專利名稱：半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造裝置,尤其涉及一種半導(dǎo)體硅片手動作業(yè) 的工作臺面。此外，本發(fā)明還涉及該半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面的制 造方法。
背景技術(shù)：
目前業(yè)內(nèi)多采用金屬等硬質(zhì)材料作為工作臺面，當(dāng)半導(dǎo)體硅片水平分 散放置在平面時，背面與工作臺面緊密接觸，即使是使用硅片夾也難以取 放，且極易造成劃傷、沾污等缺陷。目前也有使用聚脂等軟質(zhì)材料作為工作臺面，雖稍便于取放，但在高 溫烘烤或冷卻等工程使用時會造成硅片污染，適用范圍狹窄。例如，對于需要高溫烘烤等處理的UVE工程，難以尋找到合適的材料。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺 面，其便于取放硅片、制作工藝簡單、成本較低、且能避免污染。為此， 本發(fā)明還提供一種上述半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面的制造方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺 面，該工作臺面采用金屬板，在金屬板上具有間隔的光滑突起點。所述的金屬板為鋁合金板或鋼板。所述的光滑突起點由金屬板沖壓孔、半圓頭螺栓和螺母形成，所述的
半圓頭螺栓的螺栓圓頭向上穿過金屬板沖壓孔，反面由螺母緊固。本發(fā)明還提供一種上述半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面的制造方法， 包括如下步驟首先，使用金屬板切割成所需尺寸，沖壓成孔；然后，將 半圓頭螺栓的螺栓圓頭向上穿過金屬板沖壓孔，反面用螺母緊固，由此形 成表面的光滑突起點以承載硅片。和現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果本發(fā)明半導(dǎo)體硅片手動 作業(yè)的工作臺面的光滑突起點之間的空隙可方便硅片夾取;其金屬材質(zhì)有 耐高溫?zé)o污染等特點，確保硅片品質(zhì)；半圓頭螺栓的應(yīng)用，減少了劃傷等品質(zhì)不良，也避免了模具制作，縮短了制作周期，減少了制作成本。另外， 工作臺面的尺寸隨意可變，孔徑與螺栓大小匹配，其大小及開孔間距也可 由要放置的硅片尺寸及硅片夾尺寸等來調(diào)整，適用變通性強，制作成本低。


圖1是本發(fā)明半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面的平面示意圖；圖2是本發(fā)明半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。如圖1所示，在平面上制作間隔的光滑突起點，作為半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)時的工作臺面。如圖2所示，本發(fā)明半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)時的工作臺面由金屬板4、金屬板沖壓孔3、半圓頭螺栓1和螺母2組成。半圓頭螺栓1的螺栓圓頭向上穿過金屬板沖壓孔3，反面由螺母2緊固，由此形成表面的光滑突起點6以承載硅片5。 本發(fā)明適用于硅片需水平分散放置的多種制造工程，如UVE、烘烤后冷卻等。制造時選擇金屬材質(zhì)(如鋁合金或鋼板)，使用金屬板切割成所需尺寸(如10CM2 2M2)，沖壓成孔(例如，孔徑為0. 1CM 2CM，孔距為1CM 20CM)，利用已成為標(biāo)準(zhǔn)件之一的半圓頭螺栓(如規(guī)格M2 M10的半圓頭螺 栓)，將螺栓圓頭向上穿過金屬板沖壓孔，反面用螺母緊固，由此形成表 面的光滑突起點以承載硅片。突起點之間的空隙可方便硅片夾??；其金屬 材質(zhì)有耐高溫?zé)o污染等特點，確保硅片品質(zhì)；半圓頭螺栓的應(yīng)用，減少了 劃傷等品質(zhì)不良，也避免了模具制作，縮短了制作周期，減少了制作成本。 另外，工作臺面的尺寸隨意可變，孔徑與螺栓大小匹配，其大小及開孔間 距也可由要放置的硅片尺寸及硅片夾尺寸等來調(diào)整，適用變通性強，制作 成本低。
權(quán)利要求
1、一種半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面，其特征在于，該工作臺面采用金屬板，在金屬板上具有間隔的光滑突起點。
2、 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面，其特征在 于，所述的金屬板為鋁合金板或鋼板。
3、 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面，其特征在 于，所述的光滑突起點由金屬板沖壓孔、半圓頭螺栓和螺母形成，所述的 半圓頭螺栓的螺栓圓頭向上穿過金屬板沖壓孔，反面由螺母緊固。
4、 --種如權(quán)利要求1-3任一項所述的半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺 面的制造方法，其特征在于，包括如下步驟首先，使用金屬板切割成所 需尺寸，沖壓成孔；然后，將半圓頭螺栓的螺栓圓頭向上穿過金屬板沖壓 孔，反面用螺母緊固，由此形成表面的光滑突起點以承載硅片。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面，該工作臺面采用金屬板，在金屬板上具有間隔的光滑突起點。將半圓頭螺栓的螺栓圓頭向上穿過金屬板沖壓孔，反面用螺母緊固，由此形成表面的光滑突起點以承載硅片。此外，本發(fā)明還公開了該半導(dǎo)體硅片手動作業(yè)的工作臺面的制造方法。本發(fā)明便于取放硅片、制作工藝簡單、成本較低、且能避免污染。
文檔編號H01L21/683GK101127318SQ200610030100
公開日2008年2月20日 申請日期2006年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月15日
發(fā)明者波 唐 申請人:上海華虹Nec電子有限公司