專利名稱：用于高物流量自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)的模塊終端的制作方法
用于高物流量自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)的模塊終端依照美國(guó)法典第35部§ 119(e)，本申請(qǐng)要求于2005年7月8日向美 國(guó)專利商標(biāo)局提交的、發(fā)明名稱為"用于高物流量自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)的 模塊終端"的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)60/697,785的優(yōu)先權(quán)、以及于2005年5 月16日向美國(guó)專利商標(biāo)局提交的、發(fā)明名稱為"用于高速自動(dòng)化物料搬 運(yùn)系統(tǒng)的一體化終端"的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)60/681,389的優(yōu)先權(quán)，上述兩 篇專利申請(qǐng)均被轉(zhuǎn)讓給本申請(qǐng)的申請(qǐng)人，其全文作為參考被納入本文。技術(shù)領(lǐng)域概括地說(shuō)，本發(fā)明包括模塊終端或傳送模塊，尤其是用于在輸送系統(tǒng) 之間儲(chǔ)存、分選、識(shí)別容器和輸送容器。確切地說(shuō)，本發(fā)明提供一種用于 在懸掛式輸送系統(tǒng)和地面輸送系統(tǒng)之間移動(dòng)容器的設(shè)備。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工廠(fab)中，將容器2如前開口標(biāo)準(zhǔn)搬運(yùn)盒(FOUP)和標(biāo) 準(zhǔn)機(jī)械接口(SMIF)盒傳送至加工設(shè)備IO和裝載端口 12是代價(jià)高昂的。在 加工設(shè)備之間傳送FOUP和SMIF盒的一種方法是自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng) (AMHS)。AMHS或輸送系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造工廠中移動(dòng)半導(dǎo)體晶片或扁平板的 容器或匣盒(此處統(tǒng)稱為容器)。在半導(dǎo)體制造工廠中的容器移動(dòng)可以是在 每個(gè)加工設(shè)備隔間內(nèi)例如圖1中的Bl和B2隔間(Intrabay AMHS-隔間內(nèi) 部自動(dòng)化物津"H般運(yùn)系統(tǒng)，通常包括這樣的輸送系統(tǒng)，即它在一個(gè)隔間內(nèi)移 動(dòng)容器并傳送容器到加工設(shè)備位置)和在加工設(shè)備隔間之間(Interbay AMHS-跨隔間自動(dòng)化物料擁義運(yùn)系統(tǒng)，通常包括沿連接加工設(shè)備隔間的主廊 移動(dòng)容器的輸送系統(tǒng))。半導(dǎo)體制造工廠通常包括用于儲(chǔ)存容器的庫(kù)存架。 人們希望通過(guò)盡可能多地在加工設(shè)備之間直接傳送容器來(lái)減少AMHS的 輸送延遲。在AMHS的任何一個(gè)部分中的不足物流量會(huì)引起AMHS的其 它部分具有低于潛能的物流量，這是因?yàn)椴蛔悴糠峙c其它部分是串聯(lián)的。在加工工序完成后，容器通常被傳送到庫(kù)存架，隨后當(dāng)加工設(shè)備準(zhǔn)備 好時(shí)，容器被取出并傳送到另一臺(tái)加工設(shè)備。常規(guī)庫(kù)存架的有限的物流量制約了從庫(kù)存架取出并傳送容器的系統(tǒng)的整個(gè)物流能力。因此，AMHS的 總物流量被限定為庫(kù)存架物流量。例如，用于特定庫(kù)存架的最高的跨隔間 傳送物流量可以是700容器移動(dòng)/小時(shí)或AMHS移動(dòng)/小時(shí)。如果庫(kù)存架被 用于雙向傳輸?shù)膬蓚€(gè)AMHS存取，理論上可以使該特殊庫(kù)存架獲得潛在的 最高跨隔間移動(dòng)速率，即1400容器移動(dòng)/小時(shí)。如果該庫(kù)存架進(jìn)一步連接 到另一個(gè)加工設(shè)備隔間，其中該加工設(shè)備隔間具有最高容量為700容器移 動(dòng)/小時(shí)的隔間內(nèi)部AMHS或其它輸送系統(tǒng)，則庫(kù)存架的最高移動(dòng)速率可 以達(dá)到2100容器移動(dòng)/小時(shí)。常規(guī)的庫(kù)存架只能平均每20秒移動(dòng)一個(gè)容器， 因而庫(kù)存架的最高物流量被限制為180容器移動(dòng)/小時(shí)，這大大低于半導(dǎo)體 制造工廠所要求的。即使只考慮隔間物流量并且?guī)齑婕苤回?fù)責(zé)輸入隔間的容器流，最高要 求也可能是1400移動(dòng)/小時(shí)(從Interbay出來(lái)是700移動(dòng)/小時(shí)，進(jìn)入Intrabay 是700移動(dòng)/小時(shí))。這種情況將導(dǎo)致Interbay的潛在高物流量受到庫(kù)存架 的嚴(yán)重限制。阿賽斯特技術(shù)公司制造各種高物流量系統(tǒng)，其中包括美國(guó)專利申請(qǐng) 11/064,880所述的、名為"加工設(shè)備直接裝載"的加工設(shè)備直接裝載系統(tǒng)， 該申請(qǐng)已被轉(zhuǎn)讓給阿賽斯特技術(shù)公司并且作為參考被納入本文。該加工設(shè) 備直接裝載系統(tǒng)也會(huì)產(chǎn)生這種與常規(guī)庫(kù)存架的物流量的不搭配。加工設(shè)備 直接裝載系統(tǒng)是地面式容器輸送系統(tǒng)(例如在等于或低于加工設(shè)備裝載高 度的高度上傳送容器的容器輸送系統(tǒng))。即使容器在沒(méi)有事先存放于庫(kù)存架 上而被直接送到加工設(shè)備(不同的容器傳送優(yōu)先級(jí))，這樣的系統(tǒng)也需要豎 向輸送工序。為了充分利用加工設(shè)備直接裝載系統(tǒng)的潛在物流量，就需要 超高物流量庫(kù)存架和豎向容器輸送系統(tǒng)的結(jié)合。常規(guī)庫(kù)存架的限制可能在 某些AMHS中不明顯，這是因?yàn)檫@些AMHS本身的物流量也是有限的(其 物流量不高)。一種AMHS或輸送系統(tǒng)是高架天車吊運(yùn)(OHT)系統(tǒng)。在常規(guī)的OHT 系統(tǒng)中，OHT小車尤其將FOUP吊放至距制造工廠地面約900毫米高度的 裝載端口的移動(dòng)板上。OHT系統(tǒng)利用復(fù)雜的天花板裝設(shè)軌道和纜索吊運(yùn)小 車，輸送FOUP至這些裝載端口。水平運(yùn)動(dòng)、懸吊纜索延伸以及單向操作 的組合必須協(xié)同配合，用于在加工設(shè)備之間快速輸送FOUP。為獲得OHT系統(tǒng)內(nèi)的最佳效率， 一旦加工設(shè)備需要裝載或卸載，OHT小車就必須即時(shí) 到位。這不是總能做到的。其它的非輸送機(jī)AMHS或用小車在整個(gè)半導(dǎo)體制造工廠中移動(dòng)容器 的輸送系統(tǒng)(如自動(dòng)導(dǎo)向小車(AGV)系統(tǒng)，有軌小車(RGV)系統(tǒng)，空中往返 運(yùn)輸(OHS)系統(tǒng))要求AMHS行程安排系統(tǒng)來(lái)管理空車以及正在傳送的裝 載車輛的移動(dòng)和可用性。行程安排系統(tǒng)所承受的沉重負(fù)擔(dān)通常導(dǎo)致容器拾 起延遲，因?yàn)榭哲嚤恢敢绞捌鹞恢貌⑶乙蚍巧a(chǎn)性空車移動(dòng)而增加了運(yùn) 輸堵塞。OHT小車發(fā)生類似的延遲。OHT小車可能花費(fèi)如15秒來(lái)完成容 器的拾起或放下動(dòng)作，并且在拾起/放下期間內(nèi)，容器傳送在AMHS位置 受阻。在許多情況下，這些因素綜合起來(lái)將基于車輛的IntrabayAMHS限 制為如100~ 200移動(dòng)/小時(shí)。這不會(huì)導(dǎo)致與常規(guī)庫(kù)存架能力的明顯不搭配。 然而，許多加工設(shè)備隔間需要更高的物流量，用常規(guī)的庫(kù)存架/OHT結(jié)構(gòu) 無(wú)法滿足這一羊的物:流量。阿賽斯特技術(shù)公司的加工設(shè)備直接裝載系統(tǒng)提供了 一種用于高物流 量Intrabay加工設(shè)備傳輸能力的AMHS解決方案。該加工設(shè)備直接裝載系 統(tǒng)為物流量帶來(lái)若千好處直接延伸到加工設(shè)備的高物流量輸送機(jī)式 AMHS,以及由于單獨(dú)的裝載端口輸送機(jī)裝卸機(jī)構(gòu)而獲得了高度平行的輸 送機(jī)界面。在任何時(shí)刻，多個(gè)容器可以處于被吊放至輸送機(jī)上或從輸送機(jī) 上被拾起的過(guò)程中，而不會(huì)相互干擾。為了充分利用其潛在的物流量， AMHS要求高物流量庫(kù)存架和豎直輸送系統(tǒng)相結(jié)合，豎直輸送系統(tǒng)以能滿 足不同半導(dǎo)體制造工廠布局的靈活配置有效連接于Interbay AMHS上。因此，人們要求半導(dǎo)體制造工廠具有改進(jìn)的高物流量容器輸送系統(tǒng)和 儲(chǔ)存能力。本發(fā)明提供了這樣的系統(tǒng)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個(gè)方面是要提供一種用于在距工廠地面不同高度的 AMHS或其它系統(tǒng)之間移送容器的模塊終端或傳送裝置。在一個(gè)實(shí)施例 中，模塊終端包括至少一個(gè)用于在懸掛式輸送系統(tǒng)和地面輸送系統(tǒng)之間移 動(dòng)容器的豎直模塊。在另一個(gè)實(shí)施例中，模塊終端也包括至少一個(gè)儲(chǔ)貨架， 其直接排列在用于臨時(shí)儲(chǔ)存容器的懸掛式輸送系統(tǒng)的一部分的下方。這些 儲(chǔ)貨架是或選的，并且可以包括被動(dòng)的(不能移動(dòng)容器)和/或主動(dòng)的儲(chǔ)貨架 (能移動(dòng)容器)。本發(fā)明的另 一個(gè)方面是要^是供一種使Interbay AMHS或輸送系統(tǒng)的容 器流量得到優(yōu)化的模塊終端。這樣的模塊終端能夠?qū)崿F(xiàn)非常高的從 Interbay至Intrabay的傳送率。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明包括用于在才莫塊 終端下游臨時(shí)儲(chǔ)存容器直到豎直模塊變?yōu)榭捎玫倪f回環(huán)道。本發(fā)明還可以 包括用于在輸送系統(tǒng)和遞回環(huán)道之間移動(dòng)容器的換道才幾構(gòu)。模塊終端還可 以具有分選和計(jì)量功能。本發(fā)明的另一個(gè)方面是要提供一種支持高優(yōu)選容器的加速傳送的模 塊終端。在一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)豎直模塊殼體位于懸掛式輸送系統(tǒng)的附近， 從而在懸桂式輸送系統(tǒng)上移動(dòng)的優(yōu)選容器可以不被模塊終端阻礙地通過(guò)。 在另一個(gè)實(shí)施例中，系統(tǒng)中的換道機(jī)構(gòu)快速地從AMHS中移走容器，以盡 量減輕懸掛式AMHS上的交通擁擠。本發(fā)明的又一個(gè)方面是要提供一種支持在高層半導(dǎo)體制造工廠中的 層級(jí)間容器輸送的模塊終端。例如，制造工廠可以包括第一廠房層和位于 第一廠房層之上的第二廠房層，每個(gè)廠房層都具有獨(dú)立的AMHS或輸送系 統(tǒng)。穿過(guò)第一廠房層的天花板的單個(gè)豎直模塊可以在兩個(gè)位于完全不同的 廠房層上的獨(dú)立輸送系統(tǒng)之間傳送容器。本發(fā)明的又一個(gè)方面是要提供一種易安裝并具有低維護(hù)成本的模塊 終端。該4莫塊終端可以被用于任何現(xiàn)有的AMHS或llT送系統(tǒng)中。在一個(gè)實(shí) 施例中，才莫塊終端可以安裝在現(xiàn)有的AMHS的附近(如OHT軌道附近)， 而不干擾AMHS。附加的豎直模塊可以被添加到該模塊終端上。在另一個(gè) 實(shí)施例中，才莫塊終端包括穿行區(qū)，它包圍現(xiàn)有的AMHS的一部分，但允許 容器順利穿過(guò)模塊終端。


圖1是采用本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的AMHS的示意圖；圖2是表示Intrabay輸送機(jī)和Interbay輸送機(jī)之間的物理關(guān)系的一個(gè) 實(shí)施例的等距視圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的具有從Interbay到Intrabay的連接 點(diǎn)的AMHS的俯—見圖；圖4是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的等距視圖；圖5是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的等距視圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明的隨機(jī)存取容器儲(chǔ)存系統(tǒng)的 一個(gè)實(shí)施例的示意圖；圖7是圖6所示實(shí)施例的側(cè)視圖，表示與加工設(shè)備隔間相關(guān)的儲(chǔ)存系統(tǒng)；圖8是本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施例的等距視圖； 圖9是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的等距視圖； 圖IOA至圖IOB提供本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的等距視圖； 圖11是本發(fā)明再一個(gè)實(shí)施例的等距視圖； 圖12A至圖12B是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的正視圖和側(cè)浮見圖； 圖13A至圖13C表示根據(jù)本發(fā)明的換道機(jī)構(gòu)的一個(gè)實(shí)施例； 圖14表示根據(jù)本發(fā)明的換道機(jī)構(gòu)的另一個(gè)實(shí)施例； 圖15表示與傳送系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施例一起工作的圖14中所示的換道 機(jī)構(gòu)。
具體實(shí)施方式
僅為示范目的，在此將結(jié)合FOUP的輸送來(lái)描述本發(fā)明。本發(fā)明的不 同實(shí)施例也可以用于和/或適于搬運(yùn)SMIF盒的系統(tǒng)、光柵盒、平板顯示器 輸送機(jī)或任何其它容器或加工設(shè)備。容器被定義為任何用于支撐物體的結(jié) 構(gòu)，上述物體包括但不局限于任意尺寸的半導(dǎo)體基片(如50毫米到500毫 米的晶圓)。只是作為示例，該容器包括包含允許物體存取(如FPD傳送) 的敞露空間的結(jié)構(gòu)，或者包括具有可以機(jī)械方式打開的門的容器(例如底部 開口的SMIF盒和FOUP)。裝載端口被定義為搬運(yùn)容器的任何接口裝置。為了便于描述各不同實(shí)施例，也將結(jié)合輸送機(jī)來(lái)描述本發(fā)明。當(dāng)然， 本發(fā)明還可以與諸如OHT小車、空中往返運(yùn)輸車(OHS)、 RGV或AGV的 其它AMHS或其它傳送系統(tǒng)一起工作。圖1表示包括懸掛式輸送機(jī)或 Interbay輸送機(jī)20、地面輸送機(jī)或Intrabay輸送機(jī)30以及多個(gè)模塊終端 100的AMHS。圖1表示兩臺(tái)Intrabay輸送機(jī)30,每臺(tái)Intrabay輸送機(jī)30在各自的 加工設(shè)備隔間(例如加工設(shè)備隔間Bl和B2)內(nèi)的裝載端口 12之間傳送容 器。箭頭表示Intrabay輸送機(jī)傳送容器的方向。不過(guò)，每臺(tái)Intrabay輸送 機(jī)包括雙向輸送機(jī)也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。圖1所示結(jié)構(gòu)僅為示例性的，本 發(fā)明也涵蓋其它構(gòu)造。懸掛式輸送機(jī)20涉及任意類型的在高于裝載端口 12的裝載高度輸送容器2的輸送機(jī)。地面輸送機(jī)30涉及任意類型的、處 于或低于裝載端口 12的裝載高度地輸送容器2的輸送機(jī)。如圖1所示，無(wú)論是何種配置，每個(gè)模塊終端100都包括在懸掛式AMHS或輸送系統(tǒng)和地面式AMHS或輸送系統(tǒng)之間輸送容器2的豎直模 塊102。在本說(shuō)明書中，術(shù)語(yǔ)AMHS和輸送系統(tǒng)是可互換的。模塊終端100 還可以包括豎向疊置的儲(chǔ)貨架104，從而使模塊終端IOO具備儲(chǔ)存特性。 在圖1中，每組儲(chǔ)貨架104由數(shù)字標(biāo)注(例如2、 4、 8)，其代表在特定位 置上的豎向疊置的儲(chǔ)貨架104的總數(shù)。例如，模塊終端100b包括三組儲(chǔ) 貨架，其中兩組儲(chǔ)貨架104各有八個(gè)架子，另一組儲(chǔ)貨架104具有四個(gè)架 子。如后所述，模塊終端IOO可以包括任意數(shù)量的儲(chǔ)貨架104(包括沒(méi)有架 子)以及任意數(shù)量的豎直模塊102。圖2表示懸掛式輸送機(jī)20的一個(gè)實(shí)施例。在此實(shí)施例中，懸掛式輸 送機(jī)20包括上輸送機(jī)20a和下輸送機(jī)20b。這兩臺(tái)輸送機(jī)20a和20b豎向 疊置，即每臺(tái)輸送機(jī)的縱向中心線CL1和CL2就共同的豎直平面140而 言基本上水平對(duì)齊。在此實(shí)施例中，每臺(tái)懸掛式輸送機(jī)20a和20b單向移 送容器2(如圖2中的右箭頭和左箭頭所示)。每臺(tái)輸送機(jī)20a和20b基本上 與地面式Interbay輸送機(jī)30水平對(duì)齊(例如CL1、 CL2、 CL3就共同的豎 直平面來(lái)說(shuō)基本上水平對(duì)齊)。圖2只提供Interbay上輸送機(jī)20a、 Interbay 下輸送機(jī)20b和Intrabay輸送機(jī)30之間空間關(guān)系的一個(gè)實(shí)施例，但其它構(gòu) 造也在本發(fā)明范圍內(nèi)。圖2表示地面輸送機(jī)30還可包括用于在輸送機(jī)區(qū) 段之間使容器掉轉(zhuǎn)卯度的導(dǎo)向裝置D。在轉(zhuǎn)讓給阿賽斯特技術(shù)公司的、 名為"具有整體輸送搬運(yùn)器和導(dǎo)向裝置的輸送系統(tǒng)"的美國(guó)專利6,308,818 中，公開了導(dǎo)向裝置D的一個(gè)例子，其全文作為參考被納入本文。如以下將詳細(xì)說(shuō)明的那樣，豎直模塊102包括傳送機(jī)構(gòu)，該傳送機(jī)構(gòu) 可以水平延伸至輸送機(jī)(Interbay輸送機(jī)或Intrabay輸送機(jī))，抓住容器2(如 抓住容器的底面或頂部手柄)，將容器2抬離輸送機(jī)，將容器放在輸送機(jī)上， 以及使容器2移入/移出豎直模塊102和在豎直模塊內(nèi)移動(dòng)。如果傳送機(jī)構(gòu) 不能轉(zhuǎn)動(dòng)(例如關(guān)于0軸)，則傳送機(jī)構(gòu)被限定只在儲(chǔ)貨架/位置104中儲(chǔ)存 容器2，儲(chǔ)貨架/位置104位于Interbay輸送機(jī)和Intrabay輸送機(jī)之間(如圖 4的實(shí)施例)，或是在豎直模塊102相對(duì)一側(cè)的某個(gè)位置上(如圖9的實(shí)施 例)。為了將容器2儲(chǔ)存到豎直模塊102的一側(cè)(例如圖1中在模塊終端100b中標(biāo)注為8的儲(chǔ)貨架104)，傳送機(jī)構(gòu)要求關(guān)于兩個(gè)不同的軸做e運(yùn)動(dòng)或直線運(yùn)動(dòng)。這將大大增加^f莫塊終端IOO的儲(chǔ)存密度。然而，在相對(duì)于Interbay 輸送機(jī)20的豎直模塊102的側(cè)面上的任意儲(chǔ)存位置并不是人們非常期望的，這是因?yàn)檫@些位置會(huì)阻礙進(jìn)出豎直模塊102的維修作業(yè)，并且減少了 加工設(shè)備隔間中的可用設(shè)備空間。圖l表示一種可擴(kuò)展的模塊結(jié)構(gòu)，其產(chǎn)能可以滿足隔間內(nèi)部物流量的 大范圍要求。模塊終端100可以只被構(gòu)造為具有單個(gè)豎直模塊102和最少 數(shù)量的儲(chǔ)貨架/位置104。豎直模塊102還可以被構(gòu)造為沒(méi)有任何儲(chǔ)貨架 104,而僅用于輸送機(jī)之間的輸送系統(tǒng)(例如在懸掛式輸送機(jī)和地面輸送機(jī)之間)。具有能做e運(yùn)動(dòng)、豎直運(yùn)動(dòng)和水平運(yùn)動(dòng)的傳送機(jī)構(gòu)的單個(gè)豎直模塊102(有或沒(méi)有儲(chǔ)貨架)能省去地面式或Intrabay輸送機(jī)30的、直接位于 Interbay輸送機(jī)20之下的部分(如圖2所示)。豎直模塊102中的傳送機(jī)構(gòu)可沿許多方向移動(dòng)容器2。例如在圖5的 實(shí)施例中，傳送機(jī)構(gòu)可以上升到Interbay上輸送機(jī)20a的高度，使夾持機(jī) 構(gòu)或其它工具向外伸出以抓住容器2,向上提升夾持機(jī)構(gòu)以使容器2抬離 Interbay輸送機(jī)20,移動(dòng)容器20進(jìn)入豎直模塊102，降落到所期望的儲(chǔ)貨 架104或地面輸送才幾30的高度，并將容器2直4妄放置在儲(chǔ)貨架104或地 面輸送機(jī)30上。在圖5的實(shí)施例中，每個(gè)儲(chǔ)貨架104包括用于在儲(chǔ)貨架 上沿任一方向移動(dòng)容器2的輸送機(jī)(如箭頭所指)。在圖9的實(shí)施例中，傳 送機(jī)構(gòu)將容器2從上輸送機(jī)20a(或下輸送機(jī)20b)移出并將容器2移入豎直 模塊102。例如，傳送機(jī)構(gòu)隨后可以使容器2落至儲(chǔ)貨架104e并把容器2 放在儲(chǔ)貨架104e上。容器的許多其它移動(dòng)也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。圖1也示出了遞回環(huán)道120的一個(gè)實(shí)施例。每個(gè)遞回環(huán)道120可以詔二 置在模塊終端100的上游或下游，以提供臨時(shí)的儲(chǔ)存區(qū)。遞回環(huán)道120可 定位在沿輸送機(jī)的任何位置。例如，遞回環(huán)道可定位在只靠近Interbay上 輸送機(jī)20a的位置，或定位在靠近Interbay上輸送機(jī)20a和Interbay下輸 送機(jī)20b的位置。如果在容器2接近模塊終端100時(shí)豎直模塊102尚不能 用，則AMHS能夠快速地將容器2從輸送機(jī)移送至遞回環(huán)道120。從輸送 機(jī)移出容器避免了 Interbay輸送機(jī)20的停機(jī)，直到豎直模塊120準(zhǔn)備接收 容器。輸送^L上的其它容器隨后可以通過(guò)遞回環(huán)道120繼續(xù)移向它們的目 標(biāo)位置。然后，當(dāng)豎直模塊120準(zhǔn)備接收容器時(shí)，容器可以在不中斷AMHS 流程的情況下,皮^1回至輸送機(jī)上。諸如導(dǎo)向裝置或換道機(jī)構(gòu)126的裝置(更多細(xì)節(jié)如圖13至圖15所示) 可以在Interbay輸送機(jī)20和遞回環(huán)道120之間傳送容器2。遞回環(huán)道120 通常包括用于臨時(shí)緩沖正到來(lái)的容器2的輸送機(jī)122。本領(lǐng)域已知的其它容器緩沖機(jī)構(gòu)也在本發(fā)明范圍內(nèi)。換道機(jī)構(gòu)126通常還包括可在兩臺(tái)輸送 機(jī)之間(如遞回環(huán)道輸送機(jī)122和Interbay輸送機(jī)20之間)或其它AMHS 之間傳送容器2的任何裝置。例如在懸桂式輸送機(jī)20上移動(dòng)的容器2被 暫時(shí)停止、夾住和抬離Interbay輸送機(jī)20，隨后經(jīng)過(guò)遞回環(huán)道輸送機(jī)122。 在輸送機(jī)之間傳送容器2的傳送機(jī)構(gòu)可以包括例如單節(jié)臂或多節(jié)臂或線性 滑架。可以用一個(gè)單獨(dú)的機(jī)構(gòu)從下面抬起容器，由此允許橫向傳送機(jī)構(gòu)的 設(shè)計(jì)更加豐富。本領(lǐng)域已知的其它容器傳送機(jī)器人也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。以上描述涉及豎向疊置的Interbay輸送機(jī)20(例如Interbay上輸送機(jī) 20a和Interbay下輸送機(jī)20b),因?yàn)樗顺Ｒ?guī)的平面型Interbay輸送 機(jī)所遇到的延遲。因此如果容器運(yùn)動(dòng)是單向的，則Interbay輸送機(jī)20將更 有效地傳送容器。多臺(tái)平行的Interbay輸送機(jī)20也增加了 Interbay AMHS 的物流量。對(duì)每個(gè)跨隔間方向來(lái)說(shuō)，最好設(shè)置至少一臺(tái)輸送機(jī)，用于在任 意兩個(gè)加工設(shè)備隔間之間有效輸送容器(見圖4的實(shí)施例)。在沒(méi)有與更靠 近加工設(shè)備隔間的輸送機(jī)相交的情況下，常規(guī)的平面型Interbay輸送機(jī)結(jié) 構(gòu)不允許在更遠(yuǎn)離加工設(shè)備隔間的輸送機(jī)上移動(dòng)的容器進(jìn)入加工設(shè)備隔 間。在輸送機(jī)流程轉(zhuǎn)向的位置上或在輸送機(jī)流程穿越另一臺(tái)輸送機(jī)的位置 上都需要導(dǎo)向裝置，而此交通中斷會(huì)使跨隔間物流量有所下降。但如果輸 送機(jī)設(shè)置在豎直模塊102(如圖IOB所示)的兩側(cè)，上述情況就不會(huì)發(fā)生。圖3表示另一個(gè)利用本發(fā)明不同組成構(gòu)件以改善在制造工廠中的容器 總物流量的AMHS。該AMHS包括懸掛式輸送機(jī)20、多臺(tái)地面輸送機(jī)30 和加工設(shè)備隔間Bl和B2。沿懸掛式輸送機(jī)20設(shè)置若干模塊終端100。模 塊終端100的位置和AMHS的其它部件只是示范性的。如圖3所示，容器 2可以儲(chǔ)存在帶有模塊終端100的AMHS中。圖4至圖7表示模塊終端IOO的不同組合，其尤其提供容器2的豎向 傳送、儲(chǔ)存和緩沖。豎直模塊IOO仍然可以不包括儲(chǔ)貨架。圖4表示帶來(lái) 多個(gè)空間節(jié)省特征的模塊終端IOO的一個(gè)實(shí)施例。在此實(shí)施例中，模塊終 端100包括第一豎直模塊102a、第二豎直模塊102b、四個(gè)儲(chǔ)貨架104a-104d、 第一輸送平臺(tái)106和第二輸送平臺(tái)108。如圖4所示，Interbay輸送機(jī)20a、 20b以及儲(chǔ)貨架104a-104d分別相對(duì)豎直平面150水平對(duì)齊。當(dāng)然，模塊 終端IOO也可以具有其它的構(gòu)造。如圖4所示，每個(gè)豎直模塊102包括在Interbay上輸送機(jī)20a和最高 儲(chǔ)貨架104a之間延伸的殼體110。每個(gè)豎直模塊102的殼體110不一定在相同的Interbay輸送機(jī)20或儲(chǔ)貨架104之間延伸，也不一定要互相靠近。 事實(shí)上，模塊終端100可以只包括單個(gè)豎直模塊102。模塊終端100可以 包括任意數(shù)量的儲(chǔ)貨架104(包括沒(méi)有儲(chǔ)貨架)。傳送機(jī)構(gòu)(圖4未示出)在每 個(gè)殼體110中移動(dòng)，以便在輸送機(jī)和儲(chǔ)貨架104之間移送容器2。圖4所示的每個(gè)儲(chǔ)貨架104包括用于在沿儲(chǔ)貨架的任意位置之間移送 容器的輸送機(jī)。例如，儲(chǔ)貨架104a能夠在第一末端104al和第二末端104a2 之間移動(dòng)容器2。最高儲(chǔ)貨架104a與其它儲(chǔ)貨架104b-104d相似地可以是 單向輸送機(jī)或雙向輸送機(jī)。圖4所示的模塊終端100先從上輸送機(jī)20a或下輸送機(jī)20b尚將容器 移送至最高儲(chǔ)貨架104a。在將容器2放到最高儲(chǔ)貨架104a上后，容器2 可以通過(guò)輸送平臺(tái)106或輸送平臺(tái)106和108的組合被移送到另一儲(chǔ)貨架 (例如圖4中的儲(chǔ)貨架104a、 104b、 104c和104d)。輸送平臺(tái)106最終將把 容器2下放到地面輸送機(jī)30上。在單個(gè)模塊終端100中的多于一個(gè)的豎直模塊102提高了模塊終端 100的效率。例如，由于多個(gè)傳送機(jī)構(gòu)并行工作，所以容器能以更高的物 流量從Interbay輸送機(jī)20被卸下，可攀升的并行構(gòu)造減少了從懸掛式輸送 機(jī)20中移走容器所花費(fèi)的平均時(shí)間。輸送平臺(tái)106和108最好被定位成 與每個(gè)儲(chǔ)貨架104的末端對(duì)齊并且就位于Interbay輸送機(jī)20的下面。輸送 平臺(tái)也可以位于其它位置。設(shè)置其長(zhǎng)度只夠裝載最高儲(chǔ)貨架104a(最高高 度)的豎直模塊102a和102b也允許在每個(gè)豎直模塊102的縮短構(gòu)架110下 方的地面通行(例如工人可以在豎直模塊下方走過(guò)，但頭不會(huì)碰到構(gòu)架)。每個(gè)豎直模塊102也可以直接通入任意數(shù)量的儲(chǔ)貨架104a-104d。例 如，豎直模塊102可以直接在懸掛式輸送機(jī)20和地面輸送機(jī)30之間移送 容器2。在另一個(gè)實(shí)施例中，全尺寸的豎直模塊102可被安裝在每個(gè)儲(chǔ)貨 架104的兩側(cè)，以替換排成一線的平臺(tái)106和108。圖4所示的豎直才莫塊 102表示，當(dāng)平臺(tái)108不能接近最高儲(chǔ)貨架104a時(shí)，平臺(tái)106可以接近所 有的儲(chǔ)貨架104a-104d。兩個(gè)輸送平臺(tái)防止了每個(gè)儲(chǔ)貨架104像先入先出 (FIFO)系統(tǒng)一樣操作。例如，存放在儲(chǔ)貨架104上的容器可以從第一末端 104dl退至輸送平臺(tái)108，或者從第二末端104d2退至輸送平臺(tái)106。每個(gè) 輸送平臺(tái)106和108優(yōu)選包括雙向輸送機(jī)，以便能夠在輸送平臺(tái)和儲(chǔ)貨架 104之間移送容器2。圖5表示上部懸掛式輸送機(jī)20a和與多個(gè)豎直模塊102a-102c連接的懸掛式下輸送才幾20b,以及可選的平臺(tái)106。每個(gè)豎直才莫塊102a-102c可以 位于懸掛式輸送機(jī)20的近側(cè)(如圖5所示)，或在懸掛式輸送機(jī)20的遠(yuǎn)側(cè)(與 圖4類似)，或者在懸掛式輸送機(jī)20的兩側(cè)。在一個(gè)實(shí)施例中，搡作方法 包括先入先出(FIFO)方法以提供緩沖，但不是真的隨機(jī)進(jìn)入儲(chǔ)存。在操作 中，豎直模塊102將容器2從Interbay輸送機(jī)20a或20b移送至豎向疊置 的儲(chǔ)貨架104a-104e中的一個(gè)。儲(chǔ)貨架104隨后將容器2移送到儲(chǔ)貨架末 端，移向平臺(tái)106(如圖5箭頭所示)。隨后，在容器2被放到平臺(tái)106尚 后，容器被送至地面輸送機(jī)30。容器2可以通過(guò)平臺(tái)106或通過(guò)豎直模塊102(如果豎直模塊102延伸 至地面輸送機(jī)30)從儲(chǔ)貨架104被傳送到地面輸送機(jī)30。例如豎直模塊 102a可以在懸掛式輸送機(jī)20和地面輸送機(jī)30之間延伸。豎直模塊102b 可以從懸掛式輸送機(jī)20延伸至儲(chǔ)貨架104c。而且，豎直模塊102c可以只 從懸掛式輸送機(jī)20延伸到最高儲(chǔ)貨架104a。豎直模塊102的其它構(gòu)造也 在本發(fā)明范圍內(nèi)。豎直模塊102還可以定位在儲(chǔ)貨架104的任一末端。例 如豎直模塊102可以替代平臺(tái)106。豎直模塊102還可定位在儲(chǔ)貨架104 的另一個(gè)末端。每個(gè)豎直模塊102中的傳送機(jī)構(gòu)可包括用于在豎直模塊102 和儲(chǔ)貨架104之間移送容器2的 一小段輸送機(jī)或傳送機(jī)構(gòu)(如容器搬運(yùn)機(jī)械 手)。在每個(gè)豎直模塊102的任一側(cè)設(shè)置Interbay輸送機(jī)20或另外的儲(chǔ)貨 架104(參見圖9的構(gòu)造)也在本發(fā)明范圍內(nèi)(參見圖10B的構(gòu)造)。圖6和圖7表示隨機(jī)存取容器儲(chǔ)存系統(tǒng)，它沒(méi)有使用位于儲(chǔ)貨架104 任一末端的豎直模塊102。豎直模塊102a-102c使Interbay輸送機(jī)20a和 20b同儲(chǔ)貨架104a-104d以及地面輸送機(jī)30相連。如圖所示，容器2處于 除儲(chǔ)貨架104b和104d以外的儲(chǔ)貨架104的所有高度上。沿儲(chǔ)貨架 104a-104d的單獨(dú)儲(chǔ)存位置用字母a至k標(biāo)識(shí)。地面式Intrabay輸送機(jī)30 可與圖2所示的輸送機(jī)相同，但其不局限于此實(shí)施例。加工設(shè)備隔間需要 廊道空間，其在圖6中表示為廊道空間13。圖7表示加工設(shè)備10a和10b。 每個(gè)儲(chǔ)貨架104需要一定最小數(shù)量的開放空間，從而使存放在儲(chǔ)貨架104 上的容器2可被橫向移送至豎直模塊102a、 102b或102c,以便最終傳送 至地面輸送機(jī)30。當(dāng)每個(gè)儲(chǔ)貨架104在兩端延伸超過(guò)豎直模塊102以用于 附加容器儲(chǔ)存時(shí)，圖6的儲(chǔ)存系統(tǒng)實(shí)施例包括在每個(gè)豎直模塊102之間具 有相同數(shù)量的儲(chǔ)存位置(例如示出的在每個(gè)豎直模塊102之間的兩個(gè)儲(chǔ)存 位置)。儲(chǔ)存系統(tǒng)還具有其它用以儲(chǔ)存更多/更少容器的構(gòu)造。對(duì)于那些具有同等數(shù)量的、在每個(gè)豎直模塊102之間的儲(chǔ)存位置(例 如位置d和e)以及延伸到每個(gè)豎直模塊102外的儲(chǔ)存位置(例如位置j和 k)的模塊終端100來(lái)說(shuō)，每個(gè)儲(chǔ)貨架104的儲(chǔ)存位置的最大數(shù)量(定義為 M)例如已^皮確定為M=T-E=Nx (X+l)N-儲(chǔ)存系統(tǒng)中的豎直模塊的數(shù)量；X-定位在每個(gè)豎直模塊之間或每個(gè)儲(chǔ)存輸送機(jī)末端的容器儲(chǔ)存位置 的數(shù)量；T= N x (X+l)+X:每個(gè)儲(chǔ)存輸送機(jī)水平面上的容器儲(chǔ)存位置的總數(shù)； E-每個(gè)儲(chǔ)存輸送機(jī)水平面上的剩余空閑容器儲(chǔ)存位置的最小數(shù)量。 其它用于計(jì)算儲(chǔ)存位置最大數(shù)量的公式也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。通過(guò)改 變豎直模塊102的數(shù)量和它們的間距，這種模塊終端100可以被優(yōu)化，以 期獲得最大的儲(chǔ)存密度、最大的儲(chǔ)量或物流量。如圖6所示，儲(chǔ)貨架104a具有最大數(shù)量的、被容器2占用的儲(chǔ)存位 置，但仍允許任一容器2從儲(chǔ)貨架104a被移走。例如，如果存放于位置k 的容器2需要從儲(chǔ)貨架104a卸走，必須將全部九個(gè)容器向左移動(dòng)兩個(gè)位 置，以使存放于位置k的容器2移到位置i。位置i可讓豎直模塊102c接 近，因此容器2可從儲(chǔ)貨架104a移出到另一個(gè)儲(chǔ)貨架104、懸掛式輸送機(jī) 20或地面輸送機(jī)30。不是所有儲(chǔ)存在儲(chǔ)貨架104a上的容器2都必須一皮移 動(dòng)以將容器2放置在豎直模塊可接近的位置。例如，如果存放于位置e的 容器2必須從儲(chǔ)貨架104a中卸走，則只有存放于位置c、 d和e的容器必 須向左移動(dòng)兩個(gè)位置，才能將放在位置e的容器2移至豎直模塊102a可 接近的位置c。存放于位置f-k的剩余容器2根本不必移動(dòng)。儲(chǔ)貨架104c具有小于最大數(shù)量的、被容器2占用的儲(chǔ)存位置，而且 容器2被存放在最有效的位置。例如，存放在儲(chǔ)貨架104c上的任一容器2 在不必移動(dòng)其它容器2的情況下均可以被收回。這一類型的模塊終端100 的最佳操作是將容器2僅定位在平均來(lái)說(shuō)允許收回容器2且其它容器2的 移動(dòng)最小的位置上。在一個(gè)實(shí)施例中，豎直模塊102所接收的容器2隨后 被卸到具有最少容器的儲(chǔ)貨架104上。在另一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)儲(chǔ)貨架104 未被存取時(shí)，就像在儲(chǔ)貨架104c上所示的容器2排列，模塊終端100將 連續(xù)將某儲(chǔ)貨架104上的容器2移送到"最佳"位置。圖8和圖9表示用于支持Intrabay輸送機(jī)的雙向部分的地面輸送機(jī)30的不同配置，以及表示模塊終端100如何服務(wù)于這種輸送機(jī)。圖8表示從 雙向地面輸送機(jī)30上的加工設(shè)備隔間退出的容器2將在導(dǎo)向裝置D1處轉(zhuǎn) 向，移動(dòng)穿過(guò)輸送機(jī)出口部32，在導(dǎo)向裝置D3處轉(zhuǎn)向，接著移至導(dǎo)向裝 置D4。在一個(gè)實(shí)施例中，容器2隨后等待豎直模塊102變?yōu)榭捎茫⒃?那時(shí)從導(dǎo)向裝置D4移動(dòng)到可用的豎直4莫塊102，以便被送到Interbay輸送 機(jī)20或儲(chǔ)貨架104。退出的容器2還可以在輸送機(jī)出口部32上排隊(duì)，從 而能獲得與豎直模塊102操作的最佳同步。從豎直模塊102進(jìn)入加工設(shè)備隔間的容器會(huì)沿輸送機(jī)入口部34移動(dòng)， 在導(dǎo)向裝置D2處轉(zhuǎn)向，而后在導(dǎo)向裝置Dl處并入雙向地面輸送機(jī)30。 從輸送機(jī)入口部34在導(dǎo)向裝置D2之前均可以用作容器輸入隊(duì)列。Intrabay AMHS將控制在地面輸送機(jī)30上的依次移動(dòng)方向。Intrabay AMHS可以將 雙向輸送機(jī)方向改到"入口"方向，并且隨后移動(dòng)入口隊(duì)列中的所有容器 2。之后，IntrabayAMHS可以將方向轉(zhuǎn)變到"出口，，方向并移動(dòng)已經(jīng)等候 在加工設(shè)備或其它庫(kù)存架處的所有容器2。雙向輸送機(jī)30的切換操作也在 本發(fā)明的范圍內(nèi)，該切換操作依據(jù)時(shí)間間隔或?qū)γ總€(gè)方向有時(shí)間限制的排 序方法。圖9表示一個(gè)與圖8相似的系統(tǒng)，但輸送機(jī)出口部沒(méi)有通過(guò)D1和D2 連接到入口部。相反，每個(gè)豎直模塊102包括一個(gè)能接近輸送機(jī)出口部32 和輸送機(jī)入口部34的才幾構(gòu)。退出的容器2將在輸送機(jī)出口部32上排隊(duì)并 直接被豎直模塊傳送機(jī)構(gòu)卸走，而不是如圖8所示地環(huán)繞至輸送機(jī)入口部 34。豎直模塊具有可4妻近輸送機(jī)入口部34和輸送機(jī)出口部32的傳送4幾構(gòu)， 這也允許更多的儲(chǔ)存輸送機(jī)(這里以儲(chǔ)貨架104e和104f表示)疊置在豎直 模塊102的輸送機(jī)出口側(cè)。僅為了清楚起見，示出了兩個(gè)增加的儲(chǔ)存輸送 機(jī)部分，但在入口側(cè)在每個(gè)儲(chǔ)存輸送機(jī)(如4諸貨架104a-104d)的對(duì)面可以有 一個(gè)，加上在每臺(tái)Interbay輸送機(jī)20a和20b對(duì)面的一個(gè)(未示出)。如上所述，地面輸送機(jī)30或者支撐地面輸送才幾的其它輸送系統(tǒng)(例如 AGV、 RGV等)的這些配置結(jié)構(gòu)不局限于圖8和圖9所示的疊置的輸送機(jī) 儲(chǔ)存系統(tǒng)。例如，圖1 OA表示分別定位在Interbay輸送機(jī)20a和20b之下 的5個(gè)儲(chǔ)貨架104a-104e。每個(gè)豎直模塊102a、 102b和102c接近儲(chǔ)貨架 104a-104e的不同欄以及輸送機(jī)入口部34。容器2可以在懸掛式輸送機(jī)20、 儲(chǔ)貨架104和輸送機(jī)入口部34之間移動(dòng)，例如利用一個(gè)延伸機(jī)構(gòu)或機(jī)械 手裝置。上述機(jī)構(gòu)/裝置在本技術(shù)領(lǐng)域中是眾所周知的，因此不需要在本申請(qǐng)中詳加描述。在一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)豎直模塊102也可以從就在其下面 的輸送機(jī)出口部32拾起容器2。上述Interbay輸送機(jī)20已經(jīng)是豎向疊置的在線輸送機(jī)。具有其它結(jié)構(gòu) 的Interbay輸送4幾20也在本發(fā)明的范圍內(nèi)，包括豎向疊置的非在線輸送機(jī) 和/或在距工廠地面基本相同的高度上互相靠近的輸送機(jī)。例如，圖10A 所示的兩臺(tái)Interbay輸送機(jī)20可以是豎向疊置的(如圖10A所示)。或者， 兩臺(tái)Interbay輸送機(jī)20可以定位在離工廠地面基本相同的高度上，但相互 間隔開，從而使豎直模塊102定位在兩個(gè)Interbay輸送機(jī)20(參見圖10B) 之間。圖10B表示Interbay輸送機(jī)20a和Interbay輸送機(jī)20b關(guān)于同一水 平面160豎向?qū)R。這兩臺(tái)Interbay輸送^li不必定位在相同的高度上。圖11表示本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，即模塊終端200的實(shí)施例。與上 述實(shí)施例相似，模塊終端200可以設(shè)置在沿AMHS系統(tǒng)的任意位置上。圖 11所示的AMHS系統(tǒng)仍然包括懸掛式輸送才幾20和地面輸送機(jī)30。這兩臺(tái) 輸送機(jī)可以是Interbay輸送機(jī)，或是Intrabay輸送才幾。模塊終端200包括上穿行區(qū)206、下穿行區(qū)208和儲(chǔ)存室210。上穿 行區(qū)206允許上輸送機(jī)20順利穿過(guò)模塊終端200。下穿行區(qū)208允許下輸 送機(jī)30順利穿過(guò)模塊終端200。因此，在各自輸送機(jī)上移動(dòng)的容器2也可 以順利經(jīng)過(guò)模塊終端200。如圖11所示，模塊終端200包括兩個(gè)儲(chǔ)存室210a和210b。在此實(shí)施 例中，每個(gè)儲(chǔ)存室210包括多個(gè)儲(chǔ)貨架(未示出)，每個(gè)儲(chǔ)貨架并排儲(chǔ)存兩 個(gè)容器2。模塊終端200可以只包括一個(gè)儲(chǔ)貨架或多于兩個(gè)的儲(chǔ)貨架。對(duì) 于模塊終端200的傳送機(jī)構(gòu)來(lái)說(shuō)，輸送單個(gè)容器或同時(shí)輸送多個(gè)容器也在 本發(fā)明的范圍和精神內(nèi)。儲(chǔ)存室210可以具有其它構(gòu)造(例如更多/更少的 架子，每個(gè)都能儲(chǔ)存多于兩個(gè)容器等)。兩個(gè)儲(chǔ)存室210a和210b提高了模 塊終端200的儲(chǔ)存能力。模塊終端200還可以只包括一個(gè)儲(chǔ)存室210。在 包括兩個(gè)儲(chǔ)貨架的模塊終端200的一個(gè)實(shí)施例中，傳送機(jī)構(gòu)可以同時(shí)移動(dòng) 兩個(gè)容器，或者包括兩個(gè)可以相互獨(dú)立移動(dòng)的傳送機(jī)構(gòu)。圖11表示單臺(tái)Interbay輸送機(jī)20,它穿過(guò)模塊終端200的上穿行區(qū) 206。不過(guò)，AMHS系統(tǒng)可以具有許多臺(tái)豎向疊置的Interbay輸送機(jī)20(與 圖4的實(shí)施例類似)，每臺(tái)輸送機(jī)可以通過(guò)為模塊終端200增添更多穿行區(qū) 206而以相同方式穿過(guò)模塊終端200。不是所有的AMHS系統(tǒng)都包括兩臺(tái)輸送^L。例如，普通制造工廠可以只有一臺(tái)懸掛式輸送機(jī)20。在這種情況下，模塊終端200將只包括上穿行 區(qū)206以及一個(gè)或多個(gè)儲(chǔ)存室210。如果模塊終端200只包括一個(gè)儲(chǔ)存室 201,則優(yōu)選將儲(chǔ)存室201就定位在輸送機(jī)20的下面(例如儲(chǔ)存室201a)， 以利用制造工廠中未被占用的空間。圖4至圖11所示的模塊終端分別是獨(dú)立的、真正模塊式的裝置。例 如，圖8所示的每個(gè)豎直模塊102a、 102b和102c包括其自己的、用于在 某豎直模塊102內(nèi)移動(dòng)容器2的豎向傳送機(jī)構(gòu)。如果每個(gè)豎直模塊102具 有諸如70容器移動(dòng)/小時(shí)的輸送速率，則圖8所示的系統(tǒng)的每小時(shí)容器移 動(dòng)總數(shù)為210容器移動(dòng)/小時(shí)。通過(guò)增加第四個(gè)豎直模塊，系統(tǒng)能力將增加 到280容器移動(dòng)/小時(shí)。因此，在系統(tǒng)中增加額外的豎直模塊102不會(huì)影響 每個(gè)單獨(dú)豎直才莫塊102a、 102b和102c的輸送速率。包括多于一個(gè)的豎直模塊102的模塊終端IOO允許獲得靈活的控制系 統(tǒng)。例如，單個(gè)控制系統(tǒng)可以操作模塊終端100中的所有豎直模塊102。或 者，模塊終端100中的每個(gè)豎直模塊102可以具有自己的控制系統(tǒng)。即插 即用控制環(huán)境允許將附加的豎直模塊102添加到單個(gè)模塊終端100中，保 證了簡(jiǎn)便安裝、快速的啟動(dòng)時(shí)間和模塊終端IOO的物流量筒單擴(kuò)增。圖12A和圖12B表示與加工設(shè)備直接裝載相關(guān)的圖ll所示的模塊終 端200。如圖12A所示，儲(chǔ)存室210a中的每個(gè)儲(chǔ)貨架儲(chǔ)存兩個(gè)容器。儲(chǔ) 存室210a中的每個(gè)儲(chǔ)貨架可以只儲(chǔ)存一個(gè)容器或儲(chǔ)存多于兩個(gè)的容器。 在此實(shí)施例中，存放于儲(chǔ)存室210a中的容器2位于懸掛式輸送機(jī)20b之 下(參見圖12B)。輸送機(jī)(未示出)在懸掛式輸送機(jī)20a和Z0b(圖12B所示)、 儲(chǔ)存室210b內(nèi)的儲(chǔ)貨架以及地面輸送機(jī)30之間的移動(dòng)區(qū)218內(nèi)移動(dòng)容器 2。如上所述，模塊終端200根本不需要包括儲(chǔ)存室。模塊終端200可以 只包括豎直模塊(如圖12B中的移動(dòng)區(qū)218)。在運(yùn)行中，容器2從懸掛式 輸送機(jī)20或從儲(chǔ)貨架被下移至地面輸送機(jī)30。然后，地面輸送機(jī)30將容 器2移送至裝載端口 12a、裝載端口 12b或一些其它位置。圖12B表示在三臺(tái)輸送機(jī)即懸掛式輸送機(jī)20a、懸掛式輸送機(jī)20b或 地面輸送機(jī)30的每一個(gè)上移動(dòng)的容器2順利通過(guò)模塊終端200。穿行區(qū) 212允許在懸掛式輸送機(jī)20a和20b上移動(dòng)的容器順利穿過(guò)模塊終端200。 穿行區(qū)214允許在地面輸送機(jī)上移動(dòng)的容器順利穿過(guò)模塊終端200。圖12B 還表示模塊終端200可以包括第二儲(chǔ)存室210b。圖13A至圖13C表示用于在懸掛式輸送機(jī)20a和遞回環(huán)道輸送機(jī)122之間輸送FOUP2的換道機(jī)構(gòu)126的一個(gè)實(shí)施例。在此實(shí)施例中，換道機(jī) 構(gòu)126包括直線傳送機(jī)構(gòu)128，其包括夾持機(jī)構(gòu)130和直線導(dǎo)軌或軌道 132。如圖13A所示，夾持機(jī)構(gòu)130包括剛性主體131和夾持件135。直 線軌道132包括第一末端132a和第二末端132b。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未示出)在軌道 132的第一末端132a和第二末端132b之間沿直線4九道132移動(dòng)剛性主體 131。直線軌道132可以具有任意長(zhǎng)度，只要夾持機(jī)構(gòu)130能接觸到在懸 掛式輸送才幾20a和遞回環(huán)道輸送機(jī)122上的容器或FOUP2。直線傳送才幾構(gòu) 128不局限于在懸掛式輸送機(jī)20a和遞回環(huán)道輸送才幾122之間移送容器。 直線傳送才幾構(gòu)128還可以在諸如兩臺(tái)地面輸送才幾之間、兩臺(tái)懸掛式輸送機(jī) 之間及類似地方移送容器。兩臺(tái)輸送機(jī)也不一定被定位在離工廠地面等高 的位置上(如圖13A至圖13C所示)。圖13A表示夾持機(jī)構(gòu)130能夠沿豎向(如箭頭140所示)和水平方向(由 箭頭142所指)移動(dòng)。圖13A表示夾持件135接觸FOUP的頂部手柄6。在 本發(fā)明的范圍和精神內(nèi)，夾持機(jī)構(gòu)130可以接觸FOUP的其它部分，例如 FOUP的側(cè)手柄或底部支撐一反，但不局限于此。在操作中，當(dāng)FOUP 2停在懸掛式輸送機(jī)20a上時(shí)，夾持件135對(duì)準(zhǔn) FOUP手柄6并豎直下降(箭頭140),直到夾持件135能接觸并夾住FOUP 手柄6。夾持機(jī)構(gòu)130接著將FOUP 2提離懸掛式輸送機(jī)20a。隨后，F(xiàn)OUP 2水平移向輸送機(jī)122(圖13B所示)，直到FOUP2與下方的輸送機(jī)122對(duì) 齊。夾持機(jī)構(gòu)130隨后降下夾持件135，直至FOUP2落在輸送機(jī)22上。夾持件135可以包括主動(dòng)夾持機(jī)械或被動(dòng)夾持才幾械。例如主動(dòng)夾持機(jī) 械可以包括固定或夾持FOUP的頂部手柄6的機(jī)械手。被動(dòng)夾持件135可 以用多種方式工作。例如，夾持件B5移入在懸桂式輸送機(jī)20a上方的"夾 持位置"，然后等候沿懸掛式輸送機(jī)20a移動(dòng)的FOUP2，直到FOUP手柄 6碰到被動(dòng)夾持件135。此刻，夾持件135豎直上升并將FOUP2提離懸掛 式輸送機(jī)20a?；蛘?，夾持件135可以等候沿輸送機(jī)移動(dòng)并停住的FOUP2。 然后夾持件135從側(cè)面接近FOUP 2并抓住FOUP手柄6,接著FOUP2提 離輸送機(jī)。每種夾持機(jī)械在本領(lǐng)域中均為公知，因而在此無(wú)需詳加描述。圖13A至圖13C表示用于在懸掛式輸送機(jī)20a和遞回環(huán)道輸送機(jī)122 之間移動(dòng)FOUP 2的換道才幾構(gòu)128的一個(gè)實(shí)施例。豐lr送才幾20a和122的構(gòu) 造只用于示范說(shuō)明。輸送機(jī)20a和122可以進(jìn)一步分開，相對(duì)制造工廠地 面處于不同高度(例如輸送機(jī)20a包括懸掛式輸送機(jī)，而輸送機(jī)122包括地面輸送機(jī))等等。換道機(jī)構(gòu)128甚至可以在任意兩臺(tái)輸送機(jī)之間移動(dòng)FOUP式輸送機(jī)20a和環(huán)道輸送機(jī)122之間移動(dòng)FOUP。換道機(jī)構(gòu)可以在任意兩 個(gè)輸送系統(tǒng)之間移動(dòng)FOUP 2。如果輸送機(jī)20a和122被進(jìn)一步分開而大 于FOUP2的寬度，則換道機(jī)構(gòu)128可以臨時(shí)在懸掛式輸送機(jī)20a和環(huán)道 輸送機(jī)122之間保持FOUP 2,而不會(huì)妨礙任一臺(tái)輸送機(jī)上的輸送。這個(gè) 特點(diǎn)將允許換道機(jī)構(gòu)128立即從懸掛式輸送機(jī)20a中移走FOUP 2,即使 在環(huán)道輸送機(jī)122上沒(méi)有放置FOUP2的地方。FOUP2可以暫時(shí)仍停留在 懸掛式輸送機(jī)20a和環(huán)道輸送機(jī)122之間，直到環(huán)道輸送機(jī)122上存在可 用的地方。夾持機(jī)構(gòu)130可以包括被動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)或主動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)。圖13A表示抓 住FOUP手柄6的夾持機(jī)構(gòu)130。如圖13B所示，為了從懸掛式輸送機(jī)20a 上提離FOUP2,夾持機(jī)構(gòu)130被升起(如箭頭140所示)，并開始朝環(huán)道輸 送機(jī)122移動(dòng)FOUP 2。在此實(shí)施例中，夾持機(jī)構(gòu)130沿軌道132水平移 動(dòng)(如箭頭142所示)。如圖13C所示，換道機(jī)構(gòu)128已經(jīng)降低夾持機(jī)構(gòu)130， 以便將FOUP 2放置在環(huán)道輸送機(jī)122上。圖14表示換道機(jī)構(gòu)300的另一個(gè)實(shí)施例。在此實(shí)施例中，換道機(jī)構(gòu) 300包括轉(zhuǎn)臂連桿，而不是線性機(jī)構(gòu)(如圖13A至圖13C所示)，用于在懸 掛式輸送機(jī)20a和輸送機(jī)122之間移動(dòng)FOUP 2。換道機(jī)構(gòu)300包括中心 轂302、臂304、肘節(jié)306和夾持機(jī)構(gòu)308。臂304將肘節(jié)306連接到中心 轂302上。夾持機(jī)構(gòu)308可旋轉(zhuǎn)地連接在肘節(jié)306上。與圖13A所示的換 道機(jī)構(gòu)126相似，夾持機(jī)構(gòu)308與FOUP手柄6接合。夾持機(jī)構(gòu)308還可 以接合或夾持FOUP2的其它部分。為了將FOUP 2從輸送機(jī)上提離和/或放置在輸送機(jī)上，中心轂302和 /或肘節(jié)306可以豎直移動(dòng)。如圖14所示，在操作中，夾持機(jī)構(gòu)308接合 在輸送機(jī)20a上的FOUP 2的頂部手柄6(表示為位置A)。在位置A， FOUP 2被提離懸掛式輸送機(jī)20a并被旋轉(zhuǎn)到位置C(畫出中間位置B是為了表示 FOUP的整個(gè)動(dòng)作)。FOUP 2接著被下放到輸送機(jī)122上。當(dāng)從位置A到 位置C移動(dòng)FOUP2時(shí)，肘節(jié)306的旋轉(zhuǎn)優(yōu)選與中心轂302的旋轉(zhuǎn)相協(xié)調(diào)， 以保持如圖所示在位置A、 B和C的FOUP的排列(例如FOUP門4通常 面對(duì)同一個(gè)方向)。輸送機(jī)20a和122可以按照任意距離間隔開。但是如圖 14所示，懸掛式輸送機(jī)20a和輸送機(jī)122的間距為最短距離，其能在不妨礙任一臺(tái)輸送機(jī)上的輸送情況下允許FOUP2保持在位置B上(例如，比 FOUP的寬度略大的距離)。圖15表示換道機(jī)構(gòu)300如何也可以在懸掛式輸送機(jī)20a和垂直于懸 掛式輸送機(jī)20a的遞回環(huán)道輸送機(jī)122之間輸送FOUP 2。此外，換道機(jī) 構(gòu)300可以在其它輸送機(jī)之間移動(dòng)FOUP2。如圖15所示，在懸掛式輸送 機(jī)20a上處于位置D的FOUP 2凈皮構(gòu)造成使FOUP門4大致平行于輸送才幾 導(dǎo)軌。在輸送機(jī)122上處于位置E的FOUP2的FOUP門4也平行于輸送 機(jī)122的輸送機(jī)導(dǎo)軌。換言之，已經(jīng)在移送過(guò)程中有效地使FOUP 2從位 置D轉(zhuǎn)動(dòng)卯度到達(dá)位置E。當(dāng)每臺(tái)輸送機(jī)設(shè)置在一個(gè)與圖15所示相似的 位置時(shí)，圖15所示換道機(jī)構(gòu)300的肘節(jié)306可以在FOUP2在懸掛式輸送 機(jī)20a和遞回環(huán)道輸送機(jī)122之間傳送的期間內(nèi)相對(duì)臂304保持靜止不動(dòng) (不用旋轉(zhuǎn))。當(dāng)按照臂304能在轉(zhuǎn)動(dòng)了 90度(例如從位置D到位置E)的情 況下僅通過(guò)豎向運(yùn)動(dòng)將FOUP 2落放在運(yùn)輸機(jī)上的方式設(shè)置輸送才幾20a和 122時(shí)，可以在臂長(zhǎng)固定的情況下采用不旋轉(zhuǎn)的肘節(jié)306。例如，如果需 要臂304以大于或小于90度的角度旋轉(zhuǎn)，則也會(huì)要求肘節(jié)306旋轉(zhuǎn)。支撐。例如，換道機(jī)構(gòu)可以吊掛在吊裝構(gòu)架上或支撐在地面構(gòu)架上?？梢?與懸掛式輸送機(jī)和地面輸送機(jī)相關(guān)地采用任何支撐方法，或者就輸送機(jī)結(jié) 構(gòu)本身來(lái)說(shuō)采用任何支撐方法。應(yīng)該理解的是，用于在輸送機(jī)和裝載端口之間輸送FOUP的上述機(jī)構(gòu) 和方法只用于解釋的目的，本發(fā)明不應(yīng)受其限制。在已經(jīng)描述了用于FOUP 輸送的方法和系統(tǒng)的優(yōu)選實(shí)施例的情況下，本領(lǐng)域4支術(shù)人員應(yīng)該清楚認(rèn)識(shí) 道已經(jīng)獲得了該系統(tǒng)的某些內(nèi)在優(yōu)點(diǎn)。還應(yīng)認(rèn)識(shí)到，可以在本發(fā)明的范圍 和精神內(nèi)做出各種不同的修改、改動(dòng)和替換實(shí)施例。例如，已經(jīng)描述了在 半導(dǎo)體制造工廠中使用輸送機(jī)，但應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，同樣能與其它的非半導(dǎo)體
權(quán)利要求
1.一種用于在懸掛式輸送系統(tǒng)和地面輸送系統(tǒng)之間儲(chǔ)存并輸送容器的設(shè)備，包括多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架，每個(gè)所述豎向疊置的儲(chǔ)貨架具有第一末端和第二末端并且就一個(gè)共同的豎直平面而言與直接位于最高儲(chǔ)貨架上方的懸掛式輸送系統(tǒng)部分基本上水平對(duì)齊；傳送模塊，包括豎向殼體；傳送機(jī)構(gòu)，用于在所述懸掛式輸送系統(tǒng)和所述最高儲(chǔ)貨架之間在所述豎向殼體內(nèi)移送容器；第一平臺(tái)，用于豎直移動(dòng)靠近每個(gè)所述豎向疊置的儲(chǔ)貨架的所述第一末端和所述地面輸送系統(tǒng)的容器；第二平臺(tái)，用于豎直移動(dòng)靠近除所述最高儲(chǔ)貨架外的其余每個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架的所述第二末端的容器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征是，每個(gè)所述豎向疊置的儲(chǔ) 貨架具有輸送機(jī)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征是，所述懸掛式輸送系統(tǒng)包括 上部輸送系統(tǒng)和下部輸送系統(tǒng)，所述上部豐命送系統(tǒng)和下部輸送系統(tǒng)就一個(gè) 共同的豎直平面而言基本上相互水平對(duì)齊。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括用于在所述傳 送模塊的上游儲(chǔ)存至少一個(gè)容器的遞回環(huán)道。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括用于在所述懸 掛式輸送系統(tǒng)和所述遞回環(huán)道之間傳送容器的換道機(jī)構(gòu)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征是，每臺(tái)所述輸送機(jī)包括雙向 輸送機(jī)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括第二傳送模塊， 所述第二傳送模塊包括第二豎向殼體；第二傳送機(jī)構(gòu)，用于在所述懸掛式輸送系統(tǒng)和所述最高儲(chǔ)貨架之間在 所述第二豎向殼體內(nèi)移送容器。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征是，所述傳送機(jī)構(gòu)在所述上部 輸送系統(tǒng)、所述下部輸送系統(tǒng)和所述最高儲(chǔ)貨架之間移送容器。
9. 一種用于在懸掛式輸送系統(tǒng)和地面輸送系統(tǒng)之間儲(chǔ)存并輸送容器 的設(shè)備，包括多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架，每個(gè)所述豎向疊置的儲(chǔ)貨架具有第一末端和 第二末端并且就一個(gè)共同的豎直平面而言與直接位于最高儲(chǔ)貨架上方的懸掛式輸送系統(tǒng)部分基本上水平對(duì)齊； 傳送模塊，包括豎向殼體，在所述懸掛式輸送系統(tǒng)、每個(gè)所述儲(chǔ)貨架和所述地面輸 送系統(tǒng)的附近經(jīng)過(guò)；傳送機(jī)構(gòu)，用于在所述懸掛式輸送系統(tǒng)、所述地面輸送系統(tǒng)和每個(gè) 所述儲(chǔ)貨架之間在所述豎向殼體內(nèi)移送容器。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括第二傳送模 塊，所述第二傳送模塊包括第二豎向殼體，在所述懸掛式輸送系統(tǒng)和至少其中一個(gè)所述儲(chǔ)貨架的 附近經(jīng)過(guò)；第二傳送機(jī)構(gòu)，用于在所述第二豎向殼體內(nèi)移送容器。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括用于在每個(gè) 所述豎向疊置的儲(chǔ)貨架的所述第二末端之間豎直移動(dòng)容器的平臺(tái)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征是，每個(gè)所述豎向疊置的儲(chǔ) 貨架具有輸送機(jī)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括用于在所述 傳送模塊的上游儲(chǔ)存至少一個(gè)容器的遞回環(huán)道。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括用于在所述 懸掛式輸送系統(tǒng)和所述遞回環(huán)道之間傳送容器的換道機(jī)構(gòu)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征是，所述豎向殼體在每個(gè)所 述豎向疊置的儲(chǔ)貨架的所述第 一末端附近經(jīng)過(guò)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征是，進(jìn)一步包括另外多個(gè)豎 向疊置的儲(chǔ)貨架。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的設(shè)備，其特征是，每個(gè)所述另外多個(gè)豎向 疊置的儲(chǔ)貨架具有輸送機(jī)。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的設(shè)備，其特征是，所述豎向殼體位于所述多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架和所述另外多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架之間。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的設(shè)備，其特征是，所述傳送機(jī)構(gòu)在所述懸掛式輸送系統(tǒng)、每個(gè)所述多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架、所述另外多個(gè)豎向疊置 的儲(chǔ)貨架和所述地面輸送系統(tǒng)之間移送容器。
20. —種系統(tǒng)，用于具有多個(gè)加工設(shè)備隔間且每個(gè)隔間包括第一加工 設(shè)備和第二加工設(shè)備的制造工廠，該系統(tǒng)包括地面式Intrabay輸送系統(tǒng)，用于在所述第 一加工設(shè)備和所述第二加工 設(shè)備之間在所述加工設(shè)備隔間內(nèi)輸送容器；懸掛式Interbay輸送系統(tǒng)，用于沿 一個(gè)基本上垂直于所述地面式 Intrabay輸送系統(tǒng)在所述第一加工設(shè)備和所述第二加工設(shè)備之間輸送容器 的方向的方向移送容器；豎直傳送沖莫塊，適于在所述地面式Intrabay輸送系統(tǒng)和所述懸掛式 Interbay輸送系統(tǒng)之間移送容器。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征是，所述地面輸送系統(tǒng)包括 輸送機(jī)。
22. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征是，所述地面輸送系統(tǒng)包括 有軌小車。
23. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征是，所述地面輸送系統(tǒng)包括 自動(dòng)導(dǎo)向小車。
24. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征是，所述懸掛式輸送系統(tǒng)包 括輸送機(jī)。
25. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征是，所述懸掛式輸送系統(tǒng)包 括空中運(yùn)輸車。
26. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征是，所述懸掛式輸送系統(tǒng)包 括空中往返運(yùn)輸車。
27. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征是，進(jìn)一步包括第二豎直傳 送模塊，其適于在所述地面式Intrabay輸送系統(tǒng)和所述懸掛式Interbay輸 送系統(tǒng)之間移送容器。
28. —種用于制造工廠的設(shè)備，該制造工廠具有(i)多個(gè)加工設(shè)備隔間， 每個(gè)所述加工設(shè)備隔間包括第一加工設(shè)備和第二加工設(shè)備，(ii)用于在所述 第 一加工設(shè)備和所述第二加工設(shè)備之間在所述加工設(shè)備隔間內(nèi)輸送容器 的地面式Intrabay輸送系統(tǒng)，以及(iii)沿一個(gè)基本上垂直于所述地面式Intrabay輸送系統(tǒng)在所述第一加工設(shè)備和所述第二加工設(shè)備之間移送容器 的方向的方向移送容器的懸掛式Interbay輸送系統(tǒng)，所述設(shè)備包括豎直傳送模塊，適于在所述地面式Intrabay輸送系統(tǒng)和所述懸掛式 Interbay輸送系統(tǒng)之間移送容器。
29. —種用于儲(chǔ)存容器并將容器移至和移出容器輸送系統(tǒng)的設(shè)備，包括多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架，每個(gè)所述豎向疊置的儲(chǔ)貨架具有第一末端和 第二末端；以及傳送模塊，該傳送模塊包括豎向殼體，其在所述容器輸送系統(tǒng)和至少其中一個(gè)所述儲(chǔ)貨架的附 近經(jīng)過(guò)；傳送機(jī)構(gòu)，用于在所述容器輸送系統(tǒng)和至少其中一個(gè)所述儲(chǔ)貨架之 間在所述豎向殼體內(nèi)移送容器。
30. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的設(shè)備，其特征是，所述多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ) 貨架就一個(gè)共同的豎直平面而言與直接位于最高儲(chǔ)貨架上方的容器輸送 系統(tǒng)部分基本上水平對(duì)齊。
31. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的設(shè)備，其特征是，就一個(gè)共同的豎直平面 而言，所述多個(gè)豎向疊置的儲(chǔ)貨架與直接位于最低儲(chǔ)貨架下方的容器輸送 系統(tǒng)部分基本上水平對(duì)齊。
32. —種用于在具有工廠地面的制造工廠內(nèi)在第一容器輸送系統(tǒng)和第 二容器輸送系統(tǒng)之間傳送容器的系統(tǒng)，包括具有第一末端和第二末端的直線軌道，相對(duì)工廠地面而言，所述直線 軌道所處的高度高于所述第一或第二容器輸送系統(tǒng)的高度； 夾持機(jī)構(gòu)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于在所述直線軌道的所述第一末端和所述第二末端之間 水平移動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)，以及在第一高度和第二高度之間豎直移動(dòng)所述夾 持機(jī)構(gòu)。
33. 根據(jù)權(quán)利要求32所述的系統(tǒng)，其特征是，所述容器包括頂部手柄、 一對(duì)側(cè)手柄、以及底才反。
34. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其特征是，所述夾持機(jī)構(gòu)夾持所述 容器的頂部手柄。
35. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其特征是，所述夾持機(jī)構(gòu)夾持所述容器的至少一個(gè)側(cè)手柄。
36. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其特征是，所述夾持機(jī)構(gòu)夾持所述 容器的底板。
37. 根據(jù)權(quán)利要求32所述的系統(tǒng)，其特征是，所述機(jī)械裝置包括被動(dòng) 式夾持機(jī)構(gòu)。
38. 根據(jù)權(quán)利要求32所述的系統(tǒng)，其特征是，所述機(jī)械裝置包括主動(dòng) 式夾持機(jī)構(gòu)。
39. 根據(jù)權(quán)利要求32所述的系統(tǒng)，其特征是，所述夾持機(jī)構(gòu)包括 具有近端和遠(yuǎn)端的剛性主體，所述剛性主體的所述近端適于沿所述直線軌道移動(dòng)；夾持件，位于所述剛性主體的所述遠(yuǎn)端上并且用于固定容器。
40. 根據(jù)權(quán)利要求39所述的系統(tǒng)，其特征是，所述夾持件可使容器旋轉(zhuǎn)。
全文摘要
概括地講，本發(fā)明包括一種在第一輸送系統(tǒng)和第二輸送系統(tǒng)之間輸送容器的設(shè)備。在一個(gè)實(shí)施例中，第一輸送系統(tǒng)包括懸掛式輸送機(jī)，第二輸送系統(tǒng)包括地面輸送機(jī)。本發(fā)明可以進(jìn)一步包括儲(chǔ)貨架，其最好就一個(gè)共同的豎直平面而言與輸送系統(tǒng)的一部分基本上水平對(duì)齊。該輸送系統(tǒng)可以直接位于最高儲(chǔ)貨架的上方或最低儲(chǔ)貨架的下方，以便增加工廠的儲(chǔ)存能力。豎直模塊在輸送系統(tǒng)和至少一個(gè)儲(chǔ)貨架之間輸送容器。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101223635SQ200680025500
公開日2008年7月16日 申請(qǐng)日期2006年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月16日
發(fā)明者A·C·博挪拉, M·卡羅拉克, R·G·海因 申請(qǐng)人:阿賽斯特技術(shù)公司