一種脫膠機(jī)上料agv車的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型創(chuàng)造提供了一種脫膠機(jī)上料AGV車，包括車體，所述車體上端對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)傳送軌道，所述車體上端位于所述兩個(gè)傳送軌道之間處設(shè)置有沿所述傳送軌道長(zhǎng)度方向延伸的滑動(dòng)槽，所述滑動(dòng)槽內(nèi)設(shè)置有夾緊塊，所述夾緊塊上端伸出所述滑動(dòng)槽外，所述夾緊塊下端與設(shè)置于車體內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)裝置電連接，所述滑動(dòng)槽一端設(shè)置有限位板；所述車體前端設(shè)置有激光測(cè)距傳感器。本實(shí)用新型創(chuàng)造所述的脫膠機(jī)上料AGV車結(jié)構(gòu)新穎，設(shè)計(jì)合理，可以降低脫膠機(jī)上料的錯(cuò)誤率，提升上料速度，提升脫膠機(jī)稼動(dòng)率，增加產(chǎn)值，降低人工作業(yè)強(qiáng)度，減少操作人員數(shù)量，降低硅片的制作成本。
【專利說明】
一種脫膠機(jī)上料AGV車
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造屬于半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種脫膠機(jī)上料AGV車?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]現(xiàn)有的傳統(tǒng)半導(dǎo)體硅片脫膠機(jī)的上料方式大量依賴人工操作，由于硅片總體積大、質(zhì)量大，人工搬運(yùn)上料費(fèi)時(shí)、費(fèi)力，搬運(yùn)操作人員勞動(dòng)強(qiáng)度大，生產(chǎn)安全風(fēng)險(xiǎn)難以控制， 且硅片易損壞，作為關(guān)鍵工序拉低了生產(chǎn)節(jié)拍。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，本發(fā)明創(chuàng)造旨在提出一種脫膠機(jī)上料AGV車，以解決人工搬運(yùn)費(fèi)時(shí)費(fèi)力及硅片易損壞的問題。[〇〇〇4]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種脫膠機(jī)上料AGV車，包括車體，所述車體上端對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)傳送軌道，所述車體上端位于所述兩個(gè)傳送軌道之間處設(shè)置有沿所述傳送軌道長(zhǎng)度方向延伸的滑動(dòng)槽，所述滑動(dòng)槽內(nèi)設(shè)置有夾緊塊，所述夾緊塊上端伸出所述滑動(dòng)槽外，所述夾緊塊下端與設(shè)置于車體內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)裝置電連接，所述滑動(dòng)槽一端設(shè)置有限位板。
[0006]進(jìn)一步的，所述傳送軌道包括框架和若干個(gè)均勻設(shè)置于所述框架內(nèi)部的滾筒。
[0007]進(jìn)一步的，所述滾筒為無動(dòng)力滾筒。
[0008]進(jìn)一步的，所述車體上端位于限位板外側(cè)處設(shè)置有定位柱。
[0009]進(jìn)一步的，所述兩個(gè)傳送軌道外側(cè)端均設(shè)置有導(dǎo)向板。
[0010]進(jìn)一步的，所述車體前端設(shè)置有激光測(cè)距傳感器和機(jī)械防撞條。
[0011]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明創(chuàng)造所述的脫膠機(jī)上料AGV車具有以下優(yōu)勢(shì):結(jié)構(gòu)新穎， 設(shè)計(jì)合理，可以降低脫膠機(jī)上料的錯(cuò)誤率，提升上料速度，提升脫膠機(jī)稼動(dòng)率，增加產(chǎn)值，降低人工作業(yè)強(qiáng)度，減少操作人員數(shù)量，降低硅片的制作成本?！靖綀D說明】
[0012]構(gòu)成本發(fā)明創(chuàng)造的一部分的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的進(jìn)一步理解，本發(fā)明創(chuàng)造的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明創(chuàng)造，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0013]圖1為本發(fā)明創(chuàng)造的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]附圖標(biāo)記說明:
[0015]1-車體;2-傳送軌道;201-框架;202-滾筒;3-導(dǎo)向板;4-滑動(dòng)槽;5-夾緊塊;6-限位板;7-定位柱;8-激光測(cè)距傳感器;9-機(jī)械防撞條?！揪唧w實(shí)施方式】
[0016]需要說明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明創(chuàng)造中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0017]在本發(fā)明創(chuàng)造的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、 “前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明創(chuàng)造和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明創(chuàng)造的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。
[0018]在本發(fā)明創(chuàng)造的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是機(jī)械連接，也可以是電連接;可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連， 可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以通過具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明創(chuàng)造中的具體含義。
[0019]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造。
[0020]如圖1所示，一種脫膠機(jī)上料AGV車，包括車體1，所述車體1上端對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)傳送軌道2,所述傳送軌道2包括框架201和若干個(gè)均勻設(shè)置于所述框架201內(nèi)的滾筒202,所述滾筒202為無動(dòng)力滾筒，所述兩個(gè)傳送軌道2外側(cè)端均設(shè)置有導(dǎo)向板3,對(duì)脫膠治具起導(dǎo)向作用；
[0021]所述車體1上端位于所述兩個(gè)傳送軌道2之間處設(shè)置有沿所述傳送軌道2長(zhǎng)度方向延伸的滑動(dòng)槽4,所述滑動(dòng)槽4內(nèi)設(shè)置有夾緊塊5,所述夾緊塊5上端伸出所述滑動(dòng)槽4外，所述夾緊塊5下端與設(shè)置于車體1內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)裝置電連接，所述夾緊塊5可在驅(qū)動(dòng)裝置的作用下做升降運(yùn)動(dòng)和沿所述滑動(dòng)槽4的平移運(yùn)動(dòng)，所述滑動(dòng)槽4 一端設(shè)置有限位板6，所述限位板 6的高度高于所述傳送軌道2的高度；[〇〇22]所述車體1前端設(shè)置有激光測(cè)距傳感器8和機(jī)械防撞條9;
[0023]進(jìn)一步的，所述車體1上端位于限位板6外側(cè)處設(shè)置有定位柱7;[〇〇24]本實(shí)例的工作過程:脫膠機(jī)上料AGV車根據(jù)指令到達(dá)指定物料對(duì)接區(qū)，在物料對(duì)接區(qū)獲取帶脫膠治具的單晶料片，獲取的脫膠治具放置在車體1上端橫跨于兩傳送軌道2上且脫膠治具的一部分或全部落在夾緊塊5與限位板6之間，脫膠治具放置好后，夾緊塊5在驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下向上起升，起升至夾緊塊5的上端高度高于脫膠治具的下端高度即可，然后夾緊塊5在驅(qū)動(dòng)裝置的作用下帶動(dòng)脫膠治具向限位板6的方向滑動(dòng)，夾緊塊5沿滑動(dòng)槽4滑動(dòng)， 脫膠治具在夾緊塊5的推動(dòng)下沿傳送軌道2滑動(dòng)，直至將脫膠治具頂緊在限位板6處，然后脫膠機(jī)上料AGV車前往指定脫膠上料操作區(qū)，通過激光測(cè)距傳感器8進(jìn)行位置車體姿態(tài)微調(diào)后停車，等待脫膠機(jī)取走脫膠治具及料片，脫膠治具及料片取走后夾緊塊5恢復(fù)到初始位置， 脫膠機(jī)上料AGV車前往脫膠機(jī)下料區(qū)等待脫膠機(jī)將脫膠治具放到車體1上，之后撤離脫膠機(jī)操作區(qū)等待下次指令。
[0025]以上所述僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明創(chuàng)造，凡在本發(fā)明創(chuàng)造的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種脫膠機(jī)上料AGV車，其特征在于:包括車體(1)，所述車體(1)上端對(duì)稱設(shè)置有兩 個(gè)傳送軌道(2)，所述車體(1)上端位于所述兩個(gè)傳送軌道(2)之間處設(shè)置有沿所述傳送軌 道(2)長(zhǎng)度方向延伸的滑動(dòng)槽(4)，所述滑動(dòng)槽(4)內(nèi)設(shè)置有夾緊塊(5)，所述夾緊塊(5)上端 伸出所述滑動(dòng)槽(4)外，所述夾緊塊(5)下端與設(shè)置于車體(1)內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)裝置電連接，所述 滑動(dòng)槽(4) 一端設(shè)置有限位板(6)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫膠機(jī)上料AGV車，其特征在于:所述傳送軌道(2)包括框架 (201)和若干個(gè)均勻設(shè)置于所述框架(201)內(nèi)的滾筒(202)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的脫膠機(jī)上料AGV車，其特征在于:所述滾筒(202)為無動(dòng)力滾筒。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脫膠機(jī)上料AGV車，其特征在于:所述兩個(gè)傳送軌道(2)夕卜 側(cè)端均設(shè)置有導(dǎo)向板(3)。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脫膠機(jī)上料AGV車，其特征在于:所述車體(1)上端位于限 位板(6)外側(cè)處設(shè)置有定位柱(7)。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脫膠機(jī)上料AGV車，其特征在于:所述車體(1)前端設(shè)置有 激光測(cè)距傳感器(8)和機(jī)械防撞條(9)。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK205621710SQ201620324617
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2016年4月15日
【發(fā)明人】張學(xué)強(qiáng), 靳立輝, 周曉英, 白聰軒, 尹擎, 趙曉光, 姚長(zhǎng)娟
【申請(qǐng)人】天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司