
[0039]如圖1所示，本發(fā)明的線鋸I主要由下述等所構(gòu)成:鋼線2，用于切斷工件W ;帶凹槽滾筒3 ;鋼線張力賦予機(jī)構(gòu)4、4'，用于對鋼線2賦予張力；工件進(jìn)給裝置5，將要切斷成晶圓狀的工件W相對地壓下，以進(jìn)行切入進(jìn)給；漿液供給裝置6，用于在切斷時(shí)將切斷用漿液供給至鋼線2。
[0040]鋼線2從一個(gè)鋼線卷筒7抽出，經(jīng)過轉(zhuǎn)盤(traverser)，再經(jīng)過由磁粉離合器(定轉(zhuǎn)矩馬達(dá))或上下跳動滾筒(靜重(dead weight))等所組成的鋼線張力賦予機(jī)構(gòu)4，進(jìn)入帶凹槽滾筒3。鋼線2通過卷繞在二個(gè)以上帶凹槽滾筒3上約300?400次，而形成鋼線列。鋼線2經(jīng)過另一鋼線張力賦予機(jī)構(gòu)4'而被卷繞在鋼線卷筒7'上。
[0041]此外，帶凹槽滾筒3是在鋼鐵制圓筒的周圍壓入聚氨酯樹脂并于其表面以規(guī)定的間距切出凹槽而成的滾筒，卷繞的鋼線2可以被驅(qū)動用馬達(dá)10驅(qū)動，而在軸向上作往復(fù)行進(jìn)。
[0042]工件W粘接于抵板上，并經(jīng)由抵板和保持此抵板的工件板，而被工件進(jìn)給裝置5保持。
[0043]并且，當(dāng)進(jìn)行工件W的切斷時(shí)，工件W通過工件進(jìn)給裝置5，往位于相對下方的鋼線2進(jìn)給。此工件進(jìn)給裝置5通過將工件W相對地往下方推壓，直到鋼線2到達(dá)抵板，從而使工件W壓抵往復(fù)行進(jìn)的鋼線2來進(jìn)行切入進(jìn)給。此工件進(jìn)給裝置5可以利用電腦控制，將以預(yù)先編程的進(jìn)給速度加以保持的工件W送出。并且，在完成工件W的切斷之后，通過將工件W的送出方向倒轉(zhuǎn)，將完成切斷的工件W從鋼線列中抽出。
[0044]漿液供給裝置6是由漿液罐11、漿液冷機(jī)(slurry chiller) 12、噴嘴13等所構(gòu)成。噴嘴13配置于卷繞在帶凹槽滾筒3上的鋼線2的上方。此噴嘴13經(jīng)由漿液冷機(jī)12連接于漿液罐11，供給的切斷用漿液可以由漿液冷機(jī)12控制供給溫度，并由噴嘴13供給至鋼線20
[0045]此處，切斷中所使用的漿液的種類并不特別限定，可以使用與以往相同的漿液，可以為例如將GC (碳化硅)磨粒分散于液體中而成的漿液。
[0046]此外，如圖1所示，本發(fā)明的線鋸I具備:鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置9，在工件W的切斷中，檢測鋼線2的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度并按時(shí)間序列記錄；及，控制裝置8，控制鋼線2的往復(fù)行進(jìn)的方向、與向各方向行進(jìn)的時(shí)間和行進(jìn)速度，以使鋼線2以特定的周期作往復(fù)行進(jìn)。
[0047]此鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置9與控制裝置8連接，控制裝置8可以讀取鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置9中所記錄的鋼線2的行進(jìn)歷程(按時(shí)間序列記錄的行進(jìn)方向、行進(jìn)速度等)。
[0048]而且，線鋸I在工件W的切斷中，一邊將鋼線2的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度按時(shí)間序列記錄于鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置9中，一邊切斷工件W。然后，在由于鋼線的斷線等異常的產(chǎn)生而導(dǎo)致工件W的切斷在途中被暫時(shí)中斷之后，在再次開始工件W切斷時(shí)，控制裝置
8利用鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置9，根據(jù)至工件W的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，控制鋼線2的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，以使鋼線2的往復(fù)周期在工件W的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。
[0049]此時(shí)，可以將鋼線的往復(fù)周期控制成與即將中斷切斷之前的周期保持連續(xù)性。此處，即將中斷切斷之前的周期是指，在不中斷鋼線的行進(jìn)的狀態(tài)下，完成預(yù)先規(guī)定的鋼線的前進(jìn)和后退的周期；控制成保持連續(xù)性是指，在鋼線的往復(fù)周期中將工件W的切斷中斷，并在后續(xù)再次開始的周期中，使鋼線的向前進(jìn)方向的行進(jìn)時(shí)間及向后退方向的行進(jìn)時(shí)間，與即將中斷切斷之前的周期相同。
[0050]例如，當(dāng)鋼線向前進(jìn)方向的行進(jìn)正好在終止處停止時(shí)，從向后退方向的行進(jìn)起始處開始。
`[0051]并且，例如，使鋼線向前進(jìn)方向的行進(jìn)停止在已行進(jìn)預(yù)先規(guī)定時(shí)間的1/2，此時(shí)，再次開始后向前進(jìn)方向行進(jìn)剩余的1/2的時(shí)間，然后再向后退方向行進(jìn)即可。
[0052]如果是這種線鋸，即便在由于鋼線的斷線等異常而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷并再次開始的情況下，也能抑制加工后的晶圓的納米形貌的惡化，而不會產(chǎn)生工件的切斷面的階梯差形狀在工件的切斷的中斷前與再次開始后不連續(xù)，從而完成切斷，結(jié)果可以防止在納米形貌檢查中為不良。
[0053]此時(shí)，如圖2所示，優(yōu)選為如下構(gòu)成:進(jìn)一步設(shè)置溫度調(diào)整介質(zhì)供給裝置16，向帶凹槽滾筒3與工件W供給分別獨(dú)立地控制溫度的溫度調(diào)整介質(zhì)，利用此溫度調(diào)整介質(zhì)供給裝置16，在再次開始工件的切斷之前，通過供給溫度調(diào)整介質(zhì)，將帶凹槽滾筒3的軸向的變位量與工件W的溫度，分別調(diào)整為與工件的切斷中斷時(shí)相同。
[0054]此圖2所示的線鋸20具備:工件溫度的記錄裝置14，用于測定并記錄切斷中的工件W的溫度，具有例如放射式溫度計(jì)等；及，變位量的記錄裝置15，用于測定并記錄帶凹槽滾筒3的軸向的變位量，具有例如渦電流式變位傳感器等。通過這些記錄裝置14、15，可以記錄工件的切斷中斷時(shí)的帶凹槽滾筒3的軸向的變位量與工件W的溫度。
[0055]如果是這種線鋸，就可以抑制切斷的晶圓的表面產(chǎn)生階梯差、或納米形貌發(fā)生惡化，同時(shí)完成工件的切斷，而不會產(chǎn)生帶凹槽滾筒和工件的熱膨脹狀態(tài)在切斷的中斷前與再次開始后不連續(xù)。[0056]這種工件的切斷的再次開始時(shí)的帶凹槽滾筒的軸向的變位量與工件溫度的調(diào)整的控制，可以如圖2所示地構(gòu)成，通過控制裝置8來進(jìn)行，所述控制裝置8控制上述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向、與向各方向行進(jìn)的時(shí)間和行進(jìn)速度；也可以通過另行設(shè)置的控制裝置來進(jìn)行。
[0057]此處，可以如圖2所示地，利用在工件W切斷時(shí)所使用的漿液，作為供給至帶凹槽滾筒3與工件W的溫度調(diào)整介質(zhì)。這樣一來，由于不需要另行準(zhǔn)備溫度調(diào)整介質(zhì)，因此，可以使裝置構(gòu)造變得簡便，并可以在調(diào)整帶凹槽滾筒的軸向的變位量與工件的溫度后，直接迅速地再次開始工件W的切斷，而無需停止?jié){液的供給。圖2是將溫度調(diào)整介質(zhì)供給裝置
16的向帶凹槽滾筒3供給溫度調(diào)整介質(zhì)的構(gòu)造，作成使用與漿液供給裝置6相同的漿液罐11和漿液冷機(jī)12來進(jìn)行的構(gòu)造的一例。
[0058]或者，也可以使用經(jīng)過溫度控制的氣體，作為工件W的溫度調(diào)整介質(zhì)。
[0059]繼而，對本發(fā)明的線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法進(jìn)行說明。
[0060]此處，對使用圖1所示的本發(fā)明的線鋸的情況進(jìn)行說明
[0061]作為前提，為了進(jìn)行工件W的切斷，首先，將抵板粘接于工件W，并利用工件板保持該抵板。然后，隔著這些抵板、工件板，利用工件進(jìn)給裝置5來保持工件W。
[0062]繼而，對鋼線2賦予張力并使其在軸向上作往復(fù)行進(jìn)，并對鋼線2進(jìn)行漿液供給，在此狀態(tài)下，將被工件進(jìn)給裝置5保持的工件W相對地壓下，將該工件W壓抵作往復(fù)行進(jìn)的鋼線2來進(jìn)行切入進(jìn)給，切斷工件W。
[0063]此外，在工件W的切斷中，檢測鋼線2的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度，并按時(shí)間序列記錄于鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置9中。
[0064]然后，例如在由于鋼線的斷線等異常的發(fā)生而導(dǎo)致工件的切斷被中斷并再次開始該切斷時(shí)，首先，消除切斷的中斷原因，并進(jìn)行復(fù)原作業(yè)。例如在鋼線2的斷線發(fā)生時(shí)，進(jìn)行鋼線2的修補(bǔ)作業(yè)，然后，使工件的各切入處對應(yīng)于鋼線列的各列，并使其卡合來進(jìn)行復(fù)原作業(yè)。
[0065]該復(fù)原作業(yè)完成后，再次開始工件的切斷時(shí)，根據(jù)至工件的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，利用控制裝置8控制鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，再次開始進(jìn)行切斷，以使鋼線的往復(fù)周期在工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。
[0066]此時(shí)，可以將鋼線的往復(fù)周期控制成與即將中斷切斷之前的周期保持連續(xù)性。此處，即將中斷切斷之前的周期是指，在不中斷鋼線的行進(jìn)的狀態(tài)下，完成預(yù)先規(guī)定的鋼線的前進(jìn)和后退的周期；控制成保持連續(xù)性是指，在鋼線的往復(fù)周期中將工件W的切斷中斷，并在后續(xù)再次開始的周期中，使鋼線的向前進(jìn)方向的行進(jìn)時(shí)間及向后退方向的行進(jìn)時(shí)間，與即將中斷切斷之前的周期相同。
[0067]例如，當(dāng)鋼線向前進(jìn)方向的行進(jìn)正好在終止處停止時(shí)，從向后退方向的行進(jìn)起始處開始。
[0068]并且，例如，使鋼線向前進(jìn)方向的行進(jìn)停止在已行進(jìn)預(yù)先規(guī)定時(shí)間的1/2，此時(shí)，再次開始后向前進(jìn)方向行進(jìn)剩余的1/2的時(shí)間，然后再向后退方向行進(jìn)即可。
[0069]如果是這種方法，即便在由于鋼線的斷線等異常而導(dǎo)致工件的切斷在途中被中斷并再次開始的情況下，也能抑制加工后的晶圓的納米形貌的惡化，而不會產(chǎn)生工件的切斷面的階梯差形狀在工件的切斷的中斷前與再次開始后不連續(xù)，從而完成切斷，并可以防止被切斷的晶圓在納米形貌檢查中成為不良。
[0070]另外，在工件的切斷中發(fā)生某些異常而中斷切斷時(shí)，如果在發(fā)生異常的時(shí)間點(diǎn)瞬間使鋼線的行進(jìn)停止，就可能會對鋼線施加過大的力，而使除了發(fā)生異常以外的其他位置處發(fā)生鋼線斷線。為了避免這種由于鋼線停止所導(dǎo)致的鋼線斷線的發(fā)生，在使鋼線停止時(shí)，與使鋼線的行進(jìn)方向逆轉(zhuǎn)時(shí)相同地，以規(guī)定的加速度減速而使鋼線停止。這種情況下也如上所述地，根據(jù)至工件的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，控制鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，以使鋼線的往復(fù)周期在工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性，而可以確實(shí)地避免產(chǎn)生工件的切斷面的階梯差形狀在工件的切斷的中斷前與再次開始后不連續(xù)。
[0071]此時(shí)，優(yōu)選為，在再次開始工件的切斷之前，通過供給溫度調(diào)整介質(zhì)，將前述帶凹槽滾筒的軸向的變位量與前述工件的溫度，分別調(diào)整為與前述工件的切斷中斷時(shí)相同。
[0072]這樣一來，可以抑制切斷的晶圓的表面產(chǎn)生階梯差、或納米形貌發(fā)生惡化，同時(shí)完成工件的切斷，而不會產(chǎn)生帶凹槽滾筒與工件的熱膨脹狀態(tài)在切斷的中斷前與再次開始后不連續(xù)。
[0073][實(shí)施例]
[0074]以下，示出本發(fā)明的實(shí)施例和比較例，更具體地說明本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限定于這些例子。
[0075](實(shí)施例1至3)
[0076]利用如圖1所示的本發(fā)明的線鋸，開始將直徑300_的硅晶棒切斷成晶圓狀，在該切斷的途中，使切斷中斷，并利用本發(fā)明的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，再次開始進(jìn)行切斷。然后，評價(jià)切斷后的晶圓的納米形貌。此處，評價(jià)在切斷中斷位置附近的范圍所測定的10_X10_范圍中的納米形貌的最大值。
[0077] 此外，在工件的切斷中，使鋼線以圖4所示的行進(jìn)速度曲線行進(jìn)。此行進(jìn)速度曲線具有以下行進(jìn)周期:從以O(shè)所表示的時(shí)間點(diǎn)開始使鋼線向前進(jìn)方向行進(jìn)，在以B所表示的時(shí)間點(diǎn)以規(guī)定的加速度減速，在以B'所表示的時(shí)間點(diǎn)開始使鋼線向后退方向行進(jìn)。
[0078]首先，一邊檢測并記錄鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度，一邊將硅晶棒切斷至中央位置(切入深度為150mm)。然后暫時(shí)中斷加工，使硅晶棒上升并從鋼線列中抽出。然后，再次使硅晶棒下降，使硅晶棒返回至中斷切斷的位置，再次開始進(jìn)行切斷。此處，使中斷切斷的時(shí)機(jī)(timing)為圖4所示的行進(jìn)速度曲線的A、B、C的位置，鋼線在V ,B1、C'的各行進(jìn)周期的時(shí)間點(diǎn)停止。
[0079]然后，從JV (實(shí)施例1)、B ^ (實(shí)施例2 )、CT (實(shí)施例3 )的行進(jìn)周期的時(shí)間點(diǎn)，再次開始切斷。即，使鋼線的往復(fù)行進(jìn)周期與由于工件的切斷中斷而使鋼線即將停止之前的往復(fù)行進(jìn)周期相同，也就是使鋼線向新方向行進(jìn)的時(shí)間和向后退方向行進(jìn)的時(shí)間相同地加以控制，再次開始進(jìn)行切斷，以使鋼線的往復(fù)周期在工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。
[0080]結(jié)果示于表1。如表1所示，與后述的比較例I至3相比，實(shí)施例1至3的納米形貌都得以被改善。此外，進(jìn)行納米形貌檢查時(shí)，任一晶圓均未檢測出不良。
[0081]這樣一來，得以確認(rèn)以下事項(xiàng):本發(fā)明的線鋸及線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，即便在工件的切斷的途中被中斷的情況下，也能抑制加工后的晶圓的納米形貌的惡化，從而完成切斷，并可以防止在納米形貌檢查中成為不良。
[0082](比較例I至3)
[0083]利用不具備本發(fā)明的控制裝置的以往的線鋸，使中斷切斷的時(shí)機(jī)為圖4所示的行進(jìn)速度曲線的A (比較例I)、B (比較例2)、C (比較例3)的位置，不考慮切斷中斷位置，使切斷再次開始于為O的時(shí)間點(diǎn)，即，再次開始工件的切斷時(shí)，未控制鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，除此以外，在與實(shí)施例1至3相同的條件下切斷硅晶棒，并評價(jià)切斷后的晶圓的納米形貌。
[0084]結(jié)果示于表1。如表1所示，與實(shí)施例1至3相比，比較例I至3的納米形貌都發(fā)生惡化，在納米形貌檢查中成為不良。
[0085][表 I]
[0086]
【權(quán)利要求】
1.一種線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，針對使卷繞在二個(gè)以上帶凹槽滾筒上的鋼線以特定的周期在軸向上作往復(fù)行進(jìn)，一邊將切斷用漿液供給至前述鋼線，一邊將工件相對地壓下，使其壓抵作往復(fù)行進(jìn)的前述鋼線來進(jìn)行切入進(jìn)給，將前述工件切斷成晶圓狀的線鋸的運(yùn)轉(zhuǎn)，在切斷途中暫時(shí)中斷前述工件的切斷之后，再次開始該切斷，所述線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征在于，具有以下步驟: 一邊檢測前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和行進(jìn)速度并按時(shí)間序列記錄，一邊切斷前述工件；及， 再次開始前述工件的切斷時(shí)，根據(jù)至前述工件的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，控制前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，再次開始進(jìn)行切斷，以使前述鋼線的往復(fù)周期在前述工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。
2.如權(quán)利要求1所述的線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其中，在再次開始前述工件的切斷之前，通過供給溫度調(diào)整介質(zhì)，將前述帶凹槽滾筒的軸向的變位量與前述工件的溫度，調(diào)整為分別與前述工件的切斷中斷時(shí)相同。
3.一種線鋸，具備:鋼線，卷繞在二個(gè)以上帶凹槽滾筒上，并在軸向上作往復(fù)行進(jìn)；漿液供給裝置，將切斷用漿液供給至該鋼線；及，工件進(jìn)給裝置，將要被切斷成晶圓狀的工件相對地壓下，使其壓抵作往復(fù)行進(jìn)的前述鋼線來進(jìn)行切入進(jìn)給；而且，所述線鋸的特征在于: 還具備鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置，在前述工件的切斷中，檢測前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向與行進(jìn)速度并按時(shí)間序列記錄；及，控制裝置，控制前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向、與向各方向行進(jìn)的時(shí)間和行進(jìn)速度，以使前述鋼線以特定的周期作往復(fù)行進(jìn)； 并且，在切斷途中暫時(shí)中斷前述工件的切斷之后，再次開始前述工件的切斷時(shí)，前述控制裝置，利用前述鋼線行進(jìn)歷程記錄裝置，根據(jù)至前述工件的切斷中斷時(shí)為止所記錄的鋼線的行進(jìn)歷程，來控制前述鋼線的往復(fù)行進(jìn)的方向和向該方向行進(jìn)的時(shí)間，以使前述鋼線的往復(fù)周期在前述工件的切斷的中斷前與再次開始后保持連續(xù)性。
4.如權(quán)利要求3所述的線鋸，其中，還具有溫度調(diào)整介質(zhì)供給裝置，該溫度調(diào)整介質(zhì)供給裝置向前述帶凹槽滾筒和前述工件供給分別獨(dú)立地控制溫度的溫度調(diào)整介質(zhì)，在再次開始前述工件的切斷之前，通過供給前述溫度調(diào)整介質(zhì)，將前述帶凹槽滾筒的軸向的變位量和前述工件的溫度，分別調(diào)整為與前述工件的切斷中斷時(shí)相同。
【文檔編號】H01L21/304GK103687697SQ201280018787
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2012年4月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年4月20日
【發(fā)明者】北川幸司 申請人:信越半導(dǎo)體股份有限公司