專利名稱：一種舉升裝置及應(yīng)用該舉升裝置的等離子體處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種舉升裝置以及應(yīng)用該舉升裝置的等離子體處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著科技進(jìn)步，等離子體處理企業(yè)面臨著新的技術(shù)挑戰(zhàn)，因此，企業(yè)必須不斷進(jìn)行 技術(shù)創(chuàng)新以適應(yīng)新的市場(chǎng)需求。等離子體刻蝕技術(shù)是一種在諸如晶片等的半導(dǎo)體器件表面制造出精細(xì)圖案的等 離子體處理技術(shù)。在刻蝕工藝中，在傳輸平臺(tái)和工藝平臺(tái)之間保持晶片傳輸?shù)姆€(wěn)定性是保 證產(chǎn)品批量生產(chǎn)的基礎(chǔ)。為此，技術(shù)人員借助一種由晶片舉升裝置和機(jī)械手組成的傳輸系 統(tǒng)完成對(duì)晶片的裝載和卸載。圖1所示即為一種晶片舉升裝置的結(jié)構(gòu)。該舉升裝置包括自 上而下依次連接并保持相對(duì)水平的四針1、波紋管組件2、氣缸架3、升降柱4、氣缸固定板5 以及氣缸8。其中，氣缸架3和氣缸8借助氣缸固定板5、螺栓6和螺栓7而固定連接在一 起。波紋管組件2包括波紋管內(nèi)部軸(圖未示)和波紋管法蘭，波紋管內(nèi)部軸的上端連接 四針1，下端通過升降柱4和氣缸8的內(nèi)部軸(圖未示)相連。這樣，通過控制氣缸8即可 帶動(dòng)四針1完成相應(yīng)的舉升動(dòng)作。在實(shí)際應(yīng)用中，舉升裝置常被設(shè)置于等離子體處理設(shè)備中靜電卡持裝置下面的電 極屏蔽盒中，而四針的長(zhǎng)度一般設(shè)置為大于靜電卡持裝置的厚度，以使其可穿過靜電夾持 裝置上所開設(shè)的通孔。其工作過程如下機(jī)械手承載晶片進(jìn)入等離子體處理設(shè)備的工藝腔 室內(nèi)，同時(shí)舉升裝置的四針上升使其頂端高于靜電夾持裝置上表面，機(jī)械手將晶片放置在 四針頂端，四針退回原位，將晶片放置在靜電卡盤上而完成入座過程，以進(jìn)行相應(yīng)的加工工 藝；當(dāng)工藝完成后，四針上升將晶片頂起并由機(jī)械手將其取出，而完成離座過程。上述傳輸過程中，如果舉升裝置和機(jī)械手之間的水平度不一致，將導(dǎo)致取片失敗 或出現(xiàn)掉片等的問題，這不但造成原料浪費(fèi)而使成本增加，而且還將嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率。因 此，舉升裝置的水平度是等離子體處理工藝中的一個(gè)重要指標(biāo)，并且要求在實(shí)際工藝中能 夠?qū)嶋H需要而對(duì)其進(jìn)行調(diào)整。然而，在圖1所示的舉升裝置中，各組件通過螺栓來固定相對(duì) 位置，這樣雖然能夠使各組件保持相對(duì)水平，但是對(duì)于因基座不平或其他原因而導(dǎo)致四針 頂部不夠水平時(shí)，將無法快速便捷地調(diào)整四針頂部的水平度，從而給維護(hù)工作帶來不便。因此，技術(shù)人員對(duì)圖1所示的舉升裝置進(jìn)行了若干改進(jìn)，并得到圖2所示的舉升裝 置。圖2中，在氣缸固定板5上面設(shè)置有水平調(diào)節(jié)板9，并通過緊固螺栓10而將二者固定在 一起。氣缸架3通過螺栓6與水平調(diào)節(jié)板9固定連接。在水平調(diào)節(jié)板9四邊的中間位置， 均設(shè)置有用于進(jìn)行水平調(diào)節(jié)的包含有調(diào)節(jié)螺栓和鎖緊螺母的調(diào)平組件12。通過旋緊或旋松 調(diào)節(jié)螺栓而使氣缸固定板5和水平調(diào)節(jié)板9之間的相對(duì)距離發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)了舉升裝 置及其頂部四針?biāo)蕉鹊恼{(diào)節(jié)。在實(shí)際應(yīng)用中，盡管圖2所示的舉升裝置可在一定范圍內(nèi)調(diào)整其水平度，但是其 依然存在以下不足
其一，在該舉升裝置中，水平調(diào)節(jié)板9與氣缸固定板5通過緊固螺栓10而保持相 對(duì)位置關(guān)系并固定在一起，這就使得調(diào)平組件12的有效調(diào)節(jié)范圍很小，調(diào)節(jié)效果不明顯。 而如果在實(shí)際操作時(shí)，先將緊固螺栓10擰松，然后對(duì)調(diào)平組件12進(jìn)行調(diào)節(jié)使之達(dá)到適當(dāng)位 置，最后再將緊固螺栓10擰緊以進(jìn)行固定，這樣勢(shì)必導(dǎo)致操作較為復(fù)雜，而且，最后擰緊緊 固螺栓10時(shí)往往會(huì)對(duì)已調(diào)好的水平度產(chǎn)生影響，以致再需要進(jìn)行二次或多次地反復(fù)調(diào)節(jié) 才能達(dá)到期望的水平度。因此，該舉升裝置單次水平調(diào)節(jié)的精度較低，而多次調(diào)節(jié)又會(huì)浪費(fèi) 大量時(shí)間，進(jìn)而影響生產(chǎn)效率。其二，該舉升裝置的水平調(diào)節(jié)板9和氣缸固定板5之間不但設(shè)置有起固定連接作 用的緊固螺栓10，而且還要設(shè)置調(diào)平組件12。這就需要在水平調(diào)節(jié)板9和氣缸固定板5上 相應(yīng)地加工出多個(gè)通孔或螺紋孔，用以安裝上述緊固螺栓10和調(diào)平組件12，因而增大了加 工的復(fù)雜程度。其三，上述調(diào)平組件12的調(diào)節(jié)端設(shè)置在水平調(diào)節(jié)板9的上部，也就是說，上述調(diào)平 組件12的調(diào)節(jié)端位于氣缸固定板5和靜電夾持裝置之間，然而在實(shí)際應(yīng)用中，靜電夾持裝 置下方用于安裝舉升裝置的空間非常狹小，這樣便使得調(diào)節(jié)上述調(diào)平組件12時(shí)的操作空 間較小，從而給調(diào)節(jié)工作帶來不便，增大了調(diào)節(jié)難度
發(fā)明內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種舉升裝置及應(yīng)用該舉升裝置的等離子體 處理設(shè)備，其能夠方便快捷地進(jìn)行水平調(diào)節(jié)，并且還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于加工等特點(diǎn)。為此，本發(fā)明提供了一種舉升裝置，用于在半導(dǎo)體加工/處理過程中攜帶半導(dǎo)體 器件運(yùn)動(dòng)，其包括壓力缸、動(dòng)力傳遞部分和托舉部分，其中壓力缸連接動(dòng)力傳遞部分，用于 向動(dòng)力傳遞部分輸出運(yùn)動(dòng)機(jī)械能；動(dòng)力傳遞部分設(shè)置在壓力缸和托舉部分之間，用于將來 自壓力缸的運(yùn)動(dòng)機(jī)械能傳遞到托舉部分；托舉部分在來自動(dòng)力傳遞部分的運(yùn)動(dòng)機(jī)械能的作 用下攜帶半導(dǎo)體器件運(yùn)動(dòng)；此外，上述舉升裝置還包括設(shè)置在托舉部分和動(dòng)力傳遞部分之 間或者設(shè)置在動(dòng)力傳遞部分和壓力缸之間的水平調(diào)節(jié)部分，水平調(diào)節(jié)部分包括彼此靠近設(shè) 置的基板和調(diào)節(jié)板，在基板和調(diào)節(jié)板上至少設(shè)定三個(gè)調(diào)節(jié)位置，在每一個(gè)調(diào)節(jié)位置均設(shè)置 貫通基板和調(diào)節(jié)板的調(diào)節(jié)部安裝孔，并且臨近調(diào)節(jié)部安裝孔而在調(diào)節(jié)板和基板之間設(shè)置彈 性部件，調(diào)節(jié)部貫穿安裝孔而將調(diào)節(jié)板經(jīng)由彈性部件與基板連接在一起，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)部 而使彈性部件伸展或壓縮，從而調(diào)整調(diào)節(jié)板與基板之間的距離，進(jìn)而調(diào)節(jié)托舉部分頂部的 水平狀態(tài)。其中，在基板和/或調(diào)節(jié)板上靠近二者臨界面的位置處環(huán)繞調(diào)節(jié)部安裝孔而設(shè)置 彈性部件安裝槽，彈性部件通過嵌在安裝槽內(nèi)而設(shè)置在基板和調(diào)節(jié)板之間。其中，彈性部件 包括硬彈簧和/或彈簧墊片。其中，調(diào)節(jié)部包括相互配合的螺栓和螺母。螺栓為沉頭外六角螺栓，相應(yīng)地，調(diào)節(jié) 板中的調(diào)節(jié)部安裝孔的上部設(shè)置為與螺栓頭部的外六角形狀和尺寸相適配的內(nèi)六角形凹 槽，沉頭外六角螺栓的頭部嵌入到內(nèi)六角凹槽內(nèi)，而其尾部穿過調(diào)節(jié)板和基板而到達(dá)基板 的另一側(cè)，并且在此與螺母配合連接。其中，壓力缸為氣缸或液壓缸。其中，動(dòng)力傳遞部分包括升降柱和支架，基板和調(diào)節(jié)板其中之一連接并固定在支架上。其中，托舉部分包括具有內(nèi)軸的波紋管和/或帶有柱狀舉升部的舉升軛，波紋管 的頂端與內(nèi)軸固定在一起，柱狀舉升部的數(shù)量至少為三個(gè)。另外，本發(fā)明還提供一種等離子體處理設(shè)備，包括反應(yīng)腔室和置于反應(yīng)腔室內(nèi)的 靜電夾持裝置，在靜電夾持裝置下方設(shè)置有本發(fā)明所提供的舉升裝置。本發(fā)明具有以下有益效果其一，本發(fā)明提供的舉升裝置中，水平調(diào)節(jié)部分包括貫穿基板和調(diào)節(jié)板并將二者 緊固在一起的調(diào)節(jié)部以及臨近調(diào)節(jié)部而設(shè)置在調(diào)節(jié)板和基板之間的彈性部件，通過調(diào)節(jié)所 述調(diào)節(jié)部而使彈性部件伸展或壓縮，從而使調(diào)節(jié)板與基板之間的距離增大或縮小，進(jìn)而調(diào) 節(jié)所述托舉部分頂部的水平狀態(tài)。也就是說，本發(fā)明提供的舉升裝置中，僅對(duì)調(diào)節(jié)部進(jìn)行操 作即可實(shí)現(xiàn)水平度的調(diào)節(jié)以及基板和調(diào)節(jié)板的固定，而無需像背景技術(shù)中所述的那樣借助 于緊固螺栓和調(diào)平組件來實(shí)現(xiàn)上述調(diào)節(jié)和固定，因而，本發(fā)明提供的舉升裝置不僅調(diào)節(jié)方 便，而且還具有省時(shí)、調(diào)節(jié)效率高等特點(diǎn)。其二，本發(fā)明提供的舉升裝置中，由于調(diào)節(jié)部本身就兼有調(diào)節(jié)和緊固的功能，因而 無需再另外設(shè)置諸如緊固螺栓/螺釘之類的緊固件，并且也無需為另外設(shè)置這些緊固件而 另行開設(shè)通孔或螺紋孔，因此，本發(fā)明提供的舉升裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并易于加工。其三，在本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，將調(diào)節(jié)部的調(diào)節(jié)端(例如與沉頭外六角螺栓 配合的螺母)設(shè)置于調(diào)節(jié)板的下方，這樣無需像背景技術(shù)中那樣繞過基板和調(diào)節(jié)板再進(jìn)行 調(diào)節(jié)，因而符合現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié)的操作習(xí)慣，并且操作方便易行。類似地，由于本發(fā)明提供的等離子體處理設(shè)備設(shè)置有本發(fā)明提供的上述舉升裝 置，因而其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于加工，并且其還具有操作簡(jiǎn)單省時(shí)、并可提高生產(chǎn)效率等特點(diǎn)。


圖1為現(xiàn)有的一種舉升裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有的另一種舉升裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3a為本發(fā)明提供的舉升裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3b為圖3a中A部的局部放大圖；以及圖4為本發(fā)明提供的舉升裝置的立體示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的核心是提供了這樣一種用于在半導(dǎo)體加工/處理過程中攜帶半導(dǎo)體器 件運(yùn)動(dòng)的舉升裝置，其包括壓力缸、動(dòng)力傳遞部分、托舉部分以及設(shè)置在托舉部分和動(dòng)力傳 遞部分之間或者設(shè)置在動(dòng)力傳遞部分和壓力缸之間的水平調(diào)節(jié)部分，其中，水平調(diào)節(jié)部分 包括彼此靠近設(shè)置的基板和調(diào)節(jié)板，在所述基板和調(diào)節(jié)板上至少設(shè)定三個(gè)調(diào)節(jié)位置，在每 一個(gè)調(diào)節(jié)位置均設(shè)置貫通所述基板和調(diào)節(jié)板的調(diào)節(jié)部安裝孔，并且臨近所述調(diào)節(jié)部安裝孔 而在所述調(diào)節(jié)板和基板之間設(shè)置彈性部件，調(diào)節(jié)部貫穿所述安裝孔而將所述調(diào)節(jié)板經(jīng)由彈 性部件與所述基板連接在一起，通過調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)部而使彈性部件伸展或壓縮，從而調(diào)整 調(diào)節(jié)板與基板之間的距離，進(jìn)而調(diào)節(jié)所述托舉部分頂部的水平狀態(tài)。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供的舉升裝置及應(yīng)用該舉升裝置的等離子體處理設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。請(qǐng)一并參閱圖3a和3b，其中示出了本發(fā)明一個(gè)具體實(shí)施方式
所提供的舉升裝置。 該舉升裝置包括自上而下依次連接的托舉部分、動(dòng)力傳遞部分、水平調(diào)節(jié)部分和壓力缸。
其中，壓力缸作為動(dòng)力源，用于向所述動(dòng)力傳遞部分輸出運(yùn)動(dòng)機(jī)械能。其可以為氣 缸或液壓缸，在本實(shí)施例中選用氣缸8。動(dòng)力傳遞部分設(shè)置在壓力缸和托舉部分之間，包括升降柱4和支架3。其中，升降 柱4的頂端可連接至托舉部分的波紋管2的內(nèi)軸，升降柱4的底端可與氣缸8的內(nèi)軸(圖 未示)連接，用以將來自氣缸8的運(yùn)動(dòng)機(jī)械能傳遞到托舉部分。托舉部分包括具有內(nèi)軸的波紋管2和帶有柱狀舉升部的舉升軛1，其中，波紋管2 的頂端與其內(nèi)軸(圖未示)固定在一起，并且該內(nèi)軸連接至升降柱4的頂端，柱狀舉升部用 于承載晶片等半導(dǎo)體器件，以便在來自所述動(dòng)力傳遞部分的運(yùn)動(dòng)機(jī)械能的作用下攜帶諸如 晶片等的半導(dǎo)體器件運(yùn)動(dòng)。在實(shí)際應(yīng)用中，該柱狀舉升部的數(shù)量至少為三個(gè)，本實(shí)施例中為 四個(gè)，也就是背景技術(shù)中所說的四針。水平調(diào)節(jié)部分設(shè)置在動(dòng)力傳遞部分和壓力缸之間，包括彼此靠近設(shè)置的基板5和 調(diào)節(jié)板9。水平調(diào)節(jié)部分的基板5通過螺釘7與氣缸8相連接，調(diào)節(jié)板9通過螺釘6與動(dòng)力 傳遞部分的支架3相連接。在基板5和調(diào)節(jié)板9上至少設(shè)定三個(gè)調(diào)節(jié)位置，在本實(shí)施方式 中，設(shè)置了四個(gè)調(diào)節(jié)位置。上述四個(gè)調(diào)節(jié)位置沿基板5和調(diào)節(jié)板9的邊緣位置大致均勻地 分布，并且其中的每一個(gè)調(diào)節(jié)位置均設(shè)置有貫通所述基板5和調(diào)節(jié)板9的用于安裝調(diào)節(jié)部 13的安裝孔，并且臨近該安裝孔而在基板5和調(diào)節(jié)板9之間設(shè)置彈性部件14，調(diào)節(jié)部13貫 穿其安裝孔而將調(diào)節(jié)板9經(jīng)由彈性部件14與基板5連接在一起。此外，在基板5和調(diào)節(jié)板 9之間還設(shè)置有定位銷11。所述彈性部件14可以通過粘接和/或螺接和/或鉚接等的方式環(huán)繞調(diào)節(jié)部而設(shè) 置在基板5和調(diào)節(jié)板9之間，優(yōu)選地，在基板5和/或調(diào)節(jié)板9上靠近二者臨界面的位置 處環(huán)繞調(diào)節(jié)部13安裝孔而設(shè)置彈性部件14安裝槽，以將彈性部件14嵌在其安裝槽內(nèi)，從 而既可以實(shí)現(xiàn)在基板5和調(diào)節(jié)板9之間設(shè)置彈性部件14的目的，又可以借助于該安裝槽而 對(duì)彈性部件14進(jìn)行位置約束，以避免該彈性部件14出現(xiàn)傾斜等問題，從而影響水平度的調(diào) 節(jié)。在本實(shí)施例中，采用在基板5和調(diào)節(jié)板9上同時(shí)設(shè)置彈性部件14安裝槽的方式，而將 該彈性部件14嵌入并固定在這兩個(gè)相對(duì)應(yīng)的安裝槽內(nèi)。彈性部件14可以包括硬彈簧和/或彈簧墊片。本實(shí)施例中，彈性部件14選用硬 彈簧。需要指出的是，本發(fā)明中所說的硬彈簧是一個(gè)相對(duì)概念，也就是指硬度較大的彈簧， 在實(shí)際應(yīng)用中，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況(例如托舉部分、動(dòng)力傳遞部分、調(diào)節(jié) 板和/或基板的重量等情況)而選用適宜硬度和尺寸的彈簧，例如可以選用工作行程(即， 彈性范圍)在3mm以上、彈簧剛度為30 40N/mm的彈簧。所述調(diào)節(jié)部13包括相互配合的螺栓和螺母，其螺栓可以為沉頭外六角螺栓，優(yōu)選 地，在調(diào)節(jié)板9中的調(diào)節(jié)部安裝孔的上部設(shè)置為與上述螺栓頭部的外六角形狀和尺寸相適 配的內(nèi)六角形凹槽，將沉頭外六角螺栓的頭部嵌入到所述內(nèi)六角凹槽內(nèi)使其不能自由轉(zhuǎn) 動(dòng)，而其尾部穿過調(diào)節(jié)板9和基板5而到達(dá)基板5的另一側(cè)，并且在此與調(diào)節(jié)部的螺母配合 連接。這樣，通過旋轉(zhuǎn)該螺母而使彈性部件14伸展或壓縮，即可對(duì)調(diào)節(jié)板9與基板5之間 的距離進(jìn)行調(diào)整，進(jìn)而調(diào)節(jié)托舉部分頂部的水平狀態(tài)。當(dāng)然，在實(shí)際應(yīng)用中，調(diào)節(jié)部13的螺栓和螺母形狀可以不必局限于本實(shí)施例中所述的形式；當(dāng)然也可以不設(shè)置與螺栓頭外形相 適配的凹槽，而是在調(diào)節(jié)過程中借助于鉗子或扳子等工具而將螺栓頭固定。需要指出的 是，所謂調(diào)節(jié)板指的是水平調(diào)節(jié)部分中與螺栓頭部相連的那一個(gè)平 板，所謂基板指的是水平調(diào)節(jié)部分中與螺栓尾部相連的那一個(gè)平板。在實(shí)際應(yīng)用中，可以是 調(diào)節(jié)板連接動(dòng)力傳遞部分、基板連接壓力缸，也就是說，調(diào)節(jié)部的螺栓頭部位于調(diào)節(jié)板和基 板的上方，而螺栓尾部及與之配合的螺母位于調(diào)節(jié)板和基板的下方；也可以是調(diào)節(jié)板連接 壓力缸、基板連接動(dòng)力傳遞部分，也就是說，調(diào)節(jié)部的螺栓頭部位于調(diào)節(jié)板和基板的下方， 而螺栓尾部及與之配合的螺母位于調(diào)節(jié)板和基板的上方。當(dāng)然，為便于調(diào)節(jié)，優(yōu)選采用前者 (也就是圖3a和3b所示的方式)。此外，盡管本實(shí)施例中的水平調(diào)節(jié)部分被設(shè)置于壓力缸和動(dòng)力傳遞部分之間，但 是在實(shí)際應(yīng)用中并不局限于此，而是也可以將水平調(diào)節(jié)部分設(shè)置在托舉部分和動(dòng)力傳遞部 分之間，即，使基板與托舉部分或動(dòng)力傳遞部分連接并固定，相應(yīng)地，使調(diào)節(jié)板與動(dòng)力傳遞 部分或托舉部分連接并固定。請(qǐng)參閱圖4，為本發(fā)明提供的舉升裝置的立體示意圖。借助于諸如硬彈簧的彈性部 件的彈性作用而使調(diào)節(jié)板和基板之間保持相對(duì)穩(wěn)定的狀態(tài)，并且當(dāng)該舉升裝置中舉升軛的 水平度達(dá)不到工藝要求時(shí)，只需調(diào)節(jié)相應(yīng)位置處的調(diào)節(jié)部(例如，旋緊/旋松調(diào)節(jié)部的螺母 或螺栓頭部)，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)其水平度的快速調(diào)節(jié)。此外，本發(fā)明還提供一種等離子體處理設(shè)備，包括反應(yīng)腔室和置于反應(yīng)腔室內(nèi)的 靜電夾持裝置，在靜電夾持裝置下方設(shè)置有本發(fā)明提供的上述舉升裝置，用以攜帶諸如晶 片等的半導(dǎo)體器件進(jìn)行入座/離座等操作?？梢岳斫獾氖?，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施 方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精 神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
一種舉升裝置，用于在半導(dǎo)體加工/處理過程中攜帶半導(dǎo)體器件運(yùn)動(dòng)，其包括壓力缸、動(dòng)力傳遞部分和托舉部分，其中所述壓力缸連接所述動(dòng)力傳遞部分，用于向所述動(dòng)力傳遞部分輸出運(yùn)動(dòng)機(jī)械能；所述動(dòng)力傳遞部分設(shè)置在所述壓力缸和托舉部分之間，用于將來自所述壓力缸的運(yùn)動(dòng)機(jī)械能傳遞到所述托舉部分；所述托舉部分在來自所述動(dòng)力傳遞部分的運(yùn)動(dòng)機(jī)械能的作用下攜帶半導(dǎo)體器件運(yùn)動(dòng)；其特征在于所述舉升裝置還包括設(shè)置在所述托舉部分和動(dòng)力傳遞部分之間或者設(shè)置在所述動(dòng)力傳遞部分和壓力缸之間的水平調(diào)節(jié)部分，所述水平調(diào)節(jié)部分包括彼此靠近設(shè)置的基板和調(diào)節(jié)板，在所述基板和調(diào)節(jié)板上至少設(shè)定三個(gè)調(diào)節(jié)位置，在每一個(gè)調(diào)節(jié)位置均設(shè)置貫通所述基板和調(diào)節(jié)板的調(diào)節(jié)部安裝孔，并且臨近所述調(diào)節(jié)部安裝孔而在所述調(diào)節(jié)板和基板之間設(shè)置彈性部件，調(diào)節(jié)部貫穿所述安裝孔而將所述調(diào)節(jié)板經(jīng)由彈性部件與所述基板連接在一起，通過調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)部而使彈性部件伸展或壓縮，從而調(diào)整調(diào)節(jié)板與基板之間的距離，進(jìn)而調(diào)節(jié)所述托舉部分頂部的水平狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的舉升裝置，其特征在于，所述彈性部件通過粘接和/或螺接和 /或鉚接的方式而設(shè)置在所述基板和調(diào)節(jié)板之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的舉升裝置，其特征在于，所述彈性部件環(huán)繞所述調(diào)節(jié)部而設(shè) 置在所述基板和調(diào)節(jié)板之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的舉升裝置，其特征在于，在所述基板和/或調(diào)節(jié)板上靠近二者 臨界面的位置處環(huán)繞所述調(diào)節(jié)部安裝孔而設(shè)置彈性部件安裝槽，所述彈性部件通過嵌在所 述安裝槽內(nèi)而設(shè)置在所述基板和調(diào)節(jié)板之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的舉升裝置，其特征在于，所述彈性部件包括硬彈簧和/或彈簧 墊片。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的舉升裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)部包括相互配合的螺栓和 螺母。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的舉升裝置，其特征在于，所述螺栓為沉頭外六角螺栓，相應(yīng) 地，所述調(diào)節(jié)板中的調(diào)節(jié)部安裝孔的上部設(shè)置為與所述螺栓頭部的外六角形狀和尺寸相適 配的內(nèi)六角形凹槽，所述沉頭外六角螺栓的頭部嵌入到所述內(nèi)六角凹槽內(nèi)，而其尾部穿過 所述調(diào)節(jié)板和基板而到達(dá)所述基板的另一側(cè)，并且在此與所述螺母配合連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的舉升裝置，其特征在于，所述基板與所述托舉部分或動(dòng)力傳 遞部分連接并固定，相應(yīng)地，所述調(diào)節(jié)板與所述動(dòng)力傳遞部分或托舉部分連接并固定；或者所述基板與所述動(dòng)力傳遞部分或壓力缸連接并固定，相應(yīng)地，所述調(diào)節(jié)板與所述壓力 缸或動(dòng)力傳遞部分連接并固定。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的舉升裝置，其特征在于，所述托舉部分包括具有內(nèi)軸的波紋 管和/或帶有柱狀舉升部的舉升軛，所述波紋管的頂端與所述內(nèi)軸固定在一起，所述柱狀 舉升部的數(shù)量至少為三個(gè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的舉升裝置，其特征在于，所述壓力缸為氣缸或液壓缸。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的舉升裝置，其特征在于，所述動(dòng)力傳遞部分包括升降柱和支 架，所述基板和調(diào)節(jié)板其中之一連接并固定在所述支架上。
12. —種等離子體處理設(shè)備，包括反應(yīng)腔室和置于反應(yīng)腔室內(nèi)的靜電夾持裝置，其特征 在于，在所述靜電夾持裝置下方設(shè)置有權(quán)利要求1至11中任意一項(xiàng)所述的舉升裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種舉升裝置，用于在半導(dǎo)體加工/處理過程中攜帶半導(dǎo)體器件運(yùn)動(dòng)，其包括壓力缸、動(dòng)力傳遞部分和托舉部分，以及設(shè)置在所述托舉部分和動(dòng)力傳遞部分之間或者設(shè)置在所述動(dòng)力傳遞部分和壓力缸之間的水平調(diào)節(jié)部分。該水平調(diào)節(jié)部分借助彈性部件和調(diào)節(jié)部實(shí)現(xiàn)對(duì)舉升裝置的水平度的快速調(diào)節(jié)。另外，本發(fā)明還提供一種應(yīng)用上述舉升裝置的等離子體處理設(shè)備。本發(fā)明提供的舉升裝置及等離子體處理設(shè)備具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便快捷等的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101872731SQ200910082619
公開日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2009年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月21日
發(fā)明者于巖 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司