專利名稱：爐管點火方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種爐管點火方法。
背景技術(shù)：
在濕氧工藝中，特別是形成柵氧化層的過程中，對爐管的點火步驟要求非常高。如果點火失敗，會導致工藝中斷，會對爐管內(nèi)的整批產(chǎn)品造成影響，甚至可能導致大量產(chǎn)品的報廢，對良率、產(chǎn)能和成本造成嚴重影響?，F(xiàn)有技術(shù)中，以ASM400型常壓爐管為例，通常其點火過程中所采用的氫氣(H2)與氧氣(O2)的配比為1 1。但是在實際生產(chǎn)應(yīng)用中經(jīng)過統(tǒng)計，采用該點火工藝混料配比的話，其點火失敗率高達約為2%。較高的點火失敗率往往導致爐管中成批的產(chǎn)品晶圓報廢， 嚴重影響了生產(chǎn)效率，增加了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種爐管點火方法，以降低點火失敗率。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種爐管點火方法，點火過程中通入爐管的點火腔體的氫氣與氧氣的配比范圍為1 2.5至1 2.7?？蛇x地，所述爐管為ASM400型常壓爐管?？蛇x地，點火過程中還在所述點火腔體中通入二氯乙烯?？蛇x地，點火過程中通入所述點火腔體的氣體配比為氫氣沈^ 觀^，氧氣 66% 68，二氯乙烯4% 6%。可選地，點火過程中所述點火腔體內(nèi)的壓強為700至800毫米汞柱。可選地，點火過程中通入所述點火腔體的氫氣的流量0. 8至1. 2SLM，氧氣的流量為2. 5至3SLM，二氯乙烯的流量為0. 0001至0. 001SLM?？蛇x地，點火之前在所述點火腔體中通入氧氣，使所述點火腔體充滿氧氣。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點本發(fā)明實施例的爐管點火方法中，點火過程中通入爐管的點火腔體的氫氣與氧氣的配比范圍為1 2.5至1 2. 7，使用該配比可以有效地提高點火成功率，減少或避免點火失敗所造成的損失。進一步的，本發(fā)明實施例對ASM400型常壓爐管的點火條件進行了優(yōu)化，點火過程中點火腔體的氣體配比為氫氣沈％ ，氧氣66% 68，二氯乙烯4% 6%，從而將 ASM400型常壓爐管的點火成功率降到了約為0。


圖1是本發(fā)明實施例的爐管點火方法中對應(yīng)于各種不同的氣體配比，火焰光電三色、火焰長度和火焰顏色的等值線圖。
具體實施例方式現(xiàn)有技術(shù)中ASM400型常壓爐管的點火混料配比一般是氫氣與氧氣的配比為 1 2，但是在該配比下點火的失敗率相對較高，會在批量的工業(yè)生產(chǎn)中造成較大的損失。本發(fā)明實施例的爐管點火方法中，點火過程中通入爐管的點火腔體的氫氣與氧氣的配比范圍為1 2.5至1 2. 7，使用該配比可以有效地提高點火成功率，減少或避免點火失敗所造成的損失。進一步的，本發(fā)明實施例對ASM400型常壓爐管的點火條件進行了優(yōu)化，點火過程中點火腔體的氣體配比為氫氣沈％ ，氧氣66% 68，二氯乙烯4% 6%，從而將 ASM400型常壓爐管的點火成功率降到了約為0。下面結(jié)合具體實施例和附圖對本發(fā)明作進一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護范圍。穩(wěn)定可靠的爐管點火需要以下幾個條件a)安全性，保證氫氧點火過程中不會有風險；b)可靠性，保證能夠在規(guī)定時間內(nèi)順利達到要求，點火成功；c)適用性，保證能夠可靠地應(yīng)用在生產(chǎn)機臺上。本實施例中，爐管點火過程中，通入爐管的點火腔體的氫氣和氧氣的配比范圍為 1 2.5至1 2. 7，使用該配比可以顯著地提高點火成功率。此外，在點火之前，還可以首先在爐管的點火腔體中通入氧氣，即使用氧氣來凈化(purge)點火腔體，使其充滿氧氣； 之后再按照1 2.5至1 2. 7的氫氣和氧氣的配比，將氫氣和氧氣通入點火腔體進行點火。此外，在點火過程中還可以通入二氯乙烯(DCE)氣體，DCE可以在點火之后起到助燃的作用。本實施例中，所使用的爐管具體為ASM400型常壓爐管，其點火過程中氫氣與氧氣的配比為1 2. 5至1 2.7。更具體地，點火過程中還通入DCE，其配比為氫氣洸％ 觀％，氧氣66 % 68，二氯乙烯4 % 6 %，需要說明的是，此處的配比指的是體積比。點火過程中，點火腔體內(nèi)的壓強為700至800毫米汞柱，氫氣的流量為0. 8至1. 2SLM，氧氣的流量為2. 5至3SLM，二氯乙烯的流量為0. 0001至0. 001SLM(約為0)。采用以上配比，可以降低點火失敗率，從而保證濕氧工藝等半導體工藝的穩(wěn)定進行。為了驗證以上配比的有效性，發(fā)明人進行了相應(yīng)的實驗設(shè)計(DOE)，并使用分析軟件Minitab來對點火工藝的配比進行分析，下面對具體過程進行描述。首先設(shè)定相應(yīng)氣體的實驗設(shè)計范圍，如下表所示
權(quán)利要求
1.一種爐管點火方法，其特征在于，點火過程中通入爐管的點火腔體的氫氣與氧氣的配比范圍為1 2. 5至1 2. 7。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管點火方法，其特征在于，所述爐管為ASM400型常壓爐管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐管點火方法，其特征在于，點火過程中還在所述點火腔體中通入二氯乙烯。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐管點火方法，其特征在于，點火過程中通入所述點火腔體的氣體配比為氫氣洸％ ，氧氣66% 68，二氯乙烯4% 6%。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐管點火方法，其特征在于，點火過程中所述點火腔體內(nèi)的壓強為700至800毫米汞柱。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐管點火方法，其特征在于，點火過程中通入所述點火腔體的氫氣的流量為0. 8至1. 2SLM，氧氣的流量為2. 5至3SLM，二氯乙烯的流量為0. 0001至 0.001SLM。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管點火方法，其特征在于，點火之前在所述點火腔體中通入氧氣，使所述點火腔體充滿氧氣。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種爐管點火方法，點火過程中通入爐管的點火腔體的氫氣與氧氣的配比范圍為1∶2.5至1∶2.7。本發(fā)明有利于降低點火失敗率，提高大規(guī)模生產(chǎn)的穩(wěn)定性和可靠性。
文檔編號H01L21/28GK102287851SQ201110196210
公開日2011年12月21日 申請日期2011年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月13日
發(fā)明者敖海林, 許亮, 閔亞能, 陳秀偉, 高玉岐 申請人:上海先進半導體制造股份有限公司