專利名稱：蒸發(fā)材料及蒸發(fā)材料的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及蒸發(fā)材料及蒸發(fā)材料的制造方法，尤其涉及制造高性能磁鐵時(shí)使用的蒸發(fā)材料及蒸發(fā)材料的制造方法，其通過在真空中或減壓惰性氣體氣氛中邊使鏑及鋱蒸發(fā)邊進(jìn)行熱處理來提高釹鐵硼系燒結(jié)磁鐵及熱可塑性加工磁鐵的矯頑力。
背景技術(shù)：
本發(fā)明申請(qǐng)人曾提議(例如專利文獻(xiàn)1)為了獲得矯頑力大幅提高的高性能磁鐵可實(shí)施以下處理(真空蒸氣處理)將釹鐵硼系燒結(jié)磁鐵和蒸發(fā)材料彼此隔一定距離收容在處理箱內(nèi)，該蒸發(fā)材料至少包含鏑(Dy)、鋱(Tb)中的一方，通過在真空氣氛中加熱該處理箱，使蒸發(fā)材料蒸發(fā)，通過調(diào)節(jié)該蒸發(fā)的金屬原子在燒結(jié)磁鐵表面上的供給量使該金屬原子附著，使該附著的金屬原子向燒結(jié)磁鐵的晶界以及/或者晶界相擴(kuò)散，而不會(huì)在燒結(jié)磁鐵表面形成由該金屬蒸發(fā)材料構(gòu)成的薄膜。在上述專利文獻(xiàn)1所述的方法中，作為蒸發(fā)材料可使用例如小塊狀的，將其設(shè)置在處理箱內(nèi)的燒結(jié)磁鐵周圍。當(dāng)使用此種蒸發(fā)材料的情況下，體積占用率增大，無法增加處理箱內(nèi)的磁鐵填裝量，存在因進(jìn)行上述處理而使成本上升的問題。此外在處理箱內(nèi)設(shè)置燒結(jié)磁鐵的同時(shí)還需要用手工操作設(shè)置小塊蒸發(fā)材料，存在操作繁瑣的問題。由于以上原因，本申請(qǐng)人已提出通過允許金屬原子穿過彼此互不接觸的隔板把板狀蒸發(fā)材料和燒結(jié)磁鐵在上下方向上彼此重疊地收容在前述處理箱內(nèi)的提案(參照專利申請(qǐng) 2008-41555 號(hào))作為此處所述的Dy及Tb薄板的制造方法，可采用例如在惰性氣體氣氛中把Dy及 Tb的坯料熔化后鑄成板坯再將此軋成板狀，然而，由于Dy及Tb的融點(diǎn)高且極具活性，會(huì)與爐體及鑄模發(fā)生反應(yīng)，因而很難使之不含雜質(zhì)地熔化鑄造成板坯。除此而外即便能將其熔化鑄造成板坯，由于其具有六方晶格的晶構(gòu)，因而加工性很差，此外，要想軋成薄板，需在其間為了退火而在惰性氣體中多次進(jìn)行熱處理，從而產(chǎn)生了板狀蒸發(fā)材料的制作成本猛升的問題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 :W02008/023731

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明準(zhǔn)備解決的課題鑒于以上問題，本發(fā)明的第1課題是提供一種可廉價(jià)制作的板狀蒸發(fā)材料。此外， 本發(fā)明的第2課題是提供一種能夠制造出板狀蒸發(fā)材料的蒸發(fā)材料制造方法，其具有高生產(chǎn)率且成本低。解決課題的手段為了解決上述第1課題，本發(fā)明的蒸發(fā)材料，其特征在于配置有耐火金屬制作的芯材，其具有多個(gè)透孔，通過使稀土類金屬或稀土類金屬的合金熔化后附著并凝固在前述芯材上而形成。若采用本發(fā)明，使稀土類金屬或稀土類金屬的合金熔化，把芯材浸漬在該熔化的熔融液中后提起，使熔化物附著(噴鍍)到芯材上。此時(shí)，由于芯材具有多個(gè)透孔，利用其表面張力，熔化的稀土類金屬或稀土類金屬的合金附著到芯材表面，若在該狀態(tài)下冷卻到低于融點(diǎn)的溫度，其凝固后即可獲得各透孔被填充的同時(shí)，芯材表面還被稀土類金屬或稀土類金屬覆蓋的板狀或圓筒形狀等的蒸發(fā)材料。如上所述，在本發(fā)明之中，無需使稀土類金屬及其合金熔化鑄造成板坯，此外，由于例如如果預(yù)先把芯材本身設(shè)定成板狀，即很容易獲得板狀蒸發(fā)材料，因而不必另外進(jìn)行切削加工及壓軋加工等，同時(shí)可消除因切削加工等而產(chǎn)生無法作為蒸發(fā)材料使用的部分之類的原料損耗，此二者結(jié)合即可制作出價(jià)格極低廉的蒸發(fā)材料。在本發(fā)明之中，前述稀土類金屬或稀土類金屬的合金附著最好通過把前述芯材浸漬在該稀土類金屬或稀土類金屬的合金的熔融液中并提起來進(jìn)行。若采用此法，與通過噴鍍使稀土類金屬或稀土類金屬的合金附著的情況相比，稀土類金屬或稀土類金屬的在芯材上的附著更為容易，而且由于不產(chǎn)生原料的浪費(fèi)，因而可進(jìn)一步提高生產(chǎn)率，除此而外，還可望實(shí)現(xiàn)更加低成本化。在本發(fā)明之中，前述稀土類金屬是從鋱(Tb)、鏑(Dy)以及鈥(Ho)中選擇出來的。此外，前述耐火金屬是從鈮、鉬、鉭、鈦、釩及鎢中選擇出來的。還有，前述芯材是從多根線材編織成格狀的網(wǎng)狀件、金屬網(wǎng)板或有孔金屬板中選擇出來的。具有上述構(gòu)成的蒸發(fā)材料最適合使用于通過在真空中或減壓惰性氣體氣氛中邊使含Dy及Tb的蒸發(fā)材料蒸發(fā)(升華)邊進(jìn)行熱處理，使釹鐵硼系燒結(jié)磁鐵或熱可塑性加工磁鐵的矯頑力提高的工藝。為了解決上述第2課題，本發(fā)明的蒸發(fā)材料的制造方法，其特征在于，包括以下工序凝固體形成工序，其熔化稀土類金屬或稀土類金屬的合金，通過將耐火金屬制的基材保持在低于前述熔化溫度的狀態(tài)下浸漬在該熔融液中并提起，在前述基材表面形成由稀土類金屬或稀土類金屬的合金構(gòu)成的凝固體；脫離工序，使凝固體脫離前述基材；加工工序，將前述脫離的凝固體加工成板狀。若采用本發(fā)明，熔化稀土類金屬或稀土類金屬的合金，把保持比熔化溫度低的溫度、例如常溫的具有規(guī)定形狀的基材浸漬在該熔化后的熔融液中。此時(shí)，若浸漬單位體積的熱容量大的基材，則熔融液會(huì)因該基材而急冷，在該基材表面形成由稀土類金屬或稀土類金屬的合金構(gòu)成的膜。若在該狀態(tài)下把基材從熔融液中提起，該膜因被直接冷卻到低于融點(diǎn)的溫度而凝固，即可在基材表面形成由具有規(guī)定厚度的稀土類金屬或稀土類合金構(gòu)成的凝固體。并且由于熔融金屬不與基材發(fā)生反應(yīng)，因而僅需振動(dòng)及施加沖擊等，凝固體就很容易脫離基材。最后，通過切削加工把脫離的凝固體切割成板狀，或者在切削加工之后通過壓軋加工或沖壓加工制成板狀，即可獲得板狀的蒸發(fā)材料。而在本發(fā)明之中，要想使熔融液附著到基材上，基材單位體積的熱容量至少應(yīng)該在2MJ/km3左右。
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如上所述，在本發(fā)明之中，無需使稀土類金屬及其合金熔化鑄造為板坯，而且由于若對(duì)脫離基材的工件進(jìn)行切削加工及壓軋加工等加工，用很少的工序就可獲得板狀的蒸發(fā)材料，因而可用低成本且生產(chǎn)率良好地制造出蒸發(fā)材料。當(dāng)通過切削加工等把脫離基材的工件加工成板狀的情況下，要想使該加工容易同時(shí)又不易浪費(fèi)原料，前述基材最好是圓柱體或棱柱狀。此外，在本發(fā)明之中，最好通過增減前述基材在熔融液中的浸漬時(shí)間控制前述凝固體的厚度。另外，還可采用以下構(gòu)成通過改變前述基材往前述熔融液中浸漬時(shí)的溫度控制前述凝固體的厚度。而在本發(fā)明之中，前述稀土類金屬是從鋱、鏑、及鈥中選擇出來的。此外，前述耐火金屬是從鈮、鉬、鉭、鈦、釩、及鎢中選擇出來的。


圖1(a)及(b)是示意本發(fā)明的第1實(shí)施方式的蒸發(fā)材料的平面圖及剖面圖。圖2是制造上述第1實(shí)施方式的蒸發(fā)材料時(shí)使用的浸漬裝置的示意圖。圖3(a) (f)是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的蒸發(fā)材料的制造工序說明圖。圖4是制造上述第2實(shí)施方式的蒸發(fā)材料時(shí)使用的變形例涉及的浸漬裝置的示意圖。圖5是可使用本發(fā)明的蒸發(fā)材料的真空蒸氣處理裝置的示意圖。圖6是說明處理箱中的蒸發(fā)材料和燒結(jié)磁鐵的收容狀態(tài)的圖。圖7是用實(shí)施例1造出的蒸發(fā)材料的容積率及重量的比較表。圖8(a)及(b)是用實(shí)施例1造出的蒸發(fā)材料的外觀照片。圖9是用實(shí)施例2造出的蒸發(fā)材料是否適用的比較表。圖10是實(shí)施例3中使用的各種基材的比熱、比重及單位體積的熱容量的比較表。
具體實(shí)施例方式下面舉例說明制造高性能磁鐵時(shí)使用的本發(fā)明的實(shí)施方式的蒸發(fā)材料1、10以及這些蒸發(fā)材料1、10的制造方法，其通過在真空中或減壓惰性氣體氣氛中邊使Dy蒸發(fā)邊進(jìn)行熱處理提高釹鐵硼系的燒結(jié)磁鐵及熱可塑性加工磁鐵的矯頑力。參照?qǐng)D1，第1實(shí)施方式的蒸發(fā)材料1通過使稀土類金屬或稀土類金屬的合金熔化后附著并凝固在具有多個(gè)透孔的耐火金屬制作的芯材Ia上而形成。作為芯材la，可使用鈮、鉬、鉭、鈦、釩、及鎢等耐火金屬制成的線材W編織成網(wǎng)格狀，成形為板狀的網(wǎng)狀件。在此情況下，作為構(gòu)成網(wǎng)狀件Ia的線材W，最好是直徑為0. 1 1. 2mm，作為透孔的網(wǎng)眼Ib的網(wǎng)孔最好是8 50目的，如能在10 35目之間則更理想。當(dāng)大于50目時(shí)，由于作為芯材Ia 的強(qiáng)度不足，不利于批量生產(chǎn)。另外，當(dāng)小于8目時(shí)，正如后文所述，即使浸漬在稀土類金屬的熔融液中后提起，仍然存在以下問題稀土類金屬難以在該芯材Ia的整個(gè)面上且以填充網(wǎng)眼的形態(tài)附著。另外，作為稀土類金屬或稀土類金屬的合金除Dy之外還可使用Tb或在它們之中添加了 Nd、ft~、Al、Cu及( 等進(jìn)一步提高矯頑力的金屬的合金。而在第1實(shí)施方式之中是以制造高性能磁鐵中使用的材料為例加以說明的，例示的是Dy，但并不局限于此，在制作鈥等其它稀土類金屬及其合金的蒸發(fā)材料時(shí)同樣可適用本發(fā)明。圖2示出制作第1實(shí)施方式的蒸發(fā)材料1時(shí)使用的浸漬裝置Ml。浸漬裝置Ml配置有熔化爐2、其隔離出浸漬室加；以及真空室4，其在該熔化爐2的上方隔離出經(jīng)閘閥3 連接的準(zhǔn)備室如。在熔化爐2的底部配置有坩堝5，其中收容了 Dy的坯料。鉗鍋5由不會(huì)與熔化的 Dy發(fā)生反應(yīng)的鉬、鎢、釩、氧化釔及鉭等耐火金屬形成。此外，在熔化爐2內(nèi)設(shè)有加熱裝置6， 其通過加熱Dy使之熔化。加熱裝置6并無特殊限制，只要是能將坩堝5內(nèi)的Dy加熱到融點(diǎn) (1407°C )以上，使鉗鍋5內(nèi)的Dy熔化，并可將熔化的Dy保持在熔融液狀態(tài)的，例如可使用公知的鎢絲加熱器及碳棒加熱器，此外，還可用高頻感應(yīng)加熱爐及電弧熔化爐構(gòu)成。此外， 在熔化爐2的側(cè)壁上連接著氣體導(dǎo)入管7a，可將氬氣及氦氣等惰性氣體以規(guī)定的流量從省略了圖示的氣源導(dǎo)入浸漬室加內(nèi)。此外，熔化爐2經(jīng)配置有開閉閥PVl的排氣管Pl與將浸漬室加內(nèi)減壓的真空泵P連接，通過抽真空保持在規(guī)定的真空壓上。另一方面，真空室4也采用了可將準(zhǔn)備室如內(nèi)減壓的構(gòu)成。在此情況下，從真空室4引出的排氣管P2在開閉閥PVl的真空泵P —側(cè)與排氣管Pl連接，通過控制設(shè)置在排氣管P2中段的另一開閉閥PV2的開關(guān)，利用同一個(gè)真空泵P即可進(jìn)行抽真空。此外，真空室4的側(cè)壁上連接著氣體導(dǎo)入管7b，能以規(guī)定流量把氬氣及氦氣等惰性氣體從省略了圖示的氣源導(dǎo)入準(zhǔn)備室如內(nèi)。在真空室4的一側(cè)壁上設(shè)有裝卸芯材Ia的開閉門4b，此外，在上壁內(nèi)面上吊掛著電子式的提升絞車8，使之位于浸漬室加內(nèi)的坩堝5的正上方。提升絞車8配置有提升機(jī)構(gòu)，其由帶馬達(dá)8a的滾筒8b以及卷繞在該滾筒8b上的吊索8c構(gòu)成；以及滑輪鉤8d，其安裝在吊索8c的端部。利用提升絞車8可將該芯材Ia在準(zhǔn)備室如內(nèi)把芯材Ia安裝到滑輪鉤8d上或從其上卸下的裝卸位置，以及把吊掛在滑輪鉤8d上的芯材Ia全部浸漬在浸漬室 2a內(nèi)的坩堝5中的浸漬位置之間移動(dòng)。此處，滑輪鉤8d最好用不會(huì)與熔化的Dy發(fā)生反應(yīng)的鉬及鉭等耐火金屬形成，此外，也可不用滑輪鉤8d，而是采用以下構(gòu)成在吊索8c的端部設(shè)置耐火金屬夾具(未圖示)，其可將多塊芯材Ia隔規(guī)定間隔并列保持，將多塊芯材Ia同時(shí)浸漬在Dy熔融液中。下面說明使用了圖2所示的浸漬裝置Ml的第1實(shí)施方式的蒸發(fā)材料1的制造過程。首先，把Dy的坯料裝入浸漬室加的坩堝5中，關(guān)閉閘閥3，隔絕該浸漬室加之后，在使真空泵P運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)通過打開開閉閥PVl開始抽真空。與此同時(shí)，通過使加熱裝置6運(yùn)轉(zhuǎn)開始加熱。并在浸漬室加內(nèi)保持規(guī)定壓力(例如IPa)的同時(shí)進(jìn)行加熱，Dy—達(dá)到開始升華的溫度(約800°C )即通過氣體導(dǎo)入管7a把Ar氣導(dǎo)入浸漬室加內(nèi)。此處之所以導(dǎo)入Ar氣是為了防止Dy因升華而四處飛濺造成損耗，可通過導(dǎo)入氬氣使浸漬室加的壓力保持在15 200kPa之間，如能在50 IOOkPa范圍內(nèi)則更理想。在該狀態(tài)下繼續(xù)加熱，一達(dá)到融點(diǎn)Dy即熔化，可通過控制加熱裝置6的運(yùn)轉(zhuǎn)把熔融液的溫度保持在比融點(diǎn)高一定溫度的溫度上(例如1440°C )。另一方面，在準(zhǔn)備室如開閉門4b關(guān)閉狀態(tài)下，可通過打開開閉閥PV2，利用真空泵P先行減壓到規(guī)定的真空壓(例如IPa)實(shí)施準(zhǔn)備室如內(nèi)的脫氣。此時(shí)，提升絞車8的滑輪鉤8d處于裝卸位置。抽真空開始后一經(jīng)過規(guī)定時(shí)間即關(guān)閉開閉閥PV2的同時(shí)在準(zhǔn)備室如達(dá)到大氣壓之前導(dǎo)入氬氣，使準(zhǔn)備室如恢復(fù)到大氣壓。在該狀態(tài)下打開開閉門4b放入芯材la，將其吊掛在滑輪鉤8d上。并在關(guān)閉開閉門4b后，再次打開開閉閥PV2，利用真空泵P把準(zhǔn)備室如抽成真空。芯材Ia的浸漬準(zhǔn)備工作就此完成。接著，在熔融液被保持在規(guī)定溫度的狀態(tài)下，通過氣體導(dǎo)入管7b導(dǎo)入氬氣，直至準(zhǔn)備室如內(nèi)達(dá)到與浸漬室加相同壓力時(shí)為止。并且，浸漬室加及準(zhǔn)備室如一達(dá)到同壓， 即打開閘閥3，在該狀態(tài)下，使卷繞手段的馬達(dá)8a正轉(zhuǎn)，經(jīng)滑輪鉤8d把芯材Ia從準(zhǔn)備室如下降到浸漬室加。芯材Ia —下降，該芯材即逐漸浸漬到Dy的熔融液中，到達(dá)浸漬位置。一到達(dá)浸漬位置，即通過使卷繞手段的馬達(dá)8a反轉(zhuǎn)經(jīng)滑輪鉤8d把芯材Ia從熔融液中逐漸提起。此處，由于芯材Ia由網(wǎng)狀件W構(gòu)成，因而芯材Ia—浸漬到熔融液中，由于該芯材Ia對(duì)Dy熔融液的潤濕性良好，因而Dy的熔融液浸透到芯材Ia的網(wǎng)眼Ib之中。在該狀態(tài)下，由于芯材Ia的單位面積的熱容量小，因而芯材Ia周圍的熔融液呈液態(tài)，一將芯材Ia逐漸從熔融液中提起，在已從熔融液中提起的部分上，由于其表面張力，Dy呈現(xiàn)出填充各網(wǎng)眼Ib的同時(shí)覆蓋芯材Ia表面的附著狀態(tài)，由于從熔融液中提起后直接冷卻到低于融點(diǎn)的溫度，因而逐漸凝固。并且，一將芯材Ia從熔融液中完全提起，即可獲得板狀的蒸發(fā)材料1。而此時(shí)的芯材Ia的提起速度可在考慮Dy可在各網(wǎng)眼Ib中凝固、而且Dy的附著量均勻且盡可能多的因素后適當(dāng)設(shè)定。并且，滑輪鉤8d—到達(dá)裝卸位置即關(guān)閉閘閥3。在該狀態(tài)下，再次把氬氣導(dǎo)入準(zhǔn)備室如內(nèi)(例如IOOkPa)，冷卻規(guī)定時(shí)間。冷卻后通過繼續(xù)把氬氣導(dǎo)入準(zhǔn)備室如內(nèi)使其恢復(fù)到大氣壓，打開開閉門4b，取出蒸發(fā)材料1。如上所述，在第1實(shí)施方式之中，由于無需使Dy熔化鑄造成板坯，且僅把芯材本身制作成板狀就可制作出Dy制的板狀蒸發(fā)材料1，因而無需另外進(jìn)行切削加工及壓軋加工等，同時(shí)還可消除因切削加工等產(chǎn)生不能作為蒸發(fā)材料使用的部分的原料損耗。此二者相結(jié)合就能夠以極其低廉的價(jià)格獲得蒸發(fā)材料1。此處，正如后文所述，使用第一實(shí)施方式的蒸發(fā)材料1制造高性能磁鐵的情況下， 隨著附著在芯材Ia上的Dy逐漸消耗，在芯材Ia的網(wǎng)眼Ib的位置上開始出現(xiàn)孔洞。因此， 能夠看出蒸發(fā)材料1的消耗狀況，有利于判斷蒸發(fā)材料1的更換時(shí)期等。此外，如上所述，當(dāng)蒸發(fā)材料1已消耗掉時(shí)，無需進(jìn)行任何前處理，用該已消耗掉的蒸發(fā)材料1以與上述相同的順序浸漬在Dy熔融液中提出后即可再生出蒸發(fā)材料1。其結(jié)果是附著在已使用過的蒸發(fā)材料1上的殘留Dy無需作為廢料，而是可以直接再次使用，可極其有效地利用資源稀缺，價(jià)格高昂的Dy、Tb等稀土類原料。在上述第1實(shí)施方式之中，作為芯材Ia是以形成板狀為例加以說明的，但并不局限于此，也可用成形為筒狀的網(wǎng)狀件制作出筒狀蒸發(fā)材料，作為用來制作環(huán)形燒結(jié)磁鐵、熱可塑性加工磁鐵的蒸發(fā)材料。此外，芯材Ia只要是形成多個(gè)規(guī)定直徑的透孔的就行，還可不用網(wǎng)狀件而是用金屬網(wǎng)板或有孔金屬板取代。此外，在上述第1實(shí)施方式中，Dy的附著是以把芯材Ia浸漬到Dy坯料熔化后的熔融液中后提起為例加以說明的，但也可通過噴鍍使Dy附著到芯材Ia上。還有，在上述第 1實(shí)施方式中，是以把芯材Ia浸漬1次為例加以說明的，但也可改變浸漬方向分多次進(jìn)行。下面參照?qǐng)D3說明第2實(shí)施方式的蒸發(fā)材料10。蒸發(fā)材料10可經(jīng)下述工序制造
熔化Dy，將基材IOa以保持在比前述熔化溫度低的溫度狀態(tài)下浸漬到該Dy的熔融液中并提起，在基材IOa的表面上形成由Dy構(gòu)成的凝固體IOb的工序(凝固體形成工序)；使凝固體IOb脫離基材IOa的工序(脫離工序)；將脫離的凝固體IOb加工成板狀的工序(加工工序)。作為基材10a，考慮到形成凝固體IOb后要加工成板狀，可使用由鈮、鉬、鉭、鈦、釩以及鎢等耐火金屬制作的實(shí)心棱柱體及圓柱體。作為基材IOa使用單位體積的熱容量在 2. 5MJ/km3左右的。若熱容量小于2MJ/km3，正如后文所述，浸漬到Dy熔融液中時(shí)，由于基材 IOa本身急劇升溫，在其表面上形成的Dy膜再次熔化，無法有效形成凝固體10b。另一方面，作為稀土類金屬或稀土金屬的合金，除Dy之外還可使用Tb或者在此二者中添加了可進(jìn)一步提高矯頑力的Nd、ft~、Al、Cu以及( 等金屬的合金。而在第2實(shí)施方式中由于仍是以制造高性能磁鐵中使用的為例加以說明的，因而仍然例示了 Dy，但并不局限于此，在制作鈥等其它稀土類金屬及其合金的蒸發(fā)材料時(shí)同樣可適用本發(fā)明。在凝固體形成工序中，可使用圖4所示的浸漬裝置M2。浸漬裝置M2具有與上述第 1實(shí)施方式中使用的浸漬裝置Ml (參照?qǐng)D2)大體相同的構(gòu)成，但在提升絞車80的吊索81 的端部設(shè)有把持基材IOa長度方向上的一個(gè)端部的夾鉗82，用來取代滑輪鉤8d。并可利用提升絞車80使基材IOa在準(zhǔn)備室如內(nèi)把該基材IOa裝到夾鉗82上或從其取下的裝卸位置，以及在浸漬室加內(nèi)把用該夾鉗82把持的該基材IOa除夾鉗把持部分之外的絕大部分浸漬到浸漬室加內(nèi)的坩堝5內(nèi)的熔融液中的浸漬位置之間移動(dòng)。在圖4之中，對(duì)與浸漬裝置Ml相同的部件標(biāo)注了相同的標(biāo)號(hào)。夾鉗82與第1實(shí)施方式相同，最好由不與熔化的Dy發(fā)生反應(yīng)的鉬及鉭等耐火金屬形成。此外，也可采用下述構(gòu)成在吊索81的端部用省略了圖示的夾具排列設(shè)置多個(gè)夾鉗，可將多個(gè)基材Ia同時(shí)浸漬到Dy熔融液中。下面說明用圖4所示的浸漬裝置M2，在棱柱體基材IOa表面形成凝固體10b，接著通過加工該凝固體IOb獲得板狀蒸發(fā)材料10時(shí)的情況。首先，把Dy的坯料放置到浸漬室加的坩堝5中，關(guān)閉閘閥3隔絕該浸漬室加之后，使真空泵P運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)打開開閉閥PVl開始抽真空。與此同時(shí)，通過使加熱裝置6運(yùn)轉(zhuǎn)開始加熱。邊使浸漬室加內(nèi)保持規(guī)定壓力(例如IPa)，邊加熱，Dy —達(dá)到開始升華的溫度 (約800°C )，即經(jīng)過氣體導(dǎo)入管7a把氬氣導(dǎo)入浸漬室加內(nèi)。此處之所以導(dǎo)入氬氣，是為了抑制Dy的蒸發(fā)，可通過導(dǎo)入氬氣使浸漬室加的壓力達(dá)到15 之間，如能在則更理想。在該狀態(tài)下繼續(xù)加熱，一達(dá)到融點(diǎn)Dy即熔化，通過控制加熱裝置6的運(yùn)轉(zhuǎn)，使熔融液溫度保持比融點(diǎn)高的一定溫度(例如1440°C )。另一方面，在準(zhǔn)備室如中開閉門4b關(guān)閉狀態(tài)下，通過打開開閉閥PV2，利用真空泵P減壓到規(guī)定的真空壓(例如IPa)，實(shí)施準(zhǔn)備室如內(nèi)的脫氣。此時(shí)準(zhǔn)備室如為常溫， 此外，提升絞車80的夾鉗82處于裝卸位置。抽真空開始后一經(jīng)過規(guī)定時(shí)間，即關(guān)閉開閉閥 PV2的同時(shí)，在準(zhǔn)備室如達(dá)到大氣壓之前導(dǎo)入氬氣，使準(zhǔn)備室如恢復(fù)大氣壓。在該狀態(tài)下打開開閉門4b放入常溫的基材IOa (參照?qǐng)D3(a))通過用夾鉗82把持基材IOa長度方向上的一個(gè)端部進(jìn)行裝料。并在關(guān)閉開閉門4b之后，再次打開開閉閥PV2，利用真空泵P把準(zhǔn)備室如再次抽成真空。基材IOa的浸漬準(zhǔn)備就此完成。接著，在熔融液被保持在規(guī)定溫度的狀態(tài)下，通過氣體導(dǎo)入管7b導(dǎo)入氬氣，直至準(zhǔn)備室如內(nèi)達(dá)到與浸漬室加相同的壓力時(shí)為止。并且，浸漬室加及準(zhǔn)備室如一達(dá)到同
8壓，即打開閘閥3，在該狀態(tài)下，使卷繞手段的馬達(dá)8a正轉(zhuǎn)，經(jīng)夾鉗82把基材IOa從準(zhǔn)備室 4a下降到浸漬室加?；腎Oa —下降，該基材IOa即逐漸浸漬到Dy的熔融液中，到達(dá)浸漬位置。并在浸漬位置上保持規(guī)定時(shí)間。在此情況下，保持時(shí)間可根據(jù)基材IOa的熱容量和準(zhǔn)備獲得的凝固體IOb的厚度適當(dāng)設(shè)置。但是，若超過規(guī)定時(shí)間浸漬，由于在基材IOa表面上形成的Dy膜將再次熔化掉，因而應(yīng)考慮到此情況設(shè)定保持時(shí)間。在上述狀態(tài)下一經(jīng)過規(guī)定時(shí)間，即通過使卷繞手段的馬達(dá)8a反轉(zhuǎn)，通過夾鉗82把基材IOa逐漸從熔融液中提起。此處，由于浸漬的是單位體積的熱容量為2. 5MJ/km3的基材10a，因而在把基材IOa浸漬到熔液中時(shí)，熔融液因基材IOa而被急冷，附著在該基材IOa 表面形成具有規(guī)定膜厚的Dy膜。若在該狀態(tài)下從熔融液中提起，該膜因直接冷卻到低于融點(diǎn)的溫度而凝固，在基材IOa表面上形成凝固體IOb (參照?qǐng)D3(b))。此時(shí)的基材IOa的提升速度可根據(jù)夾具在熔融液中的浸漬時(shí)間適當(dāng)設(shè)定。并且，夾鉗82 —到達(dá)安裝位置即關(guān)閉閘閥3。在該狀態(tài)下繼續(xù)把氬氣導(dǎo)入準(zhǔn)備室如內(nèi)(例如IOOkPa),冷卻規(guī)定時(shí)間。冷卻、通過把氬氣進(jìn)一步導(dǎo)入準(zhǔn)備室如內(nèi)使之恢復(fù)到大氣壓，打開開閉門4b取出已在表面上形成凝固體IOb的基材10a。接著，使凝固體IOb脫離基材10a。在此情況下，基材IOa上被夾鉗82把持的部分并未形成凝固體10b。因此，可在把凝固體IOb固定的狀態(tài)下，通過給基材IOa的前述部分邊施加適當(dāng)?shù)恼駝?dòng)的同時(shí)施加拉伸力即可拔出基材10b。另一方面，正如圖3(c)所示，還可通過切削加工等，沿該圖中用點(diǎn)劃線表示的斷裂線，根據(jù)切割加工等切斷基材IOa長度方向上的另一側(cè)的凝固體10b，使基材IOa長度方向的側(cè)面暴露。并且如圖3(d)所示，通過給基材IOa施加沖擊或按壓力將其從凝固體中擠出。如上所述，由于基材IOa和熔融金屬不發(fā)生反應(yīng)，因而僅通過施加振動(dòng)及沖擊等，凝固體IOb很容易從基材IOa上脫離。最后，例如圖3(e)中所示，若用切削加工等沿該圖中用點(diǎn)劃線表示的斷裂線切割凝固體IOb即可獲得板狀的蒸發(fā)材料10(參照?qǐng)D3(f))。如上所述，在第2實(shí)施方式中，由于無需將Dy熔解鑄造成板坯，而且僅加工脫離基材IOa的工件，因而可獲得低成本且生產(chǎn)率良好的板狀蒸發(fā)材料10。此外也可把用上法制作出的蒸發(fā)材料10再經(jīng)壓軋后使用。此處，若用現(xiàn)有技術(shù)制作出板坯后壓軋為薄板，由于其具有六方晶格的晶構(gòu)，其加工性很差，要想壓軋成薄板需在中途進(jìn)行用于退火的熱處理，存在制作成本猛升的問題，然而采用本手法制作出的工件，最初就是幾個(gè)mm的薄板，而且由于急冷其組織細(xì)密，壓軋性能好，無需退火即可壓軋到Imm以下。在上述第2實(shí)施方式中，作為基材IOa是以棱柱體為例加以說明的，但并不局限于此，也可使用圓柱狀的。在此情況下，可將脫離了基材IOa的剖面呈環(huán)形的凝固體沿長度方向切割，形成剖面為半圓形的工件，將此壓軋及壓成形后即可獲得板狀蒸發(fā)材料。此外，在上述第2實(shí)施方式中，是以通過改變浸漬位置上的浸漬時(shí)間控制凝固體 IOb的厚度為例加以說明的，但并不局限于此，也可通過改變往熔融液中浸漬時(shí)的基材IOa 的溫度控制凝固體IOb的厚度。在此情況下，可通過在真空室4內(nèi)安裝公知的冷卻手段調(diào)節(jié)基材IOa的溫度。還有，在上述第2實(shí)施方式中是以把基材IOa浸漬在Dy坯料熔化后的熔融液中然后提起為例加以說明的，但并不局限于此。例如，也可通過使Dy蒸發(fā)，在處理室內(nèi)形成Dy蒸氣氣氛，在Dy蒸氣氣氛中，例如把常溫的基材IOa裝入，利用二者的溫差使Dy附著沉積， 冷卻后形成變形例涉及的凝固體。由于此種處理裝置，已由本申請(qǐng)人提出國際申請(qǐng)，公示在國際公開的W02006/100968號(hào)公報(bào)中，因而此處省略詳細(xì)說明。下面說明使用上述第1及第2實(shí)施方式造出的本發(fā)明的板狀蒸發(fā)材料1或10制作高性能磁鐵的情況。高性能磁鐵通過同時(shí)進(jìn)行下述一系列處理(真空蒸氣處理)制作 使上述蒸發(fā)材料1 (10)蒸發(fā)到形成規(guī)定形狀的公知的釹鐵硼系燒結(jié)磁鐵S的表面，使該蒸發(fā)的Dy原子附著，并使之均勻地?cái)U(kuò)散到燒結(jié)磁鐵S的晶界以及/或者晶界相。下面用圖5 說明實(shí)施此種真空蒸氣處理的真空蒸氣處理裝置。正如圖5所示，真空蒸氣處理裝置M3配置有真空室12，其可通過渦輪分子泵、低溫泵，擴(kuò)散泵等真空排氣手段11減壓到規(guī)定壓力(例如IX I(T5Pa)并保持之。在真空室12 內(nèi)設(shè)有圍繞在后述的處理箱20四周的隔熱材料13和配置在其內(nèi)側(cè)的發(fā)熱體14。隔熱材料 13例如為鉬制，此外，作為發(fā)熱體14是具有鉬制熱絲(未圖示)的電加熱器，從圖示省略的電源給熱絲通電，以電阻加熱方式可將被隔熱材料13圍繞的，設(shè)有處理箱20的空間15加熱。在該空間15內(nèi)設(shè)有鉬制承載臺(tái)16，至少可承載1個(gè)處理箱20。處理箱20由上面開口的長方體形狀的箱部21和可在開口的箱部21上面靈活裝卸的蓋部22構(gòu)成。在蓋部22的外周邊緣處的整個(gè)周邊上形成朝下彎曲的凸緣22a。一把蓋部22裝到箱部21的上面，凸緣22a即與箱部21的外壁配合(在此情況下未設(shè)置金屬密封墊之類的真空密封件)，即可隔離出與真空室12隔絕的處理室20a。并且，一通過使真空排氣手段11運(yùn)轉(zhuǎn)，把真空室12減壓到規(guī)定壓力(例如1 X I(T5Pa)，處理室20a減壓到比真空室12高的壓力(例如5 X I(T4Pa)。如圖6所示，在處理箱20的箱部21內(nèi)以燒結(jié)磁鐵S以及上述實(shí)施方式的蒸發(fā)材料彼此互不接觸的形態(tài)，隔著隔板30上下重疊地收容此二者。隔板30的面積略小于箱部 21的橫剖面是由多根線材(例如cp0.1~10mm )編織成網(wǎng)格狀構(gòu)成，其外周緣部大致呈直角朝上彎曲。該彎曲部位的高度設(shè)定為高于準(zhǔn)備進(jìn)行真空蒸氣處理的燒結(jié)磁鐵S的高度。 在該隔板30的水平部分上，等間隔并列載置了多個(gè)燒結(jié)磁鐵S。而燒結(jié)磁鐵之中表面積大的部分最好面向蒸發(fā)材料1(10)載置。此外，隔板30也可用板材及棒材構(gòu)成，若適當(dāng)配置在燒結(jié)磁鐵S彼此之間，可防止下層的燒結(jié)磁鐵S因受到上層燒結(jié)磁鐵S的載荷而變形。并且，把蒸發(fā)材料1(10)設(shè)置在箱部21的底面上之后，在其上側(cè)載置并列設(shè)置了燒結(jié)磁鐵S的隔板30，然后再設(shè)置另一蒸發(fā)材料1 (10)。采用此法將蒸發(fā)材料1和并列設(shè)置了多個(gè)燒結(jié)磁鐵S的隔板30多層次交替堆積，直至處理箱20的上端部。在最上層的隔板30的上方，由于已處于靠近蓋部22的位置上，也可省略蒸發(fā)材料1。如上所述，首先在箱部21內(nèi)設(shè)置燒結(jié)磁鐵S和蒸發(fā)材料1(10)這兩種，把蓋部22 安裝到箱部21的開口面上之后，把處理箱20設(shè)置到承載臺(tái)16上。接著，通過真空排氣手段11將真空室12真空排氣，減壓到規(guī)定壓力(例如IX I(T4Pa)，真空室12 —達(dá)到規(guī)定壓力，即通過使加熱裝置14運(yùn)轉(zhuǎn)加熱處理室20a。在減壓下，處理室20a內(nèi)的溫度一達(dá)到規(guī)定溫度，處理室20a的Dy即因?yàn)楸患訜岬脚c處理室20a大致相同的溫度而開始蒸發(fā)，在處理室20a內(nèi)形成Dy蒸氣氣氛。此時(shí)，從圖示省略的氣體導(dǎo)入手段以一定的導(dǎo)入量把Ar等惰性氣體導(dǎo)入真空室3內(nèi)。這樣一來，惰性氣體亦被導(dǎo)入處理箱20內(nèi)，由于該惰性氣體，在處理室20a內(nèi)蒸發(fā)的金屬原子擴(kuò)散。Ar等惰性氣體的導(dǎo)入壓力最好在Ik 30kPa之間，如能在業(yè) 30kPa之間則更理想。為了控制該Dy的蒸發(fā)量，通過控制加熱裝置14把處理室內(nèi)的溫度設(shè)定在800°C 1050°C之間，如能在850°C 950°C之間則更理想(例如，當(dāng)處理室內(nèi)溫度為900 V 1000°C時(shí)，Dy的飽和蒸氣壓約為1Χ1(Γ2 IXl(T1Pa)。這樣即可通過調(diào)節(jié)Ar等惰性氣體的分壓控制Dy蒸發(fā)量，由于是通過該惰性氣體的導(dǎo)入使蒸發(fā)的Dy原子在處理室20a內(nèi)擴(kuò)散的，因而在抑制Dy原子在燒結(jié)磁鐵S上的供給量的同時(shí)使Dy原子附著到其整個(gè)表面，并通過把燒結(jié)磁鐵S在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)加熱加速擴(kuò)散速度，此二者相結(jié)合，即可使附著在燒結(jié)磁鐵S表面的Dy原子沉積到燒結(jié)磁鐵S表面上之后，形成Dy層(薄膜)之前向燒結(jié)磁鐵S的晶界以及/或者晶界相高效擴(kuò)散并均勻抵達(dá)。其結(jié)果是防止磁鐵表面惡化，此外，抑制Dy在靠近燒結(jié)磁鐵表面區(qū)域的晶界內(nèi)過量擴(kuò)散，在晶界相中具有Dy富相(含有5 80% Dy的相)，此外，由于Dy僅在晶粒表面附近擴(kuò)散，可有效提高或恢復(fù)磁化及矯頑力，除此而外，可獲得無需精加工，生產(chǎn)率良好的高性能磁鐵。最后，將上述處理實(shí)施規(guī)定時(shí)間(例如4 48小時(shí))之后，使加熱裝置停止運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)，暫時(shí)停止利用氣體導(dǎo)入手段進(jìn)行的惰性氣體的導(dǎo)入。繼而再度導(dǎo)入惰性氣體 (IOOkPa)，使蒸發(fā)材料1、10停止蒸發(fā)，并把處理室20a內(nèi)的溫度暫時(shí)降到例如500°C。繼而使加熱裝置再次運(yùn)轉(zhuǎn)，把處理室20a內(nèi)的溫度設(shè)定在450°C 650°C范圍內(nèi)，為進(jìn)一步提高矯頑力或使之恢復(fù)實(shí)施熱處理。并急冷到大致室溫，將處理箱20從真空室12中取出。實(shí)施例1在實(shí)施例1中，用圖2所示的浸漬裝置Ml制作了蒸發(fā)材料1。作為芯材la，準(zhǔn)備的是分別改變線材的材質(zhì)，線材的線徑以及目數(shù)，制作成IOOmmX IOOmm的板狀件(圖7中的試料1 9)。而作為比較例準(zhǔn)備的是IOOmmX 100mm,板厚為0. 5mm的鉬制板材(試料 10)。此外，作為使之附著的稀土類金屬使用了 Dy(純度99%)。并在下述相同條件下對(duì)試料1 10實(shí)施了相同的處理。首先在坩堝(cp300x300mm )內(nèi)裝入l60kgDy坯料，關(guān)閉閘閥3隔絕該浸漬室 2a之后，通過使真空泵P運(yùn)轉(zhuǎn)開始抽真空，與此同時(shí)，通過使加熱裝置6運(yùn)轉(zhuǎn)開始加熱。并在將浸漬室加內(nèi)保持在IPa的同時(shí)進(jìn)行加熱，Dy溫度一達(dá)到800°C，即通過氣體導(dǎo)入管7a 把氬氣導(dǎo)入浸漬室加內(nèi)。另一方面，在準(zhǔn)備室如內(nèi)，在開閉門4b閉合狀態(tài)下，利用真空泵P先行減壓到 lPa，保持1分鐘，實(shí)施了準(zhǔn)備室如內(nèi)的脫氣之后，在準(zhǔn)備室如達(dá)到大氣壓之前導(dǎo)入氬氣。 并打開開閉門4b裝入試料1 10，分別安裝在提升絞車8的滑輪鉤8d上。并在關(guān)閉開閉門4b之后，利用真空泵P把準(zhǔn)備室如再次抽真空。在浸漬室如之中，一經(jīng)加熱超過1400°C，Dy坯料即開始熔化，設(shè)定為通過控制加熱裝置使熔融液溫度保持在1440°C上。接著，在準(zhǔn)備室如內(nèi)的壓力達(dá)到與浸漬室加的壓力相同之前，通過氣體導(dǎo)入管7b導(dǎo)入氬氣，浸漬室加以及準(zhǔn)備室如一達(dá)到同壓，即打開閘閥3，在該狀態(tài)下，使卷繞手段的馬達(dá)8a正轉(zhuǎn)，通過滑輪鉤8d把芯材Ia從準(zhǔn)備室如下降到浸漬室加中。此時(shí)的下降速度設(shè)定為0. lm/s。并且，該芯材逐漸浸漬到Dy熔融液中， 到達(dá)浸漬位置。一到達(dá)浸漬位置，即通過使卷取手段的馬達(dá)8a反轉(zhuǎn)，通過滑輪鉤8d把芯材Ia逐漸從熔融液中提起。此時(shí)的上升速度設(shè)定為0. 05m/s。并且，滑輪鉤8d —到達(dá)裝卸位置，即關(guān)閉閘閥3。在此狀態(tài)下導(dǎo)入氬氣，使準(zhǔn)備室 4a內(nèi)的壓力保持在lOOltfa上，冷卻1分鐘。冷卻后，進(jìn)一步導(dǎo)入氬氣，使之恢復(fù)大氣壓，打開開閉門4b取出蒸發(fā)材料1。圖7是分別改變線材的材質(zhì)、線材的線徑以及目數(shù)，在上述條件下制作蒸發(fā)材料1 時(shí)的容積率(Dy未附著的區(qū)域)以及Dy的重量的比較表，圖8是試料2 (參照?qǐng)D8 (a))以及試料5(參照?qǐng)D8(b)的外觀照片。由此可知，試料1及試料2上Dy未能有效附著，不能作為蒸發(fā)材料。另一方面，從試料3以及試料9上可以看出附著了 Dy，在芯材Ia的整個(gè)區(qū)域內(nèi)的各個(gè)網(wǎng)眼均被填充且覆蓋了芯材Ia的表面，尤其從試料4 6可知，附著的Dy超過 45g。實(shí)施例2在實(shí)施例2中使用圖2所示的浸漬裝置M1，此外，作為芯材Ia使用實(shí)施例1中的試料5，除改變將芯材Ia從浸漬位置提起時(shí)的上升速度之外，以與實(shí)施例1相同的條件制作了蒸發(fā)材料1。圖9是判斷在0. 005 lm/s的范圍內(nèi)改變提起時(shí)的上升速度時(shí)獲得的材料是否適合作為蒸發(fā)材料使用。在圖9之中，在外表面上目視到飛濺，判斷為不適合批量生產(chǎn)的工件打χ。由此可知，當(dāng)在0. 01 0. 5m/s的速度范圍內(nèi)時(shí)，可高效制作出蒸發(fā)材料1。實(shí)施例3在實(shí)施例3中，使用圖4所示的浸漬裝置M2，在基材IOa的表面制作出凝固體IOb。 作為基材10a，分別準(zhǔn)備了鉬制，加工成Φ 200mmX300mm的圓柱體(試料1)以及加工成 150mmX 300mm的棱柱體(試料2)。此外，關(guān)于試料1，作為基材IOa準(zhǔn)備了用C、Si、Mg、Nb、 Ta、Ti、W、Mo、V或Cu制成的。還有，作為使之附著的稀土類金屬使用了 Dy (純度99% )。 并在同一條件下對(duì)試料1及試料2實(shí)施了處理。首先把(IOOg)Dy坯料裝入(φ300X500mm的)坩堝中，關(guān)閉閘閥3，隔絕該浸漬室加之后，通過使真空泵P運(yùn)轉(zhuǎn)開始軸真空，與此同時(shí)，通過使加熱裝置6運(yùn)轉(zhuǎn)開始打熱。并且在將浸漬室加內(nèi)保持1 的同時(shí)進(jìn)行加熱，Dy溫度一達(dá)到800°C，即通過氣體導(dǎo)入管7a把氬氣導(dǎo)入浸漬室加內(nèi)。另一方面，在準(zhǔn)備室如之中，在開閉門4b關(guān)閉狀態(tài)下，用真空泵P先減壓到lPa， 放置2分鐘，實(shí)施完準(zhǔn)備室如內(nèi)的脫氣之后，在準(zhǔn)備室如達(dá)到大氣壓之前導(dǎo)入氬氣。并且， 打開開閉門4b，把上述試料1以及試料2裝入，分別安裝在提升絞車8的夾鉗82上。并在關(guān)閉開閉門4b之后，利用真空泵P將準(zhǔn)備室如再次抽真空。在浸漬室如內(nèi)一通過加熱達(dá)到1407°C，Dy坯料即開始熔化。通過控制加熱裝置把熔融液溫度保持在1500°C上。接著，通過氣體導(dǎo)入管7b，在準(zhǔn)備室如內(nèi)達(dá)到與浸漬室加相同的壓力之前導(dǎo)入氬入，浸漬室加及準(zhǔn)備室如一達(dá)到同壓，即打開閘閥3，在該狀態(tài)下使卷繞手段的馬達(dá)8a正轉(zhuǎn)，通過夾鉗82使基材Ia從準(zhǔn)備室如下降到浸漬室加。此時(shí)的下降速度設(shè)定為0.05m/s。并且，該基材IOa被逐漸浸漬到Dy熔融液中，到達(dá)浸漬位置。到達(dá)浸漬位置后保持5秒鐘，然后，使卷取手段的馬達(dá)8a反轉(zhuǎn)，通過夾鉗82把基材IOa逐漸從熔融液中提起。此時(shí)的上升速度設(shè)定為0.02m/s。并且，夾鉗82—到達(dá)裝卸位置即關(guān)閉閘閥3。在該狀態(tài)下，導(dǎo)入氬氣，使準(zhǔn)備如內(nèi)的壓力保持IOOkPa,冷卻2分鐘。冷卻后，進(jìn)一步導(dǎo)入氬氣，使準(zhǔn)備室如內(nèi)恢復(fù)大氣壓，打開開閉門4b后取出。圖10是試料1的基材IOa的各種材料的比熱、比重以及單位體積的熱容量對(duì)比表。由此可知，在由Nb、Ta、Ti、W、Mo或V構(gòu)成的基材IOa以及試料2的情況下，可確認(rèn)基材 IOa中被浸漬到熔融液中的部分上形成了厚度基本均勻的凝固體，其中單位體積的熱容量 (比熱X比重)為2 3MJ/km3的材料好。另一方面，在由C、Si或Mg構(gòu)成的基材情況下， Dy幾乎不附著，此外，在由Cu構(gòu)成的基材情況下，Dy熔融液完全凝固。此外，當(dāng)把凝固體固定，對(duì)基材IOa施加拉伸力時(shí)，芯材很容易從凝固體中拔出，當(dāng)測(cè)定固體厚度時(shí)，為2. Omm0 此外，當(dāng)用公知方法壓軋?jiān)撐飼r(shí)，可加工成0. 3mm。附圖標(biāo)記說明1、10、蒸發(fā)材料，la、10a、芯材，lb、網(wǎng)眼(透孔)，10b、凝固體，W、線材，Dy (稀土類
金屬)^1^2、浸漬裝置。
權(quán)利要求
1.一種蒸發(fā)材料，其特征在于，包括配置有耐火金屬制作的芯材，前述芯材具有多個(gè)透孔，通過使稀土類金屬或稀土類金屬的合金熔化后附著并凝固在前述芯材上而形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)材料，其特征在于前述稀土類金屬或稀土類金屬的合金附著通過把前述芯材浸漬在該稀土類金屬或稀土類金屬的合金的熔融液中并提起來進(jìn)行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蒸發(fā)材料，其特征在于前述稀土類金屬是從鋱、鏑以及鈥中選擇出來的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)材料，其特征在于前述耐火金屬是從鈮、 鉬、鉭、鈦、釩及鎢中選擇出來的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)材料，其特征在于前述芯材是從用多根線材編織成格狀的網(wǎng)狀件、金屬網(wǎng)板或有孔金屬板中選擇出來的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)材料，其特征在于所述蒸發(fā)材料用于在真空中或減壓惰性氣體氣氛中，通過邊使包含鏑和鋱的蒸發(fā)材料蒸發(fā)邊熱處理，進(jìn)而提升釹鐵硼系的燒結(jié)磁石或熱可塑性加工磁鐵的矯頑力。
7.一種蒸發(fā)材料的制造方法，其特征在于，包括以下工序凝固體形成工序，其熔化稀土類金屬或稀土類金屬的合金，通過將耐火金屬制的基材保持在低于前述熔化溫度的狀態(tài)下浸漬在該熔融液中并提起，在前述基材表面形成由稀土類金屬或稀土類金屬的合金構(gòu)成的凝固體；脫離工序，使凝固體脫離前述基材；加工工序，將前述脫離的凝固體加工成板狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸發(fā)材料的制造方法，其特征在于前述基材最好是圓柱體或棱柱體。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的蒸發(fā)材料的制造方法，其特征在于通過增減前述基材在熔融液中的浸漬時(shí)間控制前述凝固體的厚度。
10.根據(jù)權(quán)利要求7 9中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)材料的制造方法，其特征在于通過改變前述基材往前述熔融液中浸漬時(shí)的溫度控制前述凝固體的厚度。
11.根據(jù)權(quán)利要求7 10中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)材料的制造方法，其特征在于前述稀土類金屬是從鋱、鏑、及鈥中選擇出來的一種。
12.根據(jù)權(quán)利要求7 11中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)材料的制造方法，其特征在于前述耐火金屬是從鈮、鉬、鉭、鈦、釩、及鎢中選擇出來的一種。
全文摘要
提供一種廉價(jià)的、可制成薄板狀的蒸發(fā)材料，能高效地用于在真空或減壓惰性氣體氣氛中通過邊蒸發(fā)Dy邊進(jìn)行熱處理來提高釹鐵硼系燒結(jié)磁鐵的矯頑力。本發(fā)明的蒸發(fā)材料1包括具有多個(gè)透孔的耐火金屬材質(zhì)的芯材1a，將稀土類金屬或稀土類金屬的合金熔解，使其附著并凝固在芯材1a上，此情況下，通過將前述芯材浸入該稀土類金屬或稀土類金屬的合金的熔融液并提起來進(jìn)行前述附著。
文檔編號(hào)H01F41/02GK102177271SQ20098014004
公開日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2009年10月6日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月8日
發(fā)明者宮城匡利, 廣瀨洋一, 新垣良憲, 永田浩 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛發(fā)科