專利名稱：腔式石墨舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及石墨舟技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種腔式石墨舟。
背景技術(shù)：
石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，現(xiàn)有的太陽能電池片PECVD所用石墨舟均為管式石墨舟，其舟片數(shù)通常為11至19片，且石墨舟的兩個電極均在石墨舟的同一側(cè)，分為上電極和下電極?，F(xiàn)有的管式石墨舟，由于其舟片數(shù)相對較少，兩個電極在同一側(cè)，而且管式石墨舟的容量較小，導(dǎo)致石墨舟加工硅片時反應(yīng)速度慢，加工時間長，生產(chǎn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種載片量大、生產(chǎn)效率高的腔式石墨舟。為了達到上述目的，本發(fā)明提出一種腔式石墨舟，包括舟片、位于所述石墨舟左右兩端的左、右電極，所述舟片包括與所述左電極導(dǎo)電連接的左電極片以及與所述右電極導(dǎo)電連接的右電極片。優(yōu)選地，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過陶瓷桿連接；所述陶瓷桿上套有陶瓷套。優(yōu)選地，所述舟片通過設(shè)置在該舟片一側(cè)的連接片與相應(yīng)電極導(dǎo)電連接。優(yōu)選地，每一舟片一側(cè)的連接片包括上下兩個，各舟片的連接片之間通過石墨隔塊隔離。優(yōu)選地，位于舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設(shè)有用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號柱。優(yōu)選地，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設(shè)有兩個，每一端的兩所述支撐腳分別設(shè)置在所述左電極或右電極的兩側(cè)。優(yōu)選地，所述支撐腳底部設(shè)有與外部運轉(zhuǎn)小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。優(yōu)選地，所述舟片數(shù)量為21-41片。優(yōu)選地，所述舟片上設(shè)有裝載硅片的硅片位，每個舟片上設(shè)有至少6個硅片位。優(yōu)選地，所述硅片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。本發(fā)明提出的一種腔式石墨舟，通過將石墨舟的兩電極設(shè)置在石墨舟的左右兩端，改變現(xiàn)有的石墨舟的電極結(jié)構(gòu)，各舟片相應(yīng)分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時反應(yīng)速度快，鍍膜時間短，而且石墨舟的舟片數(shù)可以增加至21到41片，同時還在石墨舟的石墨隔塊上設(shè)置用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號柱，使得石墨舟更加智能化，其自動化程度更高；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運轉(zhuǎn)小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發(fā)明不僅結(jié)構(gòu)新穎，安全可靠，而且極大的提高了生產(chǎn)效率。


圖1是本發(fā)明腔式石墨舟一實施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明腔式石墨舟一實施例的主視圖。為了使本發(fā)明的技術(shù)方案更加清楚、明了，下面將結(jié)合附圖作進一步詳述。
具體實施例方式本發(fā)明技術(shù)方案總體思路是通過在。以下將結(jié)合附圖及實施例，對實現(xiàn)發(fā)明目的的技術(shù)方案作詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。如圖1及圖2所示，本發(fā)明一實施例提出一種腔式石墨舟，包括舟片10、位于石墨舟左右兩端的左、右電極40、50，舟片10包括與左電極40導(dǎo)電連接的左電極片102以及與右電極40導(dǎo)電連接的右電極片103。其中，左電極片102與右電極片103間隔排列，各左電極片102及右電極片103之間通過陶瓷桿(圖中未示出)連接；陶瓷桿上套有陶瓷套。在本實施例中，每一舟片10的一側(cè)均設(shè)有兩個連接片101，通過該連接片101與相應(yīng)電極導(dǎo)電連接。具體地，對于左電極片102，在其左端上下分別設(shè)有兩個連接片101，各左電極片102的連接片101之間通過石墨隔塊60隔離，各連接片101通過石墨隔塊60與位于下方的左電極40導(dǎo)電連接。同理，對于右電極片103依此原理設(shè)置。石墨舟的左右兩端各設(shè)有兩個支撐腳20，每一端的兩支撐腳20分別設(shè)置在左電極40或右電極50的兩側(cè)，即左電極40的兩側(cè)分別設(shè)置有一個支撐腳20 ；右電極50的兩側(cè)分別設(shè)置有一個支撐腳20。本實施例中，支撐腳20的底部設(shè)有圓弧形凹槽201，其作用是在運輸石墨舟至 PECVD真空鍍膜設(shè)備時，通過支撐腳20底部的圓弧形凹槽201與外部運轉(zhuǎn)小車上固定柱配合，將石墨舟固定在運轉(zhuǎn)小車上，然后通過運轉(zhuǎn)小車將石墨舟送至PECVD真空鍍膜設(shè)備對硅片進行鍍膜加工，從而提高了石墨舟的使用安全性。此外，為了實現(xiàn)石墨舟的智能化工作，提高石墨舟的自動化程度，本實施例在位于舟片10上面的連接片101之間的石墨隔塊上設(shè)有舟號柱70，用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數(shù)。具體地，可以在石墨舟的一側(cè)石墨隔塊上設(shè)置八個舟號柱70，使PECVD真空鍍膜設(shè)備自動測定石墨舟舟號并記錄石墨舟的使用次數(shù)，其中，舟號柱70可以通過螺紋固定在石墨隔塊60上，并可拆卸。PECVD真空鍍膜設(shè)備根據(jù)石墨舟上是否有舟號柱70進行編號， 其編號的原理與計算機二進制一樣，編號包括1和0，石墨舟上有舟號柱時為1，沒有舟號柱時為0，通過舟號柱上標識的編號即可測定石墨舟舟號并記錄石墨舟的使用次數(shù)。本實施例腔式石墨舟的舟片數(shù)量可達21-41片。每個舟片10可以設(shè)置至少6個用于裝載硅片的硅片位30。具體地，比如，對于裝載125mm*125mm尺寸規(guī)格的硅片的石墨舟而言，每個舟片10可以具有7-14個硅片位30 ；對于裝載156mm*156mm尺寸規(guī)格的硅片的石墨舟而言，每個舟片10可以具有6-13個硅片位30。其中，硅片位30可以為凹槽；凹槽可以為鏤空或不鏤空。先比現(xiàn)有的管式石墨舟，本發(fā)明腔式石墨舟，通過將石墨舟的兩電極設(shè)置在石墨舟的左右兩端，改變現(xiàn)有的石墨舟的電極結(jié)構(gòu)，各舟片相應(yīng)分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時反應(yīng)速度快，鍍膜時間短，而且石墨舟的舟片數(shù)可以增加至21到41片，同時還在石墨舟的石墨隔塊上設(shè)置用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號柱，使得石墨舟更加智能化，其自動化程度更高；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運轉(zhuǎn)小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發(fā)明不僅結(jié)構(gòu)新穎， 安全可靠，而且極大的提高了生產(chǎn)效率。 以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種腔式石墨舟，包括舟片，其特征在于，還包括位于所述石墨舟左右兩端的左、 右電極，所述舟片包括與所述左電極導(dǎo)電連接的左電極片以及與所述右電極導(dǎo)電連接的右電極片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過陶瓷桿連接；所述陶瓷桿上套有陶瓷套。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片通過設(shè)置在該舟片一側(cè)的連接片與相應(yīng)電極導(dǎo)電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的腔式石墨舟，其特征在于，每一舟片一側(cè)的連接片包括上下兩個，各舟片的連接片之間通過石墨隔塊隔離。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的腔式石墨舟，其特征在于，位于舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設(shè)有用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號柱。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項所述的腔式石墨舟，其特征在于，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設(shè)有兩個，每一端的兩所述支撐腳分別設(shè)置在所述左電極或右電極的兩側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述支撐腳底部設(shè)有與外部運轉(zhuǎn)小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片數(shù)量為21-41片。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片上設(shè)有裝載硅片的硅片位，每個舟片上設(shè)有至少6個硅片位。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述硅片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種腔式石墨舟，包括舟片、位于石墨舟左右兩端的左、右電極，舟片包括與左電極導(dǎo)電連接的左電極片以及與右電極導(dǎo)電連接的右電極片。本發(fā)明通過將石墨舟的兩電極設(shè)置在石墨舟的左右兩端，改變現(xiàn)有的石墨舟的電極結(jié)構(gòu)，各舟片相應(yīng)分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時反應(yīng)速度快，鍍膜時間短，而且石墨舟的舟片數(shù)可以增加至21到41片，同時還在石墨舟的石墨隔塊上設(shè)置用于測定石墨舟舟號并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號柱，使得石墨舟更加智能化；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運轉(zhuǎn)小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發(fā)明不僅結(jié)構(gòu)新穎，安全可靠，而且極大的提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號H01L31/18GK102181846SQ20111008240
公開日2011年9月14日 申請日期2011年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月1日
發(fā)明者張志勇 申請人:石金精密科技(深圳)有限公司