。
[0033]本實(shí)施例中，所述導(dǎo)電模塊優(yōu)選等間距分布，相鄰所述導(dǎo)電模塊的間距相等，所述導(dǎo)電模塊優(yōu)選為菱形。
[0034]作為本發(fā)明的其他實(shí)施例，所述導(dǎo)電模塊還可以為其他圖案，均可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0035]本實(shí)施例中，所述縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊210與所述橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊220優(yōu)選以同種材料形成在同一層中。
[0036]相鄰所述縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊210之間通過(guò)第一層導(dǎo)電橋211串聯(lián)連接；所述第一層導(dǎo)電橋211與所述縱向?qū)щ妴呜Ｖ械膶?dǎo)電模塊210以同種材料形成在同一層中，即直接設(shè)置在所述襯底100上。
[0037]相鄰所述橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊220之間通過(guò)第二層導(dǎo)電橋221串聯(lián)連接。
[0038]所述第一層導(dǎo)電橋211與所述第二層導(dǎo)電橋221之間設(shè)置有使之彼此絕緣的第一介電層300，即所述第一介電層300直接設(shè)置在靠近襯底100的一層所述導(dǎo)電橋(所述第一層導(dǎo)電橋211)上。所述襯底100上直接設(shè)置有覆蓋所有所述縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊210、所述橫向?qū)щ妴呜Ｖ械膶?dǎo)電模塊220、所述第二層導(dǎo)電橋221以及所述第一介電層300的所述第二介電層400。所述第一介電層300和所述第二介電層400共同構(gòu)成介電層，位于相鄰兩所述導(dǎo)電模塊之間的介電層上成型有條形凹槽410，所述凹槽410貫穿整個(gè)所述介電層的厚度。
[0039]所述凹槽410的寬度小于或等于相鄰所述導(dǎo)電模塊的間距。
[0040]所述電容式觸摸屏的制備方法，包括如下步驟:
[0041]S1、在襯底100上形成第一導(dǎo)電層，并圖案化形成分別沿縱向間隔排布的若干縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊210，沿橫向間隔排布的若干橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊220以及沿縱向設(shè)置在相鄰縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊210之間的第一層導(dǎo)電橋211，以串接所述導(dǎo)電模塊，形成多個(gè)平行設(shè)置的縱向?qū)щ妴卧?br>[0042]作為本發(fā)明的其他實(shí)施例，也可以先形成沿橫向設(shè)置在相鄰橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊220之間的導(dǎo)電橋，以形成多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧?br>[0043]S2、在襯底100上直接形成覆蓋圖案化后的第一導(dǎo)電層的第一介電質(zhì)材料層，并圖案化制得覆蓋第一層導(dǎo)電橋211的第一介電層300。
[0044]S3、在第一介電層300上形成第二層導(dǎo)電橋221，將步驟SI中未串接的導(dǎo)電模塊進(jìn)行串接，以形成多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧?br>[0045]S4、在襯底100上直接形成覆蓋導(dǎo)電模塊、第一介電層300和第二層導(dǎo)電橋221的第二介電層400。
[0046]S5、通過(guò)掩膜對(duì)第二介電層400進(jìn)行圖案化，即通過(guò)光刻工藝對(duì)直接設(shè)置在襯底100上的第二介層400區(qū)域進(jìn)行刻蝕，形成垂直貫通第二介電層400并設(shè)置在相鄰導(dǎo)電模塊之間的條形凹槽410。
[0047]所述電容式觸摸屏的各層材料和厚度均同現(xiàn)有技術(shù)，步驟SI?S4中具體制備工藝同現(xiàn)有技術(shù)。
[0048]本發(fā)明所述的電容式觸摸屏的制備方法，對(duì)設(shè)置在相鄰所述導(dǎo)電模塊之間的介電層區(qū)域進(jìn)行刻蝕，形成條形凹槽410，可實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)電模塊的再次圖案化，使得縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊210和橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊220間的短路缺陷會(huì)在該步驟中實(shí)現(xiàn)刻斷，提高了產(chǎn)品的良率，大幅降低了生產(chǎn)成本。另外，在現(xiàn)有制作工藝的基礎(chǔ)上只需要對(duì)介電層圖形化的光罩圖形做相應(yīng)設(shè)計(jì)，完成刻蝕后即可實(shí)現(xiàn)，不但大幅提高產(chǎn)品良率，而且工藝簡(jiǎn)單，具有極佳的應(yīng)用價(jià)值。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電容式觸摸屏，包括形成于襯底上的多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧投鄠€(gè)平行設(shè)置的縱向?qū)щ妴卧?，多個(gè)橫向?qū)щ妴卧c縱向?qū)щ妴卧纬杀舜私^緣的交叉網(wǎng)絡(luò)，每個(gè)橫向?qū)щ妴卧涂v向?qū)щ妴卧啥鄠€(gè)導(dǎo)電模塊通過(guò)多個(gè)導(dǎo)電橋串接組成，在襯底上設(shè)有覆蓋所有橫向?qū)щ妴卧?、縱向?qū)щ妴卧皩?dǎo)電橋的介電層，其特征在于，位于相鄰兩所述導(dǎo)電模塊之間的介電層上成型有條形凹槽，所述凹槽垂直貫穿整個(gè)所述介電層的厚度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式觸摸屏，其特征在于，所述凹槽的寬度小于或等于相鄰所述導(dǎo)電模塊的間距。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電容式觸摸屏，其特征在于，所述橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊與所述縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊以同種材料形成在同一層中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式觸摸屏，其特征在于，所述橫向?qū)щ妴卧蛩隹v向?qū)щ妴卧兴鰧?dǎo)電橋與所述導(dǎo)電模塊以同種材料形成在同一層中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或4所述的電容式觸摸屏，其特征在于，所有所述導(dǎo)電模塊為菱形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或4所述的電容式觸摸屏，其特征在于，所述介電層包括第一介電層和第二介電層，所述第一介電層直接設(shè)置在靠近襯底的一層所述導(dǎo)電橋上，所述第二介電層設(shè)置在所有所述導(dǎo)電模塊和遠(yuǎn)離襯底的一層所述導(dǎo)電橋上。
7.—種權(quán)利要求1-6任一所述的電容式觸摸屏的制備方法，其特征在于，包括如下步驟: 51、在襯底上形成第一導(dǎo)電層，并圖案化形成分別沿橫向和縱向間隔排布的導(dǎo)電模塊，在沿橫向或縱向設(shè)置的導(dǎo)電模塊之間形成第一層導(dǎo)電橋，以串接所述導(dǎo)電模塊，形成多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧蚨鄠€(gè)平行設(shè)置的縱向?qū)щ妴卧? 52、在襯底上直接形成覆蓋圖案化后的第一導(dǎo)電層的第一介電質(zhì)材料層，并圖案化制得覆蓋第一層導(dǎo)電橋的第一介電層； 53、在第一介電層上形成第二層導(dǎo)電橋，將步驟SI中未串接的導(dǎo)電模塊進(jìn)行串接； 54、在襯底上直接形成覆蓋導(dǎo)電模塊、第一介電層和第二層導(dǎo)電橋的第二介電層； 55、通過(guò)掩膜對(duì)第二介電層進(jìn)行圖案化，形成垂直貫通第二介電層并設(shè)置在相鄰導(dǎo)電模塊之間的條形凹槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電容式觸摸屏的制備方法，其特征在于，步驟SI中，所述第一層導(dǎo)電橋與所述導(dǎo)電模塊同步驟制得。
【專利摘要】本發(fā)明所述的電容式觸摸屏及其制備方法，對(duì)設(shè)置在相鄰所述導(dǎo)電模塊之間的介電層區(qū)域進(jìn)行刻蝕，形成條形凹槽，可實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)電模塊的再次圖案化，從而使得導(dǎo)電模塊間的短路缺陷在該工藝中實(shí)現(xiàn)刻斷，提高了產(chǎn)品的良率，大幅降低了生產(chǎn)成本；而且，在現(xiàn)有制作工藝的基礎(chǔ)上只需要對(duì)介電層圖形化的光罩圖形做相應(yīng)設(shè)計(jì)，完成相應(yīng)的刻蝕即可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品良率的大幅提高，工藝簡(jiǎn)單，具有極佳的應(yīng)用價(jià)值。
【IPC分類】G06F3-044
【公開號(hào)】CN104731420
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310713054
【發(fā)明人】胡賢夫
【申請(qǐng)人】昆山國(guó)顯光電有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請(qǐng)日】2013年12月20日