專利名稱：用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)，更具體地說，涉及一種暫時存儲多個基板并能夠調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
一般說來，緩沖裝置是指在半導(dǎo)體加工或平板顯示器制造的一系列工藝過程中暫時存儲基板的裝置。當時間因一系列工序中待執(zhí)行工序或任一工序的暫時停止而改變時，緩沖裝置可以提供暫時存放其他工序的基板的空間。例如，緩沖裝置可以用于清潔工序和薄膜沉積工序之間，或是清潔工序和檢查工序之間，其以不同的運行速率執(zhí)行，以調(diào)整整個制造工藝的運行時間。
圖1表示根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的緩沖裝置的示意圖。
在此提到的公知緩沖裝置具有存儲傳送到緩沖裝置中的基板、并將基板移動到其上部的可垂直移動的傳遞單元。因此，最初傳遞的基板位于緩沖裝置的上部。因而，為了將存儲在緩沖裝置中的基板傳遞到下一工序的加工裝置，首先傳遞最低的基板。這是因為傳遞基板的裝置由安裝在最下面的軸上的輥筒旋轉(zhuǎn)而驅(qū)動。
因此，由于先進入的基板最后傳遞，先進入的基板在緩沖裝置中滯留的時間相對較長。由于基板在緩沖裝置中滯留的時間較長，該基板上可能會粘附上灰塵和雜質(zhì)。此外，盡管基板需要在上一個工序之后、預(yù)定的時間之前進入下一工序，但下一個工序也可以在預(yù)定的時間后發(fā)生，這就導(dǎo)致了較低的產(chǎn)量。
此外，由機器人逐個傳遞基板以調(diào)整先進先出的系統(tǒng)需要昂貴的機器人，這會增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是提供一種具有垂直移動單元并可以調(diào)整基板先進先出的緩沖系統(tǒng)。
本發(fā)明的目的不限于上述所提到的，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通過以下說明將清晰地理解本發(fā)明的其他目的。
根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個或多個具有軸和安裝固定在軸上的輥筒的緩沖層，用以暫時存儲或傳遞基板；垂直移動單元，其上下移動緩沖層，使得載有待傳遞基板的緩沖層與驅(qū)動單元連接；驅(qū)動單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)，從而傳遞基板。


通過參照附圖和對較佳實施例的詳細描述，本發(fā)明的上述及其他特征和優(yōu)點將變得更加顯而易見。
圖1是說明根據(jù)公知技術(shù)的緩沖裝置的示意圖；圖2表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的透視圖；圖3A表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的驅(qū)動單元的示意圖；圖3B表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的磁性斜齒輪的原理圖；圖4A表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤驅(qū)動單元的示意圖；圖4B表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤齒輪的原理圖。
具體實施例方式
通過參照以下對較佳實施例的詳細描述和附圖，可以更容易地理解本發(fā)明的優(yōu)點、特征及其實現(xiàn)方法。然而，本發(fā)明可以以多種形式實施，不應(yīng)解釋為受此處所述實施例的限制。而應(yīng)解釋為，提供這些實施例是為了使本公開徹底而完全，并向所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員充分傳達本發(fā)明的理念，而且，本發(fā)明僅由權(quán)利要求限定。在整個說明書中相同的元件標記表示同一元件。
現(xiàn)參照表示本發(fā)明較佳實施例的附圖更充分地對本發(fā)明進行說明。
圖2表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的透視圖。圖3A表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的驅(qū)動單元的示意圖。
根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)包括一個或多個緩沖層，其具有軸和安裝固定在軸上的輥筒，用以暫時存儲或傳遞基板，使緩沖層中一層的軸旋轉(zhuǎn)并傳遞基板的驅(qū)動單元；以及使緩沖層上下移動的垂直移動單元。此外，緩沖系統(tǒng)可以包括具有支承軸的孔的緩沖體。
如圖2所示，緩沖體210支承一層或多層緩沖層215。緩沖體210可以提供一個用于容納與暫時存儲在緩沖系統(tǒng)中的基板數(shù)目一樣多的緩沖層215的空間。也就是說，具有多個緩沖層215的緩沖系統(tǒng)可以具有相對較高的空間。緩沖體210有以預(yù)定間隔設(shè)置的緩沖層215。
緩沖層215暫時存儲基板。此外，緩沖層215還可以具有在需要傳遞基板時傳遞基板的單元?？梢杂卸鄠€緩沖層215暫時存儲基板。在之前工序中傳遞的基板可以由緩沖系統(tǒng)傳遞到緩沖層215。此外，緩沖層215可以將基板暫時存儲在緩沖系統(tǒng)中，并隨后將基板傳遞到下一工序。
傳遞基板的單元可以包括用作旋轉(zhuǎn)軸的軸120和能夠通過軸120的旋轉(zhuǎn)傳遞基板的輥筒110。由于輥筒110固定于軸120，所以輥筒110也隨著軸120的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。因此，輥筒110上的基板可以隨著輥筒110的旋轉(zhuǎn)而單向傳遞。傳遞單元用于支承基板，以便暫時存儲基板，當需要傳遞基板時，傳遞單元用作傳遞單元。
在圖1所示的公知緩沖裝置中，傳遞單元處于下端，暫時存儲的基板的邊緣部支承在上端，使得基板可以上下移動。因此，為了向下一工序傳遞已朝上移動的基板，傳遞下端的基板，之后存儲在上端的基板再向下端移動。
參照圖2和圖3A，驅(qū)動單元220用于旋轉(zhuǎn)緩沖層215的軸120?？傮w上，驅(qū)動單元220包括產(chǎn)生動力的動力單元310和向動力單元310傳送機械能或電能的動力傳送單元320和330。動力單元310是產(chǎn)生動力的部件，可以包括由電能驅(qū)動的電動機或使化學(xué)能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C械運動的發(fā)動機。
可以采用多種類型的動力傳送單元320和330來傳送由動力單元310產(chǎn)生的動力。例如，如圖3所示，可以采用磁性斜齒輪320和330。即使被稱為“斜齒輪”，斜齒輪實質(zhì)上還是用作蝸輪，其中垂直于傳動齒輪320的從動齒輪330隨著傳動齒輪320的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。
圖3B表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的磁性斜齒輪的原理圖。
總體上，齒輪是指通過輪齒互相嚙合來向其他軸傳送動力的結(jié)構(gòu)。然而，當采用磁體時，輪齒不直接接合也可能傳送動力。如圖3B所示，傳動齒輪320和從動齒輪330的軸成90°角，具有N極和S極的磁體以傾斜至預(yù)定角度的方向裝配在齒輪的邊緣部。因此，當傳動齒輪320旋轉(zhuǎn)時，在傳動齒輪320的N極和從動齒輪330的S極之間以及傳動齒輪320的S極和從動齒輪330的N極之間都產(chǎn)生相應(yīng)的引力，從而使得從動齒輪330可以旋轉(zhuǎn)。因而，盡管軸交叉成90°角且輪齒不互相接合，從動齒輪330仍然旋轉(zhuǎn)以傳遞基板。
圖4A表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤驅(qū)動單元的示意圖，圖4B表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤齒輪的原理圖。
在使用如磁性斜齒輪的磁體傳送動力的方法中，可以采用例如磁盤齒輪。
如圖4A所示，當驅(qū)動單元使傳動齒輪420旋轉(zhuǎn)時，就可能使得平行于傳動齒輪420的從動齒輪430旋轉(zhuǎn)。如圖4B所示，磁體裝配在相對的傳動齒輪420和從動齒輪430上，這樣裝配的磁體相應(yīng)地相互面對。因此，利用磁體之間的引力，當傳動齒輪420旋轉(zhuǎn)時，也有可能使與傳動齒輪420連接的從動齒輪430旋轉(zhuǎn)。
可以在齒輪互相不接觸，而以預(yù)定距離互相間隔的情況下驅(qū)動上述磁性齒輪320，420，330和430。因此，由于緩沖層可以上下移動，在載有待傳遞的基板的緩沖層上可以由驅(qū)動單元220旋轉(zhuǎn)從動齒輪。驅(qū)動單元220可以包括滑動器224或橫桿。驅(qū)動單元220可以在滑動器224和橫桿上從左至右移動。因此，當緩沖層215上下移動時，驅(qū)動單元220可以向后移動，以便于緩沖層215的移動。
垂直移動單元230使一個或多個緩沖層215上下移動。為了使緩沖層215上下移動，一個緩沖體210可以裝有多個緩沖層215。因此，垂直移動單元230可以通過上下移動緩沖體210而使緩沖層215上下移動。
為了使緩沖層215上下移動，可以在主體的下部安裝活塞230。活塞230應(yīng)當使載有將由驅(qū)動單元220傳遞的基板的緩沖層215的高度與驅(qū)動單元220的高度匹配，使得基板可以傳遞到下一工序。驅(qū)動單元220可以上下移動，可導(dǎo)致基板不便于傳遞到下一工序。
除了活塞，還可以采用螺旋齒輪作為垂直移動單元?；钊蚵菪X輪可以位于緩沖體的下方或者緩沖體的上方。
總體上，最早進入的基板向上部存儲并位于最高處。因而，垂直移動單元230可以將最高處的緩沖層降到驅(qū)動單元的高度，使得最高緩沖層215上的基板可以傳遞到下一工序。這樣，可以實現(xiàn)一種緩沖系統(tǒng)，其能夠通過將緩沖層依次從最高緩沖層傳遞到最低緩沖層來調(diào)整基板先進先出。
類似地，假定最高緩沖層上的基板已傳遞而下一個基板將要被傳遞到下面的工序。但是，當之前工序中有基板要傳遞到緩沖系統(tǒng)并且該基板已經(jīng)置于最高的緩沖層上時，盡管該基板位于最高的緩沖層上，也不能說該基板首先是進入的。因此，在這種情況下，垂直移動單元可以判斷基板已在各自的緩沖層上暫時滯留了多長時間，并依次從最早的基板開始向下一工序傳遞基板。為達上述結(jié)果，還可以包括一個時間傳感器，用于判斷基板滯留在緩沖層上的時間。也就是說，通過判斷基板置于緩沖層的時間，在將基板傳遞到下一工序時可以釋放能夠調(diào)整基板先進先出的緩沖系統(tǒng)。
以下對根據(jù)本發(fā)明一實施例的具有如上所述的結(jié)構(gòu)的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)的運行進行說明。
首先，由于之前工序中的基板不會立即進入下一工序，所以基板可以暫時存儲在緩沖系統(tǒng)中。已經(jīng)占用緩沖系統(tǒng)中一緩沖層215的基板升高至上面的緩沖層，新傳遞的基板置于下面的緩沖層。由于基板根據(jù)上述方法存儲，首先進入的基板可以存儲在上端的緩沖層上。因此，為了先傳遞先進入的基板，上端的緩沖層上基板可以先傳遞到下一工序。由于緩沖體通過垂直移動單元230向下移動，所以緩沖層215可以向下移動。這里，可以將緩沖層215移動到使緩沖層215的輥筒110接觸到驅(qū)動單元220的高度以便驅(qū)動。
當載有待傳遞基板的緩沖層215到達驅(qū)動單元220可以運行的高度時，驅(qū)動單元220使驅(qū)動電動機310旋轉(zhuǎn)以向動力傳送單元傳送動力。例如，通過使用磁性斜齒輪320和330使傳動齒輪320旋轉(zhuǎn)，傳動齒輪320使緩沖層215中以90°角裝配到傳動齒輪320上的從動齒輪330旋轉(zhuǎn)。此外，旋轉(zhuǎn)軸120和裝在軸120上的輥筒110，使得基板可以傳遞到下一工序?；蛘撸斒褂么疟P齒輪420和430時，傳動齒輪420使平行于傳動齒輪420的從動齒輪430旋轉(zhuǎn)，從而使緩沖層215上的基板可以傳遞到下一工序。
根據(jù)與上面相同的方法，為傳遞下一基板，使載有將由垂直移動單元230傳遞的基板的緩沖層215達到驅(qū)動單元220的高度。當緩沖層215達到驅(qū)動單元220的高度時，驅(qū)動單元220可以將緩沖層215上的基板傳遞到下一工序。
盡管已經(jīng)結(jié)合本發(fā)明的具體實施例對本發(fā)明進行了說明，但對于所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可以對本發(fā)明作多種修改和變化而不背離本發(fā)明的范圍和精神是顯而易見的。因此，應(yīng)當理解以上實施例在所有的方面并非限制性的，而是說明性的。
根據(jù)以上所述的用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)可得到以下效果。
通過調(diào)整基板先進先出和在緩沖系統(tǒng)中等待的時間均等可以保持工序平衡。
此外，可以通過相對減少基板在緩沖系統(tǒng)中的等待時間，防止雜物落于基板上。
本發(fā)明的效果不限于上述提到的這些，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通過權(quán)利要求將會更清楚地理解本發(fā)明的其他效果。
權(quán)利要求
1.用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含，一個或多個具有軸和安裝固定在軸上的輥筒的緩沖層，用以暫時存儲或傳遞基板；垂直移動單元，其上下移動緩沖層，使得載有待傳遞的基板的緩沖層與驅(qū)動單元連接；以及驅(qū)動單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)，從而傳遞基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是還包括具有支承其中的軸的孔的緩沖體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是驅(qū)動單元通過使用磁性斜齒輪使緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是驅(qū)動單元通過使用磁盤齒輪使緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是垂直移動單元存儲先進入的基板的緩沖層次序，并根據(jù)存儲的順序上下移動緩沖層以傳送基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是垂直移動單元通過活塞或螺旋齒輪的方式上下移動緩沖層。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)，具體說是一種暫時存儲多個基板并能夠調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)。該緩沖系統(tǒng)包括一個或多個具有軸和安裝固定在軸上的輥筒的緩沖層，用以暫時存儲或傳遞基板，使緩沖層上下移動的垂直移動單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層與驅(qū)動單元連接，驅(qū)動單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)，從而傳遞基板。
文檔編號H01L21/677GK101093810SQ20071010757
公開日2007年12月26日 申請日期2007年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月23日
發(fā)明者李晟熙, 李明振 申請人:株式會社細美事