專利名稱：包括冷卻循環(huán)路徑的基板搬運機器人的驅動設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種基板搬運機器人，更詳細地，涉及制造設備中的 包括冷卻循環(huán)路徑的基板搬運機器人的驅動設備，該制造設備在真空 環(huán)境下制造半導體晶圓、液晶板等的被處理體。
背景技術：
搬運機器人用于連續(xù)地提供到處理室的搬運室，用來搬運半導體 晶圓、液晶板等的被處理體到各個處理室。半導體晶圓，液晶板等的 被處理體憎恨粒子并需要被細致地處理。因此，在真空環(huán)境下使用搬 運機器人。此外，進行搬運機器人的維護，使得粒子不產生在真空環(huán) 境中。
根據(jù)在現(xiàn)有技術的搬運機器人中所用的驅動設備，搬運室的分隔 壁設置有軸承外殼，旋轉輸入軸通過兩個軸承以可旋轉的方式設置在 軸承外殼，旋轉輸入軸通過設置在兩個軸承之間的磁流體密封件被氣 密密封，因而構成密封單元。此外，旋轉輸入軸的下端通過減速器(例 如，參考專利參考l)與驅動馬達連接。
此外，如搬運機器人的其它驅動設備，具有通過金屬分隔壁氣密 密封馬達定子和馬達轉子之間的間隔的功能的真空驅動設備(例如，
參考專利參考2)被廣泛而通常地使用。
然而，根據(jù)如專利參考1的背景技術的在真空環(huán)境下使用的驅動 設備，有必要串聯(lián)地布置多件磁流體密封件以便保證真空狀態(tài)的氣密 功能，并且因此其結構復雜化、尺寸變大且昂貴。此外，磁流體密封 件使用特別的流體，并且因此，最終用戶不能進行維護，磁流體的霧
總是排出到真空中，并且因此，引起污染搬運室的問題。
此外，根據(jù)如專利參考2的通過馬達定子和馬達轉子之間的金屬
分隔壁而具有氣密密封功能的真空驅動設備，雖然氣密性能是優(yōu)秀的， 但用來以可旋轉的方式支撐借助外部載荷進行工作的輸出樞轉構件的 軸承需要布置在真空中。因此，需要昂貴的真空用軸承，其暴露到真 空中的區(qū)域增加，用于真空處理的運行成本增加并且驅動設備變得昂 貴。此外，當有必要傳遞具有大輸出的轉矩時，出現(xiàn)直接驅動馬達自 身相比于減速器尺寸過大的問題。
為了解決專利參考1或2中公開的背景技術的問題，專利參考3 提供能夠用作制造設備的驅動部分的真空用齒輪設備，該制造設備用 來在真空環(huán)境下制造半導體晶圓、液晶板等的被處理體，該真空用齒 輪設備是小尺寸且不昂貴的，并且維護性能優(yōu)秀。
根據(jù)專利參考3的真空用齒輪設備，該設備的特征在于，接觸型 真空密封件布置在固定構件和真空環(huán)境下使用的真空用齒輪設備的輸 出構件之間。通過構造這種結構，在真空環(huán)境下使用的驅動設備可以 制造成小尺寸。此外，通過跟隨固定構件的芯部和真空用齒輪設備的 輸出構件可布置真空密封件，并且因此，省去將背景技術的密封單元 和減速器中心對準的操作并且提高維護性能。
專利參考l: JP-A-6-285780 專利參考2:日本專利No.2761438 專利參考3: JP-A-2004-84920

發(fā)明內容
本發(fā)明要解決的問題
專利參考3中公開的真空用齒輪設備是用來搬運半導體晶圓、液 晶玻璃板等的薄板的機器人的驅動設備，該搬運機器人布置在維持氣
密的轉移室的內部以便輸送薄板到處理室。
在這種情況下，根據(jù)在CVD、 PVD等的等于或高于100° C的高
溫環(huán)境下進行的處理，存在如下情況熱從經受高溫處理的薄板傳遞
到機器人臂，并且驅動設備的接觸型真空密封部分的溫度升高到超過 真空密封件的耐熱溫度。結果，引起大氣泄漏到維持氣密的轉移室的 內部的缺點的問題。
本發(fā)明的目的是提供一種板搬運機器人的驅動設備，其中，冷卻 板搬運機器人的驅動設備的接觸型真空密封部分，此外，在必要時也 冷卻機器人臂，防止真空密封件超過耐熱溫度，并且防止出現(xiàn)大氣泄 漏到維持氣密的轉移室中的缺點。
解決問題的手段
根據(jù)本發(fā)明，通過用來在真空環(huán)境下搬運基板的容納一組臂的機
器人的驅動設備實現(xiàn)上述目的，包括驅動設備，用來驅動以旋轉所 述組的臂，布置在大氣側和真空側之間并且在大氣側被驅動使得驅動 設備在大氣側被驅動；其中驅動設備包括真空密封件，布置在固定 構件和輸出構件之間；和油密封件，在固定構件和輸出構件之間布置 在真空密封件的大氣側上，使得真空密封件和油密封件在固定構件和 輸出構件之間形成環(huán)狀空間。
其中，形成冷卻循環(huán)路徑，使得固定構件設置有從大氣側到環(huán) 狀空間的冷卻循環(huán)路徑的供給口；和從環(huán)狀空間到大氣側的冷卻循環(huán) 路徑的排出口。
此外，根據(jù)本發(fā)明，通過用于在真空環(huán)境下搬運基板的容納一組 臂的機器人的驅動設備實現(xiàn)上述目的，包括
驅動設備，用來驅動以旋轉所述組的臂，布置在大氣側和真空側 之間并且在大氣側被驅動使得驅動設備在大氣側被驅動；
其中驅動設備包括
真空密封件，布置在固定構件和輸出構件之間；和
油密封件，在固定構件和輸出構件之間布置在真空密封件的大氣
側上，使得真空密封件和油密封件在固定構件和輸出構件之間形成環(huán)
狀空間，
其中，用來將真空密封件和油密封件形成的環(huán)狀空間分成兩個分 開的部分的另一密封件布置在固定構件和輸出構件之間，并且
形成冷卻循環(huán)路徑，使得固定構件設置有從大氣側到分開的部 分的一個上的環(huán)狀空間的冷卻循環(huán)路徑的供給口；和從分開的部分的 另一個上的環(huán)狀空間到大氣側的冷卻循環(huán)路徑的排出口，并且
輸出構件設置有與分開的部分的一個上的環(huán)狀空間連通的旋轉 供給路徑；和與分開的部分的另一個上的環(huán)狀空間連通的旋轉排出路 徑，
旋轉供給路徑和旋轉排出路徑向臂構件打開，從而冷卻臂構件。
在這種情況下，優(yōu)選的是，在一側上的環(huán)狀空間是真空側上的環(huán) 狀空間，并且另一側上的環(huán)狀空間是大氣側上的環(huán)狀空間。
此外，優(yōu)選的是，本發(fā)明的用來搬運基板的機器人的驅動設備還 包括驅動馬達；輸出傳動軸，通過與其接觸的真空密封件被包含在 外殼的內周側；和減速器，用來將驅動馬達的輸出旋轉通過減小其速 度而傳遞到輸出傳動軸，并且優(yōu)選的是，減速器是偏心樞轉型減速器， 包括外齒齒輪構件，多個凸輪軸插入到外齒齒輪構件的孔中；和內 齒齒輪構件，其內周與外齒齒輪構件的外周嚙合。此外，優(yōu)選地構造 通過整體聯(lián)結外殼和內齒齒輪構件構成本發(fā)明的固定構件的結構，并 且輸出構件包括輸出傳動軸。
此外，在固定構件和輸出構件之間，另外的油密封件可布置成與 真空密封件的大氣側上的油密封件相對。
優(yōu)選的是，本發(fā)明的真空密封件由接觸型真空密封件構成，包括 主唇部，接觸輸出構件的外周；彈性構件，用來施加接觸力到主唇部； 和裝配部分。
本發(fā)明的優(yōu)點
根據(jù)本發(fā)明，在必要時，在真空環(huán)境下可以高效地進行用來搬運 基板的機器人的驅動設備的真空密封件的冷卻和臂構件的冷卻。因此， 這里提供用來搬運基板的機器人的驅動設備，其中，防止真空密封件 超過耐熱溫度，并防止引起大氣漏入維持氣密的搬運室的缺點。
此外，根據(jù)本發(fā)明的臂構件包括通過軸承、齒輪、帶、引導件等 的部分減小移動機器人的位置的精度，或者減小各個部分(軸承、齒 輪、帶、引導件等)的使用壽命的部分。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的驅動部分的剖視圖。 圖2是根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的驅動部分的剖視圖。 圖3是用于第二實施例的真空用齒輪設備l'的剖視圖。
具體實施例方式
第一實施例
下面將參考示出本發(fā)明的實施例的附圖詳細說明本發(fā)明。圖1是 根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的驅動部分的剖視圖。用作制造設備的驅動 設備的真空用齒輪設備1連接到包括真空容器的搬運室的分隔壁2，該 制造設備用來在真空環(huán)境下制造半導體晶圓、液晶板等的被處理體， 該真空容器通過O型環(huán)等的密封裝置處于氣密密封狀態(tài)。
真空用齒輪設備1的輸入側la設置有驅動馬達3，并且驅動馬達 3的輸出旋轉通過真空用齒輪設備1被輸出。根據(jù)本發(fā)明，驅動馬達放
置在大氣環(huán)境下。
真空用齒輪設備1是偏心樞轉型真空用齒輪設備，包括凸輪軸 11，具有曲柄部分lla和lib;兩片外齒齒輪構件12，包括用來容納曲 柄部分lla和llb的孔，并且由凸輪軸11的旋轉偏心地移動；內齒齒
輪構件13，與形成在外齒齒輪構件12的外周面的外齒嚙合，并且在其
內周面形成有內齒，內齒的齒數(shù)略微大于外齒的齒數(shù)；和支撐構件14，
布置在外齒齒輪構件12的兩側端部，用來通過滾動軸承以可旋轉的方
式支撐凸輪軸ll的兩端，它大氣環(huán)境下布置在真空環(huán)境側。
驅動馬達3的輸出旋轉通過連接到驅動馬達3的輸出旋轉軸的輸 入齒輪15被傳遞到齒數(shù)大于輸入齒輪15的齒數(shù)的傳動齒輪16，并通 過減小其速度而旋轉連接到傳動齒輪16的凸輪軸11。
多件(在該實施例中為3件)凸輪軸11等分布地布置在輸入齒輪 15的外周部分。曲柄部分lla和llb與凸輪軸ll整體地形成，并且它 們各自構成180度的偏心相位。曲柄部分lla和llb借助滾針軸承被連 接，該滾針軸承插入到外齒齒輪構件12的孔中。
外齒齒輪構件12的外周形成有外擺線齒形，該外擺線齒形與保持 在多個半圓形凹槽中的銷(內齒)嚙合，該凹槽等分布地形成在內齒 齒輪構件13的內周。
支撐構件14布置在內齒齒輪構件13的內側，該支撐構件14包括 柱狀部分17，寬松地裝配到形成在用于外齒齒輪構件12的凸輪軸11 的孔之間的通孔；和一對圓形板18， 19，位于柱形部分17的兩端，用 來以可旋轉的方式支撐凸輪軸11的兩端。該對圓形板18， 19的外周 設置有一對主軸承20，用來相對于內齒齒輪構件13以可旋轉的方式支 撐所述支撐構件14。
主軸承20是徑向推力球軸承，以便在安裝中通過施加預壓力來增
加其剛性。此外，油密封件21設置在內齒齒輪構件13和一側上的圓 形板18之間，用來在真空用齒輪設備的內側密封潤滑劑。
外殼22與構成固定構件的內齒齒輪構件13整體地聯(lián)結。此外， 通過構成輸出構件，輸出傳動軸23整體地連接到支撐構件14，并包括 在真空環(huán)境下工作的搬運機器人的臂40的連接部分等。
真空密封件30設置在外殼22和輸出傳動軸23之間。真空密封件 30是接觸型真空密封件，包括主唇部，接觸輸出傳動軸23的外周； 彈性構件，用來施加接觸力到主唇部；和裝配部分。輸出傳動軸23的 接觸部分和主唇部由真空潤滑油潤滑。真空密封件30由殼體31保持 在裝配部分，以方便連接和拆卸真空密封件30的維護。此外，外殼22 的敞開的端部設置有迷宮式密封機構32。
如上所述，驅動設備在固定構件和輸出構件之間設置有真空密封 件30，而且，油密封件21在固定構件和輸出構件之間設置在真空密封 件30的大氣側上。因此，真空密封件30和油密封件21在固定構件和 輸出構件之間形成環(huán)狀空間50。
此外，固定構件形成有從大氣側到環(huán)狀空間50的冷卻循環(huán)路徑的 供給口 51。此外，固定構件形成有從環(huán)狀空間50到大氣側的冷卻循環(huán) 路徑的排出口52。因此，真空密封件30和油密封件21由從大氣側通 過冷卻循環(huán)路徑的供給口 51供給到環(huán)狀空間50的冷卻流體冷卻，并 且冷卻流體在冷卻后從環(huán)狀空間50通過冷卻循環(huán)路徑的排出口 52排 出到大氣側。
這樣，根據(jù)本發(fā)明，用來搬運基板的機器人的驅動設備的真空密 封件可以被有效地冷卻。因此，這里提供基板搬運機器人的驅動設備， 用來防止真空密封件超過耐熱溫度，并防止出現(xiàn)大氣漏入維持氣密的 搬運室的缺點。
第二實施例
下面，將參考圖2詳細說明本發(fā)明的第二實施例。圖2是本發(fā)明
的第二實施例的驅動部分的剖視圖。類似于第一實施例，用作制造設 備的驅動設備的真空用齒輪設備1連接到包括真空容器的搬運室的分
隔壁2，該制造設備用來在真空環(huán)境下制造半導體晶圓、液晶板等的被 處理體，該真空容器通過O型環(huán)等的密封裝置處于氣密密封狀態(tài)。
真空用齒輪設備1的輸入側設置有3件(l件在圖2中沒有示出) 驅動馬達3、 3，并且驅動馬達3的輸出旋轉通過真空用齒輪設備1單 獨地輸出到搬運室內側的臂40、 40。根據(jù)本發(fā)明，驅動馬達3、 3放置 在大氣環(huán)境下。
類似于第一實施例，該實施例的真空用齒輪設備1是偏心樞轉型 真空用齒輪設備，包括凸輪軸ll，具有曲柄部分lla和lib;兩片外 齒齒輪構件12，包括用來容納曲柄部分lla和lib的孔，并且由凸輪 軸11的旋轉偏心地移動；內齒齒輪構件13，與形成在外齒齒輪構件 12的外周面的外齒嚙合，并且在內周面形成有內齒，內齒的齒數(shù)略微 大于外齒的齒數(shù)；和支撐構件14，布置在外齒齒輪構件12的兩側端部， 用來通過滾動軸承以可旋轉的方式支撐凸輪軸11的兩端，支撐構件14 包括柱狀部分17，寬松地裝配到形成在用于外齒齒輪構件12的凸輪 軸11的孔之間的通孔；和一對圓形板18和19，位于柱狀部分17的兩 端，該對圓形板18和19的外周設置有一對主軸承20，支撐構件14以 可旋轉的方式由內齒齒輪構件13支撐，并且在圖2中，省略了真空用 齒輪設備1的內部結構的細節(jié)的圖示。偏心樞轉型真空用齒輪設備1 在大氣環(huán)境下布置在真空環(huán)境側。
根據(jù)驅動馬達的輸出旋轉，類似于第一實施例，驅動馬達3的輸 出旋轉被傳遞到輸入齒輪15，進一步被傳遞到傳動齒輪16，并且類似 于第一實施例，通過減小速度來旋轉連接到傳動齒輪16的凸輪軸11。
雖然在圖2中沒有示出，但類似于第一實施例，多件(在該實施 例中為3件)凸輪軸11等分布地布置在輸入齒輪15的外周部分。曲 柄部分lla和llb整體地形成在凸輪軸11，并且各自構成180度的偏 心相位。曲柄部分lla和llb借助滾針軸承被連接，該滾針軸承插入到 外齒齒輪構件12的孔中。
主軸承20是徑向推力球軸承，并且通過在安裝中施加預壓力來增 加剛性。此外，油密封件21設置在內齒齒輪構件13和一側上的圓形 板18之間，用來在真空用齒輪設備1的內側密封潤滑劑。
外殼22與內齒齒輪構件13整體地聯(lián)結，以構成固定構件。此外， 通過構成輸出構件，輸出傳動軸23通過轉接器24與支撐構件14整體 地連接，并包括在真空環(huán)境下工作的搬運機器人的臂40的連接部分等。
真空密封件30設置在外殼22和輸出傳動軸23之間。真空密封件 30是接觸型真空密封件，包括主唇部，接觸輸出傳動軸23的外周； 彈性構件，用來施加接觸力到主唇部；和裝配部分。根據(jù)真空密封件 30，裝配部分由殼體31保持，以方便連接和拆卸真空密封件30的維 護。
如上所述，驅動設備在固定構件和輸出構件之間設置有真空密封 件30,而且，在固定構件和輸出構件之間在真空密封件30的大氣側上 設置有油密封件21。還提供密封件45，用來在固定構件和輸出構件之 間將接觸型真空密封件30和油密封件21形成的環(huán)狀空間50沿軸向分 成兩個分開的部分，并且固定構件設置有到分成兩部分的真空側的 環(huán)狀空間50的大氣側上的冷卻循環(huán)路徑的供給口 51;和從分成兩個分 開的部分的大氣側的環(huán)狀空間到大氣側的冷卻循環(huán)路徑的排出口 52。 此外，輸出構件設置有旋轉供給路徑53，與分成兩個分開的部分的 真空側的環(huán)狀空間連通；和旋轉排出路徑54，與分成兩個分開的部分
的大氣側的環(huán)狀空間連通，并且旋轉供給路徑53和旋轉排出路徑54 通過虛線表示的路徑55連通到作為臂構件40、 40的驅動部分的真空 用齒輪設備l'，從而也冷卻臂構件40、 40。
下面，將參考圖3詳細說明真空用齒輪設備l'。此外，圖3中示 出的真空用齒輪設備l'的結構類似于圖1中示出的真空用齒輪設備1， 因此，與圖l相同的部分賦予相同的附圖標記，并且將省略其說明。
動力從圖2中示出的兩個驅動馬達3、 3被傳遞到真空用齒輪設備
r、 r。就是說，圖2中示出的真空用齒輪設備i的中心以傳動軸設備
穿透，該傳動軸設備包括空心軸61和穿透空心軸的實心軸62的組合， 右側的驅動馬達3的動力通過空心軸61傳遞到右側的真空用齒輪設備 l'，另一方面，左側的馬達3的動力通過實心軸62傳遞到左側的真空
用齒輪設備r。
圖3中示出的真空用齒輪設備r與圖i中示出的真空用齒輪設備
1的不同之處在于油密封件25設置成與油密封件21相對，并且當環(huán)狀 空間50的壓力增加時，防止冷卻流體進入真空用齒輪設備的內部。此 外，在圖1中示出的真空用齒輪設備1中，當環(huán)狀空間50的壓力引起 問題時，油密封件21也可由耐壓油密封件構成。
工業(yè)實用性
這樣，根據(jù)本發(fā)明，在真空環(huán)境下可以高效地進行用來搬運基板 的機器人的驅動設備的真空密封件的冷卻和臂構件的冷卻。因此，這 里提供用來搬運基板的機器人的驅動設備，其中，防止真空密封件的 溫度超過耐熱溫度，并不引起大氣漏入維持氣密的搬運室的缺點。此 外，通過冷卻臂構件，可以防止軸承、齒輪、帶、引導件等的各個部 分的由熱引起的使用壽命減小。
權利要求
1.一種用于在真空環(huán)境下搬運基板的容納一組臂的機器人的驅動設備，包括驅動設備，用于驅動以旋轉所述組的臂，所述驅動設備布置在大氣側和真空側之間并且在所述大氣側被驅動，使得所述驅動設備在所述大氣側被驅動；其中所述驅動設備包括真空密封件，設置在固定構件和輸出構件之間；和油密封件，在所述固定構件和所述輸出構件之間布置在所述真空密封件的所述大氣側上，使得所述真空密封件和所述油密封件在所述固定構件和所述輸出構件之間形成環(huán)狀空間；其中，形成冷卻循環(huán)路徑，使得所述固定構件設置有從所述大氣側到所述環(huán)狀空間的所述冷卻循環(huán)路徑的供給口；和從所述環(huán)狀空間到所述大氣側的所述冷卻循環(huán)路徑的排出口。
2. 根據(jù)權利要求l所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備，還 包括驅動馬達；輸出傳動軸，包含在外殼的內周側中使得所述真空 密封件與其接觸；和減速器，用于將所述驅動馬達的輸出旋轉通過減小其速度而傳遞到所述輸出傳動軸，其中所述減速器包括外齒齒輪構件；多個凸輪軸，插入到所述 外齒齒輪構件的孔中；和內齒齒輪構件，其內周與所述外齒齒輪構件 的外周嚙合。
3. 根據(jù)權利要求2所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備，其 中通過整體地聯(lián)結所述外殼和所述內齒齒輪構件構成所述固定構件， 并且所述輸出構件包括所述輸出傳動軸。
4. 根據(jù)權利要求4所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備，其 中另一個油密封件設置成與所述油密封件相對。
5. 根據(jù)權利要求l所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備，其 中所述真空密封件包括主唇部，接觸所述輸出構件的外周；彈性構 件，用于施加接觸力到所述主唇部；和裝配部分。
6. —種用于在真空環(huán)境下搬運基板的容納一組臂的機器人的驅 動設備，包括驅動設備，用于驅動以旋轉所述組的臂，所述驅動設備布置在大 氣側和真空側之間并且在所述大氣側被驅動，使得所述驅動設備在所 述大氣側被驅動；其中所述驅動設備包括真空密封件，設置在固定構件和輸出構件之間；和油密封件，在所述固定構件和所述輸出構件之間設置在所述真空 密封件的所述大氣側上，使得所述真空密封件和所述油密封件在所述 固定構件和所述輸出構件之間形成環(huán)狀空間；其中，用于將由所述真空密封件和所述油密封件形成的所述環(huán)狀 空間分成兩個分開的部分的另一密封件設置在所述固定構件和所述輸 出構件之間，并且形成冷卻循環(huán)路徑，使得所述固定構件設置有從所述大氣側到 所述分開的部分中的一個部分上的所述環(huán)狀空間的所述冷卻循環(huán)路徑 的供給口；和從所述分開的部分中的另一個部分上的所述環(huán)狀空間到 所述大氣側的所述冷卻循環(huán)路徑的排出口，并且所述輸出構件設置有旋轉供給路徑，與所述分開的部分中的一 個部分上的所述環(huán)狀空間連通；和旋轉排出路徑，與所述分開的部分 中的另一個部分上的所述環(huán)狀空間連通，所述旋轉供給路徑和所述旋轉排出路徑向臂構件打開，從而冷卻 所述臂構件。
7. 根據(jù)權利要求6所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備，其 中，所述環(huán)狀空間的所述分開的部分中的所述一個部分是所述真空側 上的環(huán)狀空間，并且所述環(huán)狀空間的所述分開的部分中的所述另一個 部分是所述大氣側上的環(huán)狀空間。
8. 根據(jù)權利要求6所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備，還 包括驅動馬達；輸出傳動軸，包含在外殼的內周側中使得所述真空 密封件與其接觸；和減速器，用于將所述驅動馬達的輸出旋轉通過減 小其速度而傳遞到所述輸出傳動軸，其中，所述減速器包括外齒齒輪構件；凸輪軸，插入到所述外 齒齒輪構件的孔中；和內齒齒輪構件，其內周與所述外齒齒輪構件的 外周嚙合。
9. 根據(jù)權利要求8所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備，其 中通過整體地聯(lián)結所述外殼和所述內齒齒輪構件構成所述固定構件， 并且所述輸出構件包括所述輸出傳動軸。
10. 根據(jù)權利要求6所述的用于搬運基板的機器人的驅動設備， 其中所述真空密封件包括主唇部，接觸所述輸出構件的外周；彈性 構件，用于施加接觸力到所述主唇部；和裝配部分。
全文摘要
提供一種用來搬運基板的機器人，其中，冷卻接觸型真空密封件，防止真空密封件超過耐熱溫度，并防止引起大氣漏入維持氣密的搬運室的缺點。在用來在真空環(huán)境下搬運基板的包含一組臂的機器人的驅動設備中，用來驅動以旋轉一組臂(40)的驅動設備(1)布置在大氣側和真空側之間并且在大氣側被驅動，驅動設備在固定構件和輸出構件之間設置有接觸型真空密封件(30)，此外，油密封件(21)在固定構件和輸出構件之間設置在接觸型真空密封件的大氣側上，接觸型真空密封件和油密封件在固定構件和輸出構件之間形成環(huán)狀空間(50)，并且固定構件設置有從大氣側到環(huán)狀空間的冷卻循環(huán)路徑的供給口(51)和從環(huán)狀空間到大氣側的冷卻循環(huán)路徑的排出口(52)。
文檔編號H01L21/677GK101375385SQ20078000310
公開日2009年2月25日 申請日期2007年1月12日 優(yōu)先權日2006年1月13日
發(fā)明者丹下誠 申請人:納博特斯克株式會社