專利名稱：一種用來(lái)處理hmds的真空烘箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于干燥設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱。
背景技術(shù)：
HMDS作為一種增粘劑，可有效增加光刻膠與硅片之間的吸附力，在硅片的光刻工藝中逐漸開(kāi)始應(yīng)用，但其本身具有毒性且易揮發(fā)，因此使用HMDS的工序需要在真空的狀態(tài)下進(jìn)行，否則會(huì)對(duì)操作人員造成傷害；國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的廠商在硅片上涂光刻膠很少有使用HMDS作為增粘劑，由于吸附力不夠，這樣涂膠就不均勻，更嚴(yán)重的會(huì)導(dǎo)致光刻膠脫落
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供了一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，整個(gè)操作過(guò)程處于真空狀態(tài)，使HMDS藥液與硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻膠與硅表面的粘附力。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，包括機(jī)箱，固定在機(jī)箱外側(cè)的藥瓶，固定在機(jī)箱上方的電器箱，通過(guò)連接管道與電器箱連接的真空泵箱；所述電器箱上設(shè)有控制表盤(pán)；其特征在于，所述機(jī)箱為一面開(kāi)口，中空的矩形箱體；所述機(jī)箱開(kāi)口的一面通過(guò)鉸鏈連接有一密封箱門(mén)；所述箱門(mén)包括中間層的門(mén)板，包裹在門(mén)板外面的石棉層以及門(mén)外殼。進(jìn)一步地，所述密封箱門(mén)內(nèi)側(cè)靠近鉸鏈的一邊設(shè)有一密封用的加強(qiáng)筋。進(jìn)一步地，所述密封箱門(mén)通過(guò)沉頭螺釘固定有一開(kāi)關(guān)用的把手裝置。進(jìn)一步地，所述密封箱門(mén)四個(gè)角的內(nèi)側(cè)安裝有減振彈簧。本實(shí)用新型提供的一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，整個(gè)操作過(guò)程處于真空狀態(tài)，使HMDS藥液與硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻膠與硅表面的粘附力。箱門(mén)與機(jī)箱有一定的浮動(dòng)性，可以吸收多余部分?jǐn)D壓力，避免了氟橡膠密封圈的破裂而引起的漏氣現(xiàn)象，降低了設(shè)備的故障率，也節(jié)約了設(shè)備維護(hù)的成本。

附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中圖I是本實(shí)用新型一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱的箱門(mén)主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱的箱門(mén)側(cè)視視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。如圖1、2所示，本實(shí)用新型一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，包括機(jī)箱1，固定在機(jī)箱外側(cè)的藥瓶2，固定在機(jī)箱上方的電器箱3，通過(guò)連接管道6與電器箱3連接的真空泵箱5 ;所述電器箱3上設(shè)有控制表盤(pán)7 ;其特征在于，所述機(jī)箱I為一面開(kāi)口，中空的矩形箱體；所述機(jī)箱I開(kāi)口的一面通過(guò)鉸鏈13連接有一密封箱門(mén)4。如圖3、4所示，所述密封箱門(mén)4包括中間層的門(mén)板9，包裹在門(mén)板外面的石棉層14以及門(mén)外殼10 ;所述 密封箱門(mén)4內(nèi)側(cè)靠近鉸鏈13的一邊設(shè)有一密封用的加強(qiáng)筋11 ;所述密封箱門(mén)4通過(guò)沉頭螺釘15固定有一開(kāi)關(guān)用的把手裝置8 ;所述密封箱門(mén)4四個(gè)角的內(nèi)側(cè)安裝有減振彈簧12。通過(guò)抽真空，使藥液沸點(diǎn)降低，汽化后噴撒到圓片表面。沖氮的作用是清潔腔體，排除水汽及空氣中懸浮顆粒物，保證內(nèi)腔純凈無(wú)雜質(zhì)。高溫的作用是加速汽化過(guò)程，同時(shí)將未反應(yīng)完的藥液蒸汽加速揮發(fā)，通過(guò)抽真空帶走。HMDS的作業(yè)流程放入圓片電源啟動(dòng)，熱板傳導(dǎo)加熱，通過(guò)溫控器PID自整定到設(shè)定溫度值，真空泵啟動(dòng)，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，真空管道內(nèi)擋板閥關(guān)閉，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥開(kāi)啟沖高純氮，真空泵啟動(dòng)，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥關(guān)閉，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，HMDS管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟真空管道內(nèi)擋板閥關(guān)閉藥液氣化后噴入腔內(nèi)圓片表面，加藥后藥液擋板閥關(guān)閉腔體內(nèi)保壓，氮?dú)忾y瞬時(shí)打開(kāi)通入藥液容器瓶加壓，真空泵啟動(dòng)，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，真空管道內(nèi)擋板閥關(guān)閉，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥開(kāi)啟沖高純氮，真空泵啟動(dòng)，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥關(guān)閉，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，HMDS管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟藥液氣化后噴入腔內(nèi)圓片表面，加藥后藥液擋板閥關(guān)閉腔體內(nèi)保壓，氮?dú)忾y瞬時(shí)打開(kāi)通入藥液容器瓶加壓，真空泵啟動(dòng)，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，真空管道內(nèi)擋板閥關(guān)閉，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥開(kāi)啟沖高純氮，真空泵啟動(dòng)，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥關(guān)閉，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，HMDS管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟藥液氣化后噴入腔內(nèi)圓片表面，加藥后擋板閥關(guān)閉腔體保壓，氮?dú)忾y瞬時(shí)打開(kāi)通入藥液容器瓶加壓，真空泵啟動(dòng)，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，真空管道內(nèi)擋板閥關(guān)閉，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥開(kāi)啟沖高純氮，真空泵啟動(dòng)，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥關(guān)閉，真空管道內(nèi)擋板閥開(kāi)啟抽真空，真空儀表檢測(cè)腔內(nèi)真空值，真空管道內(nèi)擋板閥關(guān)閉，氮?dú)夤艿纼?nèi)擋板閥開(kāi)啟，沖高純氮數(shù)秒后關(guān)閉腔內(nèi)恢復(fù)正壓，蜂鳴器聲光提示，打開(kāi)箱門(mén)取出圓片，工藝處理結(jié)束。本實(shí)用新型提供的一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，整個(gè)操作過(guò)程處于真空狀態(tài)，使HMDS藥液與硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻膠與硅表面的粘附力。箱門(mén)與機(jī)箱有一定的浮動(dòng)性，可以吸收多余部分?jǐn)D壓力，避免了氟橡膠密封圈的破裂而引起的漏氣現(xiàn)象，降低了設(shè)備的故障率，也節(jié)約了設(shè)備維護(hù)的成本。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，包括機(jī)箱，固定在機(jī)箱外側(cè)的藥瓶，固定在機(jī)箱上方的電器箱，通過(guò)連接管道與電器箱連接的真空泵箱； 所述電器箱上設(shè)有控制表盤(pán)；其特征在于，所述機(jī)箱為一面開(kāi)口，中空的矩形箱體； 所述機(jī)箱開(kāi)口的一面通過(guò)鉸鏈連接有一密封箱門(mén)； 所述箱門(mén)包括中間層的門(mén)板，包裹在門(mén)板外面的石棉層以及門(mén)外殼。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空烘箱，其特征在于所述密封箱門(mén)內(nèi)側(cè)靠近鉸鏈的一邊設(shè)有一密封用的加強(qiáng)筋。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空烘箱，其特征在于所述密封箱門(mén)通過(guò)沉頭螺釘固定有一開(kāi)關(guān)用的把手裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空烘箱，其特征在于所述密封箱門(mén)四個(gè)角的內(nèi)側(cè)安裝有減振彈簧。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，包括機(jī)箱，固定在機(jī)箱外側(cè)的藥瓶，固定在機(jī)箱上方的電器箱，通過(guò)連接管道與電器箱連接的真空泵箱；所述電器箱上設(shè)有控制表盤(pán)；其特征在于，所述機(jī)箱為一面開(kāi)口，中空的矩形箱體；所述機(jī)箱開(kāi)口的一面通過(guò)鉸鏈連接有一密封箱門(mén)；所述箱門(mén)包括中間層的門(mén)板，包裹在門(mén)板外面的石棉層以及門(mén)外殼。本實(shí)用新型提供的一種用來(lái)處理HMDS的真空烘箱，整個(gè)操作過(guò)程處于真空狀態(tài)，使HMDS藥液與硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻膠與硅表面的粘附力。箱門(mén)與機(jī)箱有一定的浮動(dòng)性，可以吸收多余部分?jǐn)D壓力，避免了氟橡膠密封圈的破裂而引起的漏氣現(xiàn)象，降低了設(shè)備的故障率，也節(jié)約了設(shè)備維護(hù)的成本。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202678289SQ20122026310
公開(kāi)日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月5日
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