專利名稱：：透光電導(dǎo)體及其制造方法、靜電消除片和電子裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及透光性和導(dǎo)電性極好的透光電導(dǎo)體及其制造方法、靜電消除片和電子裝置。特別是，本發(fā)明涉及采用諸如碳納米管的碳納米線性(納米絲)結(jié)構(gòu)的透光電導(dǎo)體及其制造方法。
背景技術(shù)：
：透明導(dǎo)電膜已經(jīng)用作透明電極和靜電消除膜，透明電極用于涉及光進(jìn)/出的電子設(shè)備，如液晶顯示器和觸摸面板，靜電消除膜用于不希望沉積灰塵的透光構(gòu)件，如清潔室中的隔板。作為這樣的透明導(dǎo)電膜的材料，例如，已經(jīng)采用了諸如氧化銦錫(ITO)的無機(jī)氧化物和諸如摻雜氟的氧化錫(FTO)的無機(jī)氟化物。然而，這些氧化物和氟化物很硬且易碎，甚至輕微的彎曲或者撓曲即能裂縫或者剝落；因此，它們的機(jī)械加工性很差。另外，銦的資源很緊缺，并且將來很可能缺乏。作為無機(jī)氧化物和氟化物之外的其它導(dǎo)電材料，已經(jīng)提出了這樣的導(dǎo)電樹脂組成，其中諸如金屬或者碳的導(dǎo)電微粒分散在粘合劑樹脂中。然而，這樣的導(dǎo)電樹脂組成透光性很差，不適合要求透明度的用途。另一方面，1991年發(fā)現(xiàn)存在的碳納米管已經(jīng)引起人們的注意，這是因?yàn)楦鶕?jù)其結(jié)構(gòu)的細(xì)小變化而轉(zhuǎn)變成金屬性或半導(dǎo)體的特殊電特性以及其柔韌的機(jī)械特性。因此，已經(jīng)積極地進(jìn)行了碳納米管的基本研究和應(yīng)用研究。近年來，作為應(yīng)用研究之一，注意到金屬性碳納米管的極高的導(dǎo)電性，已經(jīng)提出了將其用作導(dǎo)電材料的透明導(dǎo)電膜以及制造這些膜的方法。例如，日本專利提前公開No.2004-230690(權(quán)利要求1、3-6頁、表1,在下文稱為專利文件1)提出了抗靜電透明樹脂板，其中至少在透明熱塑樹脂基板的一側(cè)上形成具有包含在透明熱塑樹脂中的碳納米管的抗靜電層。專利文件l中描述，抗靜電層中的離散(非糾纏)狀態(tài)的碳納米管或者各自由多個(gè)碳納米管構(gòu)成的離散(非糾纏)狀態(tài)的碳納米管束分散在熱塑樹脂中并且彼此接觸。通過以包含熱塑樹脂粉末、碳納米管和分散劑的涂敷液涂敷基板，來形成抗靜電層。然而，在上述的抗靜電層的構(gòu)造和生產(chǎn)方法中，分散劑妨礙了碳納米管的相互接觸，使其難于利用碳納米管固有的極好的導(dǎo)電性。因此，為了獲得所希望的導(dǎo)電性，會(huì)要求加入大量的碳納米管，這會(huì)引起透明度的降低。此外，難于在熱塑樹脂中均勻地分散碳納米管，從而不能在抗靜電層中獲得均勻的導(dǎo)電性?？紤]到這一點(diǎn)，日本專利提前公開No.2006-519712(權(quán)利要求1和2、6-11頁、圖2和4，在下文稱為專利文件2)提出了一種模塑導(dǎo)電體，其包括基板和形成在基板的表面上并且包含分散在其中的細(xì)導(dǎo)電纖維的導(dǎo)電層。在該才莫塑導(dǎo)電體中，至少導(dǎo)電纖維的某些部分固定(錨定)到基板上，而至少導(dǎo)電纖維的其他部分從導(dǎo)電層的最外表面突出，并且導(dǎo)電纖維在其從最外表面突出的部分或者在其固定到基板上的部分彼此進(jìn)行電接觸。在專利文件2的示例1中，示出了上述模塑導(dǎo)電體的生產(chǎn)示例，其中以與專利文件l中的抗靜電層相同的方式形成導(dǎo)電層后，該導(dǎo)電層經(jīng)受熱壓，從而碳納米管的彈回力使得碳納米管從熱塑樹脂層的表面突出。在該示例中，導(dǎo)電層的表面電阻系數(shù)通過熱壓從2.4x10"Q/口降低到7.7x107￡1/口。專利文件2描述了如下的表面電阻系數(shù)降低的原因。在有待熱壓的導(dǎo)電層中，碳納米管埋在熱塑樹脂層中。另一方面，在已經(jīng)熱壓的導(dǎo)電層中，各碳納米管的部分從熱塑樹脂層突出出來。當(dāng)碳納米管的突出部分在熱塑樹脂層的外面彼此接觸時(shí)，相互接觸的碳納米管之間不存在電絕緣體(熱塑樹脂)，從而降低了碳納米管之間的電阻。此外，在專利文件2的示例2中，示出了模塑導(dǎo)電體的生產(chǎn)示例，其中用通過將單壁碳納米管和分散劑(聚氧乙烯-聚氧丙烯共聚物)混合在異丙醇和水的混合溶劑中制備的涂敷液涂敷聚對苯二曱酸乙二醇脂(PET)膜。在如此形成僅由碳納米管和分散劑組成的導(dǎo)電材料后，對其涂敷氨基曱酸乙酯丙烯酸酯溶液，由此用氨基甲酸乙酯丙烯酸酯樹脂層覆蓋PET膜的表面和與該表面接觸的碳納米管之間的連接處。在該示例中，涂敷液中的碳納米管的含量為0.003%(質(zhì)量)，分散劑的含量為0.05%(質(zhì)量)。例如，M.Lee等在Naturenanotechnology,2006,1,66(在下文稱為非專利文件l)中描述了半導(dǎo)體碳納米管的半導(dǎo)體特性的應(yīng)用。在該示例中，形成僅由單壁碳納米管組成的導(dǎo)電層，并且制造了導(dǎo)電層用作溝道層的場效應(yīng)晶體管(FET)結(jié)構(gòu)的晶體管和利用該晶體管的物質(zhì)傳感器。非專利文件1示出了形成導(dǎo)電層的方法，其中基板浸沒在單壁碳納米管的1,2-二氯苯分散液中，并且通過利用單壁^i內(nèi)米管和基板間的親和性將單壁碳納米管粘合到基板上。此外，非專利文件1描述了單壁碳納米管對大部分基板材料的暴露表面顯示出很強(qiáng)的親和性，并且這樣的基板材料的示例包括金、二氧化硅、JE皮璃、；圭和鋁。另外，Q.Cao等在AdvancedMaterials,2006,18，304(在下文稱為非專利文件2)中示出了制造透明且柔性的薄膜晶體管(TFT)的示例。在該示例中，采用了這樣的方法，其中通過化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)將碳納米管形成在硅晶片表面上的氧化硅層上，并且這樣形成的碳納米管轉(zhuǎn)移印刷到形成在PET膜上的光固化環(huán)氧壓敏粘合層上。通過采用這樣的方法，形成柵極電極、半導(dǎo)體層以及源極電極和漏極電極，由此利用碳納米管形成TFT柵極絕緣層之外的所有其它構(gòu)件。此外，Y.Zhou等在AppliedPhysicsLetters,2006,88，123109(在下文稱為非專利文件3)中提出了形成其中均勻分布碳納米管的導(dǎo)電材料的方法。在該方法中，通過過濾器過濾碳納米管的分散液，并且均勻地沉積在過濾器上的碳納米管轉(zhuǎn)移到透明基板上。
發(fā)明內(nèi)容碳納米線性結(jié)構(gòu)包括顯示極高導(dǎo)電性的部分，其源自金屬性碳納米管。另外，碳納米線性結(jié)構(gòu)還包括顯示極好半導(dǎo)體特性的部分，如半導(dǎo)體碳納米管。對于碳納米線性結(jié)構(gòu)充分顯示的獨(dú)一無二的導(dǎo)電性，所希望的是出現(xiàn)在所述。專利文件1中描述的抗靜電層包含熱塑樹脂和碳納米管之外的分散劑，因此，碳納米管之間的導(dǎo)電性由這些其它成分損壞。在專利文件2的示例中，盡管從熱塑樹脂層的表面突出出來的碳納米管之間不存在熱塑樹脂，但是熱塑樹脂和分散劑以與專利文件1所示的抗靜電層相同的方式存在于埋入熱塑樹脂層中的碳納米管之間。因此，在這樣導(dǎo)電層的情況下，碳納米管之間的導(dǎo)電性再一次受到損壞。在專利文件2的示例2所示的導(dǎo)電層中，在形成僅由碳納米管和分散劑組成的導(dǎo)電材料后，形成氨基曱酸乙酯丙烯酸酯樹脂層。因此，氨基曱酸乙酯丙烯酸酯樹脂進(jìn)入碳納米管之間的間隙從而損壞碳納米管之間導(dǎo)電性的可能性很小。然而，因?yàn)閷?dǎo)電材料包含質(zhì)量約為碳納米管17倍的分散劑，所以碳納米管之間存在分散劑的可能性很高，因此降低了納米管之間的導(dǎo)電性。另外，因?yàn)橥ㄟ^涂敷法形成導(dǎo)電材料，所以碳納米管在溶劑蒸發(fā)時(shí)容易聚集在一起，導(dǎo)致形成碳納米管不均勻分布的導(dǎo)電材料。非專利文件1所示的導(dǎo)電層僅由均勻分布的單壁碳納米管(SWNT)組成。因此，在此情況下，不產(chǎn)生上述問題。然而，在該文件中，僅研究了半導(dǎo)體碳納米管的利用，而沒有進(jìn)行金屬性碳納米管利用上的研究。此外，沒有進(jìn)行包括基板的裝置透光性上的研究。同樣，關(guān)于單壁碳納米管和基板之間的親和性，只不過在上述的非專利文件1中有所描述。因此，從透光導(dǎo)體及其生產(chǎn)方法的角度看，該非專利文件1不包含任何研究。非專利文件2所示的導(dǎo)電層也僅由均勻分布的單壁碳納米管(SWNT)組成，并且具有透光性質(zhì)，如非專利文件2所強(qiáng)調(diào)。然而，在非專利文件2所示的制造方法中，SWNT層通過轉(zhuǎn)移粘合到環(huán)氧壓敏粘合層上，從而增加了層疊層的數(shù)量，并且因此降低了透光性。另外，因?yàn)橐D(zhuǎn)移的SWNT層由CVD法形成，所以難于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，且很難生產(chǎn)特性均勻的大面積的透光導(dǎo)體。非專利文件3描述了形成導(dǎo)電材料的方法，其中分散液中的碳納米管均勻地沉積在過濾器上，并且轉(zhuǎn)移大量沉積的碳納米管。該方法具有這樣的缺點(diǎn)，膜形成工藝非常復(fù)雜，并且該膜很可能包含大量的雜質(zhì)。因此，需要這樣的透光導(dǎo)體，其具有包括諸如碳納米管的碳納米線性結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電材料，并且能顯示出透光性和導(dǎo)電性而不受到損壞，還需要簡單而易于規(guī)模生產(chǎn)的制造方法、采用透光導(dǎo)體的靜電消除片和采用透光導(dǎo)體的電子裝置。本發(fā)明人為了解決上述問題進(jìn)行了集中和大量的研究，作為研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，當(dāng)碳納米管分散在對碳納米管的親和性低于透光支撐體的表面的溶劑中，并且將透光支撐體浸沒在最終的分散液中時(shí)，碳納米管自發(fā)地吸附在透光支撐體的表面上。根據(jù)該發(fā)現(xiàn)，已經(jīng)完成了本發(fā)明的實(shí)施例。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，提供透光電導(dǎo)體，其在透光支撐體的表面上包括導(dǎo)電材料，其中多個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)二維堆積且彼此部分接觸，其中導(dǎo)電材料是僅由碳納米線性結(jié)構(gòu)組成的透光導(dǎo)電材料，并且在透光支撐體的表之間形成直接結(jié)合。-才艮據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，提供制造透光電導(dǎo)體的方法，所述透光電導(dǎo)體包括在透光支撐體的表面上的導(dǎo)電材料，其中多個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)二維堆積且彼此部分接觸，導(dǎo)電材料是僅由碳納米線性結(jié)構(gòu)組成的透光導(dǎo)電材料，并且在透光支撐體的表面和與該表面接觸的碳納米線性結(jié)構(gòu)之間以及彼此接觸的碳納米線性結(jié)構(gòu)之間形成直接結(jié)合，其中該方法包括執(zhí)行系列步驟以預(yù)定的次數(shù)，該系列步驟包括下面的步驟在碳納米線性結(jié)構(gòu)在分散溶劑中的分散液中浸沒透光支撐體以預(yù)定的時(shí)間，以在透光支撐體的表面上吸附碳納米線性結(jié)構(gòu)；用清洗溶劑清洗從分散液中取出的透光支撐體的表面，以去除沒有吸附在表面上的碳納米線性結(jié)構(gòu)；以及蒸發(fā)分散溶劑和清洗溶劑，以固定吸附的碳納米線性結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)實(shí)施例，提供靜電消除片，其包括根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的透光電導(dǎo)體。根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施例，提供電子裝置，其提供有根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的透光電導(dǎo)體。附帶地，本發(fā)明中的碳納米線性結(jié)構(gòu)典型地為單壁碳納米管或者多壁碳納米管，更一般地講，包括晶化(原子有序排列)的碳納米管不很高的材料。具體地講，碳納米線性結(jié)構(gòu)可以是任何的含碳物質(zhì)的材料，其構(gòu)造中包含全部或者部分的巻曲片結(jié)構(gòu)作為導(dǎo)電區(qū)域，該巻曲片結(jié)構(gòu)具有截面尺寸幾納米至幾十納米的納米線(納米似)外形，截面方向上的電子運(yùn)動(dòng)限于納米尺寸的范圍內(nèi)，并且在宏觀規(guī)模上僅允許該結(jié)構(gòu)的縱向(軸向)上的電子運(yùn)動(dòng)。該外形可以是直線形狀或者曲線形狀，并且可以包括分支和/或節(jié)點(diǎn)。為了更加具體，碳納米線性結(jié)構(gòu)的示例不僅包括圓柱碳納米管，而且包括杯子堆疊形狀的碳納米管、碳納米觸角、碳納米桿、氣相生長碳納米纖維(例如，ShowaDenkoK.K.生產(chǎn)的VGCF)和石友納米導(dǎo)線。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體中，在透光支撐體的表面上直接提供導(dǎo)電材料，在導(dǎo)電材料中二維地堆積多個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)而使其彼此部分接觸。碳納米線性結(jié)構(gòu)因它們的直徑遠(yuǎn)小于可見光的波長而使其易于透射通過其間的可見光。而且，在導(dǎo)電材料的厚度方向(垂直于透光支撐體的表面的方向)上，通常存在一個(gè)或者不存在碳納米線性結(jié)構(gòu)，并且至多只有幾個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)彼此重疊；因此，導(dǎo)電材料的可見光透射性很高。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體中，只存在透光支撐體作為導(dǎo)電材料之外會(huì)妨礙可見光透射的物體。這保證了可最大程度地實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電材料的高可見光透射性。另夕卜，導(dǎo)電材料僅由碳納米線性結(jié)構(gòu)組成，并且相互接觸的碳納米線性結(jié)構(gòu)直接連接在一起，而沒有粘合樹脂或者分散劑等干擾。因此，在導(dǎo)電材料中，顯現(xiàn)出碳納米線性結(jié)構(gòu)自身的特性而不受到損壞。例如，在碳納米線性結(jié)構(gòu)由極高導(dǎo)電性的金屬性碳納米管組成的情況下，即使金屬性碳納米管的表面密度4艮低，導(dǎo)電材料也可以顯示出充分的導(dǎo)電性，而同時(shí)也顯示出高透光性，如稍后的示例中所示。這樣的導(dǎo)電材料適合于用作透明電極。此外，在碳納米線性結(jié)構(gòu)由半導(dǎo)體碳納米管組成的情況下，導(dǎo)電材料顯示出極好的半導(dǎo)體特性，并且因此可以用作透明和柔性的TFT的溝道層。此外，在碳納米線性結(jié)構(gòu)由碳納米管組成的情況下，顯現(xiàn)出碳納米管獨(dú)具的機(jī)械特性，即柔性和韌性，成為導(dǎo)電材料的特性而沒有損壞。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體的制造方法中，透光支撐體浸沒在碳吸附在透光支撐體的表面上。然后，用清洗溶劑清洗從分散液中取出的透光支撐體的表面，以去除沒有吸附在該表面上的碳納米線性結(jié)構(gòu)，其后固定吸附的碳納米線性結(jié)構(gòu)。根據(jù)該制造方法，利用碳納米線性結(jié)構(gòu)和透光支撐體的表面之間的親和性，在工藝中，分散液中的碳納米線性結(jié)構(gòu)自發(fā)地吸附在透光制成的表面上，此外，在后續(xù)清洗步驟中，去除沒有吸附在該表面上的碳納米線性結(jié)構(gòu)。因此，固定了僅吸附在透光支撐體的表面上的碳納米線性結(jié)構(gòu)。因此，與通過溶劑蒸發(fā)將碳納米線性結(jié)構(gòu)強(qiáng)制地沉積在支撐體表面上的涂敷法不同，可以劑蒸發(fā)時(shí)不聚集在一起。此外，在涂敷法中，沉積包含在涂敷所用的分散液中的所有碳納米線性結(jié)構(gòu)。另一方面，在本發(fā)明實(shí)施例所涉及的制造方法中，甚至在分散液中包含很少分散的碳納米線性結(jié)構(gòu)時(shí)，如果它們不吸附在透光支撐體的表面上，它們也不產(chǎn)生問題。因此，本發(fā)明的制造方法中采用的分散液中的碳納米線性結(jié)構(gòu)的分散性可以低于涂敷法中采用的分散液中的碳納米線性結(jié)構(gòu)。因此，在可選擇適當(dāng)溶劑的情況下，可以制備本發(fā)明方法中的分散液而不采用任何分散劑，從而避免分散劑結(jié)合在導(dǎo)電材料中。此外，甚至在采用諸如需要分散劑的溶劑的情況下，與涂敷法相比，也可以減少所采用的分散劑的量。而且，與涂敷法不同，在本發(fā)明的制造方法中，清洗步驟中可以去除分散劑。因此，防止了分散劑保留在導(dǎo)電材料中。此外，即使在分散液中包含有雜質(zhì)，如果它們不被吸附在透光支撐體的表面上，該雜質(zhì)也不產(chǎn)生問題。而且，即使該雜質(zhì)吸附在透光支撐體的表面上，在清洗步驟中也可以將其去除。從而，防止雜質(zhì)保留在導(dǎo)電材料中。另外，構(gòu)成導(dǎo)電材料的碳納米線性結(jié)構(gòu)一定粘合到透光支撐體的表面上，并且避免沒有粘合到透光支撐體的表面上的碳納米線性結(jié)構(gòu)堆疊多層的情形。因此，在構(gòu)成導(dǎo)電材料的碳納米線性結(jié)構(gòu)的表面密度方面自然存在上限。通過適當(dāng)選擇碳納米線性結(jié)構(gòu)在分散液中的濃度和浸沒時(shí)間，在不大于該上線的范圍內(nèi)，可以易于控制透光支撐體的表面上吸附的碳納米線性結(jié)構(gòu)的表面密度。因此，在才艮據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體的制造方法中，通過簡單且易于大規(guī)模生產(chǎn)的方法，可以形成高度平坦的導(dǎo)電材料，其中不包含任何分散劑或者雜質(zhì)，并且其中均勻地分布碳納米線性結(jié)構(gòu)。因此，能夠生產(chǎn)透光電導(dǎo)體^f吏得諸如碳納米管的碳納米線性結(jié)構(gòu)所具有的透光性、導(dǎo)電性和機(jī)械特性可以確保顯現(xiàn)而不受損壞。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的靜電消除片由剛剛所述的透光電導(dǎo)體組成，并且根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的電子裝置提供有剛剛所述的透光電導(dǎo)體。因此，在該靜電消除片和該電子裝置中，可以利用-l納米線性結(jié)構(gòu)所具有的諸如透光性、導(dǎo)電性和機(jī)械特性的極好特性而不受損壞。圖1示出了圖解根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的透光電導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)的截面圖和局部放大截面圖2A至2E示出了圖解制造圖1所示透光電導(dǎo)體的步驟流程的截面圖和局部》文大截面圖3示出了圖解根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例2的透光電導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)的截面圖和局部放大截面圖4是圖解根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例3的觸摸面板的結(jié)構(gòu)的截面圖5是示出本發(fā)明的示例1至5中的分散液中碳納米管的濃度與浸沒時(shí)間的乘積以及獲得的透光電導(dǎo)體的片電阻之間關(guān)系的圖線；和圖6示出了本發(fā)明的示例3沖獲得的透光電導(dǎo)體的表面在AFM(原子力顯孩i鏡)下觀察到的圖像。具體實(shí)施例方式在^f艮據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體中，優(yōu)選地，在垂直方向上觀察，碳納米線性結(jié)構(gòu)彼此部分重疊。如上所述，在導(dǎo)電材料中，多個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)基本上二維堆積，且其彼此局部接觸，并且在導(dǎo)電材料的厚度方向(垂直于透光支撐體表面的方向)上通常存在一個(gè)或者沒有碳納米線性結(jié)構(gòu)。然而，諸如碳納米管的大部分碳納米線性結(jié)構(gòu)為蜿蜒或彎曲曲線的形狀，從而在關(guān)于三個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)的某些位置上，從垂直方向(厚度方向)觀察會(huì)彼此重疊。另外，優(yōu)選地，導(dǎo)電材料具有10至1,000,000Q/口的片電阻和不低于70%的可見光透射率。具有這樣特性的導(dǎo)電材料可適合于用作透明電極或者透明導(dǎo)電膜。此外，優(yōu)選地，該導(dǎo)電材料形成透明電極。這是目前導(dǎo)電材料最為重要的應(yīng)用。因此，在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體及其制造方法中，優(yōu)選地，碳納米線性結(jié)構(gòu)為碳納米管。例如，單壁碳納米管包括導(dǎo)電性極高的金屬性碳納米管和半導(dǎo)體特性極好的半導(dǎo)體碳納米管。適合于本發(fā)明實(shí)施例的碳納米管不受特別限定，并且根據(jù)使用的用途可以適當(dāng)?shù)剡x擇性采用金屬性碳納米管和半導(dǎo)體碳納米管以及它們的混合。另外，根據(jù)需要可以選擇性地采用雙壁碳納米管和多壁碳納米管以及它們的混合。此外，還可以采用在其中空部分中包含富勒烯(flillerene)或者金屬離子的碳納米管。另外，優(yōu)選地，透光支撐體為玻璃板或者聚合樹脂板。在此情況下，優(yōu)選地，透光支撐體的表面已經(jīng)經(jīng)受了增強(qiáng)對碳納米線性結(jié)構(gòu)親和性的處理。例如，優(yōu)選地，透光支撐體為玻璃板，其表面通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理和有氧氣存在的等離子體處理中的至少一個(gè)來增強(qiáng)親水性?；蛘?，優(yōu)選地，透光支撐體為聚合樹脂板，通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理、有氧氣存在的電暈處理、有氧氣存在的等離子體處理和用硅烷偶聯(lián)劑處理中的至少一個(gè)使其表面具有親水性，或者在其表面上提供有親水層。此外，與上述相對應(yīng)，優(yōu)選地，碳納米線性結(jié)構(gòu)已經(jīng)經(jīng)受了增強(qiáng)對透光支撐體表面親和性的處理。例如，優(yōu)選地，碳納米線性結(jié)構(gòu)已經(jīng)用過氧化氬水溶液、硝酸和濃硫酸中的至少一個(gè)通過加熱處理來使其具有親水性。此外，優(yōu)選地，提供聚合樹脂層來覆蓋透光支撐體表面以及與該表面接觸的^友納米線性結(jié)構(gòu)之間的連接處。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體的制造方法中，優(yōu)選地，卣代烴用作分散溶劑。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的電子裝置中，優(yōu)選地，導(dǎo)電材料形成透明電極。該導(dǎo)電材料使其能夠獲得高透明性和導(dǎo)電性及極好機(jī)械強(qiáng)度的透明導(dǎo)電膜，以最大限度地利用碳納米線性結(jié)構(gòu)的特性，從而可用于觸摸面板等。另外，電子裝置構(gòu)造為物質(zhì)傳感器，其中導(dǎo)電材料形成傳感器部分。此外，優(yōu)選地，電子裝置具有構(gòu)成薄膜晶體管的導(dǎo)電材料。在此情況下，導(dǎo)電材料可以形成柵極電極、源極電極和漏極電極的任何一個(gè)，該導(dǎo)電材料可以形成半導(dǎo)體層，或者這樣的導(dǎo)電材料可以用于選擇性形成除了柵極絕緣層之外的所有構(gòu)件，以制造透明且柔性的薄膜晶體管(TFT)?，F(xiàn)在，在下面參考附圖具體描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。實(shí)施例1在實(shí)施例1中，主要將描述透光電導(dǎo)體和制造透光電導(dǎo)體的方法的示例。在此情況下，假設(shè)碳納米管用作碳納米線性結(jié)構(gòu)。圖1示出了圖解根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的透光電導(dǎo)體10的結(jié)構(gòu)的截面圖和局部放大截面圖。如圖l所示，在透光電導(dǎo)體10中，直接在透光支撐體3一側(cè)的主表面上提供導(dǎo)電材料2，在導(dǎo)電材料2中二維地堆積多個(gè)碳納米管1,并且多個(gè)碳納米管1彼此局部接觸。導(dǎo)電材料2具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中碳納米管l基本上二維堆積，并且在導(dǎo)電材料2的厚度方向(垂直于透光支撐體3表面的方向)上通常存在一個(gè)或者沒有碳納米管1。然而，因?yàn)樘技{米管1的大部分為蜿蜒或彎曲曲線的形狀，所以在關(guān)于三個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)的某些位置上，從垂直方向(厚度方向)觀察會(huì)彼此重疊。碳納米管1允許可見光易于通過其透射，這是因?yàn)樗鼈兊闹睆竭h(yuǎn)小于可見光的波長。此外，因?yàn)閷?dǎo)電材料2的厚度方向上通常存在一個(gè)或者沒有碳納米管l,如上所述，并且在厚度方向上觀察至多只有幾個(gè)碳納米管1會(huì)重疊，所以導(dǎo)電材料2顯示出很高的可見光透射性。在透光電導(dǎo)體10中，除了導(dǎo)電材料2外，只存在透光支撐體3作為可見光透射的阻礙體，々并且因此能夠充分利用導(dǎo)電材料2的高可見光透射性。另外，導(dǎo)電材料2僅由碳納米管1組成，并且彼此接觸的碳納米管1彼此直接結(jié)合，而不受粘合樹脂或者分散劑等干擾。因此，在導(dǎo)電材料2中，顯示出碳納米管1自身的特性，而不受到損壞。例如，在碳納米管1由極高導(dǎo)電性的金屬性碳納米管組成的情況下，即使碳納米管1的表面密度比較低，導(dǎo)電材料2也顯示出充分的導(dǎo)電性并且同時(shí)顯示出高透光性，如稍后的示例所示。具有這樣特性的導(dǎo)電材料可以適合于用作透明電極或者透明導(dǎo)電膜。此外，在碳納米管1由半導(dǎo)體碳納米管組成的情況下，導(dǎo)電材料2顯示出極好的半導(dǎo)體特性，并且因此可以用作透光TFT的溝道層。此外，碳納米管1具有的諸如柔性和韌性的機(jī)械特性呈現(xiàn)為導(dǎo)電材料2的特性，而不受到損壞。應(yīng)用于該實(shí)施例中的碳納米管1沒有特別限定；可以根據(jù)所要求的用途適當(dāng)?shù)剡x擇性采用單壁碳納米管的金屬性碳納米管和半導(dǎo)體碳納米管以及它們的混合。另外，也可以根據(jù)要求選擇性采用雙壁碳納米管和其他多壁碳納米管以及它們的混合。此外，還可以采用在其中空部分中包含富勒烯或者金屬離子的碳納米管。碳納米管1的制造方法不受特別限制。制造方法的具體示例包括電弧放電法、激光消融法和CVD法，包括作為CVD法的一種的HiPco法。優(yōu)選地，用這些方法的任何一個(gè)獲得的碳納米管通過諸如氧化、清潔(清洗)、過濾和離心分離的純化方法去除雜質(zhì)，以獲得高純度碳納米管而被投入使用。作為透光支撐體3，采用玻璃板或者聚合樹脂板。聚合樹脂板的材料示例包括聚對苯二曱酸乙二醇酯(PET)樹脂、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚曱基丙烯酸甲酯(PMMA)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂、聚乙烯(PE)樹脂、聚醚砜(PES)樹脂、聚酰亞胺(PI)樹脂和環(huán)氧樹脂。透光支撐體3的形狀不受特別限制；例如，采用膜狀或者片狀，厚度為80至300jim。圖2A至2E示出了圖解才艮據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的透光電導(dǎo)體10的制造步驟流程的截面圖和局部放大截面圖。首先，碳納米管經(jīng)受增強(qiáng)對透光支撐體3的表面的親和性的處理。例如，通過用過氧化氫水溶液的加熱處理，使碳納米管親水。作為增強(qiáng)碳納米管的親水性的處理，采用使用過氧化氫水溶液或者具有氧化能力的酸的氧化處理。具體地講，采用過氧化氫水溶液、硝酸、濃^琉酸或者將其中的某些組合而制備的酸溶液。處理溫度和處理時(shí)間沒有特別很定V然而，這些條件影響碳納米管在所用溶劑中的分散狀態(tài)、碳納米管在基板上的沉積量、所生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜的特性，等等；因此，為了實(shí)現(xiàn)所希望的特性有必要選擇最佳條件。附帶地，才艮據(jù)生產(chǎn)中釆用的合成方法和純化方法，所購買的碳納米管在引入碳納米管中親水基的數(shù)量上或者包含在碳納米管中的缺陷數(shù)量上發(fā)生變化；因此，有必要全面地抓住碳納米管的特性，并且選擇最佳的處理?xiàng)l件。接下來，如圖2A所,示，透光支撐體3的表面經(jīng)受增強(qiáng)對碳納米線性結(jié)構(gòu)的親和性的處理。處理的方法沒有特別限定。例如，與如上所述的碳納米管1的處理相對應(yīng)，在透光支撐體3為玻璃板的情況下，通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理和有氧氣存在的等離子體處理中的至少一個(gè)，增強(qiáng)其表面的親水性。另一方面，在透光支撐體3為聚合樹脂板的情況下，通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理、有氧氣存在的電暈處理、有氧氣存在的等離子體處理和用甲烷偶聯(lián)劑處理中的至少一個(gè)，使其表面親水，或者通過化學(xué)氣相沉積法(CVD法)、濺射法和氣相沉積法中的至少一個(gè)，在該表面上形成諸如氧化硅層和氧化鋁層的親水層。隨后，如圖2B所示，透光支撐體3浸沒在碳納米管分散液11中。制備分散液11所采用的分散溶劑希望能夠在其中均勻地分散碳納米管1。另外，這里采用的溶劑對碳納米管1的親和性必須低于透光支撐體3的表面。這樣的分散溶劑的示例包括其中的鍵具有輕微極性的卣代烴溶劑?？捎米鞣稚⑷軇┑木唧w溶劑示例包括1,1-二氯乙烷、1，2-二氯乙烷、l，l,l-三氯乙烷、三氯乙烯、四氯乙烯、溴曱烷、o-二氯苯、1,2,4-三氯苯、氯苯、溴苯和1,1,2,2-四氣乙》克。當(dāng)透光支撐體3浸沒在這樣的碳納米管分散液11中時(shí)，親和性的差別保證了分散在分散溶劑中的部分碳納米管12自發(fā)地吸附到透光支撐體3的表面上。在此情況下，所吸附的碳納米管13的表面密度可以易于通過適當(dāng)選擇碳納米管12在分散液11中的濃度和浸沒時(shí)間來控制。接下來，如圖2C所示，從分散液中取出透光支撐體3。在此條件下，與透光支撐體3接觸的分散液11包含沒有吸附在透光支撐體3上的碳納米管14。如果分散溶劑在此條件下蒸發(fā)，則沒有吸附的碳納米管14聚集在一起，由此降低了碳納米管分散的均勻性。考慮到這一點(diǎn)，如圖2D所示，用清洗溶劑15清洗透光支撐體3以去除沒有吸附的碳納米管14。當(dāng)分散液11中包含有分散劑和雜質(zhì)時(shí)，也可以在清洗的步驟中去除分散劑和雜質(zhì)。作為清洗溶劑15,可以采用與分散溶劑相同的溶劑。然而，應(yīng)當(dāng)注意的是，當(dāng)采用對分散劑和雜質(zhì)具有很高親和性的溶劑時(shí)，可以有效去除分散劑和雜質(zhì)。隨后，如圖2E所示，分散溶劑和清洗溶劑^f皮蒸發(fā)掉，由此吸附在透光支撐體3的表面上的碳納米管13固定到透光支撐體3的表面，因此形成僅由如此固定的^5友納米管1組成的導(dǎo)電材料2。才艮據(jù)需要，包括圖2B至2E步驟的系列步驟重復(fù)預(yù)定的次數(shù)，以生產(chǎn)顯示出所希望導(dǎo)電性的透光電導(dǎo)體10。根據(jù)上述方法，通過利用碳納米管1和透光支撐體3的表面之間的親和性，分散液ll中的部分碳納米管12自發(fā)地吸附到透光支撐體3的表面上。另夕卜，在后續(xù)的清洗步驟中去除沒有吸附的碳納米管14。從而，僅有吸附在透光支撐體3的表面上的碳納米管13固定到該表面。因此，與通過溶劑蒸發(fā)將石友納米管強(qiáng)制地沉積在支撐表面上的涂敷法不同，在溶劑蒸發(fā)時(shí)，本方法中的碳納米管可以均勻地固定，并且保持其在分散液11中的高度分散狀態(tài)而不聚集。另外，與包含在用于涂敷的分散液中的所有碳納米管都被沉積的涂敷法不同，即使本方法中的分散液11包含在溶劑中不良分散的碳納米管，只要這些碳納米管不被吸附在透光支撐體3的表面上，就不會(huì)產(chǎn)生問題。因此，分散液11中的碳納米管12的可分散性(分散性能)在某些情況下與涂敷法中采用的分散液中的碳納米管相比會(huì)更低。這保證了如果可以選擇適當(dāng)?shù)娜軇?，就可以不采用任何分散劑而制備分散液ll，從而避免了溶劑結(jié)合在導(dǎo)電材料2中。即使在采用必須有分散劑的溶劑的情況下，所采用的分散劑的量與涂敷法中采用的分散劑的情況相比也可以減少。而且，與涂敷法不同，分散劑可以在本方法的清洗步驟中去除。因此，避免了分散劑殘留在導(dǎo)電材料2中。此外，即使分?jǐn)溡簂l包含雜質(zhì)，只要雜質(zhì)不吸附在透光支撐體3的表面上，就不引起問題。此外，即使該雜質(zhì)吸附在該表面上，其也能在清洗步驟中去除。從而，避免了雜質(zhì)保留在導(dǎo)電材料2中。此外，因?yàn)闃?gòu)成導(dǎo)電材料2的碳納米管1一定粘合到透光支撐體3的表面，所以避免了沒有粘合到透光支撐體3表面的碳納米管堆疊多層的情形。因此，構(gòu)成導(dǎo)電材料2的碳納米管的表面密度自然存在上限。通過適當(dāng)選擇碳納米管12在分散液11中的濃度、浸沒時(shí)間和浸沒次數(shù)，可以易于將吸附在透光支撐體3表面!L的碳納米管13的表面密度控制在不高于該上限的范圍內(nèi)。因此，根據(jù)本實(shí)施例中的透光電導(dǎo)體10的制造方法，能夠形成不包含分散劑或雜質(zhì)并且其中碳納米管1均勻分布的高度平坦的導(dǎo)電材料。從而，能夠制造這樣的透光電導(dǎo)體10,其能顯現(xiàn)出碳納米管1所具有的透光性、導(dǎo)電性和機(jī)械特性而不受損壞。實(shí)施例2在實(shí)施例2中，將主要描述另一個(gè)透光電導(dǎo)體和另一個(gè)透光電導(dǎo)體的制造方法。圖3示出了圖解根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的透光電導(dǎo)體20的結(jié)構(gòu)的截面圖和局部放大截面圖。如圖3所示，在透光電導(dǎo)體20中，導(dǎo)電材料2設(shè)置為由固定到透光支撐體3的一側(cè)的主表面的碳納米管l組成，并且聚合樹脂層21提供為覆蓋透光支撐體3的表面和與該表面接觸的碳納米管1之間的連接處。聚合樹脂層21是與專利文件2的示例2中描述的氨基甲酸乙酯丙烯酸酯樹脂相類似的樹脂層。例如，在僅由碳納米管組成的導(dǎo)電材料2形成后，在其上涂敷諸如PEDOT(聚(3,4-亞乙基二氧噻吩))的導(dǎo)電聚合物溶液，以覆蓋連接處。在透光電導(dǎo)體20中，透光支撐體3的表面和碳納米管1之間的連接處由聚合物樹脂層21保護(hù)，并且因此增強(qiáng)了機(jī)械耐久性。希望使用PEDOT是因?yàn)楸M管略微降低了透光性，但是由此增強(qiáng)了導(dǎo)電性。除此之外，可以涂敷適當(dāng)溶劑中的Nafion(注冊商標(biāo)；由杜邦抹式會(huì)社生產(chǎn))或聚偏二氟乙烯的分散液。實(shí)施例3在實(shí)施例3中，作為提供有透光電導(dǎo)體的電子裝置的示例，主要描述構(gòu)造為觸摸面板的電子裝置。圖4是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3的觸摸面板50的結(jié)構(gòu)的截面圖。觸摸面板50是電阻膜型觸摸面板，其中在透光支撐體31上提供具有透明導(dǎo)電膜32的透光電導(dǎo)體30,在透光支撐體41上提供具有透明導(dǎo)電膜42的透光電導(dǎo)體40,透光電導(dǎo)體30和透光電導(dǎo)體40設(shè)置為使得透明導(dǎo)電膜32和透明導(dǎo)電膜42彼此面對。例如，透光支撐體31為玻璃基板，并且透光支撐體41為諸如PET膜的透明聚合物樹脂膜。透光支撐體31和透光支撐體41二者都可以由透明聚合物樹脂膜組成，并且在此情況下，可以形成具有柔性板面的觸摸面板。在透光電導(dǎo)體40沒有受壓的正常時(shí)間，透明導(dǎo)電膜32和透明導(dǎo)電膜42以間隔物51彼此分隔。當(dāng)透光電導(dǎo)體40受到用力觸摸(壓下)時(shí)，透光支撐體41和透明導(dǎo)電膜42彎曲，從而透明導(dǎo)電膜32和透明導(dǎo)電膜42在該觸摸位置彼此接觸，并且該觸摸位置的坐標(biāo)信息從該條件下的電阻值檢測出來。作為該實(shí)施例的特征，透光電導(dǎo)體40是，或者透光電導(dǎo)體30和透光電導(dǎo)體40都是以上實(shí)施例1描述的透光電導(dǎo)體10;此外，透明導(dǎo)電膜42是，或者透明導(dǎo)電膜32和透明導(dǎo)電膜42都是由碳納米管組成的導(dǎo)電材料2。導(dǎo)電材料2的片電阻均勻性和透光率高，并且具有良好柔性和韌性的機(jī)械特性。結(jié)果，根據(jù)該實(shí)施例的觸摸面板50的透光率和位置檢測精度高，并且具有高的耐久性和可靠性。示例現(xiàn)在，將參考示例更加詳細(xì)地描述上述實(shí)施例1的透光電導(dǎo)體及其制造方法，該示例不應(yīng)解釋為對本發(fā)明實(shí)施例的限制。示例1至5透光電導(dǎo)體的制造單壁碳納米管由激光消融法合成。單壁碳納米管利用過氧化氫的30%(質(zhì)量)水溶液在100。C下經(jīng)受氧化處理八小時(shí)，伴隨著用純水清洗和干燥。如此生產(chǎn)的單壁碳納米管加入o-二氯苯以達(dá)到預(yù)定的濃度，并且利用超聲波清潔器對其施加超聲波，以制備碳納米管在o-二氯苯中的均勻分散液。利用丙酮清潔188pm厚的PET膜的表面。隨后，利用紫外線(UV)/臭氧輻照設(shè)備對PET膜的表面進(jìn)行表面處理20分鐘，通過在臭氧氣體中輻照紫外線來增強(qiáng)親水性。其后，PET膜立即浸沒在預(yù)先制備的碳納米管分散液中。在持續(xù)浸沒預(yù)定的時(shí)間后，從碳納米管分散液中取出PET膜。其后，立即用丙酮溶劑沖洗和洗滌PET膜約十秒鐘，由此從其上去除分散溶劑和多余的沉積物。其后，鼓風(fēng)蒸發(fā)溶劑，隨后在IO(TC加熱五分鐘，以完全蒸發(fā)掉余下的溶劑。對上面制造的透光電導(dǎo)體進(jìn)行總透光率的測量。'另外,利用四端片電阻測量儀對透光電導(dǎo)體進(jìn)行片電阻的測量。此外，利用原子力顯微鏡(AFM)觀察透光電導(dǎo)體的表面狀況。在示例1至5中，評(píng)估了可見光透射率和片電阻根據(jù)分散液中的碳納米管的濃度和浸沒時(shí)間的變化而變化的情況。如此獲得的透光電導(dǎo)體的特性如表1所示。附帶地，表l中的可見光透射率是波長為550nm的光的透射率，其用作整個(gè)可見光的代表。另外，用作透光支撐體的PET膜對波長為550nm的光的單獨(dú)的透射率為89%;因此，考慮到這一點(diǎn)，由碳納米管組成的導(dǎo)電材料的單獨(dú)的透射率估計(jì)為97至100%。示例6至10由HiPco法制造的單壁碳納米管從CarbonNanotechnologies,Inc購買。單壁碳納米管加到1,1，2,2-四氯乙烷中達(dá)到預(yù)定的濃度，然后利用超聲波清潔器對其施加超聲波兩個(gè)小時(shí)，以制備單壁^^友納米管在1,1，2,2-四氯乙烷中的均勻分散液。除了剛剛所述的分散液的制備外，以與示例1至5相同的方式制造透光電導(dǎo)體，并且對特性進(jìn)行評(píng)估。結(jié)果如表l所示。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>圖5是示出示例1至5中碳納米管在分散液中的濃度與浸沒時(shí)間的乘積以及獲得的透光電導(dǎo)體的片電阻之間的關(guān)系的圖線。由圖可見，在碳納米管在分散液中的濃度為0.01g/L的情況下，對應(yīng)于乘積和片電阻的對數(shù)的點(diǎn)在一條直線上，并且濃度為0.1g/L或0.2g7L的情況下，這樣的點(diǎn)在另一條直線上，但是兩種情況中的點(diǎn)顯示出相同的趨勢。此外，這些點(diǎn)不顯示出碳納米管沉積量的飽和趨勢。因此，認(rèn)為通過增加碳納米管在分散液中的濃度或者浸沒時(shí)間，還可以進(jìn)一步降低片電阻。示例6至10中也觀察到與此相同的趨勢。圖6示出了在AFM下觀察到的示例3中獲得的透光電導(dǎo)體的表面的圖像。由圖6可見，細(xì)束的碳納米管均勻地沉積在基板表面上，其上很少沉積雜質(zhì)(碳納米管外的其它物質(zhì))。附帶地，在碳納米管分散液是通過加入分散劑來制備的情況下，即使PET膜以與示例中相同的方式浸沒在分散液中，也不會(huì)發(fā)生碳納米管吸附在PET膜上。同樣，在沒有經(jīng)受表面處理的PET膜浸沒在示例中采用的相同的碳納米管分散液中的情況下，不發(fā)生碳納米管吸附在PET膜上。示例1至10中制造的透光電導(dǎo)體具有10至l，OOO,OOOQ/口的片電阻和不低于70%的可見光透射率。另外，片電阻值的面內(nèi)偏差不特別限定，例如，在平均值的±10%內(nèi)。當(dāng)保持這樣的特性時(shí)，該導(dǎo)電材料可以廣泛地用作透明電極或者透明導(dǎo)電膜。盡管本發(fā)明已經(jīng)根據(jù)上面的實(shí)施例和示例進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明不限于此，也不受這些實(shí)施例和示例的限制，自然可在本發(fā)明的主旨范圍內(nèi)進(jìn)行各種修改。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的透光電導(dǎo)體可以有助于提高透明導(dǎo)電膜和透明電極的功能，從目前開始其變得愈發(fā)重要。另外，透光電導(dǎo)體可以用于涉及光進(jìn)/出的電子裝置，如液晶顯示器和觸摸面板，以及不希望沉積灰塵的透光構(gòu)件，如潔凈室中的隔板，由此貢獻(xiàn)于增強(qiáng)和擴(kuò)展這些裝置和構(gòu)件的功能。本申請包含2008年6月4日提交日本專利局的日本優(yōu)先權(quán)專利申請JP2008-146780中揭示的相關(guān)主題事項(xiàng)，因此其全部內(nèi)容一并作為參考。權(quán)利要求1、一種透光電導(dǎo)體，在透光支撐體的表面上包括導(dǎo)電材料，其中多個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)二維堆積且彼此部分接觸，其中所述導(dǎo)電材料是僅由所述碳納米線性結(jié)構(gòu)組成的透光導(dǎo)電材料，并且在所述透光支撐體的所述表面和與所述表面接觸的所述碳納米線性結(jié)構(gòu)之間以及彼此接觸的所述碳納米線性結(jié)構(gòu)之間形成直接結(jié)合。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體，其中所述碳納米線性結(jié)構(gòu)從垂直方向觀察彼此部分重疊。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體，其中所述碳納米線性結(jié)構(gòu)是碳納米管。4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體，其中所述透光支撐體是玻璃板或者聚合樹脂板。5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的透光電導(dǎo)體，其中所述透光支撐體的所述表面已經(jīng)經(jīng)受了增強(qiáng)對所述碳納米線性結(jié)構(gòu)親和性的處理。6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的透光電導(dǎo)體，其中所述透光支撐體是如下的玻璃板通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理和有氧氣存在的等離子體處理中的至少一個(gè)來增強(qiáng)所述玻璃板的表面的親水性。7、根據(jù)權(quán)利要求5所述的透光電導(dǎo)體，其中所述透光支撐體是如下的聚合樹脂板通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理、有氧氣存在的電暈處理、有氧氣存在的等離子體處理和用硅烷偶聯(lián)劑處理中的至少一個(gè)使所述聚合樹脂板的表面親水，或者在所述聚合樹脂板的表面上提供親水層。8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體，其中所述碳納米線性結(jié)構(gòu)已經(jīng)經(jīng)受了增強(qiáng)對所述透光支撐體的所述表面親和性的處理。9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的透光電導(dǎo)體，其中已經(jīng)通過用過氧化氫水溶液、硝酸和濃硫酸中的至少一個(gè)的加熱處理來使所述碳納米線性結(jié)構(gòu)親水。10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體，其中所述導(dǎo)電材料具有10至300,000Q/口的片電阻和不^氐于70%的可見光透射率。11、根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體，還包括覆蓋所述透光支撐體的所述表面和與所述表面接觸的所述碳納米線性結(jié)構(gòu)之間的連接處的聚合樹脂層。12、根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體，其中所述導(dǎo)電材料形成透明電極。13、一種制造透光電導(dǎo)體的方法，所述透光電導(dǎo)體包括在透光支撐體的表面上的導(dǎo)電材料，其中多個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)二維堆積且彼此部分接觸，所述導(dǎo)電材料是僅由所述碳納米線性結(jié)構(gòu)組成的透光導(dǎo)電材料，并且在所述透光支撐體的所述表面和與所述表面接觸的所述碳納米線性結(jié)構(gòu)之間以及彼此接觸的所述碳納米線性結(jié)構(gòu)之間形成直接結(jié)合，其中所述方法包括執(zhí)行系列步驟預(yù)定的次數(shù)，所述系列步驟包括下面的步驟在所述碳納米線性結(jié)構(gòu)分散在分散溶劑中的分散液中浸沒所述透光支撐體以預(yù)定的時(shí)間，以在所述透光支撐體的所述表面上吸附所述碳納米線性結(jié)構(gòu)；用清洗溶劑清洗^^人所述分散液中取出的所述透光支撐體的所述表面，以去除沒有吸附在所述表面上的碳納米線性結(jié)構(gòu)；以及蒸發(fā)所述分散溶劑和所述清洗溶劑，以固定所述吸附的碳納米線性結(jié)構(gòu)。14、根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中碳納米管用作所述碳納米線性結(jié)構(gòu)。15、根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中卣代烴用作所述分散溶劑。16、根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中玻璃板或者聚合樹脂板用作所述透光支撐體。17、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述透光支撐體的所述表面經(jīng)受增強(qiáng)對所述碳納米線性結(jié)構(gòu)親和性的處理。18、根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中玻璃基板用作所述透光支撐體，并且通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理和有氧氣存在的等離子體處理中的至少一個(gè)來增強(qiáng)所述玻璃基板的表面的親水性。19、根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中聚合樹脂板用作所述透光支撐體，并且通過臭氧處理、有臭氧氣體存在的紫外線處理、有氧氣存在的電暈處理、有氧氣存在的等離子體處理和用硅烷偶聯(lián)劑處理中的至少一個(gè)使所述聚合樹脂板的表面親水，或者在所述聚合樹脂板的表面上提供親水層。20、根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述碳納米線性結(jié)構(gòu)經(jīng)受增強(qiáng)對所述透光支撐體的所述表面親和性的處理。21、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中通過用過氧化氫水溶液、硝酸和濃硫酸中的至少一個(gè)的加熱處理，使所述碳納米線性結(jié)構(gòu)親水。22、根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，還包括下面的步驟提供覆蓋所述透光支撐體的所述表面和與所述表面接觸的所述碳納米線性結(jié)構(gòu)之間的連接處的聚合樹脂層。23、一種靜電消除片，包括根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體。24、一種電子裝置，提供有根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光電導(dǎo)體。25、根據(jù)權(quán)利要求24所述的電子裝置，其中所述導(dǎo)電材料形成透明電極。26、根據(jù)權(quán)利要求24所述的電子裝置，構(gòu)造為物質(zhì)傳感器，其中所述導(dǎo)電材料形成傳感器部分。27、根據(jù)權(quán)利要求24所述的電子裝置，其中所述導(dǎo)電材料構(gòu)成薄膜晶體管。全文摘要本發(fā)明提供透光電導(dǎo)體及其制造方法、靜電消除片和電子裝置，該透光電導(dǎo)體包括在透光支撐體表面上的導(dǎo)電材料，其中多個(gè)碳納米線性結(jié)構(gòu)二維堆積且彼此部分接觸，其中導(dǎo)電材料是透光導(dǎo)電材料，僅由碳納米線性結(jié)構(gòu)組成，并且在透光支撐體的表面和與該表面接觸的碳納米線性結(jié)構(gòu)之間以及彼此接觸的碳納米線性結(jié)構(gòu)之間形成直接結(jié)合。文檔編號(hào)H01B1/04GK101599316SQ20091014700公開日2009年12月9日申請日期2009年6月4日優(yōu)先權(quán)日2008年6月4日發(fā)明者清水圭輔申請人:索尼株式會(huì)社