專利名稱：用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及關(guān)于一種散熱器異常的預(yù)警器，特別是關(guān)于一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器的異常預(yù)警器。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體制作過程技術(shù)的進(jìn)步，制造出各式功能強大的“小型”晶片，改變了人類的生活，讓生活中處處可見內(nèi)含晶片的電子產(chǎn)品，幫助人們處理各式的問題。
在半導(dǎo)體設(shè)備中，高溫爐管乃進(jìn)行氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沈積、及熱處理等半導(dǎo)體制作過程時，所不可或缺的制作過程設(shè)備，一般情況下，會將數(shù)個爐管裝設(shè)在一起，形成一爐管組，以方便使用及管理，通常是四個一組裝設(shè)在一起，爐管組還設(shè)置有控制裝置及各式氣體輸入輸出管線，爐管為一高溫制作過程的設(shè)備，在其使用期間，爐管周圍溫度亦相當(dāng)?shù)母?，為了避免爐管的高溫造成周邊裝置的損壞，是裝設(shè)散熱器來幫助爐管組機(jī)臺散熱，且爐管組機(jī)臺內(nèi)更裝設(shè)有溫度感測器，其是設(shè)定一預(yù)定溫度，當(dāng)爐管組機(jī)臺溫度過高超過所設(shè)定的溫度時，即自動停止整個爐管組的運作，避免發(fā)生危險，而爐管組機(jī)臺溫度會過高，通常是幫助散熱的散熱器異常所造成。
除了上述爐管組機(jī)臺外，許多半導(dǎo)體設(shè)備亦裝設(shè)有散熱器，然而一般半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計存在一些缺點，即，每當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常而將造成溫度過高時，必須等到溫度高于預(yù)定的警示溫度，且半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)被迫停止運轉(zhuǎn)時，檢修人員才知道，而此時，不僅要停機(jī)檢修，正進(jìn)行半導(dǎo)體制作過程的整批晶片，亦將隨之報廢，而造成巨大的損失，故，設(shè)計一更理想的預(yù)防機(jī)制，以預(yù)防上述情況發(fā)生此乃本實用新型的主要目的。
實用新型內(nèi)容本實用新型的主要目的是在提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，以偵測半導(dǎo)體設(shè)備散熱器的異常，并發(fā)出預(yù)警信號。
本實用新型的另一目的是在提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，以避免半導(dǎo)體設(shè)備因溫度過高而停止運作，而造成制作過程中整批晶片報廢。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其是裝設(shè)于具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上，該預(yù)警器是包括一接觸感應(yīng)裝置；一輕質(zhì)薄片，其一端是可隨著散熱氣流飄動，當(dāng)該散熱器正常運轉(zhuǎn)時，散熱氣流吹動該輕質(zhì)薄片，使其與該接觸感應(yīng)裝置接觸，當(dāng)該散熱器未正常運轉(zhuǎn)時，該輕質(zhì)薄片不會與該接觸感應(yīng)裝置接觸；一警報裝置，其是與該接觸感應(yīng)裝置連接，當(dāng)該輕質(zhì)薄片未與該接觸感應(yīng)裝置接觸時，該警報裝置則發(fā)出一警報信號。
所述的預(yù)警器，其裝設(shè)于至少有一風(fēng)扇所組成的具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上。
所述的預(yù)警器，其中該警報信號為一音效信號。
所述的預(yù)警器，其中該警報信號為一閃光信號。
所述的預(yù)警器，其中該警報裝置是與該半導(dǎo)體設(shè)備的控制臺連線。
所述的預(yù)警器，其是于該散熱器的每一出風(fēng)口處裝設(shè)該輕質(zhì)薄片及該接觸感應(yīng)裝置，再將所有該接觸感應(yīng)裝置連接至同一個警報裝置上。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出另一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其是裝設(shè)于具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上，該預(yù)警器是包括一接觸感應(yīng)裝置；一輕質(zhì)薄片，其一端是可隨著散熱氣流飄動，當(dāng)該散熱器未正常運轉(zhuǎn)時，該輕質(zhì)薄片會與該接觸感應(yīng)裝置接觸，當(dāng)該散熱器正常運轉(zhuǎn)時，散熱氣流吹動該輕質(zhì)薄片，使其不與該接觸感應(yīng)裝置產(chǎn)生接觸；一警報裝置，其是與該接觸感應(yīng)裝置連接，當(dāng)該輕質(zhì)薄片與該接觸感應(yīng)裝置產(chǎn)生接觸時，該警報裝置則發(fā)出一警報信號。
所述的預(yù)警器，其裝設(shè)于至少有一風(fēng)扇所組成的具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上。
所述的預(yù)警器，其中該警報信號為一音效信號。
所述的預(yù)警器，其中該警報信號為一閃光信號。
所述的預(yù)警器，其中該警報裝置是與該半導(dǎo)體設(shè)備的控制臺連線。
所述的預(yù)警器，其是于該散熱器的每一出風(fēng)口處裝設(shè)該輕質(zhì)薄片及該接觸感應(yīng)裝置，再將所有該接觸感應(yīng)裝置連接至同一個警報裝置上。


圖1是本實用新型預(yù)警器的基本架構(gòu)示意圖。
具體實施方式
通過由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當(dāng)更容易了解本實用新型的目的、技術(shù)內(nèi)容、特點及其所達(dá)成的功效。
為了解決公知半導(dǎo)體設(shè)備因散熱器異常造成機(jī)臺內(nèi)溫度過高，而啟動機(jī)臺的保護(hù)機(jī)能，自動將機(jī)臺停止運轉(zhuǎn)，進(jìn)而使得生產(chǎn)線上制作過程進(jìn)行中的晶片整批報廢的缺點，本實用新型提出一散熱器異常預(yù)警器，用以偵測散熱器的異常的情況，以避免等到機(jī)臺停機(jī)檢修時，才知道散熱器異常。
本實用新型的預(yù)警器10的基本架構(gòu)如圖1所示，其是由一可隨散熱氣流飄動的輕質(zhì)薄片12，一可偵測與輕質(zhì)薄片12接觸情況的接觸感應(yīng)裝置14，及一可發(fā)出警報信號的警報裝置16所構(gòu)成。將此預(yù)警器10裝設(shè)于半導(dǎo)體設(shè)備散熱器18出風(fēng)口附近，并使散熱氣流朝向此預(yù)警器的輕質(zhì)薄片12方向吹動，此輕質(zhì)薄片12的一端是可隨著散熱氣流飄動，而另一端則位于一固定位置，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備運轉(zhuǎn)中，散熱器18正常運轉(zhuǎn)時，散熱氣流吹動此輕質(zhì)薄片12，使其飄動的那端可與接觸感應(yīng)裝置14持續(xù)地接觸著，而當(dāng)散熱器發(fā)生異常而未轉(zhuǎn)動時，散熱氣流停止吹動時，輕質(zhì)薄片12則回到原位，會造成該輕質(zhì)薄片12未與接觸感應(yīng)裝置14接觸，此時，接觸感應(yīng)裝置14便觸發(fā)警報裝置16發(fā)出一警報信號，以通知相關(guān)人員來檢修散熱器18，避免等到整個機(jī)臺過熱而啟動停止運轉(zhuǎn)的保護(hù)機(jī)制。
一般半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)的散熱器是由多個的風(fēng)扇所組成，故當(dāng)風(fēng)扇組其中一風(fēng)扇故障時，即會影響散熱器整體的散熱效果，因此，在本實用新型預(yù)警器的較佳實施例中，可于風(fēng)扇組每一風(fēng)扇的出風(fēng)口處，皆裝設(shè)一輕質(zhì)薄片及一與其對應(yīng)的接觸感應(yīng)裝置，再將所有的接觸感應(yīng)裝置連接至同一個警報裝置上，當(dāng)風(fēng)扇組中有風(fēng)扇發(fā)生異常而未轉(zhuǎn)動時，警報裝置即可發(fā)送一警報信號，以確保每一風(fēng)扇皆保持正常運轉(zhuǎn)的狀態(tài)，來幫助半導(dǎo)體設(shè)備散熱。而此預(yù)警器的警報裝置可與控制此半導(dǎo)體設(shè)備的控制臺連線，當(dāng)散熱器發(fā)生異常時，預(yù)警器即可發(fā)送一警報信號至控制臺，讓控制人員可掌握此一訊息，并做最及時的處理，除此之外，警報裝置的警報信號亦可為一發(fā)出聲音的警報音效，或是警報閃光，基本上，只要可以達(dá)到提醒控制人員的機(jī)制，皆可做為此警報裝置輸出的警報信號。
在本實用新型預(yù)警器的另一實施態(tài)樣的設(shè)計中，輕質(zhì)薄片未受散熱氣流吹動時，可持續(xù)與接觸感應(yīng)裝置產(chǎn)生接觸，而散熱氣流吹動時，可將輕質(zhì)薄片與接觸感應(yīng)裝置分離，而警報裝置與接觸感應(yīng)裝置連接，當(dāng)輕質(zhì)薄片與接觸感應(yīng)裝置產(chǎn)生接觸時，此警報裝置會產(chǎn)生一警報信號，因此，當(dāng)散熱器未正常運轉(zhuǎn)時，因未產(chǎn)生散熱氣流，而使得輕質(zhì)薄片與接觸感應(yīng)裝置產(chǎn)生接觸，進(jìn)而觸發(fā)警報裝置發(fā)出警報信號。
綜上所述，本實用新型提出的散熱器異常預(yù)警器，可于半導(dǎo)體設(shè)備散熱器發(fā)生異常時馬上偵測出來，并發(fā)出警報信號，提醒相關(guān)人員進(jìn)行檢修，避免半導(dǎo)體設(shè)備因散熱器故障過久，造成溫度超過預(yù)設(shè)的安全溫度，而自動停止運轉(zhuǎn)，因此，本實用新型的預(yù)警器能有效地避免半導(dǎo)體設(shè)備因溫度過高而自動停機(jī)，以避免造成制作過程進(jìn)行中整批晶片報廢的巨額損失。
但以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用來限定本實用新型的實施范圍。故即凡依本實用新型申請專利范圍所述的形狀、構(gòu)造、特徵及精神所為的均等變化或修飾，均應(yīng)包括于本實用新型的專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其是裝設(shè)于具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上，其特征在于，該預(yù)警器是包括一接觸感應(yīng)裝置；一輕質(zhì)薄片，其一端是可隨著散熱氣流飄動，當(dāng)該散熱器正常運轉(zhuǎn)時，散熱氣流吹動該輕質(zhì)薄片，使其與該接觸感應(yīng)裝置接觸，當(dāng)該散熱器未正常運轉(zhuǎn)時，該輕質(zhì)薄片不會與該接觸感應(yīng)裝置接觸；一警報裝置，其是與該接觸感應(yīng)裝置連接，當(dāng)該輕質(zhì)薄片未與該接觸感應(yīng)裝置接觸時，該警報裝置則發(fā)出一警報信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其裝設(shè)于至少有一風(fēng)扇所組成的具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其中該警報信號為一音效信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其中該警報信號為一閃光信號。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其中該警報裝置是與該半導(dǎo)體設(shè)備的控制臺連線。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其是于該散熱器的每一出風(fēng)口處裝設(shè)該輕質(zhì)薄片及該接觸感應(yīng)裝置，再將所有該接觸感應(yīng)裝置連接至同一個警報裝置上。
7.一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其是裝設(shè)于具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上，該預(yù)警器是包括一接觸感應(yīng)裝置；一輕質(zhì)薄片，其一端是可隨著散熱氣流飄動，當(dāng)該散熱器未正常運轉(zhuǎn)時，該輕質(zhì)薄片會與該接觸感應(yīng)裝置接觸，當(dāng)該散熱器正常運轉(zhuǎn)時，散熱氣流吹動該輕質(zhì)薄片，使其不與該接觸感應(yīng)裝置產(chǎn)生接觸；一警報裝置，其是與該接觸感應(yīng)裝置連接，當(dāng)該輕質(zhì)薄片與該接觸感應(yīng)裝置產(chǎn)生接觸時，該警報裝置則發(fā)出一警報信號。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其裝設(shè)于至少有一風(fēng)扇所組成的具有散熱器的半導(dǎo)體設(shè)備上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其中該警報信號為一音效信號。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其中該警報信號為一閃光信號。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其中該警報裝置是與該半導(dǎo)體設(shè)備的控制臺連線。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，其特征在于，其是于該散熱器的每一出風(fēng)口處裝設(shè)該輕質(zhì)薄片及該接觸感應(yīng)裝置，再將所有該接觸感應(yīng)裝置連接至同一個警報裝置上。
專利摘要一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的散熱器異常預(yù)警器，此預(yù)警器通過由一輕質(zhì)薄片，其可隨著散熱氣流飄動，當(dāng)散熱器正常運轉(zhuǎn)時，散熱氣流吹動此輕質(zhì)薄片，使其與一接觸感應(yīng)裝置接觸，而當(dāng)散熱器未正常運轉(zhuǎn)時，此輕質(zhì)薄片則不會與接觸感應(yīng)裝置接觸，此時警報裝置則發(fā)出一警報信號。通過預(yù)警器，可于散熱器一發(fā)生異常時，即可透過警報信號通知相關(guān)人員進(jìn)行處理，而不會等到整個半導(dǎo)體設(shè)備因過熱造成重大損失時才進(jìn)行處理。
文檔編號G08B21/00GK2708498SQ200420007950
公開日2005年7月6日 申請日期2004年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月24日
發(fā)明者彭圣全, 周順泰 申請人:立生半導(dǎo)體股份有限公司