專利名稱：卡匣的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及收納基板的卡匣，特別是涉及收納在液晶面板的制造方法中使用的玻璃基板的卡匣。
此外，本申請要求基于2009年5月20日提出申請的日本專利申請2009-121559 號的優(yōu)先權，該申請的全部內容被引入到本說明書中作為參照。
背景技術：
作為液晶顯示裝置的構成部件的液晶面板具有使一對玻璃基板在確保規(guī)定空隙的狀態(tài)下相對的結構。伴隨著液晶面板的大型化、量產(chǎn)化，液晶面板用的玻璃基板逐年大型化。在搬運這樣的第二代大型液晶玻璃基板的基板搬運系統(tǒng)中，使用收納多層液晶玻璃基板的收納卡匣(例如，專利文獻1 3等)。
收納玻璃基板的收納卡匣使用于如下情況在凈化間內的制造工序中從液晶面板制造裝置的載置部向別的制造裝置的載置部搬運或者保管玻璃基板。另外，收納卡匣也使用于如下情況在液晶面板制造裝置的載置部與卡匣保管庫的保管部之間搬運/保管玻璃基板。
凈化間內的氣氛中，確保了充分的空氣清潔度，但有時在搬運/保管收納卡匣時從作業(yè)者、地板面等飛散的灰塵等異物附著于基板表面，或者處理基板時的有機氣體等的霧在凈化間內漂浮而附著于基板表面。并且，在異物、霧附著的狀態(tài)下對基板進行工藝處理時，液晶面板的質量有可能降低。
因此，設成將包括上板和4個側板的收納蓋覆蓋于收納卡匣的狀態(tài)進行搬運/保管以使得異物等不附著。在此，收納卡匣和收納蓋是獨立的，因此需要收納蓋的覆蓋作業(yè)， 但每當取放基板時執(zhí)行覆蓋作業(yè)較麻煩，并且其自動化較困難。
在專利文獻1中公開了如下結構在具有能取放基板的開口部的箱形的收納卡匣中，設有為了開放和密閉其開口部而開閉自如地被支撐的門、以及開閉該門的開閉機構， 根據(jù)專利文獻2中公開的收納卡匣，在搬運/保管時，能減輕異物、霧在所收納的基板表面的附著，另外，能使門的開閉自動化。
現(xiàn)有技術文獻
專利文獻
專利文獻1 特開平9-115997號公報
專利文獻2 特開2005-142480號公報
專利文獻3 特開2005-145628號公報發(fā)明內容
發(fā)明要解決的問題
本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)在專利文獻1所公開的收納卡匣中，確實能減輕異物等附著于基板表面，但具有如下問題。該收納卡匣設有開閉門的開閉機構，在利用開閉機構開閉門的情況下，以開閉機構為中心使門較大地轉動，因此需要在收納卡匣的周圍確保較大的空閑空間。即，在該收納卡匣的情況下，開閉時的占有面積較大，在凈化間內的液晶面板的制造工序中普遍使用時有障礙。尤其是，液晶面板用的玻璃基板逐年大型化，當在收納這樣的玻璃基板的收納卡匣中采用門的開閉結構時，在收納卡匣的周圍需要非常多的占有面積，實用性更加降低。
本發(fā)明是鑒于這樣的方面完成的，其主要目的在于提供能減輕異物、霧附著于所收納的基板表面并且具有占有面積較小的開閉結構的收納卡匣。
用于解決問題的方案
本發(fā)明的卡匣是收納基板的卡匣，具備卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構，其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板，在上述卡匣主體部中的位于上述卡匣開口部的周緣的部位和上述閘門結構的相互相對的面上分別沿著上述封閉板的開閉方向形成有突起，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起相互分開。
在某優(yōu)選的實施方式中，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起分別是沿著上述封閉板的開閉方向細長地延伸的肋狀的突起。
在某優(yōu)選的實施方式中，上述封閉板的開閉方向是上述卡匣主體部的高度方向。
在某優(yōu)選的實施方式中，除了沿著上述卡匣主體部的高度方向形成的突起外，還在上述閘門結構上形成有沿著水平方向延伸的突起。
在某優(yōu)選的實施方式中，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起中的任一方突起是多個突起，另一方突起相對于上述一方突起位于上述多個突起之間。
在某優(yōu)選的實施方式中，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起分別具有與上述開閉板的開閉方向垂直的截面是L字狀的形狀。
在某優(yōu)選的實施方式中，在上述卡匣主體部設有卡止上述閘門結構的卡止部，在上述閘門結構上形成有引導部，上述引導部收納設于上述卡匣主體部的上述卡止部。
本發(fā)明的其它卡匣是收納基板的卡匣，具備卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構，其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板，在上述卡匣主體部設有卡止上述閘門結構的卡止部，在上述閘門結構上形成有引導部，上述引導部收納設于上述卡匣主體部的上述卡止部，上述卡止部是滾柱軸承，在上述引導部形成有能配置上述滾柱軸承的槽，上述槽相對于上述卡匣主體部的高度方向傾斜地延伸。
在某優(yōu)選的實施方式中，上述滾柱軸承設于上述卡匣主體部的最上部。
在某優(yōu)選的實施方式中，上述滾柱軸承除設于上述最上部外，還設于比上述最上部靠下的位置。
在某優(yōu)選的實施方式中，上述滾柱軸承在上述卡匣主體部的高度方向的中央部至少設有一個。
在某優(yōu)選的實施方式中，上述引導部和上述滾柱軸承的組合沿著上述卡匣主體部的高度方向設有多個，在上述高度方向位于上方的上述引導部的水平方向的長度比位于比其靠下方的上述弓I導部的水平方向的長度長。5
本發(fā)明的另一其它卡匣是收納基板的卡匣，具備卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構， 其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板，在上述間門結構上設有卡止部，上述卡止部將該閘門結構卡止于上述卡匣主體部，在上述卡匣主體部形成有引導部，上述引導部收納設于上述閘門結構上的上述卡止部，上述卡止部是滾柱軸承，在上述引導部形成有能配置上述滾柱軸承的槽，上述槽相對于上述卡匣主體部的高度方向傾斜地延伸。
本發(fā)明的另一其它卡匣是收納基板的卡匣，具備卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構， 其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板，在上述卡匣主體部設有具有楔形形狀的部位，在上述閘門結構上與上述具有楔形形狀的部位對應地設有具有楔形形狀的部位。
在某優(yōu)選的實施方式中，在上述卡匣主體部的內部排列著多根線，上述基板是玻璃基板，上述玻璃基板由上述線支撐。
在某優(yōu)選的實施方式中，上述卡匣主體部具有箱形形狀，上述卡匣開口部形成于上述箱形形狀的前面和后面中的至少一面上，在上述箱形形狀的底面形成有供搬運上述基板的搬運裝置插入的開口部。
發(fā)明效果
在本發(fā)明的卡匣中，在內部配置基板的卡匣主體部的一部分形成有卡匣開口部， 并具備閘門結構，上述閘門結構包含封堵該卡匣開口部的封閉板。并且，在卡匣主體部中的位于卡匣開口部的周緣的部位和閘門結構的相互相對的面上沿著卡匣主體部的高度方向形成有突起，這些突起相互分開，所以能提供如下收納卡匣其能減輕異物、霧在所收納的基板表面的附著，并且具有占有面積較小的開閉結構。


圖1是本發(fā)明的實施方式的卡匣100的立體圖。
圖2(a)和(b)是卡匣100的側面圖。
圖3是本發(fā)明的實施方式的卡匣100的側面圖。
圖4是本發(fā)明的實施方式的卡匣100的側面圖。
圖5(a)是閘門結構30和卡匣主體部10的局部放大圖，(b)是沿(a)中的線VB-VB 的截面圖。
圖6是沿圖2(b)中的線VI-VI的截面圖。
圖7是本發(fā)明的實施方式的卡匣100的立體圖。
圖8(a)是突起13A的周邊的局部放大截面圖，(b)是突起13E · 13F的周邊的局部放大截面圖。
圖9是本發(fā)明的實施方式的卡匣100的立體圖。
圖10是比較例的卡匣1000的立體圖。
圖11 (a)和(b)分別是比較例的卡匣1100的立體圖和側面圖。
圖12(a)和(b)分別是比較例的卡匣1200的立體圖和側面圖。
圖13是比較例的卡匣1300的立體圖。
圖14是本發(fā)明的實施方式的卡匣100的側面圖。
圖15是沿圖14中的線X-X的截面圖。
圖16是本發(fā)明的實施方式的卡匣100的側面圖。
圖17是示出線卡匣方式的卡匣100的構成的截面圖。
具體實施方式
下面一邊參照附圖一邊說明本發(fā)明的實施方式。在下面的附圖中，為了說明的簡潔化，用相同的附圖標記表示實質上具有相同功能的構成要素。此外，本發(fā)明不限于下面的實施方式。
首先，一邊參照圖1至圖4 一邊對本發(fā)明的實施方式的卡匣100進行說明。
圖1是示意性示出本實施方式的卡匣100的整體構成的立體圖。本實施方式的卡匣100能收納基板40?；?0是例如液晶面板用的玻璃基板。該玻璃基板40既可以是切制成液晶面板的尺寸前的母玻璃，也可以是切制后的液晶面板的尺寸的玻璃。而且，玻璃基板40既可以是其上制作薄膜晶體管(TFT)的陣列基板(或者其制作中途的陣列基板)，也可以是其上形成彩色濾光片(CF)的CF基板(或者其制作中途的CF基板)。另外，基板40 除了可以是玻璃基板外，也可以是晶片這樣的其它薄板。
而且，不限于液晶面板用的基板40，也可以是在制作PDP、有機EL面板、其它的平板顯示器時采用的薄型基板(不限于玻璃，能以片狀保管于線卡匣中即可)。
本實施方式的線卡匣100包括卡匣主體部10 ；卡匣開口部20，其形成于卡匣主體部10的一部分；以及閘門結構30，其包含封堵卡匣開口部20的封閉板32。能在卡匣主體部10的內部配置基板40。另外，能從卡匣開口部20取放基板40。
在卡匣主體部10和閘門結構30各自的相互相對的面上形成有突起(14、34)。具體地。在卡匣主體部10中位于卡匣開口部20的周緣的部位12形成有突起14，另一方面， 在閘門結構30中與周緣部位12相對的面上形成有突起34。本實施方式的突起(14、34)沿著封閉板32的開閉方向延伸。另外，在本實施方式的構成中，閘門結構30的開閉方向是卡匣主體部10的高度方向50，即重力方向(鉛垂方向)。
在該例子中，突起14設于卡匣主體部10中的周緣部位12的左右位置。另一方面， 突起34設于閘門結構30的封閉板32的左右邊緣部。另外，本實施方式的突起(14、34)是沿高度方向50細長地延伸的肋狀的突起。
在將閘門結構30設置于卡匣主體部10的情況下(參照箭頭55)，能成為利用閘門結構30的封閉板32封堵卡匣開口部20的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，在本實施方式的構成中， 位于卡匣主體部10側的突起14和位于閘門結構30側的突起34相互分開。設成當封閉板 32封堵卡匣開口部20時突起14和突起34相互分開的狀態(tài)的構成，由此能消除突起14和突起34的相互滑動，或者能減少滑動。
本實施方式的卡匣主體部10具有箱形形狀。例如，能利用框架結構制作卡匣主體部10的邊的部分，利用板結構制作卡匣主體部10的面的部分。在該情況下，框架結構的部分能包含金屬(例如，鋁、鐵、不銹鋼等)，板結構的部分能包含樹脂板、金屬板(例如，鋁板)等。
在圖1所示的構成例中，卡匣主體部10的骨架具有框架結構，并且，卡匣主體部10 的側面(左面/右面)IlA和上面IlB由板結構(例如，金屬板)覆蓋。在該例子中，卡匣開口部12形成于卡匣主體部10的前面，但也可以形成于前面并且形成于后面。在卡匣主體部10的前面和后面兩者形成卡匣開口部12的情況下，能從前后兩者取放基板40。
此外，卡匣主體部10的底面具有由板結構覆蓋的形態(tài)和不覆蓋的形態(tài)。在由板結構覆蓋卡匣主體部10的底面的情況下，在卡匣開口部20導入例如機器人臂，利用該機器人臂執(zhí)行基板40的取放。另一方面，在不用板結構覆蓋卡匣主體部10的底面而在此處形成開口部的情況下，在該底面的開口部導入升降裝置所具備的輥式輸送機，能利用該輥式輸送機從卡匣開口部20取放基板40。
另外，在卡匣主體部10設有卡止閘門結構30的卡止部16。另一方面，在閘門結構30上形成有引導部36，該引導部36收納設于卡匣主體部10的卡止部16。本實施方式的卡止部16是滾柱軸承。另外，在引導部36形成有槽，在該槽中收納有滾柱軸承16，因此， 閘門結構30固定于卡匣主體部10。此外，在卡匣主體部10設置引導部36，另一方面，也能在閘門結構30上設置卡止部16。
在卡匣主體部10的下部設有支撐閘門結構30的下面的支撐構件15。具體地，在卡匣主體部10中位于卡匣開口部20的周緣的部位(下部位置)形成有支撐構件15。在該例子中，支撐構件15是在水平方向(相對于高度方向50呈直角的方向)延伸的細長地延伸的突起，支撐閘門結構30的封閉板32的下面。此外，只要能支撐閘門結構30的下部即可，支撐構件15可以是其它形式，例如可以是較短長度的突起(矩形的突起、圓形的突起寸乂 O
圖2(a)和(b)示意性地示出本實施方式的卡匣100的側面構成。此外，在圖2所示的構成中，與圖1所示的比較，不同點主要在于卡止部16和引導部36的組合(16A和 36A，16B和36B)沿著高度方向50設有多個。但是，在圖2所示的構成中，也能如圖1那樣將卡止部16和引導部36的組合(例如，16A和36A)沿高度方向50設置1個。
在圖2(a)所示的構成中，卡止部16(16A、16B)是滾柱軸承。并且，在引導部 36(36A、36B)形成有槽37，能在該槽37內配置滾柱軸承16。另外，該槽37相對于卡匣主體部10的高度方向50傾斜地延伸。
閘門結構30連接于例如其它的上下移動機構(機器人臂、升降機等)，能在與高度方向50平行(或者實質上平行)的上下方向52移動。當從圖2(a)所示的狀態(tài)起使閘門結構30向下方(參照箭頭52)移動時，在引導部36的槽37內收納滾柱軸承16。
于是，如圖2 (b)所示，滾柱軸承16僅僅在槽37內稍微旋轉，閘門結構30的封閉板32就按箭頭55進行移動，封堵卡匣開口部20。與此同時，閘門結構30固定于卡匣主體部10，所以能從連接于閘門結構30的上下移動機構斷開。因此，能移動由閘門結構30和卡匣主體部10 —體化的卡匣100。在該例子中，閘門結構30由卡匣主體部10的滾柱軸承 16(16A、16B)和支撐構件15進行固定。
此外，在本實施方式的構成中，使上方的引導部36A的長度比下方的引導部36B的長度更長，以使得當使閘門結構30持續(xù)上升時閘門結構30容易從卡匣主體部10脫離。另外，滾柱軸承16和引導部36的組合不限于圖2所示的構成的2個，可以是3個或者4個以上。在該情況下也優(yōu)選上方的引導部的長度比下方的引導部的長度更長。
此外，在滾柱軸承16和引導部36的組合是1個的情況下，如圖3所示，滾柱軸承 16能設于卡匣主體部10的最上部(例如圖2(b)的尺寸L的區(qū)域)。在圖3所示的滾柱軸承16位于最上部的狀態(tài)下，閘門結構30由支撐構件15在重力(鉛垂)方向支撐，但在水平方向不固定。于是，閘門結構30容易以引導部36為支點振動。因此，如圖4所示，也能將滾柱軸承16和引導部36的組合設于卡匣主體部10的中央部。這樣，與圖3所示的結構比較能減小閘門結構30的振幅。但是，在圖4所示的結構中，要求確保閘門結構30中位于比引導部16靠上的部位的強度。
當然，如圖2所示的構成那樣，當將滾柱軸承16和引導部36的組合設為多個時， 能使閘門結構30和卡匣主體部10的固定更加穩(wěn)定，所以優(yōu)選。但是，在多個構成的情況下， 構成卡匣100的部件個數(shù)增加。因此，如果卡匣100的開閉動作和密閉性良好，則即使?jié)L柱軸承16和引導部36的組合是1個，也具有成本方面(制造成本、部件/材料成本)等的優(yōu)點ο
圖5(a)是從圖2(a)向圖2 (b)轉移時的支撐構件15的周邊的放大圖。突起34 從閘門結構30的封閉板32向卡匣主體部10的方向延伸而形成。另一方面，突起14從卡匣主體部10的周緣部位12向閘門結構30的封閉板32的方向延伸而形成。如上所述，閘門結構30能沿上下方向52移動，當閘門結構30向下方移動而向支撐構件15的方向靠近時，封閉板32封堵卡匣開口部20。
圖5(b)是沿圖5(a)(或者圖2(b))中的線VB-VB的截面示意圖。在該例子中，突起34設有2個(34A、34B)，突起14設有1個，突起14配置于突起34A與突起34B之間。并且，突起14和突起34(34A、34B)相互分開，所以成為即使閘門結構30沿上下方向52移動， 突起14和突起34相互也不滑動(或者實質上不滑動)的構成。
如圖5(a)和(b)所示，突起14和突起34的組合以當從該突起的側面方向(水平方向)觀看時各突起的一部分重疊的方式配置。通過這樣配置，即使卡匣100的周圍的外界氣體想要按箭頭51(參照圖5(b))所示進入卡匣100的內部，也很難進入。S卩，突起14 與突起34之間的間隙的路徑彎曲，這成為阻礙，因此外界氣體難以侵入卡匣100的內部。由此，即使突起14和突起34相互分開，也能相對于卡匣100周圍的外界氣體提高卡匣100內部的密閉性。
突起14和突起34的組合不限于圖5(b)所示的例子，可以是其它構成例。例如， 可以將突起14設為2個，將突起34設為1個，使這些突起嚙合。或者，可以將突起14設為多個，將突起；34設為多個，使這些突起嚙合。突起(14、34)的個數(shù)越多，突起14與突起34 之間的間隙的路徑越彎曲而阻礙增加，外界氣體難以侵入卡匣100的內部(即，相對于外界氣體的密閉性提高)。
此外，即使突起14和突起34分別是1個，但如果以從該突起的側面方向(水平方向)觀看時各突起的一部分重疊的方式配置，則能相對于卡匣100周圍的外界氣體提高卡匣100內部的密閉性，所以也能采用這樣的構成例。在此，氣體(空氣)的通道即使是1個但如果具有彎曲的地方，則其成為氣體行進的較大阻礙，所以在該意義上，即使突起14和突起34分別是1個，也能確保相對于外界氣體(空氣灰塵)的密閉性。
本實施方式的突起14、突起34包含例如樹脂。另外，突起14、突起34可以包含其它材料(例如，金屬)。當假設液晶面板用的玻璃基板40的尺寸是:3mX;3m程度的情況時， 圖5 (b)所示的構成中的突起14與突起34的間隔G是例如10 20mm。此外，突起14和突起34的材料、尺寸、配置等能適當采用合適的。
圖6是沿圖2(b)中的線VI-VI的截面示意圖。在該例子中，引導部36從閘門結構30的封閉板32延伸，在形成于引導部36上的槽37中收納有卡止部(滾柱軸承)16。滾柱軸承16通過支撐部17與卡匣主體部10連結。此外，在該例子中，作為卡止部16，采用滾柱軸承，但也可以采用其它結構。
根據(jù)本實施方式的卡匣100，在卡匣主體部10的一部分形成有卡匣開口部20，具備閘門結構30，該閘門結構30包含封堵該卡匣開口部20的封閉板32。并且，在卡匣主體部10中位于卡匣開口部20的周緣的部位12與閘門結構30的相互相對的面上沿著卡匣主體部10的高度方向50形成有突起(14、34)，這些突起(14、34)相互分開。
因此，即便使閘門結構30的封閉板32沿開閉方向(或者高度方向50)移動而使卡匣主體部10的卡匣開口部20開閉，突起(14、34)彼此也不會滑動，而能使封閉板32進行開閉動作。其結果是能抑制伴隨封閉板32的開閉動作而產(chǎn)生灰塵，所以能減輕灰塵附著于在卡匣主體部10內部收納的基板40的表面。
而且，閘門結構30不是以開閉機構為中心使門較大地轉動的方式，而是上下移動的方式。因此，雖然在為門方式時在收納卡匣的周圍需要非常多的占有面積，但在本實施方式的構成中沒有此必要，能實現(xiàn)具有占有面積較小的開閉結構的收納卡匣100。
尤其是，因為在引導部36中具備傾斜延伸的槽37內收納卡止部16(滾柱軸承) 的結構，所以僅僅使閘門結構30的封閉板32向下方(參照圖2(a)中的箭頭52)移動，就能使封閉板32在封堵卡匣開口部20的方向滑動(參照圖2(b)中的箭頭55)。因此，即使不采用復雜的控制機構，也能利用簡便的機構(機械結構)進行卡匣開口部20的封閉。另外，滾柱軸承16僅僅在收納于槽37中時稍微旋轉，就能完成封閉板32對卡匣開口部20的封閉，所以能將由滾柱軸承16產(chǎn)生的灰塵量抑制得非常少。因此，在卡止部(滾柱軸承)16 的結構方面，也能減輕伴隨封閉板32的開閉動作而產(chǎn)生灰塵。
而且，如果將配置滾柱軸承16的卡匣主體部10的上部區(qū)域的尺寸L (圖2(b)中的尺寸L)設計得較小，(例如，設成當搬運卡匣時閘門結構30不會因振動等而脫落的尺寸、 且能確保滾柱軸承16具有充分強度的直徑的尺寸，為數(shù)十mm程度)，則能使進行閘門開閉動作時滾柱軸承16旋轉的角度非常小。如果這樣，能進一步使原來滑動強的(由于摩擦引起的灰塵產(chǎn)生較少)滾柱軸承16的動作為最小，其結果是能使由于滑動引起的灰塵產(chǎn)生極其減少。
此外，在本實施方式中，如圖1所示，示出在高度方向50延伸的突起14和突起34 的組合的構成，但除此之外，如圖7所示，也能在閘門結構30的上部形成在水平方向延伸的突起13A。在圖7所示的例子中，在閘門結構30的封閉板32的上部設置在水平方向延伸的突起13A。另外，與突起13A對應地，在卡匣主體部10的上部也形成在水平方向延伸的突起13B。而且，如圖7所示，可以在水平方向延伸的突起13不形成于卡匣主體部10側，僅形成于閘門結構30側。
而且，如圖8(a)所示，可以改變在水平方向延伸的突起13的形狀。圖8 (a)示出在閘門結構30的封閉板32的上部設置的突起13A的周邊的局部放大截面圖。
在圖8 (a)所示的構成中，在水平方向細長地延伸的突起13A連接著同樣在水平方向延伸的突起13C。另外，在卡匣主體部10的上面IlB設有在水平方向延伸的突起13D。突起13D向上方延伸，突起13C以包圍該突起13D的方式形成。這樣，通過組合突起13A、13C、13D，能抑制空氣從卡匣主體部10的上部侵入。
另外，如圖8 (b)所示，可以在閘門結構30的封閉板32的下部安裝突起13E*13F。 圖8(b)示出在閘門結構30的封閉板32的下部設置的突起13E、13F的周邊的局部放大截面圖。突起13E和突起13F在水平方向延伸。突起13F設于卡匣主體部10的一部分(在此是底板)，向上方延伸。突起13E以包圍該突起13F的方式形成。突起13E安裝于閘門結構30上。這樣，通過組合突起13E、13F，能抑制空氣從卡匣主體部10的下部侵入。
對于圖8(a)和(b)所示的構成，可以采用兩者(即，上部和下部)，并且可以是任一方(即，上部或者下部)。此外，圖8(a)和(b)所示的構成當然能適當變更為合適的構成。例如，在圖8(a)所示的構成中，突起13A和突起13C可以由一體的構件制作，也可以由多個構件制作突起13C。而且，也能與引導部36連續(xù)地形成在水平方向延伸的突起13。在圖9中示出使突起13與引導部36 —體化的構成例。
另外，在本實施方式中，對閘門結構30的封閉板32的開閉方向是卡匣主體部10 的高度方向50(即，鉛垂方向)的例子進行了說明，但封閉板32的開閉方向可以是水平方向。在該情況下，突起14和突起34分別為在水平方向延伸的構成。
在此，對本實施方式的卡匣100和其它基板收納卡匣(比較例)進行比較研究。圖 10示出具備滑動部140的滑動式的卡匣1000。在圖10所示的卡匣1000中，在設于卡匣主體部110上的卡匣開口部120的周圍形成有滑動結構(滑動部)140。封堵卡匣開口部120 的蓋130 —邊在滑動結構140上滑動一邊進行上下動作(箭頭15 。在該情況下，在取放基板40的卡匣開口部120的附近，該滑動結構140成為灰塵產(chǎn)生源，因此，在此不適于在凈化間使用。
圖11 (a)和(b)示出具備鉤掛結構150的拆卸式的卡匣1100。圖11 (a)和(b)分別是卡匣1100的立體圖和側面圖。圖11所示的卡匣1100具有從上方掛住拆卸式的蓋130 的結構。在該結構的情況下，能避免蓋130與卡匣主體部110的滑動而抑制灰塵產(chǎn)生，但是難以確保蓋130與卡匣主體部110之間(箭頭155)的氣密。在此，當要確保氣密時，則在蓋130與卡匣主體部110之間設置密封件等，于是，在該密封件等上產(chǎn)生滑動，其結果是產(chǎn)生了灰塵。另外，也具有當蓋130與卡匣主體部110之間(箭頭15 的匹配差時容易產(chǎn)生松動的缺點。
圖12(a)和(b)示出具備嵌入結構(161、162)的拆卸式的卡匣1200。圖12(a) 和(b)分別是卡匣1200的立體圖和側面圖。圖12所示的卡匣1200具有從側方嵌入拆卸式的蓋130的結構。在該結構的情況下，蓋130與卡匣主體部110之間的氣密比較容易確保。但是，每當從卡匣主體部110取放基板40時，需要從卡匣主體部110卸下蓋130或者向卡匣主體部110嵌入蓋130，需要較大地保持用于蓋130的開閉動作(例如，箭頭154、箭頭156)的空間。該卡匣1200不是具有占有面積較小的開閉結構的收納卡匣。
圖13示出板135為門式開閉的卡匣1300。與上述的專利文獻1所公開的門式的卡匣同樣，圖13所示的門式的卡匣1300不是具有占有面積較小的開閉結構的收納卡匣。艮口， 如圖13所示，即使是雙開式的卡匣1300，也需要在板135的開閉中確保轉動空間(158)，因此，是需要較多占有面積的卡匣。
如上所述，與本實施方式的卡匣100比較，卡匣1000 1300均具有缺點，難以在結構上解決該缺點。另一方面，本實施方式的卡匣100能避免這樣的缺點。
即，根據(jù)本實施方式的卡匣100，位于卡匣主體部10側的突起14和位于閘門結構 30側的突起34相互分開，且利用這兩者的突起14、34確保相對于外界氣體(空氣)的密閉性，所以能實現(xiàn)如下收納卡匣其能減輕異物、霧附著于所收納的基板表面，并且具有占有面積較小的開閉結構。在此，所謂突起14和突起34分開的狀態(tài)只要不是以突起14和突起 34滑動而產(chǎn)生灰塵的形態(tài)密閉即可。即，如果以突起14和突起34相互分離的方式進行設計/構成，則結果是即使產(chǎn)生突起14和突起34接觸的部位，也不會從突起(14、34)產(chǎn)生灰塵或者實質上不產(chǎn)生灰塵，所以可以是這樣的狀態(tài)。因此，這樣的結果是即使在產(chǎn)生接觸狀態(tài)的情況下，該狀態(tài)也能包含于突起14和突起34分開的狀態(tài)。
此外，本實施方式的卡匣100也能進行如下變更。圖14是本實施方式的變更例的卡匣100。將閘門結構30固定于卡匣主體部10的方式不限于圖2等所示的方式，如果是閘門結構30隨著因重力向下方移動而向卡匣主體部10的卡匣開口部20的方向靠近的方法， 則能適當采用。
在圖14所示的例子中，在卡匣主體部10的上部形成有楔形形狀的部位18。與此對應，在閘門結構30上也形成有楔形形狀的部位38。閘門結構30的楔形形狀的部位38通過支撐構件39連接于封閉板32。
根據(jù)圖14所示的構成，當封閉板32向下方移動時(參照箭頭52)，兩者的楔形形狀的部位(18、38)接觸。接著，閘門結構30—邊按楔形形狀向下方移動一邊向卡匣主體部 10的卡匣開口部20的方向靠近，封閉板32能封堵卡匣開口部20。即使使用該構成，也能使滑動動作為最小，并且能進行卡匣開口部20的開閉。而且，該構成也能不使用復雜的機構就簡便地進行卡匣開口部20的開閉。而且，能以與突起14和突起34不同的構成，得到伴隨封閉板32向下方移動而能自動地封堵卡匣開口部20的效果，并且，該效果自身具有技術價值。
而且，外界氣體難以向卡匣主體部10的內部(空氣)侵入的結構不限于圖5所示的水平方向(與高度方向50垂直的方向)的截面是矩形(或者大致矩形)的突起。例如， 如圖15所示，位于卡匣主體部10側的突起14和位于閘門結構30側的突起34分別具有L 字型的截面形狀，利用兩者形成為鑰匙狀的形狀。在這樣的構成中，突起14與突起34之間的間隙的路徑也彎曲，這成為阻礙，因此外界氣體難以侵入卡匣100的內部。此外，圖15所示的突起結構(14、34)不但適用于圖14所示的構成，當然可以在例如圖5所示的構成中采用。
另外，雖然突起14形成于卡匣主體部10的卡匣開口部12的周緣部位12，但只要是能確保與外界氣體(空氣)的密閉性的結構，則形成突起14的周緣部位12不限于卡匣主體部10的前面，可以是側面IlA的位置。在該情況下，將與形成于該位置的突起14相對的面設置于閘門結構30，在該面上設置突起34。
圖16是本實施方式的又一變更例的卡匣100。在圖16所示的例子中，引導部 36(36A，36B)的槽37的形狀與圖2所示的不同。圖16所示的引導部36為導入滾柱軸承 16(16A，16B)的方式的結構，其槽37為上部窄底部寬的形狀。當使閘門結構30下降時，進入槽37的底部的滾柱軸承16接著被導入到槽37的內部，滾柱軸承16在掛住槽37的內壁的位置進行固定。
在圖16所示的構成中，能在封閉板32與卡匣主體部10之間產(chǎn)生一些間隙。但是，在該情況下，如果采用圖7 (或者圖8 (a)、圖9)所示的在閘門結構50的上部具有遮蔽結構(突起13)的結構，則能由突起13遮蔽該間隙。而且，在圖2所示的結構中，在將引導部 36和滾柱軸承16的組合設為多個的情況下，為易于拆卸而優(yōu)選變更各引導部36 (36A、36B) 的長度，但在圖16所示的導入方式的結構的情況下，具有不特別限制這樣的長度變更的優(yōu)點ο
另外，在使用將支撐玻璃基板4的單片設于卡匣主體部10的內壁上的伸出形式的收納卡匣的情況下，支撐玻璃基板40的單片的面積小，因此有可能伴隨近年來的玻璃基板的大型化，玻璃基板撓曲而產(chǎn)生變形。因此，在收納/搬運大型的玻璃基板的情況下，有時在抑制這樣的變形方面優(yōu)選使用在卡匣主體部10的內壁上前后并列地配置多層線的線卡匣。
圖17是示出本實施方式的卡匣100具有線卡匣方式的構成的情況下的一例的示意圖。在卡匣主體部10的內部排列著支撐基板40的線60。具體地，由多根線60支撐一張基板40，該多根線線60排列成多層。由于線60排列成多層，從而能在卡匣主體部10的內部收納多層玻璃基板40。
在此，閘門結構30連接于例如升降機65的一部分，能在上下方向52移動。另外， 卡匣主體部10的下面形成有開口部(下面開口部)22，在該開口部22插入與升降框架62 連結的輥式輸送機61。輥式輸送機61從線60之間與基板40接觸，并且，從卡匣開口部20 送出基板40。從卡匣開口部20送出的基板40移動到搬運裝置64上，然后，基板40被供給需要的工序，或者被保管于需要的場所。
另外，在利用閘門結構30的封閉板32封堵卡匣開口部20的情況下，使用升降機 65使封閉板32向下方移動(參照箭頭52)，例如圖2 (a)和(b)所示的那樣，只要由封閉板 32封堵卡匣開口部20即可。在線卡匣方式的情況下也在閘門結構30上形成有突起34，在卡匣主體部10形成有突起14，所以能確保相對于外界氣體的卡匣100內部的密閉性。
此外，圖17所示的例子中，使輥式輸送機61升降，但可以是輥式輸送機61固定而使卡匣主體部10下降(或者升降)的構成。在該情況下，使卡匣主體部10下降，由此在卡匣主體部10的底面開口部22插入輥式輸送機61。
上面利用優(yōu)選的實施方式說明了本發(fā)明，但這樣的記述不是限定事項，當然能進行各種變更。例如，在本實施方式中對能利用多根線收納基板40的線卡匣的構成例進行了說明，但本實施方式的技術不限于線卡匣，能應用于用線以外的裝置收納基板40的基板收納卡匣(例如，擱片伸出形式的收納卡匣)。而且，作為用于從卡匣主體部10送出基板40 的基板搬運裝置，除輥式輸送機外，也能使用氣浮式輸送機，該氣浮式輸送機具有例如能利用空氣使基板40上浮并移動的結構。
工業(yè)上的可利用性
根據(jù)本發(fā)明，能提供如下收納卡匣其能減輕異物、霧附著于所收納的基板表面， 并且具有占有面積較小的開閉結構。
附圖標記說明
10 卡匣主體部
12周緣部位
13 突起
15支撐構件
16卡止部(滾柱軸承)
17支撐部
18楔形形狀的部位
20卡匣開口部
30閘門結構
32封閉板
34突起
36引導部
37槽
38楔形形狀的部位
39支撐構件
40基板(玻璃基板)
50高度方向(鉛垂方盧
60線
61輥式輸送機
62升降框架
64搬運裝置
65升降機
100卡匣
1000 1300 卡匣說明書11/11 頁1權利要求
1.一種卡匣，其收納基板，具備 卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構，其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板，在上述卡匣主體部中的位于上述卡匣開口部的周緣的部位和上述閘門結構的相互相對的面上分別沿著上述封閉板的開閉方向形成有突起，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起相互分開。
2.根據(jù)權利要求1所述的卡匣，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起分別是沿著上述封閉板的開閉方向細長地延伸的肋狀的突起。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的卡匣，其特征在于， 上述封閉板的開閉方向是上述卡匣主體部的高度方向。
4.根據(jù)權利要求3所述的卡匣，其特征在于，除了沿著上述卡匣主體部的高度方向形成的突起外，還在上述間門結構上形成有沿著水平方向延伸的突起。
5.根據(jù)權利要求1至4中的任一項所述的卡匣，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起中的任一方突起是多個突起，另一方突起相對于上述一方突起位于上述多個突起之間。
6.根據(jù)權利要求1至4中的任一項所述的卡匣，位于上述卡匣主體部側的上述突起和位于上述閘門結構側的上述突起分別具有與上述開閉板的開閉方向垂直的截面是L字狀的形狀。
7.根據(jù)權利要求1至6中的任一項所述的卡匣， 在上述卡匣主體部設有卡止上述閘門結構的卡止部，在上述閘門結構上形成有引導部，上述引導部收納設于上述卡匣主體部的上述卡止部。
8.一種卡匣，其收納基板，具備 卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構，其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板， 在上述卡匣主體部設有卡止上述閘門結構的卡止部，在上述閘門結構上形成有引導部，上述引導部收納設于上述卡匣主體部的上述卡止部，上述卡止部是滾柱軸承，在上述引導部形成有能配置上述滾柱軸承的槽，上述槽相對于上述卡匣主體部的高度方向傾斜地延伸。
9.根據(jù)權利要求7或8所述的卡匣，上述滾柱軸承設于上述卡匣主體部的最上部。
10.根據(jù)權利要求9所述的卡匣，上述滾柱軸承除設于上述最上部外，還設于比上述最上部靠下的位置。
11.根據(jù)權利要求8所述的卡匣，上述滾柱軸承在上述卡匣主體部的高度方向的中央部至少設有一個。
12.根據(jù)權利要求8所述的卡匣，其特征在于，上述引導部和上述滾柱軸承的組合沿著上述卡匣主體部的高度方向設有多個， 在上述高度方向位于上方的上述引導部的水平方向的長度比位于比其靠下方的上述引導部的水平方向的長度長。
13.一種卡匣，其收納基板，具備 卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構，其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板，在上述閘門結構上設有卡止部，上述卡止部將該閘門結構卡止于上述卡匣主體部， 在上述卡匣主體部形成有引導部，上述引導部收納設于上述閘門結構上的上述卡止部，上述卡止部是滾柱軸承，在上述引導部形成有能配置上述滾柱軸承的槽，上述槽相對于上述卡匣主體部的高度方向傾斜地延伸。
14.一種卡匣，其收納基板，具備 卡匣主體部，其在內部配置基板；卡匣開口部，其形成于上述卡匣主體部的一部分，用于取放上述基板；以及閘門結構，其包含封堵上述卡匣開口部的封閉板， 在上述卡匣主體部設有具有楔形形狀的部位，在上述間門結構上與上述具有楔形形狀的部位對應地設有具有楔形形狀的部位。
15.根據(jù)權利要求1至14中的任一項所述的卡匣， 在上述卡匣主體部的內部排列著多根線，上述基板是玻璃基板， 上述玻璃基板由上述線支撐。
16.根據(jù)權利要求15所述的卡匣， 上述卡匣主體部具有箱形形狀，上述卡匣開口部形成于上述箱形形狀的前面和后面中的至少一面上， 在上述箱形形狀的底面形成有供搬運上述基板的搬運裝置插入的開口部。
全文摘要
提供能減輕異物向所收納的基板表面的附著并具有占有面積較小的開閉結構的收納卡匣。收納基板(40)的卡匣(100)具備卡匣主體部(10)，其在內部配置基板(40)；卡匣開口部(20)，其形成于卡匣主體部(10)的一部分；以及閘門結構(30)，其包含封堵卡匣開口部(20)的封閉板(32)，在卡匣主體部(10)中的位于卡匣開口部(20)的周緣的部位(12)和閘門結構(30)的相互相對的面上分別沿著封閉板(32)的開閉方向(50)形成有突起(14、34)，位于卡匣主體部(10)側的突起(14)和位于閘門結構(30)側的突起(34)相互分開。
文檔編號H01L21/673GK102484088SQ20108002159
公開日2012年5月30日 申請日期2010年5月17日 優(yōu)先權日2009年5月20日
發(fā)明者湊貴行, 島田浩幸, 有光資, 松山章男 申請人:夏普株式會社, 淀川惠德株式會社