專利名稱：真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空制程領(lǐng)域，特別是涉及真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備。
背景技術(shù)：
在一些制造行業(yè)中，對(duì)很多工件的加工都需要在真空環(huán)境下進(jìn)行。不可避免地，需將工件從常溫常壓環(huán)境送入真空以及從真空取出至常溫常壓下，其整個(gè)反應(yīng)過(guò)程需要多次抽真空、破真空，不僅流程繁瑣而且消耗能源、磨耗設(shè)備。如太陽(yáng)能電池片制造行業(yè)，干法制絨設(shè)備是用于太陽(yáng)能電池片刻蝕工藝的一種專用設(shè)備，其原理是在真空狀態(tài)下，通過(guò)射頻電源輝光放電，使反應(yīng)氣體電離成等離子體，氣體離子通過(guò)電勢(shì)的作用，轟擊硅片，對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕，與硅片發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)，達(dá)到刻蝕效果。整個(gè)過(guò)程是在真空腔室進(jìn)行的，在進(jìn)行反應(yīng)前，需要將電池片通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)將電池片放置到腔室內(nèi)。通常的傳送方法有兩種，第一種如圖1所示。料盤2放置在工作臺(tái)Al上，首先進(jìn)行裝片，即將電池片4放置在料盤2上；再進(jìn)行送片，即將料盤2送至反應(yīng)腔室3內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)；待反應(yīng)完畢后，再?gòu)脑瓉?lái)的入口處進(jìn)行出片，即料盤2由反應(yīng)腔室3內(nèi)出來(lái)；最后回到工作臺(tái)Al進(jìn)行取片，由此完成一個(gè)太陽(yáng)能片進(jìn)出作業(yè)的整個(gè)流程。整個(gè)工作過(guò)程占用時(shí)間較長(zhǎng)。另外一種傳動(dòng)方式如圖2示。其反應(yīng)腔室3兩側(cè)分別設(shè)置工作臺(tái)Al和工作臺(tái)B5，與第一種方式區(qū)別在于，送片口與出片口不同，其采用流水作業(yè)方式，在反應(yīng)的同時(shí)，可以進(jìn)行裝片及取片，從一定程度上節(jié)約了時(shí)間。但是在反應(yīng)過(guò)程需抽真空，然后通入氣體進(jìn)行輝光放電，反應(yīng)結(jié)束后，為保證人身安全需將腔室內(nèi)具有腐蝕性的工藝氣體排除掉，重新抽真空，為保證腔室內(nèi)外壓力相同，還需重新對(duì)腔室內(nèi)使用惰性氣體破真空。以上整個(gè)反應(yīng)過(guò)程需要多次抽真空、破真空，不僅流程繁瑣而且消耗能源、磨耗設(shè)備；同時(shí)太陽(yáng)能電池片一直在反應(yīng)腔室3內(nèi)，浪費(fèi)了時(shí)間，降低了工作效率。此外，以上兩種傳動(dòng)方式所需人力較多，設(shè)備占用空間大。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供了一種實(shí)現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，包括真空反應(yīng)腔室和至少設(shè)有兩個(gè)可開(kāi)閉密封件的轉(zhuǎn)換腔室，其中真空反應(yīng)腔室與轉(zhuǎn)換腔室之間通過(guò)一個(gè)可開(kāi)閉密封件連接，轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)設(shè)置有可進(jìn)行同步位移的A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)，以及分別與A傳送機(jī)構(gòu)、B傳送機(jī)構(gòu)相連的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。所述A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行同步位移時(shí)有三個(gè)工作位。工件在真空反應(yīng)腔室中進(jìn)行加工之前以及加工完畢后，需要先進(jìn)入轉(zhuǎn)換腔室，轉(zhuǎn)換腔室在大氣與真空之間切換，工件在轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)三個(gè)工作位之間切換，以完成待加工工件從外界送至真空反應(yīng)腔室以及加工完畢工件從真空反應(yīng)腔室送出外界的傳送。所述A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行位移的方向可以為豎直方向，也可以為水平方向，甚至為節(jié)省空間可以為圓周方向，只要保持零位與外界及真空反應(yīng)腔室內(nèi)放置工件的工作臺(tái)同一直線或平面相對(duì)應(yīng)，便可達(dá)到相同的效果。相應(yīng)地，所述實(shí)現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備中，上傳送機(jī)構(gòu)與下傳送機(jī)構(gòu)也可以改變運(yùn)動(dòng)方向及軌跡。無(wú)論如何，其圍繞零位進(jìn)行工作位切換的模式及結(jié)構(gòu)，都屬于與本實(shí)用新型所述技術(shù)方案的相似變形，屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。為達(dá)到更好的效果，本實(shí)用新型所述傳送設(shè)備還可以采用以下措施1、所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)具體為升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，包括電機(jī)、十字轉(zhuǎn)向器、螺旋升降機(jī)，電機(jī)通過(guò)減速器、聯(lián)軸器分別與兩個(gè)十字轉(zhuǎn)向器相連，十字轉(zhuǎn)向器通過(guò)聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)相連，螺旋升降機(jī)與上傳送機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)上設(shè)置的推桿相連。2、所述A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)具體為上傳送機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)，二者結(jié)構(gòu)相同，分別包括電機(jī)、傘形齒輪與傳動(dòng)軸，電機(jī)通過(guò)減速器、聯(lián)軸器與磁流體相連，傘形齒輪設(shè)置在磁流體的轉(zhuǎn)軸上，傘形齒輪通過(guò)聯(lián)軸器與傳動(dòng)軸相連，傳動(dòng)軸由支撐座固定在傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的平臺(tái)上，傳動(dòng)軸上設(shè)置有滾輪。3、所述傳送設(shè)備還包括固定在反應(yīng)腔室外表面上的焊接波紋管，其位于上傳送機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)的推桿外部。作為真空密封結(jié)構(gòu)，焊接波紋管在滿足真空要求的基礎(chǔ)上，具有反復(fù)拉伸與壓縮不損壞的優(yōu)點(diǎn)。4、所述上傳送機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)為一體的。這樣可以最簡(jiǎn)便的保證其二者同步上升與下降。工作時(shí)，升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的電機(jī)經(jīng)過(guò)減速器通過(guò)聯(lián)軸器、十字轉(zhuǎn)向器將動(dòng)力傳遞給螺旋升降機(jī)，通過(guò)螺旋升降機(jī)使轉(zhuǎn)換腔體內(nèi)部上傳送機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)的上升與下降，到達(dá)預(yù)定位置后，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)磁流體轉(zhuǎn)動(dòng)，在傘形齒輪的換向作用下，驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸、滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)從而達(dá)到水平傳送目的。所述的傳送設(shè)備采用了十字轉(zhuǎn)向器、螺旋升降機(jī)，達(dá)到了使用一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)四個(gè)不同點(diǎn)的同時(shí)上下運(yùn)動(dòng)，而且上下位置可精確控制；采用磁流體作為中間環(huán)節(jié)達(dá)到了動(dòng)力傳遞與真空密封要求。所述真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，不但可用于干法制絨設(shè)備進(jìn)出料系統(tǒng)，而且可應(yīng)用到眾多生產(chǎn)線中。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中第一種傳送方法的示意圖。圖2為現(xiàn)有技術(shù)中第二種傳送方法的示意圖。圖3為本實(shí)用新型所述傳送設(shè)備工作示意圖。圖4為本實(shí)用新型所述傳送設(shè)備的升降系統(tǒng)的俯視圖。圖5為帶有上傳送機(jī)構(gòu)或下傳送機(jī)構(gòu)的升降系統(tǒng)的主視圖。圖6為上傳動(dòng)機(jī)構(gòu)或下傳送機(jī)構(gòu)的俯視圖。圖7為上傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)的主視圖。圖中各件號(hào)說(shuō)明1-工作臺(tái)A ；2-料盤；3_反應(yīng) 腔室；4_電池片；5_工作臺(tái)B ;6_上傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；7_下傳送機(jī)構(gòu)；8_轉(zhuǎn)換腔室；9_反應(yīng)腔室閥門；10-轉(zhuǎn)換腔室閥門；11-電機(jī)；12-減速器；13_聯(lián)軸器；14-連接軸；15-十字轉(zhuǎn)向器；16-螺旋升降機(jī)；17_焊接波紋管；18_推桿；19_支撐座；20_傘形齒輪；21-傳動(dòng)軸；22_滾輪；23_磁流體。
具體實(shí)施方式
以太陽(yáng)能電池片制造行業(yè)中干法制絨進(jìn)出片系統(tǒng)為例，結(jié)合圖4至圖7對(duì)本實(shí)用新型所述傳送設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如圖4所示，電機(jī)11與減速器12配套使用，通過(guò)連接軸14及聯(lián)軸器13與十字轉(zhuǎn)向器15連接，然后再通過(guò)聯(lián)軸器13與螺旋升降機(jī)16連接， 達(dá)到一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)四個(gè)不同點(diǎn)同時(shí)上升與下降。如圖5所示，螺旋升降機(jī)16通過(guò)支承座與轉(zhuǎn)換腔室8內(nèi)部上傳送機(jī)構(gòu)6或下傳送機(jī)構(gòu)7的推桿18連接，為達(dá)到密封要求，在推桿18外部，支承座與轉(zhuǎn)換腔室8腔體之間增加了焊接波紋管17。如圖6所示，上傳送機(jī)構(gòu)6或下傳送機(jī)構(gòu)7是電機(jī)11、減速器12與磁流體23通過(guò)聯(lián)軸器13相連接，達(dá)到密封要求，磁流體23特殊定制，傘形齒輪20安裝在磁流體23的轉(zhuǎn)軸上，可以在轉(zhuǎn)軸上上下移動(dòng)。 上傳送機(jī)構(gòu)6或下傳送機(jī)構(gòu)7可為一整體，同時(shí)上升與下降，其二者分別由電機(jī)11驅(qū)動(dòng)，可獨(dú)立完成進(jìn)出料過(guò)程，如圖7所示。工作時(shí)，電機(jī)11經(jīng)過(guò)減速器12通過(guò)聯(lián)軸器13、連接軸14、十字轉(zhuǎn)向器15將動(dòng)力傳遞給螺旋升降機(jī)16，螺旋升降機(jī)16的作用是帶動(dòng)上傳送機(jī)構(gòu)6和下傳送機(jī)構(gòu)7的上升與下降，到達(dá)預(yù)定位置后，電機(jī)11驅(qū)動(dòng)磁流體23轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)傘形齒輪20換向，再通過(guò)聯(lián)軸器、傳動(dòng)軸21、滾輪22達(dá)到傳動(dòng)目的。本實(shí)用新型所述的傳送設(shè)備，其升降系統(tǒng)采用了十字轉(zhuǎn)向器、螺旋升降機(jī)，達(dá)到了使用一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)四個(gè)不同點(diǎn)的同時(shí)上下運(yùn)動(dòng)，而且上下位置可精確控制；為滿足真空度要求，采用了焊接波紋管密封作為真空密封結(jié)構(gòu)，既滿足了反復(fù)拉伸與壓縮不損壞，又滿足了真空要求；上傳送機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)直接采用了磁流體作為中間環(huán)節(jié)達(dá)到了動(dòng)力傳遞與真空密封要求，同時(shí)傘形齒輪可在磁流體轉(zhuǎn)軸上進(jìn)行上下移動(dòng)。本實(shí)用新型所述的傳送設(shè)備，是在傳統(tǒng)設(shè)備的工作臺(tái)I與反應(yīng)腔室3的傳動(dòng)之間增加了一個(gè)轉(zhuǎn)換過(guò)程，該過(guò)程中包括2#、3#和4#工作位，如圖所示，其位置為自下而上依次分布；工作臺(tái)I為1#位，反應(yīng)腔室為5#位。上傳送機(jī)構(gòu)6和下傳送機(jī)構(gòu)7連接為一體，通過(guò)升降系統(tǒng)2#、3#位可切換至3#、4#位。具體工作步驟如下圖3示整個(gè)系統(tǒng)中有1#、2#、3#、4#、5#共5個(gè)工作位置，其中假設(shè)初始位置為料盤2分別在1#、4# (上傳送機(jī)構(gòu))、5#位置，此時(shí)轉(zhuǎn)換腔室8、反應(yīng)腔室3均處在真空狀態(tài)下，當(dāng)5#位置做完工藝后，打開(kāi)反應(yīng)腔室閥門9，將5#位置的料盤移送至下傳送機(jī)構(gòu)7上，通過(guò)升降系統(tǒng)將3#、4#位置切換至2#、3#位置，將上傳送機(jī)構(gòu)6上的料盤2送至5#位置，關(guān)閉反應(yīng)腔室閥門9進(jìn)行再次反應(yīng)，反應(yīng)的同時(shí)在轉(zhuǎn)換腔室8內(nèi)一次進(jìn)行破真空-抽真空-破真空的過(guò)程，打開(kāi)轉(zhuǎn)換腔室閥門10，將1#位置料盤2送至上傳送機(jī)構(gòu)6上、通過(guò)升降系統(tǒng)將2#、3#位置切換至3#、4#位置，將下傳送機(jī)構(gòu)7的料盤2送出至1#工作位置以備下一步的取片與裝片，關(guān)閉擋板閥1，裝片的過(guò)程中，轉(zhuǎn)換腔室重新抽真空達(dá)到與反應(yīng)腔室接近，此時(shí)反應(yīng)腔室3內(nèi)的電池片4已反應(yīng)完畢，打開(kāi)反應(yīng)腔室9，將5#位置料盤2送出，進(jìn)行下一工作循環(huán)。本實(shí)用新型所述干法制絨進(jìn)出片的傳送設(shè)備達(dá)到了裝取片、轉(zhuǎn)換、反應(yīng)的同時(shí)進(jìn) 行，大大的提高了工作效率，并且整個(gè)過(guò)程進(jìn)行自動(dòng)化作業(yè)，所占用的人力減小一倍。
權(quán)利要求1.一種真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，其特征在于它包括真空反應(yīng)腔室和至少設(shè)有兩個(gè)可開(kāi)閉密封件的轉(zhuǎn)換腔室，其中真空反應(yīng)腔室與轉(zhuǎn)換腔室之間通過(guò)一個(gè)可開(kāi)閉密封件連接，轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)設(shè)置有可進(jìn)行同步位移的A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)，以及分別與A傳送機(jī)構(gòu)、B傳送機(jī)構(gòu)相連的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)具體為升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，它包括電機(jī)、十字轉(zhuǎn)向器、螺旋升降機(jī)，電機(jī)通過(guò)減速器、聯(lián)軸器分別與兩個(gè)十字轉(zhuǎn)向器相連，十字轉(zhuǎn)向器通過(guò)聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)相連，螺旋升降機(jī)與上傳送機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)上設(shè)置的推桿相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，其特征在于所述A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)具體為上傳送機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)相同，分別包括電機(jī)、傘形齒輪與傳動(dòng)軸，電機(jī)通過(guò)減速器、聯(lián)軸器與磁流體相連，傘形齒輪設(shè)置在磁流體的轉(zhuǎn)軸上，傘形齒輪通過(guò)聯(lián)軸器與傳動(dòng)軸相連，傳動(dòng)軸由支撐座固定在傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的平臺(tái)上，傳動(dòng)軸上設(shè)置有滾輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，其特征在于所述傳送設(shè)備還包括固定在反應(yīng)腔室外表面上的焊接波紋管，其位于上傳送機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)的推桿外部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述實(shí)現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，其特征在于所述上傳送機(jī)構(gòu)和下傳送機(jī)構(gòu)為一體的。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送設(shè)備，包括真空反應(yīng)腔室和至少設(shè)有兩個(gè)可開(kāi)閉密封件的轉(zhuǎn)換腔室，其中真空反應(yīng)腔室與轉(zhuǎn)換腔室之間通過(guò)一個(gè)可開(kāi)閉密封件連接，轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)設(shè)置有可進(jìn)行同步位移的A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)，以及分別與A傳送機(jī)構(gòu)、B傳送機(jī)構(gòu)相連的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；其優(yōu)點(diǎn)在于不但解決了反應(yīng)時(shí)不能進(jìn)行裝片取片的問(wèn)題，而且可以解決反應(yīng)腔室進(jìn)行反復(fù)多次抽真空占用時(shí)間的問(wèn)題，可以大大提高生產(chǎn)效率、節(jié)省人力。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202839567SQ20122044578
公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月4日
發(fā)明者李丙科 申請(qǐng)人:青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司