專利名稱：電漿蝕刻機(jī)臺(tái)及其頂出銷(xiāo)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電漿蝕刻裝置，特別是一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)及其頂出銷(xiāo)。
背景技術(shù)：
隨著光學(xué)科技與半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步，液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display ;
LCD)已廣泛地應(yīng)用于電子產(chǎn)品顯示裝置上。液晶顯示器具有高畫(huà)質(zhì)、體積小、重量輕、 低電壓驅(qū)動(dòng)、低消耗功率及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，故已廣泛地應(yīng)用于可攜式電視、行動(dòng)電 話、攝錄放影機(jī)、筆記型計(jì)算機(jī)、桌上型顯示器、以及投影電視等消費(fèi)性電子或計(jì)算機(jī) 產(chǎn)品中，成為顯示器的主流。 —般液晶顯示器的主體為液晶單元，主要是由兩片透明基板以及被封于基板之 間的液晶所構(gòu)成。目前液晶顯示器是以薄膜晶體管(Thin Film Transistor ; TFT)液晶顯示 器為主，液晶上下兩層玻璃基板主要是用來(lái)夾住液晶，下層基板上有薄膜晶體管，而上 層基板則為一彩色濾光片(Color filter)。彩色濾光片在上層基板上形成紅(R)、綠(G)、藍(lán) (B)三原色的彩色濾光層，以使液晶顯示器呈現(xiàn)出豐富的顏色圖像。 薄膜晶體管基板需通過(guò)光學(xué)微影工藝，以在玻璃基板上形成所需的薄膜晶體 管。傳統(tǒng)的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)因電漿被下電極所吸引，而直接往下沖撞放置于下電極表面的 基板，以達(dá)到蝕刻的目的。然而，下電極因長(zhǎng)久使用，其表面浮凸圖案(embossment)的 周?chē)?，易形成生成物的沉積。此生成物會(huì)造成電容效應(yīng)，使靜電累積于下電極表面，以 致在玻璃基板與下電極接觸時(shí)，造成玻璃基板的損傷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)及其頂出銷(xiāo)，不僅可將玻 璃基板頂起，并可將基板與下電極上殘留的靜電接地，有效地避免電漿蝕刻工藝中，玻 璃基板的損傷。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種頂出銷(xiāo)，用于一電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，以頂起 一基板，其中，該頂出銷(xiāo)包含
—絕緣外殼；以及 —導(dǎo)電中心銷(xiāo)，安裝于該絕緣外殼之中，并在頂起該基板時(shí)，接觸該基板，以 移除該基板上的殘留靜電。 上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的導(dǎo)電中心銷(xiāo)的材料選自于金、銀、銅、鐵、鋁合 金與不銹鋼所構(gòu)成的群組，該絕緣外殼的材料選自于聚苯并咪唑、聚醚醚酮、陶瓷、石 英與聚酰亞胺所構(gòu)成的群組。 上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的導(dǎo)電中心銷(xiāo)具有一安全槽，該安全槽距離該導(dǎo)電 中心銷(xiāo)的一頂端92毫米。 上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的絕緣外殼具有一扳手固定槽，設(shè)置于該絕緣外殼 的上方部位，用以固定該頂出銷(xiāo)，該扳手固定槽，與該絕緣外殼的一頂端距離12毫米。






上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的絕緣外殼的一頂端，具有一倒角。 上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的絕緣外殼的一頂端，具有一斜面倒角。 上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的導(dǎo)電中心銷(xiāo)具有一底部接地端，以電性連接該電
漿蝕刻機(jī)臺(tái)的一接地線路。 為了更好地實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種頂出銷(xiāo)，其中，包含 一絕緣外殼；以及
一導(dǎo)電中心銷(xiāo)，安裝于該絕緣外殼之中。
為了更好地實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其中，包含 一上電極；
一下電極，具有多個(gè)第一開(kāi)口與多個(gè)第二開(kāi)口 ； 一升降裝置，安裝于該下電極的下方；以及
多個(gè)如上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的頂出銷(xiāo)安裝于該升降裝置上，且穿過(guò)所述 第二開(kāi)口，當(dāng)該基板進(jìn)行蝕刻時(shí)，該升降裝置驅(qū)動(dòng)所述頂出銷(xiāo)降下，使該基板平置于該 下電極之上，并覆蓋所述第二開(kāi)口，當(dāng)所述頂出銷(xiāo)頂起該基板時(shí)，該導(dǎo)電中心銷(xiāo)接觸該 基板，以移除該基板上的殘留靜電。 上述的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其中，所述的第一開(kāi)口為冷卻氣體的入口，以降低該基 板的溫度。 上述的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其中，所述的下電極在電漿蝕刻時(shí)，還通入一預(yù)定電 壓，以產(chǎn)生靜電吸附該基板。 為了更好地實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其中，包含 一上電極；
一下電極，具有多個(gè)開(kāi)口 ； 一升降裝置，安裝于該下電極的下方；以及
多個(gè)如上述的頂出銷(xiāo)，其中，所述的頂出銷(xiāo)設(shè)置于該升降裝置上，且分別對(duì)應(yīng) 穿過(guò)所述開(kāi)口。 本發(fā)明的技術(shù)效果在于本發(fā)明所公開(kāi)的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)及其頂出銷(xiāo)，可有效地 導(dǎo)引基板與下電極上殘留的靜電至接地線路，避免靜電造成玻璃基板的損傷。還可通過(guò) 安全槽的設(shè)計(jì)，降低下電極的損壞機(jī)率。扳手固定槽則方便頂出銷(xiāo)的安裝與拆卸。絕緣 外殼的頂端倒角則可以避免干涉導(dǎo)電中心銷(xiāo)與玻璃基板的接觸，且絕緣外殼可有效地保 護(hù)導(dǎo)電中心銷(xiāo)，進(jìn)而提升液晶顯示器的質(zhì)量與產(chǎn)量。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限




圖1為本發(fā)明所公開(kāi)的一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的示意圖； 圖2為本發(fā)明所公開(kāi)的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的下電極與頂出銷(xiāo)的示意圖； 圖3A為頂出銷(xiāo)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3B為導(dǎo)電中心銷(xiāo)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3C為絕緣外殼的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，附圖標(biāo)記100電漿蝕刻機(jī)臺(tái)101電漿110上電極120下電極130頂出銷(xiāo)140升降裝置150玻璃基板222第一開(kāi)口224第二開(kāi)口300頂出銷(xiāo)310絕緣外殼312扳手固定槽314倒角320導(dǎo)電中心銷(xiāo)322安全槽324底部接地端326固定部L距離330頂部接地端
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述 本發(fā)明公開(kāi)了一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)及其頂出銷(xiāo)，該頂出銷(xiāo)不僅有效地將玻璃基板 頂起，并可將玻璃基板與下電極上殘留的靜電導(dǎo)引至接地線路，以在電漿蝕刻工藝中， 有效地避免玻璃基板的損傷。以下將配合圖示以說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，并詳細(xì)說(shuō)明本 發(fā)明的技術(shù)特征。 參閱圖l，其為本發(fā)明所公開(kāi)的一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的示意圖。電漿蝕刻機(jī)臺(tái)100 包含有一上電極110、 一下電極120，以及一升降裝置140，其上安裝有多個(gè)頂出銷(xiāo)130， 頂出銷(xiāo)130經(jīng)由下電極120上的開(kāi)口穿過(guò)下電極120，以利用升降裝置140與頂出銷(xiāo)130， 將玻璃基板150頂起或放置于下電極120的表面。 進(jìn)一步參閱圖2，其為電槳蝕刻機(jī)臺(tái)100的下電極120與頂出銷(xiāo)130的對(duì)應(yīng)關(guān)系 示意圖。下電極120具有多個(gè)第一開(kāi)口 222與多個(gè)第二開(kāi)口 224。其中，第一開(kāi)口222 用來(lái)通入冷卻用的氣體，例如是氦氣(helium ; He)或其它惰性氣體，以在進(jìn)行蝕刻工藝 時(shí)，有效地降低玻璃基板150的溫度，進(jìn)而避免蝕刻過(guò)程玻璃基板150溫度過(guò)高的情況。
頂出銷(xiāo)130則安裝于第二開(kāi)口 224之中，并穿過(guò)下電極120。當(dāng)欲進(jìn)行玻璃基板 150的蝕刻時(shí)，升降裝置140下降，以驅(qū)動(dòng)頂出銷(xiāo)130下降，使玻璃基板150平置于下電 極120上，并覆蓋第二開(kāi)口 224。當(dāng)頂出銷(xiāo)130將玻璃基板150頂起時(shí)，由于本發(fā)明的頂 出銷(xiāo)130具有導(dǎo)電的功能，故可在接觸玻璃基板150時(shí)，有效地移除玻璃基板150上的殘留靜電。此外，由于玻璃基板150此時(shí)平置于下電極120上，故頂出銷(xiāo)130可進(jìn)一步地 將下電極120上的殘留靜電加以移除。 此外，當(dāng)進(jìn)行電漿蝕刻時(shí)，下電極120還可通入一預(yù)定電壓，以產(chǎn)生靜電吸附 玻璃基板150，以避免其蝕刻工藝中產(chǎn)生移動(dòng)。而上電極110可以為一陽(yáng)極，而下電極 120可以為一陰極，且射頻產(chǎn)生器(radio frequency generator ; RF generator)也連接于下電 極120。 進(jìn)一步參閱圖3A，其為頂出銷(xiāo)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖中所示，頂出銷(xiāo)300包含有 一絕緣外殼310以及一導(dǎo)電中心銷(xiāo)320安裝于絕緣外殼310中，且導(dǎo)電中心銷(xiāo)320在頂起 玻璃基板時(shí)，將會(huì)接觸玻璃基板，以移除玻璃基板上的殘留靜電。 參見(jiàn)圖3B，其為導(dǎo)電中心銷(xiāo)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，導(dǎo)電中心銷(xiāo)320由一具有 導(dǎo)電能力的材料所構(gòu)成，可以是一金屬中心銷(xiāo)，其材料可選自于金、銀、銅、鐵、鋁合 金、不銹鋼或其合金所構(gòu)成。此外，絕緣外殼310則由一耐高溫或抗腐蝕工程塑料所形 成，例如是由聚苯并咪唑(Polybenzimidazoles ; PBI)、聚醚醚酮(Polyether Ether Ketone ; PEEK)、陶瓷、石英或聚酰亞胺(Polyimide)所構(gòu)成。 此外，導(dǎo)電中心銷(xiāo)320還可在其上設(shè)置一安全槽322。安全槽322相較于導(dǎo)電 中心銷(xiāo)320具有較小的截面積的設(shè)計(jì)。因此，在生產(chǎn)工藝中，若產(chǎn)生不預(yù)期的斷裂時(shí)， 可先由此安全槽322的位置斷裂，以避免造成下電極的損壞。安全槽322的位置距離導(dǎo) 電中心銷(xiāo)320的頂端一預(yù)定的距離L，本實(shí)施例中L例如是約92毫米(mm)，使得頂出 銷(xiāo)300向上升起時(shí)，此安全槽322高出于下電極的表面，故當(dāng)利用機(jī)械手臂存取玻璃基板 時(shí)，即便是不慎造成頂出銷(xiāo)300斷裂時(shí)，頂出銷(xiāo)300會(huì)由安全槽322的位置被折斷，而不 會(huì)壓迫到下電極第二開(kāi)口的周?chē)鴵p傷下電極。換言之，頂出銷(xiāo)300在安全槽322以下 的部分，因此可產(chǎn)生較少的變形量，故不會(huì)造成頂出銷(xiāo)300穿過(guò)下電極的第二開(kāi)口的周 圍產(chǎn)生損壞。 參見(jiàn)圖3C，其為絕緣外殼的結(jié)構(gòu)示意圖，頂出銷(xiāo)300的絕緣外殼310還可設(shè) 置一扳手固定槽312，位于絕緣外殼310的上部，用來(lái)方便使用者利用扳手固定頂出銷(xiāo) 300。此扳手固定槽312設(shè)置在距離絕緣外殼310的頂端一預(yù)定的距離，本實(shí)施例中例如 是距離絕緣外殼310的頂端距離約12毫米(mm)的位置。絕緣外殼310的頂端較佳地具 有一倒角314，例如是一斜面倒角(Chamfer),以避免干涉導(dǎo)電中心銷(xiāo)320與玻璃基板的接 觸，且可在蝕刻工藝中，有效地保護(hù)導(dǎo)電中心銷(xiāo)320。導(dǎo)電中心銷(xiāo)320還具有一底部接地 端324以電性連接電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的一接地線路，以及一頂部接地端330以有效地接觸玻璃 基板。而頂出銷(xiāo)300的長(zhǎng)度則約為161.5毫米(mm)。導(dǎo)電中心銷(xiāo)320的下方還包含有一 固定部326以用來(lái)將其固定于升降裝置。此外，此頂出銷(xiāo)300也可使用于其它的大型基 板的電漿蝕刻工藝，而非限定于液晶顯示器的玻璃基板。 因此，本發(fā)明所公開(kāi)的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)與其所使用的頂出銷(xiāo)，可有效地導(dǎo)引基板 與下電極上殘留的靜電至電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的接地線路，避免玻璃基板因靜電放電所造成的 損傷，而通過(guò)安全槽的設(shè)計(jì)，還可以避免下電極因頂出銷(xiāo)被碰撞所造成的損壞。而扳手 固定槽則方便使用者利用扳手安裝或拆卸頂出銷(xiāo)。絕緣外殼的頂端形成倒角更有效地避 免了干涉導(dǎo)電中心銷(xiāo)與玻璃基板的接觸。 當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的 改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
一種頂出銷(xiāo)，用于一電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，以頂起一基板，其特征在于，該頂出銷(xiāo)包含一絕緣外殼；以及一導(dǎo)電中心銷(xiāo)，安裝于該絕緣外殼之中，并在頂起該基板時(shí)，接觸該基板，以移除該基板上的殘留靜電。
2. 如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的導(dǎo)電中心銷(xiāo)的材料選自于金、 銀、銅、鐵、鋁合金與不銹鋼所構(gòu)成的群組，該絕緣外殼的材料選自于聚苯并咪唑、聚 醚醚酮、陶瓷、石英與聚酰亞胺所構(gòu)成的群組。
3. 如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的導(dǎo)電中心銷(xiāo)具有一安全槽，該安 全槽距離該導(dǎo)電中心銷(xiāo)的一頂端92毫米。
4. 如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的絕緣外殼具有一扳手固定槽，設(shè) 置于該絕緣外殼的上方部位，用以固定該頂出銷(xiāo)，該扳手固定槽，與該絕緣外殼的一頂 端距離12毫米。
5. 如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的絕緣外殼的一頂端，具有一倒角。
6. 如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的絕緣外殼的一頂端，具有一斜面 倒角。
7. 如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的導(dǎo)電中心銷(xiāo)具有一底部接地端， 以電性連接該電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的一接地線路。
8. —種頂出銷(xiāo)，其特征在于，包含 一絕緣外殼；以及一導(dǎo)電中心銷(xiāo)，安裝于該絕緣外殼之中。
9. 一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，包含 一上電極；一下電極，具有多個(gè)第一開(kāi)口與多個(gè)第二開(kāi)口 ； 一升降裝置，安裝于該下電極的下方；以及多個(gè)如權(quán)利要求l所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的頂出銷(xiāo)安裝于該升降裝置 上，且穿過(guò)所述第二開(kāi)口，當(dāng)該基板進(jìn)行蝕刻時(shí)，該升降裝置驅(qū)動(dòng)所述頂出銷(xiāo)降下，使 該基板平置于該下電極之上，并覆蓋所述第二開(kāi)口，當(dāng)所述頂出銷(xiāo)頂起該基板時(shí)，該導(dǎo) 電中心銷(xiāo)接觸該基板，以移除該基板上的殘留靜電。
10. 如權(quán)利要求9所述的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述的第一開(kāi)口為冷卻氣體的 入口，以降低該基板的溫度。
11. 如權(quán)利要求10所述的電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述的下電極在電漿蝕刻時(shí)， 還通入一預(yù)定電壓，以產(chǎn)生靜電吸附該基板。
12. —種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，包含 一上電極；一下電極，具有多個(gè)開(kāi)口 ；一升降裝置，安裝于該下電極的下方；以及多個(gè)如權(quán)利要求l所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的頂出銷(xiāo)設(shè)置于該升降裝置上，且分別對(duì)應(yīng)穿過(guò)所述開(kāi)口
全文摘要
一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的頂出銷(xiāo)，包含有一絕緣外殼與一導(dǎo)電中心銷(xiāo)安裝于絕緣外殼之中。導(dǎo)電中心銷(xiāo)在頂起基板時(shí)，可直接接觸基板，以移除基板上的殘留靜電。絕緣外殼則形成抗腐蝕且高阻抗的保護(hù)層。導(dǎo)電中心銷(xiāo)可進(jìn)一步設(shè)置一安全槽，以避免造成下電極的損傷，也可以設(shè)置一扳手固定槽，以方便固定頂出銷(xiāo)。一種電漿蝕刻機(jī)臺(tái)包含一上電極、一下電極、一安裝于該下電極的下方的升降裝置以及多個(gè)頂出銷(xiāo)，頂出銷(xiāo)設(shè)置于該升降裝置。本發(fā)明可有效地導(dǎo)引基板與下電極上殘留的靜電至接地線路，避免靜電造成玻璃基板的損傷。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101692433SQ20091020414
公開(kāi)日2010年4月7日 申請(qǐng)日期2009年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月15日
發(fā)明者吳仲堯, 吳志堅(jiān), 宋嘉恩, 徐弘迪, 曾景義, 楊中維, 楊總勝, 楊勝淼, 江舜彥, 陳信全, 陳璟樺 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司