專利名稱：一種消影且增透的導(dǎo)電鍍膜層的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種玻璃或透明塑料表面上的鍍膜層，尤其是一種消影且增透的導(dǎo)電鍍膜層。
背景技術(shù)：
是一種N型氧化物半導(dǎo)體-氧化銦錫，ITO薄膜即銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜，通常有兩個(gè)性能指標(biāo)電阻率和透光率。在氧化物導(dǎo)電膜中，以摻Sn的In203 (ITO)膜的透過率最高和導(dǎo)電性能最好，而且容易在酸液中蝕刻出細(xì)微的圖形，其中透光率達(dá)90%以上。ITO中其透光率和阻值分別由 In203與Sn02之比例來控制，通常Sn02: In203=l: 9。在ZnO體系中摻雜Al得到ZnO A1透明導(dǎo)電薄膜，即AZO薄膜，慘雜后薄膜導(dǎo)電性能大幅度提高，電阻率可降低到10-4 ohm 而且透明導(dǎo)電薄膜AZO薄膜在氫等離子體中穩(wěn)定性要優(yōu)于ΙΤ0，同時(shí)具有可同ITO相比擬的光電特性，而且AZO薄膜的制備方便，元素資源比In元素豐富，且無毒，逐漸成為ITO薄膜最佳替代者，AZO薄膜目前已經(jīng)在平板顯示器和薄膜太陽能電池中得到了部分應(yīng)用。電容式觸摸屏要用到透明導(dǎo)電膜電極(如ITO或ΑΖ0)，該電極應(yīng)用于顯示區(qū)域，由于導(dǎo)電膜的折射率和基板(玻璃或透明塑料)的折射率的差別，(如ITO和AZO的折射率約為
2.0，玻璃約I. 5，塑料如PET約I. 5)，使得顯示區(qū)內(nèi)的電極和電極縫隙之間反射和透過率有較大的差別，如附圖
圖3為常規(guī)做法的透明導(dǎo)電膜電極(ΙΤ0或ΑΖ0)，圖4為常規(guī)做法制成的電極示意圖(ITO厚度為40匪)，電極對(duì)可見光的反射率為電極鍍層(ITO或ΑΖ0)的反射率，而電極縫隙的反射率為玻璃或透明塑料的反射率，電極鍍層(ITO或ΑΖ0)的平均反射率為16. 5%，玻璃或透明塑料的平均反射率為4. 2%，反射率的巨大差異會(huì)使電極和縫隙清晰可見，影響顯示的效果和外觀，特別是在手機(jī)、平板電腦、筆記本及普通電腦上，電極和縫隙可見會(huì)嚴(yán)重影響視覺效果。目前在小屏幕觸摸屏上采用減小縫隙的方法來降低電極和縫隙的可見度，但受光刻設(shè)備等的限制，如果在20英寸以上大屏幕觸摸屏采用微小縫隙的方法，設(shè)備投資及制造成本會(huì)非常高，產(chǎn)品不良率也會(huì)升高。如方塊電阻為60歐的ITO或AZO導(dǎo)電鍍膜層的平均反射率約16. 5%，嚴(yán)重降低了可見光的通過率，這樣在光線比較明亮的環(huán)境中特別是背后有窗戶、燈光的環(huán)境中，屏幕會(huì)應(yīng)反射光太強(qiáng)而無法看清。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的是提供一種玻璃或透明塑料表面的消影增透導(dǎo)電鍍膜層，使從玻璃或透明塑料表面看不見導(dǎo)電層電極和縫隙，并能將導(dǎo)電層對(duì)可見光的平均反射率從16. 5%降低至10%，而縫隙即基材加底層膜的平均反射率為10%，(電極的刻蝕只是導(dǎo)電層，刻蝕掉的導(dǎo)電層部分的底層膜保留)能使可見光通過導(dǎo)電層的量增加39%，提高顯示屏的清晰對(duì)比度，在保證導(dǎo)電層功能的同時(shí)，達(dá)到消影和增透的功能。[0008]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種消影且增透的導(dǎo)電鍍膜層，包括普通玻璃或透明塑料構(gòu)成的基片層和ITO或ZAO層構(gòu)成的電極層，其特征在于，在基片層和電極層之間復(fù)合增加若干個(gè)Si02層和Ti02或Nb205層。優(yōu)選的，所述消影增透導(dǎo)電鍍膜層從基片層表面依次往上為第一 Si02層；第一Ti02或Nb205層；第二 Si02層；第二 Ti02或Nb205層；第三Si02層；電極層。 優(yōu)選的，所述第一 Si02層的厚度不限；第一 Ti02或Nb205層的厚度為2-50nm;第二 Si02層的厚度為10-80nm ;第二 Ti02或Nb205層的厚度為2_50nm ;第三Si02層的厚度為20-80nm ;電極層的厚度為10_150nm。所述消影增透導(dǎo)電鍍膜層利用真空濺射的方法鍍于玻璃或透明塑料表面，每層鍍層使用不同材料且厚度不同，使可見光經(jīng)過不同鍍層的反射光產(chǎn)生光干涉，針對(duì)導(dǎo)電鍍膜層起到降低可見光反射率、提高其透過率的效果。在可見光的范圍內(nèi)(40(T700nm)，使導(dǎo)電鍍膜層的反射率降低，提高了觸摸屏的整體透過率。進(jìn)一步的，設(shè)定并精確控制各膜層的厚度，在導(dǎo)電鍍膜層前面的膜層(圖I之2、3、4、5、6膜層)的作用下，使得其與有導(dǎo)電鍍膜層的反射率一致，起到消除電極及電極縫隙影子的功能。本實(shí)用新型的一些用途I、觸摸屏電腦、筆記本電腦。、平板電腦。、觸摸屏手機(jī)。、觸摸屏車載導(dǎo)航儀。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是I.本實(shí)用新型具有消除觸摸屏電極及電極縫隙影子的功能。.本實(shí)用新型有增加觸摸屏對(duì)可見光透過率的作用，能提升可見光通過觸摸屏的量，使得觸摸屏顯示設(shè)備(如電腦、平板電腦、手機(jī)等)更加清晰。
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述圖I為本實(shí)用新型消影增透導(dǎo)電鍍膜層的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型消影增透導(dǎo)電鍍膜層在導(dǎo)電層制成電極后的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為常規(guī)方法做成的ITO或AZO鍍層示意圖。圖4為常規(guī)做法制成的電極示意圖。圖5為本實(shí)用新型制成的觸摸屏的反射率測(cè)試數(shù)據(jù)圖。圖6為常規(guī)方法制成的觸摸屏的反射率測(cè)試數(shù)據(jù)圖。其中1、普通玻璃或透明塑料，2、第一 Si02層，3、第一 Ti02或Nb205層；4、第二Si02 層；5、第二 Ti02 或 Nb205 層；6、第三 Si02 層；7、ITO 或 AZO 層。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例如圖I所示，[0031]一種消影增透導(dǎo)電鍍膜層，可在普通玻璃或透明塑料I上涂鍍的六層復(fù)合的消影增透導(dǎo)電鍍膜層，所述消影增透導(dǎo)電鍍膜層從普通玻璃或透明塑料表面依次往上為第一Si02 層 2 ;第一 Ti02 或 Nb205 層 3 ;第二 Si02 層 4 ;第二 Ti02 或 Nb205 層 5 ;第三 Si02 層6 ;ΙΤ0 或 AZO 層 7.所述第一 Si02層2的厚度不限；第一 Ti02或Nb205層3的厚度為2_50nm ;第二Si02層4的厚度為10-80nm ;第二 Ti02或Nb205層5的厚度為2_50nm ;第三Si02層6的厚度為20-80nm;IT0或AZO層7的厚度為10_150nm。制作過程各鍍層均在真空室中用濺射鍍法完成。普通玻璃或透明塑料一清洗一真空鍍膜第一層(二氧化硅Si02鍍層)一真空鍍膜第二層(氧化鈦Ti02或氧化鈮Nb205鍍層)一真空鍍膜第三層(二氧化硅Si02鍍層)—真空鍍膜第四層(氧化鈦Ti02或氧化鈮Nb205鍍層)一真空鍍膜第五層(二氧化硅Si02鍍層)一真空鍍膜第六層(ΙΤ0或AZO鍍層)一貼保護(hù)膜一包裝入庫?！0035]圖5為本實(shí)用新型制成的觸摸屏的反射率測(cè)試數(shù)據(jù)，由數(shù)據(jù)圖可見電極鍍層與縫隙對(duì)可見光的反射率基本一樣，這樣能有效消除電極縫隙陰影。圖6為常規(guī)方法制成的觸摸屏的反射率測(cè)試數(shù)據(jù)，由數(shù)據(jù)可見電極與縫隙對(duì)可見光的反射率相差很大，這會(huì)造成從屏幕能可見電極縫隙的陰影。以上僅是本實(shí)用新型的具體應(yīng)用范例，對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制。除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其它實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種消影且增透的導(dǎo)電鍍膜層，包括普通玻璃或透明塑料構(gòu)成的基片層和ITO或ZAO層構(gòu)成的電極層，其特征在于，在基片層和電極層之間復(fù)合增加若干個(gè)Si02層和Ti02或Nb205層。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的消影且增透的導(dǎo)電鍍膜層，其特征在于，所述消影增透導(dǎo)電鍍膜層從基片層表面依次往上為第一 Si02層；第一 Ti02或Nb205層；第二 Si02層；第二Ti02或Nb205層；第三Si02層；電極層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的消影且增透的導(dǎo)電鍍膜層，其特征在于，所述第一Si02層的厚度不限；第一 Ti02或Nb205層的厚度為2-50nm;第二 Si02層的厚度為10_80nm ;第二 Ti02或Nb205層的厚度為2-50nm ;第三Si02層的厚度為20_80nm ;電極層的厚度為10_150nmo
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種消影且增透的導(dǎo)電鍍膜層，包括普通玻璃或透明塑料構(gòu)成的基片層和ITO或ZAO層構(gòu)成的電極層，其特征在于，在基片層和電極層之間復(fù)合增加若干個(gè)SiO2層和TiO2或Nb2O5層。本實(shí)用新型具有如下功能在保證導(dǎo)電層良好導(dǎo)電性能的同時(shí)，消除導(dǎo)電電極影子，使得透過普通玻璃或透明塑料看不見電極；還具有增加可見光透過率，將可見光通過導(dǎo)電層的透過率提升20-50%。
文檔編號(hào)G06F3/041GK202771813SQ201220298039
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月25日
發(fā)明者王立新 申請(qǐng)人:普發(fā)玻璃(深圳)有限公司