技術(shù)編號(hào)：6998243
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及石墨舟，尤其涉及一種腔式石墨舟。 背景技術(shù)石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，現(xiàn)有的太陽能電池片PECVD所用石墨舟均為管式石墨舟，其舟片數(shù)通常為11至19片，且石墨舟的兩個(gè)電極均在石墨舟的同一側(cè)，分為上電極和下電極?，F(xiàn)有的管式石墨舟，由于其舟片數(shù)相對(duì)較少，兩個(gè)電極在同一側(cè)，而且管式石墨舟的容量較小，導(dǎo)致石墨舟加工硅片時(shí)反應(yīng)速度慢，加工時(shí)間長，生產(chǎn)效率低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的在于提供一種載片量大、生產(chǎn)效率高的腔式石墨舟。為了達(dá)到上述目的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。