專利名稱：一種用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池制造的重要設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置。
背景技術(shù)：
太陽能電池作為可再生的環(huán)保能源已經(jīng)成為世界各國普遍關(guān)注和重點發(fā)展得新興產(chǎn)業(yè)，為其能在各個領(lǐng)域內(nèi)更廣泛的使用，降低其生產(chǎn)成本勢在必行。PN結(jié)是晶體硅太陽能電池的核心，對光電轉(zhuǎn)換效率有著決定作用。軟著陸擴散爐是目前國際上實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)高質(zhì)量PN結(jié)的關(guān)鍵工藝設(shè)備。軟著陸擴散爐具有熱場擾動小、熱場分布均勻、石英管維護周期長、SiC槳壽命長、反應(yīng)管污染少、自動化程度高等技術(shù)特點，在太陽能電池領(lǐng)域內(nèi)有著非常廣泛的應(yīng)用。推舟運動控制技術(shù)是軟著陸擴散爐與傳統(tǒng)開管或閉管擴散爐的本質(zhì)區(qū) 另IJ，是提高設(shè)備自動程度、實現(xiàn)設(shè)備自動裝卸舟的關(guān)鍵技術(shù)。軟著陸推舟控制技術(shù)必須實現(xiàn)SiC槳垂直升降和水平運動，實現(xiàn)放、取舟功能，避免SiC槳污染反應(yīng)管、延長SiC槳使用壽命、實現(xiàn)SiC槳免維護等，大大提高設(shè)備的工作效率及利用率，提高產(chǎn)品產(chǎn)量、降低生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，該裝置可以完成連接板垂直和水平2個方向上的二維平面運動，將傳統(tǒng)的水平送舟運動擴展為進槳、下降、退槳(取舟運動擴展為進槳、上升、退槳)三個步驟。將送舟(取舟)運動分解后，可以實現(xiàn)裝載硅片的石英舟與SiC槳脫離，故而可以在工藝過程中將SiC槳退出石英管而將石英舟留在
石英管內(nèi)。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是
一種用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，其結(jié)構(gòu)特點是，包括水平運動部件和垂直運動部件；
所述水平運動部件的結(jié)構(gòu)為，包括底板，裝在底板上的水平導(dǎo)軌，該水平導(dǎo)軌上裝有可相對該水平導(dǎo)軌滑動的連接板；所述底板上裝有帶輪安裝座，該帶輪安裝座內(nèi)裝有與一驅(qū)動裝置相聯(lián)的同步帶輪，安裝在同步帶輪上的同步帶與所述連接板固定連接；
所述垂直運動部件的結(jié)構(gòu)為，包括固定在機架上的支撐座，穿過支撐座并與之固定一體的升降導(dǎo)軌，套裝在升降導(dǎo)軌上并可沿升降導(dǎo)軌豎向滑動的升降滑塊；
所述升降滑塊與所述底板固定相連，所述底板與一升降機的機身固定相連。進一步地，本發(fā)明的所述升降機固定在升降機支架上，所述升降機通過傳動軸經(jīng)升降減速機與一升降驅(qū)動電機相聯(lián)。所述驅(qū)動裝置包括水平驅(qū)動電機，通過聯(lián)軸器與水平驅(qū)動電機相連的水平減速機；所述水平減速機的輸出端與所述同步帶輪相聯(lián)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述升降機為蝸輪蝸桿升降機。
作為水平導(dǎo)軌上裝有可相對該水平導(dǎo)軌滑動的連接板的一種具體的結(jié)構(gòu)形式，所述底板上固定連接有兩根水平導(dǎo)軌，每根水平導(dǎo)軌通過裝在水平導(dǎo)軌上的水平滑塊與所述連接板相連。皆有上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明所述用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置包括支撐塊、升降導(dǎo)向桿、水平導(dǎo)軌、同步帶、同步帶輪、連接板、底板、同步帶輪座、滑塊、減速機、驅(qū)動電機、升降機、傳動桿、聯(lián)軸器等組成。所述發(fā)明將推舟運動分解成為垂直升降和水平前進兩個運動。這兩個運動均以導(dǎo)向桿和滑塊為導(dǎo)向，依靠電機提供驅(qū)動力驅(qū)動。推舟垂直升降運動裝置由底板、支撐塊、升降導(dǎo)向桿、升降滑塊、升降減速機、升降機、升降電機、聯(lián)軸器、傳動軸、升降支架組成。通過升降機將電機的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)變成直線運動，從而完成底板在垂直方向的升降功能。推舟水平運動裝置由水平導(dǎo)軌、水平滑塊、水平減速機、同步帶、同步帶輪、帶輪安 裝座、聯(lián)軸器、聯(lián)軸器組成。通過同步帶輪和同步帶將電機的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)化成連接板的直線運動，從而完成連接板在水平方向的前進和后退運動。兩根水平導(dǎo)軌固定在底板下，通過滑塊將連接板固定在水平導(dǎo)軌上并可以沿水平導(dǎo)軌水平滑動。驅(qū)動電機、同步帶輪、同步帶、蝸輪蝸桿減速機等組成推舟的水平運動機構(gòu)。本發(fā)明采用同步帶、同步帶輪將電機旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)變成連接板的水平運動。水平運動的所有執(zhí)行機構(gòu)安裝在底板上隨著底板一起剛性運動，底板的升降運動由升降機推動完成。各部件之間的一致性也是本發(fā)明的一個重要特征。鑒于軟著陸擴散爐工作的特點，每臺設(shè)備配有四管推舟運動執(zhí)行裝置，所有的推舟運動執(zhí)行裝置均在由升降導(dǎo)向桿組成的平面內(nèi)運動，故而對于設(shè)備的自動上下料裝置有著非常重要的影響，確保各管設(shè)備之間的一致性。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是
本發(fā)明采用推舟底板整體沿升降導(dǎo)向桿垂直滑動，確保不同管之間的推舟能夠在同一個平面內(nèi)，便于提高設(shè)備的自動化程度。本發(fā)明采用蝸輪蝸桿升降機完成升降運動，具有運動平穩(wěn)、提升力大、結(jié)構(gòu)緊湊等特點，實現(xiàn)推舟底板平穩(wěn)升降，無沖擊。本發(fā)明水平運動采用同步帶輪+同步帶的運動方式，具有運動速度快、噪音低、質(zhì)量輕等特點，減小推舟底板負荷，提高設(shè)備的安全性及可靠性。本發(fā)明將推舟運動進行分解后，其功能更加細化，穩(wěn)定性和可靠性得到大大提高，進而降低設(shè)備運行維護成本，為提高太陽能電池生產(chǎn)線自動化程度和生產(chǎn)效率奠定技術(shù)基礎(chǔ)。


圖I為本發(fā)明一種實施例的正視 圖2為圖I的左視 圖3為圖I的后視圖。在圖中
I-升降支撐導(dǎo)軌；2-支撐座；3-水平導(dǎo)軌；4-同步帶；5-連接板；6-帶輪安裝座；7-底板；8-同步帶輪；
9-水平減速機；10-水平驅(qū)動電機；11-聯(lián)軸器；12-升降滑塊；
13-升降機；14-升降驅(qū)動電機；15-升降減速機；
16-傳動軸；17-升降機支架；18-水平滑塊。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖詳細說明本發(fā)明的實施例。需要說明的是附圖序號只表示本實施例的主要零部件，其它沒有一一例出。本發(fā)明推舟運動執(zhí)行機構(gòu)可分為水平運動和垂直運動兩部分。水平運動部分由水平驅(qū)動電機10、聯(lián)軸器11、水平減速機9、帶輪安裝座6、同步帶輪8、同步帶4、底板7、水平導(dǎo)軌3、水平滑塊18、連接板5組成。用螺釘將水平導(dǎo)軌3固定在底板7上，通過水平滑塊18將連接板5與水平導(dǎo)軌3連接起來，并且連接板5可以沿水平導(dǎo)軌3沿其軸向滑動。同步帶4的連接處與連接板5固定在一起。帶輪安裝座6與底板7且螺釘安裝固定，同步帶輪8安裝在帶輪安裝座6內(nèi)。水平驅(qū)動電機10與水平減速機9通過聯(lián)軸器11連接，并通過水平減速機9輸出軸與同步帶輪8相連接，將水平驅(qū)動電機10的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)變成同步帶輪的旋轉(zhuǎn)運動，并帶動同步帶4的形成直線運動,從而實現(xiàn)連接板的水平運動。垂直運動部分由升降支撐導(dǎo)軌I、支撐座2、升降滑塊12、底板7、升降機支架17、升降機13、傳動軸16、升降減速機15、升降驅(qū)動電機14組成。將支撐座2固定在設(shè)備機架上，升降導(dǎo)軌I穿過支撐座2并與之固定成一體。升降滑塊12套裝在升降導(dǎo)軌I上并可沿升降導(dǎo)軌I垂直滑動，同時將升降滑塊12與底板7用螺栓固定連接，形成一個整體，從而實現(xiàn)底板7沿升降導(dǎo)軌I垂直運動。將升降驅(qū)動電機14、升降減速機15、傳動軸16、升降機13、升降機支架17按照輸入輸出原則依次連接起來，升降機13的支撐點落在設(shè)備機架上。通過減速裝置和傳動裝置將動力傳遞到升降機13后，升降機13將水平輸入旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)變成輸出軸的直線運動，由于升降機13機身與底板連接成一體，故升降機13的支撐端固定后，機身帶動底板7完成升降運動。此發(fā)明的水平運動裝置和垂直運動裝置是兩套獨立的控制機構(gòu)，通過底板7形成一個統(tǒng)一體，具有很好的功能互鎖和相對的獨立性，提高設(shè)備的可靠性。以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非用于限定本發(fā)明的保護范圍，而是用于說明本發(fā)明。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。權(quán)利要求
1.一種用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，其特征是，包括水平運動部件和垂直運動部件； 所述水平運動部件的結(jié)構(gòu)為，包括底板，裝在底板上的水平導(dǎo)軌；該水平導(dǎo)軌上裝有可相對該水平導(dǎo)軌滑動的連接板，所述底板上裝有帶輪安裝座，該帶輪安裝座內(nèi)裝有與一驅(qū)動裝置相聯(lián)的同步帶輪，安裝在同步帶輪上的同步帶與所述連接板固定連接； 所述垂直運動部件的結(jié)構(gòu)為，包括固定在機架上的支撐座，穿過支撐座并與之固定一體的升降導(dǎo)軌，套裝在升降導(dǎo)軌上并可沿升降導(dǎo)軌豎向滑動的升降滑塊； 所述升降滑塊與所述底板固定相連，所述底板與一升降機的機身固定相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，其特征是，所述升降機固定在升降機支架上，所述升降機通過傳動軸經(jīng)升降減速機與一升降驅(qū)動電機相聯(lián)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，其特征是，所述驅(qū)動裝置包括水平驅(qū)動電機，通過聯(lián)軸器與水平驅(qū)動電機相連的水平減速機；所述水平減速機的輸出端與所述同步帶輪相聯(lián)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，其特征是，所述升降機為蝸輪蝸桿升降機。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，其特征是，所述底板上固定連接有兩根水平導(dǎo)軌，每根水平導(dǎo)軌通過裝在水平導(dǎo)軌上的水平滑塊與所述連接板相連。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于軟著陸擴散爐的推舟運動執(zhí)行裝置，主要由底板、連接板、升降滑塊、升降導(dǎo)向桿、升降減速機、升降機、升降電機、水平導(dǎo)軌、同步輪、同步帶、水平電機、水平減速機等部件組成。本發(fā)明采用推舟底板整體沿升降導(dǎo)向桿垂直滑動，確保不同管之間的推舟能夠在同一個平面內(nèi)，便于提高設(shè)備的自動化程度。本發(fā)明采用蝸輪蝸桿升降機完成升降運動，具有運動平穩(wěn)、提升力大、結(jié)構(gòu)緊湊等特點，實現(xiàn)推舟底板平穩(wěn)升降，無沖擊。本發(fā)明水平運動采用同步帶輪+同步帶的運動方式，具有運動速度快、噪音低、質(zhì)量輕等特點，減小推舟底板負荷，提高設(shè)備的安全性及可靠性。
文檔編號H01L21/67GK102760674SQ20121023676
公開日2012年10月31日 申請日期2012年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月10日
發(fā)明者劉良玉, 呂文利, 張寶鋒, 蘇衛(wèi)中, 郭立 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所