專利名稱：用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其控制該半導(dǎo)體制造裝置，例如根據(jù)從主計(jì)算機(jī)獲得的信息把在標(biāo)線上的圖案轉(zhuǎn)印到一個(gè)晶片上的分檔器(stepper)。
背景技術(shù)：
如圖6中所示，在半導(dǎo)體器件、液晶顯示單元等等上執(zhí)行光刻處理的一種通常已知生產(chǎn)線包括多個(gè)分檔器1以及用于控制多個(gè)分檔器1的一個(gè)主計(jì)算機(jī)2，該分檔器和主計(jì)算機(jī)被通過(guò)通信線路2相互連接。
在這樣的生產(chǎn)線中，每個(gè)分檔器1適用于在主計(jì)算機(jī)2的控制下執(zhí)行曝光處理。首先，操作員操縱用于主計(jì)算機(jī)的在線終端，以從主計(jì)算機(jī)2獲得一個(gè)處理方法。然后，在一個(gè)標(biāo)線(reticle)被設(shè)置在一個(gè)能夠容納多個(gè)標(biāo)線的標(biāo)線庫(kù)中之后，根據(jù)該處理方法，操作員通過(guò)該終端和主計(jì)算機(jī)給予該分檔器1一個(gè)指令，以開(kāi)始該處理。從而，在自動(dòng)更換該標(biāo)線之后，分檔器1一個(gè)接一個(gè)地把容納在預(yù)定盒子中的多個(gè)晶片傳送到曝光階段，把形成在該標(biāo)線上的圖案轉(zhuǎn)印到該晶片上，并且把具有被轉(zhuǎn)印到其上的圖案的晶片置于該盒子中。
該常規(guī)的分檔器1需要操作員來(lái)停止晶片的傳送，并且在每次根據(jù)相同處理方法處理的所有晶片的曝光結(jié)束時(shí)執(zhí)行該終止操作等等。
因此，例如在制造存儲(chǔ)器中用相同的處理方法對(duì)大量的晶片進(jìn)行曝光，這是常規(guī)半導(dǎo)體制造工業(yè)的主流，也就是說(shuō)，在大量地提供有限種類的產(chǎn)品的情況中，分檔器1可以順序地對(duì)容納在不同盒子中的晶片執(zhí)行曝光，而不停止晶片的傳送，因此有效性較高。
但是，在最近幾年，例如存儲(chǔ)器這樣可以大規(guī)模制造的產(chǎn)品的價(jià)格趨向于降低，因此許多半導(dǎo)體制造商的注意力已經(jīng)轉(zhuǎn)移到制造高附加值的定制產(chǎn)品。由于在每次處理方法改變時(shí)上述常規(guī)的分檔器1需要由操作員所操作以用于隨后的處理，需要等待操作員操作的時(shí)間。因此，分檔器1被停止直到操作員開(kāi)始用于隨后處理的操作時(shí)為止，因此，分檔器1的有效性被降低。具體來(lái)說(shuō)，在根據(jù)相同處理方法而處理的晶片數(shù)目較少的情況中(在提供少量的多種類產(chǎn)品的情況中)，例如在制造定制產(chǎn)品的情況中，可能使分檔器1的有效性以及其產(chǎn)量大大降低。
因此，在最近幾年，已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一種方案，其中在第一組晶片的曝光完成之前，用于第二組晶片的處理方法被裝載到分檔器1中。例如，這種已知的分檔器1包含分別容納根據(jù)適合于制造少量多種類產(chǎn)品的相同處理方法而處理的晶片，在一個(gè)盒子中容納的所有晶片曝光完成之前從主計(jì)算機(jī)2獲得用于在另一個(gè)盒子中容納的晶片的處理方法，根據(jù)新的處理方法用一個(gè)新的標(biāo)線來(lái)替換該標(biāo)線，開(kāi)始傳送在所述另一個(gè)盒子中容納的晶片。
但是，根據(jù)后一種現(xiàn)有技術(shù)，由于在晶片的曝光過(guò)程中，用于后一組晶片的方法被從主計(jì)算機(jī)傳送到分檔器1，即使根據(jù)相同的處理方法所處理的晶片數(shù)目較少，也可以防止分檔器1的有效性降低。但是，由于在每次對(duì)一個(gè)盒子中容納的所有晶片的曝光完成時(shí)停止晶片的傳送，例如，即使根據(jù)相同的處理方法所處理的晶片不能夠容納在一個(gè)盒子中而是被容納在兩個(gè)或三個(gè)盒子中，則在每次對(duì)一個(gè)盒子中的晶片曝光完成時(shí)，停止晶片的傳送。因此，存在分檔器1的有效性和產(chǎn)量較低的問(wèn)題。
這種問(wèn)題不是執(zhí)行曝光的分檔器1所特有的，并且還在執(zhí)行其他處理的半導(dǎo)體制造裝置中發(fā)現(xiàn)該問(wèn)題。
本發(fā)明被設(shè)計(jì)為解決上述現(xiàn)有技術(shù)中發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題。本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其能夠減小當(dāng)一個(gè)半導(dǎo)體制造裝置制造許多種產(chǎn)品時(shí)出現(xiàn)的晶片傳輸停止時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，提供本發(fā)明如下。也就是說(shuō)，根據(jù)本發(fā)明的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)是這樣一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)從主計(jì)算機(jī)獲得的信息控制處理在一個(gè)能夠容納多個(gè)晶片的盒子中容納的晶片的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于該控制系統(tǒng)包括信息獲取裝置，用于在容納于預(yù)定盒子中的第一組晶片的處理完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)處理第二組晶片時(shí)參照該信息，第二組晶片被容納在與所述預(yù)定盒子不同的一個(gè)盒子中，并且在所述第一組晶片之后處理；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述半導(dǎo)體制造裝置檢測(cè)所述第一組晶片的處理的進(jìn)程；以及處理指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息確定所述第二組晶片是否可以被傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段，并且指示所述半導(dǎo)體制造裝置根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果執(zhí)行處理。
因此，在用于根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)中，在容納于預(yù)定盒子中的第一組晶片的處理完成之前，首先從所述主計(jì)算機(jī)獲得當(dāng)處理在與預(yù)定盒子不同的一個(gè)盒子中的第二組晶片所參考的并且在第一組晶片之后處理的信息，并且從該半導(dǎo)體制造裝置檢測(cè)第一組晶片的處理的進(jìn)程。
然后，根據(jù)由所述主計(jì)算機(jī)獲取裝置所獲得的信息，確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片之后的該處理階段。然后，根據(jù)該確定結(jié)果和從該半導(dǎo)體制造裝置所檢測(cè)的進(jìn)程信息，使得該半導(dǎo)體制造裝置執(zhí)行該處理。因此，例如，即使當(dāng)要被根據(jù)相同的處理方法所處理的晶片不被容納在一個(gè)盒子中，并且被容納在兩個(gè)或三個(gè)盒子中，也可以避免在對(duì)一個(gè)盒子處理完成時(shí)停止晶片的傳送。例如，當(dāng)要開(kāi)始第二組晶片的處理時(shí)，如果確定不需要改變?cè)撎幚?，則第二晶片可以被傳送到在容納于第一盒子中的第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的處理階段。例如，與在每次處理容納在一個(gè)盒子中的所有晶片完成時(shí)從主計(jì)算機(jī)2獲得用于容納在另一個(gè)盒子中的晶片的處理方法的方法相比，消除通信時(shí)間，并且減少晶片傳送的停止時(shí)間。因此，可以增加半導(dǎo)體制造裝置的有效性和產(chǎn)量。
另外，假設(shè)當(dāng)所述處理指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息確定所述第二組晶片可以傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段時(shí)，所述處理指示裝置根據(jù)由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的確定結(jié)果和檢測(cè)結(jié)果，指示所述半導(dǎo)體制造裝置立即在所述半導(dǎo)體制造裝置傳送容納在所述預(yù)定盒子中的所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)確定所述第二組晶片可以傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段時(shí)，所述半導(dǎo)體制造裝置在所述半導(dǎo)體制造裝置傳送容納在所述預(yù)定盒子中的所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后立即開(kāi)始傳送所述第二組晶片。因此，可以消除晶片傳送的停止時(shí)間，并且可以增加半導(dǎo)體制造裝置的有效性和產(chǎn)量。
另外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，由于根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)可以是這樣一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)從一個(gè)主計(jì)算機(jī)獲得的信息控制一個(gè)半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于該控制裝置包括信息獲取裝置，用于在第一組晶片的處理完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)處理在所述第一組晶片之后處理的第二組晶片時(shí)參照該信息；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述半導(dǎo)體制造裝置檢測(cè)所述第一組晶片的處理的進(jìn)程；以及處理指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息確定所述第二組晶片是否可以被傳送到在所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的處理階段，并且指示所述半導(dǎo)體制造裝置根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果執(zhí)行處理。
通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，在處理第一組晶片完成之前，首先從所述主計(jì)算機(jī)獲取當(dāng)處理在第一組晶片之后處理的第二組晶片時(shí)所參考的信息，并且從該半導(dǎo)體制造裝置檢測(cè)第一組晶片的處理進(jìn)程。然后，根據(jù)由所述主計(jì)算機(jī)所獲得的信息，確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段。然后，根據(jù)由該半導(dǎo)體制造裝置所檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果和進(jìn)程信息，使該半導(dǎo)體制造裝置執(zhí)行該處理。因此，例如當(dāng)開(kāi)始第二組晶片的處理時(shí)，如果確定該處理不需要被改變，則第二組晶片可以傳送到在第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的處理階段。因此，與在第一晶片的處理完成之后確定是否需要改變?cè)撎幚淼姆椒ㄏ啾?，可以減少晶片傳送的停止時(shí)間，并且可以增加半導(dǎo)體制造裝置的有效性和產(chǎn)量。
另外，假設(shè)當(dāng)所述處理指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息確定所述第二晶片可以傳送到在所述第一晶片之后的處理階段時(shí)，所述處理指示裝置根據(jù)由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的確定結(jié)果和檢測(cè)結(jié)果，指示所述半導(dǎo)體制造裝置立即在所述半導(dǎo)體制造裝置傳送所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)確定所述第二組晶片可以傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段時(shí)，所述半導(dǎo)體制造裝置在所述半導(dǎo)體制造裝置傳送所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后立即開(kāi)始傳送所述第二組晶片。因此，可以消除晶片傳送的停止時(shí)間，并且可以增加半導(dǎo)體制造裝置的有效性和產(chǎn)量。
另外，可以認(rèn)為所述信息獲取裝置根據(jù)由該信息獲取裝置所獲得的信息以及由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果從所述主計(jì)算機(jī)獲取新信息。
另外，由于根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)在控制作為一個(gè)半導(dǎo)體裝置的分檔器方面特別有效。也就是說(shuō)，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，用于根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)可以是用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)由一個(gè)主計(jì)算機(jī)所獲得的信息對(duì)容納在能夠容納多個(gè)晶片的盒子中的晶片執(zhí)行曝光，其特征在于該控制系統(tǒng)包括信息獲取裝置，用于在預(yù)定盒子中容納的第一組晶片的曝光完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)執(zhí)行第二組晶片的曝光時(shí)參照該信息，該第二組晶片被容納在與所述預(yù)定盒子不同的一個(gè)盒子中，并且在所述第一組晶片之后被曝光；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述分檔器檢測(cè)所述第一組晶片的曝光的進(jìn)程；以及曝光指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲取的信息確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片之后的曝光階段，并且根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器執(zhí)行曝光。
利用這種結(jié)構(gòu)，在完成預(yù)定盒子中容納的第一組晶片的曝光之前，首先從所述主計(jì)算機(jī)獲得當(dāng)對(duì)在與預(yù)定盒子不同一個(gè)盒子中容納的并且在第一組晶片的曝光之后的第二組晶片執(zhí)行曝光時(shí)參考的信息。
然后，根據(jù)由所述主計(jì)算機(jī)所獲得的信息，確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片之后的曝光階段。然后，根據(jù)該確定結(jié)果和從分檔器所檢測(cè)的進(jìn)程信息，使該分檔器執(zhí)行曝光。因此，例如，即使當(dāng)要被根據(jù)相同的處理方法而處理的晶片不能夠被容納在一個(gè)盒子中，并且被分別容納在兩個(gè)或三個(gè)盒子中時(shí)，在每次對(duì)一個(gè)盒子的曝光完成時(shí)可以避免晶片的傳送停止。例如，當(dāng)要開(kāi)始第二組晶片的曝光時(shí)，如果確定該處理方法不需要被一個(gè)新的處理方法所代替，則第二晶片可以被傳送到在容納于第一盒子中的第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的曝光階段。例如，與在容納于一個(gè)盒子中的所有晶片的曝光完成時(shí)從主計(jì)算機(jī)2獲取用于容納于另一個(gè)盒子中的晶片的處理方法相比，消除通信時(shí)間，并且可以減少晶片傳送的停止時(shí)間。因此，可以增加分檔器的有效性和產(chǎn)量。
另外，可以假設(shè)當(dāng)所述曝光指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲取的信息確定所述第二組晶片可以被傳送到在所述第一組晶片之后的曝光階段，所述曝光指示裝置根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器緊接著在所述分檔器傳送所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)確定所述第二組晶片可以傳送到在所述第一組晶片之后的曝光階段時(shí)，所述分檔器開(kāi)始緊接著在所述分檔器傳送容納在所述預(yù)定盒子中的所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后傳送所述第二組晶片。因此，可以消除晶片傳送的停止時(shí)間，并且可以增加分檔器的有效性和產(chǎn)量。
另外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，用于根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)可以是這樣一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)從主計(jì)算機(jī)獲得的信息控制分檔器，其特征在于該控制系統(tǒng)包括，信息獲取裝置，用于在對(duì)第一組晶片曝光完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)在所述第一組晶片之后對(duì)第二組晶片曝光時(shí)參照該信息；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述分檔器檢測(cè)所述第一組晶片的曝光進(jìn)程；以及曝光指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲取的信息確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的曝光階段，并且指示所述分檔器根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器執(zhí)行曝光。
通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，在完成第一組晶片的曝光之前，首先從所述主計(jì)算機(jī)獲得當(dāng)對(duì)要在第一組晶片之后曝光的第二組晶片執(zhí)行曝光時(shí)參照的信息，并且從該分檔器檢測(cè)第一組晶片的曝光進(jìn)程。然后，根據(jù)由主計(jì)算機(jī)所獲得的信息，確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片之后的曝光階段。然后，根據(jù)該確定結(jié)果和從該分檔器檢測(cè)的進(jìn)程信息，使該分檔器執(zhí)行曝光。因此，例如當(dāng)開(kāi)始第二組晶片的曝光時(shí)，如果確定該處理方法不需要更換為一種新的處理方法，則第二晶片可以傳送到在第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的曝光階段。因此，與在第一晶片的曝光完成之后確定是否把該處理方法更換為一種新的處理方法的方法相比，可以減少晶片傳送的停止時(shí)間，并且可以增加的分檔器的有效性和產(chǎn)量。
另外，假設(shè)當(dāng)所述曝光指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息確定所述第二晶片可以傳送到在所述第一晶片之后的曝光階段，所述曝光指示裝置根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器緊接著在所述分檔器傳送所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)確定所述第二組晶片可以傳送到在所述第一組晶片之后的曝光階段時(shí)，所述分檔器緊接著在所述分檔器傳送所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始所述第二組晶片的傳送。因此，可以消除晶片的傳送停止時(shí)間，并且可以增加分檔器的有效性和產(chǎn)量。
另外，所述信息獲取裝置可以根據(jù)由該信息獲取裝置所獲得的信息和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果從所述主計(jì)算機(jī)獲取新信息。


圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的分檔器控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示意圖；
圖2為示出圖1中所示的在線控制器的結(jié)構(gòu)的方框圖；圖3為由圖1中所示的在線控制器所執(zhí)行的計(jì)算處理的流程圖；圖4為示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的分檔器操作和根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的分檔器控制系統(tǒng)的分檔器操作之間的比較；圖5示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的產(chǎn)量與根據(jù)該實(shí)施例的分檔器控制系統(tǒng)之間的比較；以及圖6為示出常規(guī)分檔器控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明的分檔器控制系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例。
圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的分檔器控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖1中所示，該分檔器控制系統(tǒng)包括存儲(chǔ)批號(hào)和處理方法之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的一個(gè)主計(jì)算機(jī)2以及通過(guò)通信線路3連接到主計(jì)算機(jī)2的多個(gè)曝光臺(tái)4。
曝光臺(tái)4包括多個(gè)設(shè)備，用于從主計(jì)算機(jī)2獲取處理方法并且隨后執(zhí)行曝光。它包括用于執(zhí)行半導(dǎo)體晶片的曝光的分檔器1、連接到分檔器1用于從該分檔器1檢測(cè)曝光的進(jìn)程的定序器5、以及連接到主計(jì)算機(jī)2的在線控制器6，該分檔器1和定序器5用于從主計(jì)算機(jī)2獲取處理方法，以及從定序器5獲得關(guān)于曝光的進(jìn)程信息，并且把基于該信息所產(chǎn)生的一個(gè)控制信號(hào)發(fā)送到分檔器1。
該分檔器1包括第一盒子端口7a以及第二盒子端口7b，在每個(gè)端口上可以安裝用于容納半導(dǎo)體晶片的晶片盒子；轉(zhuǎn)印單元8，其具有用于把在一個(gè)標(biāo)線上的圖案轉(zhuǎn)印到容納于第一和第二盒子端口7a和7b上的晶片盒子中的半導(dǎo)體晶片的一個(gè)曝光階段；晶片傳送單元(未示出)，用于把半導(dǎo)體晶片在第一和第二盒子端口7a、7b以及轉(zhuǎn)印單元8之間傳送；以及控制臺(tái)9，用于控制轉(zhuǎn)印單元8、晶片傳送單元等等。
定序器5連接的第一和第二盒子端口7a、7b以及轉(zhuǎn)印單元8，并且從盒子端口7a、7b和轉(zhuǎn)印單元8獲得第一和第二盒子端口7a、7b的狀態(tài)(在傳送過(guò)程中、在處理過(guò)程中、處理完成、等待傳送)以及轉(zhuǎn)印單元8的狀態(tài)(在處理過(guò)程中、等待處理)作為曝光的進(jìn)程信息。在線控制器6連接到控制臺(tái)9并且從控制臺(tái)9獲得包括標(biāo)線標(biāo)識(shí)、曝光量、聚焦對(duì)齊偏移的各種條件信息。
另外，每個(gè)晶片盒子容納根據(jù)相同的處理方法而處理半導(dǎo)體晶片并且具有附著于其上面的一個(gè)條形碼，表示與該處理方法相關(guān)的批號(hào)。在安裝于盒子端口7a、7b上的晶片盒子上的條形碼由連接到在線控制器6的條形碼讀取器所讀取。
晶片傳送單元從該晶片盒子移開(kāi)半導(dǎo)體晶片，把其傳送到轉(zhuǎn)印單元8，從轉(zhuǎn)印單元8接收具有被轉(zhuǎn)印到其上面的圖案的半導(dǎo)體晶片，并且把其放回到晶片盒子中。
控制臺(tái)9具有指示打開(kāi)/關(guān)閉盒子端口的傳送器開(kāi)關(guān)的功能，用于響應(yīng)來(lái)自在線控制器6的處理開(kāi)始信號(hào)開(kāi)始晶片的傳送。如果在容納于兩個(gè)盒子端口7a、7b之一上的晶片盒子中的半導(dǎo)體晶片的曝光過(guò)程中，與該盒子端口7a、7b中的另一個(gè)相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)被開(kāi)啟，緊接著在從盒子端口7a、7b之一上的晶片盒子傳送最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片之后，該晶片傳送單元開(kāi)始從在盒子端口7a、7b的另一個(gè)上的晶片盒子傳送半導(dǎo)體芯片，并且根據(jù)相同的處理方法對(duì)在該晶片盒子中的半導(dǎo)體晶片執(zhí)行曝光。
如果在一個(gè)盒子端口7a、7b的半導(dǎo)體晶片的曝光過(guò)程中，在線控制器6從主計(jì)算機(jī)讀出與正在被執(zhí)行的處理方法不同的一種處理方法，并且另一個(gè)盒子端口7a、7b具有安裝在其上面的一個(gè)晶片盒子，則緊接著在圖案被轉(zhuǎn)印到一個(gè)盒子端口7a、7b上的晶片盒子中的所有晶片完成之后，所接收的不同處理方法被從該在線控制器傳送到控制臺(tái)9，然后，在完成標(biāo)線等等的替換之后，開(kāi)始用于在另一個(gè)盒子端口7a、7b的處理。
在傳送單元8被開(kāi)啟之后還沒(méi)有執(zhí)行任何曝光時(shí)的情況中，從在線控制器6接收一種新的處理方法，一個(gè)盒子端口7a、7b具有安裝于其上的晶片盒子，在轉(zhuǎn)印單元8開(kāi)始根據(jù)所接收的新的處理方法而更換標(biāo)線等等。
圖2為示出圖1中所示的在線控制器6的結(jié)構(gòu)的方框圖。該在線控制器包括CPU10和用于存儲(chǔ)由CPU10所執(zhí)行的程序等等的RAM11，該CPU10和RAM11通過(guò)總線12相互連接。鍵盤14、顯示器15、外部存儲(chǔ)設(shè)備16、用于第一和第二盒子端口7a、7b的條形碼讀取器、控制臺(tái)9、定序器5和主計(jì)算機(jī)2通過(guò)總線12和接口13連接到該CPU10。
CPU10執(zhí)行在RAM11中存儲(chǔ)的程序。從而，當(dāng)根據(jù)由定序器5的檢測(cè)結(jié)果和從控制臺(tái)9獲得的信息執(zhí)行對(duì)一個(gè)盒子端口7a、7b的半導(dǎo)體晶片的曝光時(shí)，CPU10把用于另一個(gè)盒子端口7a、7b的半導(dǎo)體晶片的處理方法以及啟動(dòng)另一個(gè)盒子端口7a、7b的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)傳送到控制臺(tái)9。
在第一和第二盒子端口7a、7b具有安裝于其上的根據(jù)相同的處理方法而執(zhí)行曝光的盒子的情況中，當(dāng)根據(jù)由定序器5的檢測(cè)結(jié)果和從控制臺(tái)9獲得的信息執(zhí)行對(duì)一個(gè)盒子端口7a、7b的半導(dǎo)體晶片的曝光時(shí)，僅僅啟動(dòng)另一個(gè)盒子端口7a、7b的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)被傳送到控制臺(tái)9。
上述程序被存儲(chǔ)在外部存儲(chǔ)設(shè)備16中。當(dāng)該程序要被執(zhí)行并且由CPU10以預(yù)定的控制周期ΔT(例如，10毫秒)而執(zhí)行時(shí)，它被傳送到RAM11。
在圖3中的流程圖中示出該程序的一個(gè)計(jì)算處理。首先，在步驟S100，在顯示器15上顯示提示操作員把一個(gè)新的晶片盒子安裝在第一和第二盒子端口7a、7b中的一個(gè)可用盒子端口上的消息，然后該處理進(jìn)行到步驟S101。
在步驟S101中，根據(jù)由定序器5的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)于在步驟S100顯示的提示安裝晶片盒子的消息，確定一個(gè)新的晶片盒子是否被安裝在盒子端口7a、7b上。如果該晶片盒子被安裝在盒子端口上(是)，則該處理進(jìn)行到步驟S102。如果該晶片盒子沒(méi)有被安裝(否)，則再次執(zhí)行判斷。
在步驟S102，連接到在線控制器的條形碼讀取器從附著到新的晶片盒子上的條形碼讀取該批號(hào)，然后該處理進(jìn)行到步驟S103。
在步驟S103，從主計(jì)算機(jī)2裝載與在步驟S102中讀取的批號(hào)相關(guān)的處理方法，該處理方法被顯示在顯示器15上。然后，該處理進(jìn)行到步驟S104。
在步驟S104，一條消息被顯示在顯示器15上，其提示操作員在執(zhí)行操作“MV IN”(其表示可以根據(jù)在步驟S103中顯示于顯示器15上的處理方法執(zhí)行對(duì)容納于新的晶片盒子中的半導(dǎo)體晶片的曝光)之后操作鍵盤14的預(yù)定按鍵。然后，該處理進(jìn)行到步驟S105。
在步驟S105，判斷被提示在步驟S104操作的鍵盤14的按鍵是否被操作。如果該按鍵被操作(是)，則該處理進(jìn)行到步驟S106。如果該按鍵沒(méi)有被操作(否)，則重復(fù)執(zhí)行該判斷。
在步驟S106，根據(jù)由定序器5的檢測(cè)結(jié)果，判斷該半導(dǎo)體晶片是否受到曝光。如果該半導(dǎo)體晶片受到曝光(是)，則該處理進(jìn)行到步驟S109。如果該半導(dǎo)體晶片沒(méi)有受到曝光(否)，則該處理進(jìn)行的步驟S107。
在步驟S107，在步驟S103中裝載的處理方法和標(biāo)線替換信號(hào)被傳送到控制臺(tái)9。然后，該處理進(jìn)行到步驟S108。
在步驟S108，啟動(dòng)與由操作員在步驟S100中安裝有晶片盒子的盒子端口7a、7b相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)被傳送到控制臺(tái)9，然后，該計(jì)算處理結(jié)束。
另一方面，在步驟S109中，從控制臺(tái)9獲得被執(zhí)行的曝光的處理?xiàng)l件，并且確定該處理?xiàng)l件是否與在步驟S103中裝載的處理方法相同。如果該處理?xiàng)l件與該方法相同(是)，則該處理進(jìn)行到步驟S110。如果該處理?xiàng)l件與該方法不相同(否)，則該處理進(jìn)行的步驟S111。
在步驟S110中，啟動(dòng)與由操作員在步驟S100安裝有晶片盒子的盒子端口7a、7b相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)被傳送到控制臺(tái)9，然后，該處理進(jìn)行到步驟S114。
另一方面，在步驟S111，根據(jù)由定序器應(yīng)的檢測(cè)結(jié)果以及來(lái)自控制臺(tái)9的處理結(jié)束信號(hào)，確定在容納受到曝光的半導(dǎo)體晶片組的晶片盒子中的所有晶片的晶片處理是否完成。如果該處理被完成(是)，則該處理進(jìn)行到步驟S112。如果該處理沒(méi)有完成(否)，則重復(fù)執(zhí)行該判斷。
在步驟S112，在步驟S103中裝載的處理方法和標(biāo)線替換信號(hào)被發(fā)送到控制臺(tái)9，然后，該處理進(jìn)行到步驟S113。
在步驟S113，啟動(dòng)與由操作員在步驟S100安裝有晶片盒子的盒子端口7a、7b相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)被發(fā)送到控制臺(tái)9，然后，該處理進(jìn)行到步驟S114。
在步驟S114，根據(jù)由定序器5的檢測(cè)結(jié)果，確定已經(jīng)受到曝光的最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片是否被傳送到容納要受到曝光的半導(dǎo)體晶片組的晶片盒子。如果最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片被傳送到該晶片盒子(是)，則該處理進(jìn)行到步驟S115。如果最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片沒(méi)有被傳送到該晶片盒子(否)，則再次執(zhí)行該判斷。
在步驟S115，操作員被要求執(zhí)行一個(gè)操作“MV OUT”，以再次確認(rèn)用于已經(jīng)受到曝光的所有半導(dǎo)體晶片的處理?xiàng)l件并且確認(rèn)被處理的晶片數(shù)目，然后，一條消息被顯示在顯示器15上，以提示操作員操作鍵盤14的預(yù)定按鍵。然后，該處理進(jìn)行到步驟S116。
在步驟S116，確定在步驟S115中提示操作的鍵盤14的預(yù)定按鍵是否被操作。如果該按鍵被操作(是)，則該處理進(jìn)行到步驟S117。當(dāng)如果該按鍵沒(méi)有被操作(否)，則再次執(zhí)行判斷。
在步驟S117，一條消息被顯示在顯示器15上，其提示操作員從第一或第二盒子端口7a、7b上除去容納已經(jīng)受到曝光的半導(dǎo)體晶片的晶片盒子。然后，該處理進(jìn)行到步驟S118。
在步驟S118，確定需要除去的晶片盒子是否在步驟中S117被從第一或第二盒子端口7a、7b上除去。如果該晶片盒子被除去(是)，則該計(jì)算處理結(jié)束。如果該晶片盒子不被除去(否)，則再次執(zhí)行該判斷。
現(xiàn)在，參照一種特殊的情況，下面將描述在工廠中用于制造小批量許多種產(chǎn)品(例如，制造定制產(chǎn)品)的本發(fā)明的分檔器控制系統(tǒng)的操作。
首先，將設(shè)在工廠中的操作員啟動(dòng)分檔器1、主計(jì)算機(jī)2和在線控制器6的電源，在經(jīng)過(guò)預(yù)定的控制周期ΔT之后，存儲(chǔ)在RAM11中的預(yù)定區(qū)域內(nèi)的程序被激活。然后，在步驟S100，提示操作員把一個(gè)新的晶片盒子安裝在第一和第二盒子端口7a、7b中的一個(gè)可用端口上的一個(gè)消息被顯示在顯示器15上。但是，由于當(dāng)顯示該消息時(shí)還沒(méi)有安裝新的晶片盒子，則在步驟S101中的判斷結(jié)果為“否”，在步驟S101中的判斷被重復(fù)執(zhí)行。
假設(shè)操作員看見(jiàn)在顯示器15上的消息，并且按照該消息把一個(gè)新的晶片盒子安裝在第一盒子端口7a上。然后，定序器5檢測(cè)安裝在第一盒子端口7a上的晶片盒子，并且在步驟S101的判斷結(jié)果為“是”。在步驟S102，連接到在線控制器的條形碼讀取器從附著到新的晶片盒子上的條形碼讀取該批號(hào)。在步驟S103，與在步驟S102中讀取的批號(hào)相關(guān)的一種處理方法被從主計(jì)算機(jī)2裝載并且顯示在顯示器15上。在步驟S104，在執(zhí)行“MV IN”之后提示操作員操作鍵盤14的預(yù)定按鍵的一條消息被顯示在顯示器15上。但是，由于在顯示消息時(shí)該按鍵還沒(méi)有被操作，則在步驟S105中的判斷結(jié)果為“否”，并且在步驟S105中的判斷被重復(fù)執(zhí)行。
假設(shè)操作員看見(jiàn)在顯示器15上的消息，并且在根據(jù)該消息執(zhí)行“MV IN”之后，操作該預(yù)定按鍵。然后，在步驟S105中的判斷結(jié)果為“是”。另外，由于從在線控制器6已經(jīng)被通電開(kāi)始第一次執(zhí)行計(jì)算處理，因此在步驟S106中的判斷結(jié)果為“否”。在步驟S107，在步驟S103中裝載的處理方法和一個(gè)標(biāo)線替換信號(hào)被傳送到控制臺(tái)9。在步驟S108，啟動(dòng)與第一盒子端口7a相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)被發(fā)送到控制臺(tái)9，然后，該計(jì)算處理結(jié)束。
已經(jīng)從在線控制器6接收新的處理方法和啟動(dòng)與第一盒子端口7a相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)的控制臺(tái)9使得傳送單元8根據(jù)所接收的處理方法等等替換該標(biāo)線，然后使該晶片傳送單元開(kāi)始從在第一盒子端口7a上的晶片盒子傳送半導(dǎo)體晶片。
假設(shè)在該正在進(jìn)行的計(jì)算處理結(jié)束之后經(jīng)過(guò)預(yù)定的控制周期ΔT之后再次激活存儲(chǔ)在RAM11中的預(yù)定區(qū)域內(nèi)的程序。然后，在步驟S100，提示操作員把一個(gè)新的晶片盒子安裝在第二盒子端口7b上的一條消息被顯示在顯示器15上。但是，由于當(dāng)該消息被顯示時(shí)該新的晶片盒子還沒(méi)有安裝，因此在步驟S101中的判斷結(jié)果為“否”，并且在步驟S101中的判斷被重復(fù)執(zhí)行。
假設(shè)操作員看到在顯示器15上的消息并且根據(jù)該消息把一個(gè)新的晶片盒子安裝在第二盒子端口7b上。然后，定序器5檢測(cè)安裝在第二盒子端口7b上的晶片盒子，并且在步驟S101的判斷結(jié)果為“是”。在步驟S102，連接到在線控制器的條形碼讀取器從附著到新的晶片盒子上的條形碼讀取該批號(hào)。在步驟S103，與在步驟S102中讀取的批號(hào)相關(guān)的一種處理方法被從主計(jì)算機(jī)2裝載，并且顯示在顯示器15上。在步驟S104，提示操作員在執(zhí)行“MV IN”之后操作鍵盤14的預(yù)定按鍵的消息被顯示在顯示器15上。但是，由于當(dāng)該消息被顯示時(shí)該預(yù)定按鍵還沒(méi)有被操作，則在步驟S105中的判斷結(jié)果為“否”，并且在步驟S105中的判斷被重復(fù)執(zhí)行。
假設(shè)操作員看到在顯示器15上的消息并且根據(jù)該消息在執(zhí)行“MVIN”之后操作預(yù)定按鍵。然后，在步驟S103中的判斷結(jié)果為“是”。另外，由于第一盒子端口7a受到曝光，則在步驟S106中的判斷結(jié)果為“是”。
在此，假設(shè)在步驟S103中裝載的處理方法與在正在進(jìn)行的計(jì)算處理中所裝載的方法不同。然后，在步驟S109中的判斷結(jié)果為“否”，在步驟S111中的判斷結(jié)果為“否”，并且在步驟S111中的判斷被重復(fù)執(zhí)行。
假設(shè)當(dāng)在步驟S111中的判斷被重復(fù)執(zhí)行時(shí)安裝在第一盒子端口7a上的晶片盒子的所有晶片的處理被完成。然后，在步驟S111中的判斷結(jié)果為“是”。在步驟S112，在步驟S103中裝載的處理方法和標(biāo)線替換信號(hào)被發(fā)送到控制臺(tái)9。在步驟S113，啟動(dòng)與第二盒子端口7b相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)被發(fā)送到控制臺(tái)9。
已經(jīng)從在線控制器6接收新的處理方法和標(biāo)線替換信號(hào)并且被指示啟動(dòng)與第二盒子端口7b相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的控制臺(tái)9從在線控制器接收用于第二盒子端口7b的處理方法和標(biāo)線替換信號(hào)，并且緊接著在用于第一盒子端口7a上的晶片盒子的圖案轉(zhuǎn)印完成之后根據(jù)該處理方法開(kāi)始標(biāo)線的替換。
按照這種方式，如果判斷需要把該標(biāo)線替換為一個(gè)新的標(biāo)線，以開(kāi)始第二盒子端口7b的半導(dǎo)體晶片的曝光，則緊接著在最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片被傳送到第一盒子端口7a上的晶片盒子中之后開(kāi)始標(biāo)線的替換。因此，與在完成半導(dǎo)體晶片的傳送之后通過(guò)操作員的操作對(duì)隨后的不同處理方法執(zhí)行MV IN操作的方法不同，不需要用于操作員操作的等待時(shí)間，因此，增加分檔器的有效性和產(chǎn)量。
另外，假設(shè)根據(jù)相同的處理方法而處理的半導(dǎo)體晶片不能夠容納在一個(gè)晶片盒子中，并且安裝在第二盒子端口7b上的晶片盒子也容納根據(jù)與安裝在第一盒子端口7a上的晶片盒子相同的處理方法而曝光的半導(dǎo)體晶片。然后，在步驟S109中的判斷結(jié)果為“是”，并且在步驟S110，啟動(dòng)與第一盒子端口7a相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)的信號(hào)被發(fā)送到控制臺(tái)9。
然后，當(dāng)與第二盒子端口7b相關(guān)的傳送器開(kāi)關(guān)被啟動(dòng)時(shí)，該盒子端口7b使得晶片傳送單元緊接著在最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片被從第一盒子端口7a上的晶片盒子傳送時(shí)開(kāi)始從第二盒子端口7b上的晶片盒子傳送半導(dǎo)體晶片。
按照這種方式，當(dāng)確定該標(biāo)線不需要被替換為一個(gè)新的標(biāo)線以開(kāi)始第二盒子端口7b的半導(dǎo)體晶片的曝光，緊接著在第一盒子端口7a的半導(dǎo)體晶片被傳送之后開(kāi)始第二盒子端口7b的半導(dǎo)體晶片的傳送。因此，在此沒(méi)有半導(dǎo)體晶片的傳送停止時(shí)間，從而增加分檔器的有效性和產(chǎn)量。
另外，如果該處理通過(guò)步驟S110或S113進(jìn)行到步驟S114，則在步驟S114中的判斷結(jié)果為“否”，并且該判斷被重復(fù)執(zhí)行。
假設(shè)當(dāng)在步驟S114中的判斷被重復(fù)執(zhí)行時(shí)，最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片被從安裝在第一盒子端口7a上的晶片盒子傳送。然后，在步驟S114中的判斷結(jié)果為“是”。并且在步驟S115，提示操作員在執(zhí)行“MV OUT”之后在操作鍵盤14的預(yù)定按鍵的消息被顯示在顯示器15上。但是，由于當(dāng)顯示該消息時(shí)該預(yù)定按鍵還沒(méi)有被操作，因此在步驟S116中的判斷結(jié)果為“否”，并且在步驟S116的中的判斷被重復(fù)執(zhí)行。
假設(shè)操作員看到在顯示器15上的消息并且根據(jù)該消息在執(zhí)行“MVOUT”之后操作該預(yù)定按鍵。然后，在步驟S1176，提示操作員從第一盒子端口7a上除去容納已經(jīng)受到曝光的半導(dǎo)體晶片的晶片盒子的消息被顯示在顯示器15上。但是，由于當(dāng)該消息被顯示時(shí)該晶片盒子還沒(méi)有被除去，因此在步驟S118中的判斷結(jié)果為“是”，并且在步驟S118中的判斷被重復(fù)執(zhí)行。
如果已經(jīng)看到在顯示器15上顯示的消息的操作員根據(jù)該消息除去晶片盒子，則在步驟S118中的判斷結(jié)果為“是”，并且該計(jì)算處理結(jié)束。
通過(guò)重復(fù)上述流程，如圖4中所示，與常規(guī)技術(shù)相比，在該常規(guī)技術(shù)中在盒子端口7a和7b之一的半導(dǎo)體晶片的曝光完成之后開(kāi)始對(duì)盒子端口7a和7b中的另一個(gè)的半導(dǎo)體晶片的曝光，分檔器的有效性增加，并且其產(chǎn)量也增加，如圖5中所示。
在本實(shí)施例中，在線控制器6和步驟S103等效于信息獲取裝置，該定序器5等效于進(jìn)程檢測(cè)裝置，以及在線控制器6和步驟S109至S115等效于曝光指示裝置。
另外，上述實(shí)施例僅僅是根據(jù)本發(fā)明的分檔器控制系統(tǒng)的一個(gè)例子，該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)等等不限于此。
例如，在上述實(shí)施例中，如果從主計(jì)算機(jī)2發(fā)送的處理方法與當(dāng)前曝光處理的處理?xiàng)l件相同，則緊接著在最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片被從第一盒子端口7a上的晶片盒子傳送時(shí)，該晶片傳送單元開(kāi)始從第二盒子端口7b上的晶片盒子傳送半導(dǎo)體晶片。但是，從第二盒子端口7b開(kāi)始傳送半導(dǎo)體芯片的時(shí)序不限于緊接著在最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片被從第一盒子端口7a上的晶片盒子傳送之后。關(guān)鍵的是該時(shí)序在具有被轉(zhuǎn)印圖案的最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片被傳送到該晶片盒子中之前。
另外，在上述例子中，一個(gè)晶片盒子容納根據(jù)相同的處理方法而處理的多個(gè)半導(dǎo)體晶片。但是，一個(gè)晶片盒子可以容納根據(jù)不同處理方法而處理的多個(gè)半導(dǎo)體晶片。在這種情況中，每個(gè)半導(dǎo)體晶片被從該晶片盒子傳送時(shí)，可以確定用于該晶片的處理方法是否與用于前一個(gè)晶片的處理方法相同。
另外，在上述例子中，在此提供兩個(gè)盒子端口7a和7b，并且當(dāng)容納在盒子端口7a和7b之一上的晶片盒子中的半導(dǎo)體晶片受到曝光時(shí)，獲取用于盒子端口7a和7b中的另一個(gè)的半導(dǎo)體晶片的處理方法。但是，例如，在提供三個(gè)或更多的盒子端口的情況中，當(dāng)盒子端口次之一的半導(dǎo)體晶片受到曝光時(shí)，可以獲取用于所有其他盒子端口的半導(dǎo)體芯片的處理方法。
在要獲取所有處理方法的情況中，例如，不是按照晶片盒子安裝在盒子端口上的次序，處理方法較少改變的半導(dǎo)體晶片可以按照優(yōu)先級(jí)次序被曝光。
另外，在上述例子中，在線控制器6通過(guò)控制臺(tái)9獲得在傳送單元8中的處理狀態(tài)。但是，該在線控制器6可以直接從傳送單元8獲得處理狀態(tài)。另外，提供專用于獲取處理狀態(tài)的微計(jì)算器，并且在線控制器6可以通過(guò)該微計(jì)算機(jī)而不是通過(guò)控制臺(tái)9從傳送單元8獲取處理狀態(tài)。
另外，該微計(jì)算機(jī)可以具有類似于在線控制器6的功能，或者控制臺(tái)9可以具有類似于在線控制器6的功能。另外，主計(jì)算機(jī)2可以具有類似于在線控制器6的功能。
另外，該控制臺(tái)9可以具有在線控制器6和主計(jì)算機(jī)2的功能。
工業(yè)實(shí)用性如上文所述，用于根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)適用于根據(jù)從主計(jì)算機(jī)獲得的信息判斷是否可以把與預(yù)定盒子不同的一個(gè)盒子中容納的第二組晶片傳送到在容納于預(yù)定盒子中的第一組晶片之后的處理階段。因此，例如當(dāng)?shù)诙M晶片的處理開(kāi)始時(shí)，如果確定不需要改變?cè)撎幚?，則可以把第二晶片傳送到在容納于第一盒子中的最后一個(gè)第一晶片之后的處理階段。因此，可以減少晶片傳送的停止時(shí)間，并且可以增加半導(dǎo)體制造裝置的有效性和產(chǎn)量。
權(quán)利要求
1.一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)從主計(jì)算機(jī)獲取的信息控制處理容納于能夠容納多個(gè)晶片的盒子中的晶片的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于該控制系統(tǒng)包括信息獲取裝置，用于在容納于預(yù)定盒子中的第一組晶片的處理完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)處理第二組晶片時(shí)要參照該信息，第二組晶片被容納在與所述預(yù)定盒子不同的一個(gè)盒子中，并且在所述第一組晶片之后被處理；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述半導(dǎo)體制造裝置檢測(cè)所述第一組晶片的處理進(jìn)程；以及處理指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲取的信息判斷所述第二組晶片是否可以被傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段，并且指示所述半導(dǎo)體制造裝置根據(jù)該判斷結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果執(zhí)行處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)所述處理指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息判斷所述第二組晶片可以被傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段時(shí)，則所述處理指示裝置根據(jù)該判斷結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述半導(dǎo)體制造裝置緊接著在所述半導(dǎo)體制造裝置傳送容納在所述預(yù)定盒子中的所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
3.一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)從一個(gè)主計(jì)算機(jī)獲得的信息控制一個(gè)半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于該控制系統(tǒng)包括信息獲取裝置，用于在第一組晶片的處理完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)處理在所述第一組晶片之后處理的第二組晶片時(shí)參照該信息；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述半導(dǎo)體制造裝置檢測(cè)所述第一組晶片的處理的進(jìn)程；以及處理指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息確定所述第二組晶片是否可以被傳送到在所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的處理階段，并且指示所述半導(dǎo)體制造裝置根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果執(zhí)行處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)所述處理指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息判斷所述第二組晶片可以被傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段時(shí)，則所述處理指示裝置根據(jù)該判斷結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述半導(dǎo)體制造裝置緊接著在所述半導(dǎo)體制造裝置傳送容納在所述預(yù)定盒子中的所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任何一項(xiàng)所述的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其特征在于所述信息獲取裝置根據(jù)由該信息獲取裝置所獲得的信息和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果從所述主計(jì)算機(jī)獲取新的信息。
6.一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)由一個(gè)主計(jì)算機(jī)所獲得的信息對(duì)容納在能夠容納多個(gè)晶片的盒子中的晶片執(zhí)行曝光，其特征在于該控制系統(tǒng)包括信息獲取裝置，用于在預(yù)定盒子中容納的第一組晶片的曝光完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)執(zhí)行第二組晶片的曝光時(shí)參照該信息，該第二組晶片被容納在與所述預(yù)定盒子不同的一個(gè)盒子中，并且在所述第一組晶片之后被曝光；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述分檔器檢測(cè)所述第一組晶片的曝光的進(jìn)程；以及曝光指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲取的信息確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片之后的曝光階段，并且根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器執(zhí)行曝光。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)所述曝光指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息判斷所述第二組晶片可以被傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段時(shí)，則所述曝光指示裝置根據(jù)該判斷結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器緊接著在所述分檔器傳送容納在所述預(yù)定盒子中的所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
8.一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其根據(jù)從主計(jì)算機(jī)獲得的信息控制分檔器，其特征在于該控制系統(tǒng)包括信息獲取裝置，用于在對(duì)第一組晶片曝光完成之前從所述主計(jì)算機(jī)獲取信息，當(dāng)在所述第一組晶片之后對(duì)第二組晶片曝光時(shí)參照該信息；進(jìn)程檢測(cè)裝置，用于從所述分檔器檢測(cè)所述第一組晶片的曝光進(jìn)程；以及曝光指示裝置，用于根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲取的信息確定所述第二組晶片是否可以傳送到在所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后的曝光階段，并且指示所述分檔器根據(jù)該確定結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器執(zhí)行曝光。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)所述曝光指示裝置根據(jù)由所述信息獲取裝置所獲得的信息判斷所述第二組晶片可以被傳送到在所述第一組晶片之后的處理階段，則所述曝光指示裝置根據(jù)該判斷結(jié)果和由所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果指示所述分檔器緊接著在所述分檔器傳送所述第一組晶片的最后一個(gè)晶片之后開(kāi)始傳送所述第二組晶片。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中的任何一項(xiàng)所述的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)，其特征在于所述信息獲取裝置根據(jù)由該信息獲取裝置所獲得的信息和所述進(jìn)程檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果從所述主計(jì)算機(jī)獲取新的信息。
全文摘要
為了減小當(dāng)一個(gè)分檔器處理多種產(chǎn)品時(shí)出現(xiàn)的晶片傳送停止時(shí)間，在第一盒子端口7a的半導(dǎo)體晶片的曝光完成之前，從主計(jì)算機(jī)2獲得用于第二盒子端口7b的半導(dǎo)體晶片的處理方法，通過(guò)定序器5檢測(cè)第一盒子端口7a的半導(dǎo)體晶片的曝光進(jìn)程，根據(jù)所獲得的處理方法判斷第二盒子端口7b的半導(dǎo)體晶片是否可以被傳送到在第一盒子端口7a的最后一個(gè)半導(dǎo)體晶片之后的曝光階段，并且使得分檔器1根據(jù)該判斷結(jié)果和進(jìn)程檢測(cè)結(jié)果執(zhí)行曝光。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1473351SQ02802895
公開(kāi)日2004年2月4日 申請(qǐng)日期2002年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月31日
發(fā)明者今井啟二 申請(qǐng)人:旭化成微系統(tǒng)株式會(huì)社