專(zhuān)利名稱(chēng)：高溫?cái)U(kuò)散舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種高溫?cái)U(kuò)散舟，尤其是一種在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用于承載硅片 的擴(kuò)散舟。
技術(shù)背景半導(dǎo)體產(chǎn)品都需經(jīng)過(guò)高溫?cái)U(kuò)散的工序，按照需要改變產(chǎn)品的電阻率，而在高溫?cái)U(kuò) 散過(guò)程必須有高度純凈、耐高溫、軟化點(diǎn)高且外形合適的載具，擴(kuò)散舟作為在高溫?cái)U(kuò)散時(shí)裝 載硅片的工具是必不可少的。目前已有的高溫?cái)U(kuò)散載具多數(shù)為石英玻璃材質(zhì)，且以刻槽舟 載具為主，主要是在石英基板上進(jìn)行刻槽。其缺點(diǎn)如下其一，現(xiàn)有載具多為石英材料，軟化 點(diǎn)低于碳化硅材料，長(zhǎng)時(shí)間高溫下易變形，對(duì)產(chǎn)品造成損傷；其二，現(xiàn)有載具的刻槽舟類(lèi)產(chǎn) 品由于刻槽間距的原因，產(chǎn)品承載數(shù)量少，單位成本較高；其三，現(xiàn)有擴(kuò)散舟承載的圓片多 是立式放置，若側(cè)面防護(hù)不佳容易造成圓片從舟內(nèi)滾出到擴(kuò)散爐管內(nèi)；其四，現(xiàn)有載舟都是 一次燒制成型，在運(yùn)輸、清洗等過(guò)程中不方便。這是現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足之處。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的，就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足，而提供一種新型、簡(jiǎn)單實(shí)用 的高溫?cái)U(kuò)散舟。本方案是通過(guò)如下技術(shù)措施來(lái)實(shí)現(xiàn)的高溫?cái)U(kuò)散舟，包括有矩形底板、立柱組成， 其特征在于在所述矩形底板上設(shè)置兩排所述立柱，并在所述矩形底板的一端設(shè)置拉孔。設(shè) 置拉孔的目的就是方便高溫?cái)U(kuò)散舟整體移動(dòng)。為了能使圓片水平疊放、穩(wěn)固，本實(shí)用新型采用的是上述兩排立柱是對(duì)稱(chēng)排列的。 并且立柱在每一排上是有規(guī)律且不等距離排列的。上述4個(gè)相鄰的立柱組成一組。把園片 水平疊放在其中，上述立柱是等高的。所以放置的圓片不容易滑出。為了清洗運(yùn)出方便，上 述立柱與矩形底板是可拆卸的。本方案的有益效果可根據(jù)對(duì)上述方案的敘述得知，由于在該方案中擴(kuò)散舟材質(zhì)為 耐高溫的碳化硅材料，圓片水平疊放，可以一次放置較多的圓片，解決了圓片滾動(dòng)滑出載具 的現(xiàn)象。而且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低于普通載具，且立柱與底板可以分離，易于運(yùn)輸， 不含刻槽，便于清洗維護(hù)。對(duì)于圓片數(shù)量本載具無(wú)限制，其他擴(kuò)散舟在數(shù)量少而不滿(mǎn)舟時(shí)需 加填充片或其他填充物。本擴(kuò)散舟除底部一片與載具接觸面較大外，其它圓片與載具接觸 面極小，擴(kuò)散過(guò)程中不易與擴(kuò)散載具發(fā)生粘連，易于在擴(kuò)散結(jié)束后將圓片從載具上移出。由 此可見(jiàn)，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和進(jìn)步，其實(shí)施的有益效果也是顯而 易見(jiàn)的。

圖1為主視圖。圖2為圖1的A-A剖視圖。[0009]圖中，1為矩形底板，2為拉孔，3為立柱，4為圓片。
具體實(shí)施方式
為能清楚說(shuō)明本方案的技術(shù)特點(diǎn)，下面通過(guò)一個(gè)具體實(shí)施方式
，并結(jié)合其附圖，對(duì) 本方案進(jìn)行闡述。通過(guò)附圖可以看出，本方案提供了一種高溫?cái)U(kuò)散舟，載具材質(zhì)為耐高溫的碳化硅 材料。包括有矩形底板1、立柱3組成，其特征在于在所述矩形底板1上設(shè)置兩排所述立 柱3，并在所述矩形底板1的一端設(shè)置拉孔2。上述兩排立柱3是對(duì)稱(chēng)排列的。上述立柱3在每一排上是有規(guī)律且不等距離排列 的。4個(gè)相鄰的上述立柱3組成一組，圓片4放入其中，共兩組。上述立柱3是等高的，高度 為7cm。上述立柱3與矩形底板1是可拆卸的。有利于運(yùn)輸及清洗。工作原理圓片平置疊放于相鄰的四根立柱之間，且保留少許空隙，避免高溫過(guò)程 中圓片與擴(kuò)散舟燒結(jié)粘連?？组g間距及柱體高度隨圓片直徑及擴(kuò)散爐管直徑進(jìn)行調(diào)整，擴(kuò) 散舟可以根據(jù)需要延長(zhǎng)或縮短。例如立柱高度為7cm，每組可以放入圓片100片，兩組可 以放入圓片200片。進(jìn)出料時(shí)拉桿頭部勾住拉孔，帶動(dòng)擴(kuò)散舟整體移動(dòng)。
權(quán)利要求1.高溫?cái)U(kuò)散舟，包括有矩形底板(1)、立柱C3)、組成，其特征在于在所述矩形底板(1) 上設(shè)置兩排所述立柱(3)，并在所述矩形底板(1)的一端設(shè)置拉孔O)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫?cái)U(kuò)散舟，其特征在于兩排所述立柱C3)是對(duì)稱(chēng)排列的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫?cái)U(kuò)散舟，其特征在于所述立柱C3)在每一排上是有規(guī) 律且不等距離排列的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫?cái)U(kuò)散舟，其特征在于4個(gè)相鄰的所述立柱C3)組成一組。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫?cái)U(kuò)散舟，其特征在于所述立柱C3)是等高的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫?cái)U(kuò)散舟，其特征在于所述立柱C3)與矩形底板(1)是 可拆卸的。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及的是一種高溫?cái)U(kuò)散舟，尤其是一種在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用于承載硅片的擴(kuò)散舟。一種高溫?cái)U(kuò)散舟，由矩形底板(1)、立柱(3)組成，其特征在于在所述矩形底板(1)上設(shè)置兩排所述立柱(3)，并在所述矩形底板(1)的一端設(shè)置拉孔(2)。由于在該方案中載具材質(zhì)為耐高溫的碳化硅材料，圓片水平疊放，可以一次放置較多的圓片，解決了圓片滾動(dòng)滑出載具的現(xiàn)象。而且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低于普通載具，立柱與底板可以分離，易于運(yùn)輸，不含刻槽，便于清洗維護(hù)。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201898121SQ201020612510
公開(kāi)日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2010年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月18日
發(fā)明者呂明, 李秉永, 郭城, 魏繼昊 申請(qǐng)人:山東科芯電子有限公司