一種電容式觸摸屏及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種電容式觸摸屏及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]觸控屏(英文全稱為Touch Panel)，又稱觸摸屏、觸控面板，是一種可接收觸頭等輸入信號(hào)的感應(yīng)式顯示裝置，廣泛應(yīng)用在各種電子產(chǎn)品上。按照觸摸屏的工作原理和傳輸信息的介質(zhì)，觸摸屏可分為四種:電阻式、電容式、紅外線式和表面聲波式。
[0003]電容式觸摸屏(英文全稱為Capacity Touch Panel,簡(jiǎn)稱為CTP)是利用人體的電流感應(yīng)對(duì)屏幕進(jìn)行控制的。根據(jù)偵測(cè)觸碰區(qū)域的電容變化，進(jìn)而計(jì)算手指所在位置，精確度可達(dá)99%，響應(yīng)時(shí)間小于3ms。CTP具有靈敏度高、容易實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)觸控技術(shù)等優(yōu)點(diǎn)，逐漸成為智能手機(jī)、平板電腦等電子產(chǎn)品中應(yīng)用的主流觸摸屏。
[0004]電容式觸摸屏的電路結(jié)構(gòu)為架橋結(jié)構(gòu)，如圖1和2所示，包括形成于襯底100上的多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧投鄠€(gè)平行設(shè)置的縱向?qū)щ妴卧?，多個(gè)橫向?qū)щ妴卧c縱向?qū)щ妴卧纬杀舜私^緣的交叉網(wǎng)絡(luò)；每個(gè)橫向?qū)щ妴卧啥鄠€(gè)導(dǎo)電模塊220通過多個(gè)第一層導(dǎo)電橋211串聯(lián)組成，每個(gè)縱向?qū)щ妴卧啥鄠€(gè)導(dǎo)電模塊210通過多個(gè)第二層導(dǎo)電橋221串接組成；在襯底100上設(shè)有覆蓋第一層導(dǎo)電橋211的第一介電層300,覆蓋所有橫向?qū)щ妴卧?、縱向?qū)щ妴卧牡诙殡妼?00。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，橫向?qū)щ妴卧涂v向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊通常會(huì)在同一導(dǎo)電層中通過刻蝕工藝同層制備，在刻蝕工藝中極易出現(xiàn)橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊和縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊未徹底分離，從而造成橫向?qū)щ妴卧涂v向?qū)щ妴卧搪返默F(xiàn)象，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為此，本發(fā)明所要解決的是現(xiàn)有電容式觸摸屏電極之間容易出現(xiàn)短路現(xiàn)象，嚴(yán)重影響產(chǎn)品良率的問題，提供一種電極間絕緣性能優(yōu)異、良品率高的電容式觸摸屏及其制備方法。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:
[0008]本發(fā)明所述的一種電容式觸摸屏，包括形成于襯底上的多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧投鄠€(gè)平行設(shè)置的縱向?qū)щ妴卧?，多個(gè)橫向?qū)щ妴卧c縱向?qū)щ妴卧纬杀舜私^緣的交叉網(wǎng)絡(luò)，每個(gè)橫向?qū)щ妴卧涂v向?qū)щ妴卧啥鄠€(gè)導(dǎo)電模塊通過多個(gè)導(dǎo)電橋串接組成，在襯底上設(shè)有覆蓋所有橫向?qū)щ妴卧?、縱向?qū)щ妴卧慕殡妼?；位于相鄰兩所述?dǎo)電模塊之間的介電層上成型有條形凹槽，所述凹槽貫穿整個(gè)所述介電層的厚度。
[0009]所述凹槽的寬度小于或等于相鄰所述導(dǎo)電模塊的間距。
[0010]所述橫向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊與所述縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊以同種材料形成在同一層中。
[0011]所述橫向?qū)щ妴卧蛩隹v向?qū)щ妴卧兴鰧?dǎo)電橋與所述導(dǎo)電模塊以同種材料形成在同一層中。
[0012]所有所述導(dǎo)電模塊為菱形。
[0013]所述介電層包括第一介電層和第二介電層，所述第一介電層直接設(shè)置在靠近襯底的一層所述導(dǎo)電橋上，所述第二介電層設(shè)置在所有所述導(dǎo)電模塊和遠(yuǎn)離襯底的一層所述導(dǎo)電橋上。
[0014]本發(fā)明所述的電容式觸摸屏的制備方法，包括如下步驟:
[0015]S1、在襯底上形成第一導(dǎo)電層，并圖案化形成分別沿橫向和縱向間隔排布的導(dǎo)電模塊，在沿橫向或縱向設(shè)置的導(dǎo)電模塊之間形成第一層導(dǎo)電橋，以串接所述導(dǎo)電模塊，形成多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧蚨鄠€(gè)平行設(shè)置的縱向?qū)щ妴卧?br>[0016]S2、在襯底上直接形成覆蓋圖案化后的第一導(dǎo)電層的第一介電質(zhì)材料層，并圖案化制得覆蓋第一層導(dǎo)電橋的第一介電層；
[0017]S3、在第一介電層上形成垂直于第一層導(dǎo)電橋的第二層導(dǎo)電橋,將步驟SI中未串接的導(dǎo)電模塊進(jìn)行串接；
[0018]S4、在襯底上直接形成覆蓋導(dǎo)電模塊、第一介電層和第二層導(dǎo)電橋的第二第一介電層；
[0019]S5、通過掩膜對(duì)第二介電層進(jìn)行圖案化，形成垂直貫通第二介電層并設(shè)置在相鄰導(dǎo)電模塊之間的條形凹槽。
[0020]步驟SI中，所述第一層導(dǎo)電橋與所述導(dǎo)電模塊同步驟制得。
[0021]本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0022]1、本發(fā)明所述的電容式觸摸屏及其制備方法，對(duì)設(shè)置在相鄰所述導(dǎo)電模塊之間的介電層區(qū)域進(jìn)行刻蝕，形成條形凹槽，可實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)電模塊的再次圖案化，從而使得導(dǎo)電模塊間的短路缺陷在該工藝中實(shí)現(xiàn)刻斷，提高了產(chǎn)品的良率，大幅降低了生產(chǎn)成本。
[0023]2、本發(fā)明所述的電容式觸摸屏及其制備方法，在現(xiàn)有制作工藝的基礎(chǔ)上只需要對(duì)介電層圖形化的光罩圖形做相應(yīng)設(shè)計(jì)，完成刻蝕后即可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品良率的大幅提高，工藝簡(jiǎn)單，具有極佳的應(yīng)用價(jià)值。
【附圖說明】
[0024]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中
[0025]圖1現(xiàn)有技術(shù)中所述電容式觸摸屏的剖視圖；
[0026]圖2是圖1中所述電容式觸摸屏的俯視圖；
[0027]圖3是本發(fā)明所述電容式觸摸屏的剖視圖；
[0028]圖4是圖2中所述電容式觸摸屏的俯視圖。
[0029]圖中附圖標(biāo)記表示為:100-襯底、210-縱向?qū)щ妴卧械膶?dǎo)電模塊、211-第一層導(dǎo)電橋、220-橫向?qū)щ妴呜Ｖ械膶?dǎo)電模塊、221-第二層導(dǎo)電橋、300-第一介電層、400-第二介電層、410-凹槽。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0031]本發(fā)明可以以許多不同的形式實(shí)施，而不應(yīng)該被理解為限于在此闡述的實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例，使得本公開將是徹底和完整的，并且將把本發(fā)明的構(gòu)思充分傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員，本發(fā)明將僅由權(quán)利要求來限定。在附圖中，為了清晰起見，會(huì)夸大層和區(qū)域的尺寸和相對(duì)尺寸。應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)元件例如層、區(qū)域或基板被稱作“形成在”或“設(shè)置在”另一元件“上”時(shí)，該元件可以直接設(shè)置在所述另一元件上，或者也可以存在中間元件。相反，當(dāng)元件被稱作“直接形成在”或“直接設(shè)置在”另一元件上時(shí)，不存在中間元件。
[0032]本實(shí)施例提供一種電容式觸摸屏，如圖3和4所示，包括形成于襯底100上的多個(gè)平行設(shè)置的橫向?qū)щ妴卧投鄠€(gè)平行設(shè)置的縱向?qū)щ妴卧鰴M向?qū)щ妴卧c所述縱向?qū)щ妴卧纬杀舜私^緣的交叉網(wǎng)絡(luò)，每個(gè)所述橫向?qū)щ妴卧涂v向?qū)щ妴卧啥鄠€(gè)導(dǎo)電模塊通過多個(gè)導(dǎo)電橋串接組成，在襯底100上設(shè)有覆蓋所有橫向?qū)щ妴卧?、縱向?qū)щ妴卧慕殡妼?