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內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):6332666閱讀:265來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及計(jì)算機(jī)應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域和集成電路裝備領(lǐng)域,特別涉及一種基于設(shè)備控 制軟件的面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)
隨著集成電路芯片集成度的不斷提升和芯片功能的不斷提高,人們對(duì)工藝的要求 越來(lái)越高,這對(duì)半導(dǎo)體制造裝備是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。在半導(dǎo)體制造裝備的研究、開發(fā)和測(cè)試 工作中,包括硬件和軟件的研發(fā)。而所開發(fā)軟件中絕大部分是設(shè)備控制軟件,這些軟件在進(jìn) 行測(cè)試時(shí),需要首先在仿真環(huán)境下進(jìn)行驗(yàn)證,而單純?yōu)槟骋粋€(gè)項(xiàng)目開發(fā)軟件測(cè)試平臺(tái)不僅 耗時(shí)過(guò)大而且可重用性很差,為了提高軟件測(cè)試的效率和準(zhǔn)確定位系統(tǒng)所存在問(wèn)題,迫切 需要一個(gè)通用的軟件測(cè)試平臺(tái)系統(tǒng)。它需要提供各項(xiàng)目使用的所有硬件的仿真程序,使開 發(fā)出來(lái)的軟件能在此基礎(chǔ)之上運(yùn)行,從而進(jìn)行測(cè)試。在半導(dǎo)體制造裝備的研究、開發(fā)和測(cè)試工作中,仿真扮演了重要的角色。一方面, 由于生產(chǎn)過(guò)程控制本身的復(fù)雜性,對(duì)理論研究不斷提出新的要求,而理論研究需要借助于 仿真工具;另一方面,面對(duì)各種系統(tǒng)控制軟件包,需要現(xiàn)成的仿真平臺(tái),全面反映算法在實(shí) 際生產(chǎn)運(yùn)行中的效果,得到有指導(dǎo)意義的算法改進(jìn)策略、參數(shù)在線調(diào)整方法等。仿真平臺(tái)的 使用,能夠準(zhǔn)確測(cè)試設(shè)備控制系統(tǒng)軟件,可以減少控制系統(tǒng)軟件執(zhí)行與集成電路制造工藝 過(guò)程的失敗,能解決集成電路工藝設(shè)備的工藝穩(wěn)定性,工藝可靠性,減少設(shè)備維修時(shí)間,最 大程度的提高設(shè)備的利用率。作為半導(dǎo)體制造裝備非常重要的內(nèi)部行為耦合關(guān)系,在搭建仿真平臺(tái)的時(shí)候涉及 到很多內(nèi)容,包括設(shè)備的參數(shù)、命令、行為等等,設(shè)備內(nèi)耦合關(guān)系簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是在一個(gè)設(shè)備 里,當(dāng)某一個(gè)或者多個(gè)設(shè)備參數(shù)大于或者小于某個(gè)臨界值的時(shí)候,該設(shè)備會(huì)執(zhí)行什么動(dòng)作 或者使設(shè)備屬性發(fā)生改變。為了實(shí)現(xiàn)邏輯清晰的內(nèi)部耦合關(guān)系,需要有準(zhǔn)確清晰的管理方 法和可配置以及可擴(kuò)展性能的子系統(tǒng)來(lái)支持。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明專利的主要目在于為了解決半導(dǎo)體制造裝備控制軟件測(cè)試的效率和準(zhǔn)確 定位系統(tǒng)所存在問(wèn)題,而提出的一種基于設(shè)備控制軟件的面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的 內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法以及其子系統(tǒng),主要運(yùn)用于半導(dǎo)體制造裝備功能仿真平臺(tái)。為達(dá)到上述目的,本發(fā)明一方提出了一種內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,包括以下 步驟從器件庫(kù)中選擇仿真設(shè)備;判讀是否曾配置過(guò)所述仿真設(shè)備;載入曾配置過(guò)的所述 仿真設(shè)備的配置信息;對(duì)未曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備進(jìn)行耦合條件配置以得到所述配置信 息;對(duì)所述未曾配置過(guò)的仿真設(shè)備進(jìn)行配置以得到觸發(fā)耦合關(guān)系命令;保存所述配置信息 和所述觸發(fā)耦合關(guān)系命令;根據(jù)所述配置信息判斷是否觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令;和對(duì)觸發(fā) 所述耦合關(guān)系命令的設(shè)備執(zhí)行相應(yīng)的操作。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,對(duì)未曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備進(jìn)行耦合條件配置還包
4括配置單個(gè)耦合條件或多個(gè)耦合條件。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述根據(jù)配置信息判斷是否觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令, 進(jìn)一步包括根據(jù)所述配置信息的值判斷所述設(shè)備的參數(shù)是否滿足所述耦合條件;對(duì)滿足 所述耦合條件的設(shè)備以觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令;和將所述耦合關(guān)系命令傳遞給執(zhí)行動(dòng)作模 塊,以執(zhí)行相應(yīng)的設(shè)備行為動(dòng)作。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述互斥段為lock標(biāo)記,所述lock把某一代碼定義為 互斥段,其中,所述互斥段在一個(gè)時(shí)刻內(nèi)只允許一個(gè)線程進(jìn)入執(zhí)行。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述將所有設(shè)備類實(shí)例為設(shè)備對(duì)象分別托付給相應(yīng)的 子系統(tǒng)對(duì)象,還包括解析所述通訊對(duì)象的各種信息;和分析所述設(shè)備對(duì)象的一些屬性行 為,以及根據(jù)所述各種信息執(zhí)行的相關(guān)動(dòng)作。 在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,采用多線程執(zhí)行方法執(zhí)行所有的所述耦合關(guān)系和所述 耦合關(guān)系之后的執(zhí)行動(dòng)作。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述耦合關(guān)系命令以一種消息傳遞的方式傳遞給所述 執(zhí)行動(dòng)作模塊。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,利用單個(gè)文本組成規(guī)范的字符串腳本實(shí)現(xiàn)所述配置耦 合關(guān)系條件,且以xml文件的格式保存所述配置信息。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,采用序列化表格的形式對(duì)所述配置信息進(jìn)行歸類和查 找。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,采用正則表達(dá)式的模式匹配方法對(duì)所述耦合關(guān)系進(jìn)行 條件判斷。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述正則表達(dá)式程序表示如下string pattern = i\sand\s|\sor\s|\sxor\s“;foreach(Match m in Regex. Matches(actionscript,pattern))。本發(fā)明的另一方面提出了一種內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理系統(tǒng),包括配置子系統(tǒng),所 述配置子系統(tǒng)用于從器件庫(kù)中選擇仿真設(shè)備;判讀是否曾配置過(guò)所述仿真設(shè)備;載入曾配 置過(guò)的所述仿真設(shè)備的配置信息;對(duì)未曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備進(jìn)行耦合條件配置以得到 所述配置信息;對(duì)所述未曾配置過(guò)的仿真設(shè)備進(jìn)行配置以得到觸發(fā)耦合關(guān)系命令;保存所 述配置信息和所述觸發(fā)耦合關(guān)系命令;根據(jù)所述配置信息判斷是否觸發(fā)所述耦合關(guān)系命 令;和執(zhí)行子系統(tǒng),所述執(zhí)行子系統(tǒng)用于對(duì)觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令的設(shè)備執(zhí)行相應(yīng)的操作。本發(fā)明的主要目的是為了解決半導(dǎo)體制造裝備控制軟件測(cè)試的效率和準(zhǔn)確定位 系統(tǒng)所存在問(wèn)題,提出一種基于設(shè)備控制軟件的面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的內(nèi)部行為 耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng),主要運(yùn)用于半導(dǎo)體制造裝備功能仿真平臺(tái)。該系統(tǒng)主要完成靈 活配置、刪除、修改、保存仿真設(shè)備的內(nèi)部行為耦合關(guān)系,并且在設(shè)備仿真運(yùn)行時(shí)完全模擬 真實(shí)設(shè)備的內(nèi)部行為耦合關(guān)系的功能,具有準(zhǔn)確性、實(shí)時(shí)性的特點(diǎn),同時(shí)也具有可擴(kuò)展的功 能,可以與其他相關(guān)的子系統(tǒng)以及一個(gè)完整的半導(dǎo)體制造裝備功能仿真平臺(tái)配合使用。此 子系統(tǒng)還具備靈活配置的功能,因?yàn)椴煌捻?xiàng)目所需要的硬件不同,即使相同的硬件其使 用方法也不同,所以此子系統(tǒng)能夠靈活配置來(lái)滿足項(xiàng)目的需要。本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變 得明顯,或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。


本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變 得明顯和容易理解,其中圖1為本發(fā)明實(shí)施例的配置流程圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例的用戶配置功能界面圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)行邏輯流程圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例的顯示用戶配置信息;圖5為本發(fā)明實(shí)施例的判斷耦合條件方法流程圖;和圖6為本發(fā)明實(shí)施例的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理系統(tǒng)流程圖。
具體實(shí)施例方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例,所述實(shí)施例的示例在附圖中示出,其中自始至終 相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附 圖描述的實(shí)施例是示例性的,僅用于解釋本發(fā)明,而不能解釋為對(duì)本發(fā)明的限制。本發(fā)明所涉及的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng),需要考慮通用性和可配置以 及可擴(kuò)展的問(wèn)題,包括了設(shè)備的參數(shù)、命令、行為等等屬性。為了能夠?qū)Ρ景l(fā)明有更加深刻的認(rèn)識(shí),首先簡(jiǎn)要說(shuō)明耦合的概念耦合是指兩個(gè) 實(shí)體相互依賴于對(duì)方的一個(gè)量度。分為以下幾種非直接耦合兩個(gè)模塊之間沒有直接關(guān)系,它們之間的聯(lián)系完全是通過(guò)主模塊的 控制和調(diào)用來(lái)實(shí)現(xiàn)的。數(shù)據(jù)耦合一個(gè)模塊訪問(wèn)另一個(gè)模塊時(shí),彼此之間是通過(guò)簡(jiǎn)單數(shù)據(jù)參數(shù)(不是控 制參數(shù)、公共數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)或外部變量)來(lái)交換輸入、輸出信息的。標(biāo)記耦合一組模塊通過(guò)參數(shù)表傳遞記錄信息,就是標(biāo)記耦合。這個(gè)記錄是某一數(shù) 據(jù)結(jié)構(gòu)的子結(jié)構(gòu),而不是簡(jiǎn)單變量。控制耦合如果一個(gè)模塊通過(guò)傳送開關(guān)、標(biāo)志、名字等控制信息,明顯地控制選擇 另一模塊的功能,就是控制耦合。外部耦合一組模塊都訪問(wèn)同一全局簡(jiǎn)單變量而不是同一全局?jǐn)?shù)據(jù)結(jié)構(gòu),而且不 是通過(guò)參數(shù)表傳遞該全局變量的信息,則稱之為外部耦合。公共耦合若一組模塊都訪問(wèn)同一個(gè)公共數(shù)據(jù)環(huán)境,則它們之間的耦合就稱為公 共耦合。公共的數(shù)據(jù)環(huán)境可以是全局?jǐn)?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)、共享的通信區(qū)、內(nèi)存的公共覆蓋區(qū)等。內(nèi)容耦合如果發(fā)生下列情形,兩個(gè)模塊之間就發(fā)生了內(nèi)容耦合。(1) 一個(gè)模塊直接訪問(wèn)另一個(gè)模塊的內(nèi)部數(shù)據(jù);(2) 一個(gè)模塊不通過(guò)正常入口轉(zhuǎn)到另一模塊內(nèi)部;(3)兩個(gè)模塊有一部分程序代碼重迭(只可能出現(xiàn)在匯編語(yǔ)言中);(4) 一個(gè)模塊有多個(gè)入口。該面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng)主要是實(shí) 現(xiàn)在一個(gè)仿真設(shè)備內(nèi)部各個(gè)設(shè)備參數(shù)、屬性與行為之間的耦合關(guān)系。前提是基于一個(gè)完整 的設(shè)備的原型庫(kù),我們可以直接調(diào)用這些原型庫(kù)里設(shè)備的所有屬性來(lái)直接使用,在每次使用該子系統(tǒng)的時(shí)候都需要載入相應(yīng)的設(shè)備原型庫(kù),方便用戶的操作。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是在一個(gè) 仿真設(shè)備里,當(dāng)某一個(gè)或者多個(gè)設(shè)備參數(shù)大于或者小于某個(gè)臨界值的時(shí)候,或者該設(shè)備的 狀態(tài)處于某個(gè)階段的時(shí)候,該設(shè)備會(huì)執(zhí)行什么動(dòng)作或者使設(shè)備屬性發(fā)生改變。因此我們采 用了內(nèi)容耦合的一個(gè)模塊的多個(gè)入口方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。對(duì)于設(shè)備的仿真,設(shè)備內(nèi)部的耦合關(guān)系 如何配置以及在運(yùn)行中得以體現(xiàn)是個(gè)比較困難的問(wèn)題。該面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及其子系統(tǒng)是只 針對(duì)仿真設(shè)備的內(nèi)部耦合關(guān)系所使用的,主要運(yùn)用于半導(dǎo)體制造裝備功能仿真平臺(tái)上,有 時(shí)會(huì)需要與其他相關(guān)的子系統(tǒng)以及一個(gè)完整的半導(dǎo)體制造裝備功能仿真平臺(tái)配合使用,考 慮到將來(lái)的開發(fā)和發(fā)展,需要做到通用性和可擴(kuò)展的要求,方便用戶的操作和使用。在本發(fā)明的內(nèi)部關(guān)系耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng)中,首先介紹一下有關(guān)該管理方法 及其子系統(tǒng)的總體實(shí)現(xiàn)情況。而后在總體實(shí)現(xiàn)的基礎(chǔ)之上,分別具體介紹一下已經(jīng)實(shí)現(xiàn)的 各個(gè)部分的具體情況和必要的程序說(shuō)明。總體上,在面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及其子系 統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)過(guò)程中,共分為配置和運(yùn)行兩個(gè)部分。配置部分能夠以界面的方式給用戶提供可 視化的操作,運(yùn)行部分是在配置的基礎(chǔ)上對(duì)配置的內(nèi)容加以邏輯上的實(shí)現(xiàn),用戶可以根據(jù) 自己的配置內(nèi)容,對(duì)反饋回來(lái)的仿真設(shè)備后續(xù)行為進(jìn)行判斷耦合關(guān)系是否正確,所有的耦 合行為的產(chǎn)生都是實(shí)時(shí)發(fā)生,并行處理的,以做到與實(shí)際設(shè)備的盡量吻合。如圖1所示,為 本發(fā)明實(shí)施例的配置部分的流程圖。從圖1中能夠明顯看出根據(jù)用戶的需求來(lái)配置仿真設(shè) 備內(nèi)部行為的耦合關(guān)系。用戶配置界面如圖2所示,為本發(fā)明實(shí)施例的用戶配置功能界面 圖。在用戶配置的過(guò)程中,首先需要選擇從器件庫(kù)中讀取的設(shè)備,根據(jù)圖2可知,在本 發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,選擇了 MFC,如果之前配置過(guò)了 MFC的內(nèi)部行為耦合關(guān)系,則會(huì)在右 邊的表格中顯示出以前的配置信息,如果是從新配置則需要先添加判斷條件,在Property 對(duì)應(yīng)的下拉菜單中選取之前配置的設(shè)備屬性,在Relationship對(duì)應(yīng)的下拉菜單中選取與 后面值的關(guān)系(包括大于、小于、等于、大于等于、小于等于5種類型),然后再Value對(duì)應(yīng) 的文本框中填入與屬性相關(guān)的值。例如當(dāng)壓力大于0.5時(shí),則在Property中選取壓力, Relationship中選取大于,Value中填入0. 5。然后點(diǎn)擊Add按鈕,將條件判斷加入右邊列 表中。因?yàn)榕袛鄺l件可以同時(shí)存在,因此有AND、0R、X0R三種選擇。例如當(dāng)壓力大于0.5或 溫度小于30的時(shí)候,在第一個(gè)條件設(shè)置并Add之后點(diǎn)擊0R,并且在此時(shí)設(shè)置第二個(gè)條件,點(diǎn) 擊Add則完成添加一個(gè)完整的條件。如圖2所示,在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,在添加完一個(gè)判斷條件之后,需要設(shè)置判 斷之后的執(zhí)行命令,在SendSeIfCommand對(duì)應(yīng)的文本框中添加觸發(fā)耦合關(guān)系命令,然后點(diǎn) 擊Add按鈕添加進(jìn)入右邊列表,與上方定義的判斷條件所對(duì)應(yīng)。在右邊的列表中,可以對(duì)添 加的選項(xiàng)進(jìn)行編輯和刪除,配置完成之后點(diǎn)擊OK即可。如果之后需要進(jìn)行編輯和刪除,可 以重復(fù)上述動(dòng)作。在配置完成的基礎(chǔ)上,用戶在運(yùn)行時(shí)就能很清晰明了的知道自己配置的內(nèi)部行為 耦合關(guān)系,運(yùn)行邏輯流程圖如圖3所示,為本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)行邏輯流程圖。,首先在子系 統(tǒng)中,會(huì)對(duì)配置過(guò)的設(shè)備參數(shù)進(jìn)行監(jiān)視,同時(shí)對(duì)該值進(jìn)行判斷是否滿足耦合條件。當(dāng)該設(shè)備 參數(shù)或者屬性的值達(dá)到配置的臨界點(diǎn)時(shí),就滿足了耦合條件,同時(shí)觸發(fā)了耦合關(guān)系命令,將耦合關(guān)系命令以一種消息傳遞的方式傳遞給執(zhí)行動(dòng)作模塊,以執(zhí)行相應(yīng)的設(shè)備行為動(dòng)作來(lái) 滿足用戶的配置要求。由于在實(shí)際設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中,所有的耦合關(guān)系以及耦合之后的執(zhí)行 動(dòng)作都是實(shí)時(shí)并行發(fā)生的,我們?cè)谠O(shè)計(jì)該部分的時(shí)候也考慮了這些問(wèn)題,盡量運(yùn)用多線程 技術(shù)做到了所有的這些操作都是實(shí)時(shí)并行發(fā)生的,最自然的接近實(shí)際設(shè)備的情況。
具體地,對(duì)于整個(gè)面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及 其子系統(tǒng),在配置耦合關(guān)系條件的時(shí)候我們用單個(gè)文本組成規(guī)范的字符串腳本來(lái)實(shí)現(xiàn),同 時(shí)將配置的信息以xml文件的格式保存在一起,方便用戶的查找和讀取。在運(yùn)行判斷耦合 條件時(shí)采用了正則表達(dá)式模式匹配的方法來(lái)滿足要求,滿足耦合條件之后運(yùn)用了 一種消息 傳遞模式來(lái)實(shí)現(xiàn)耦合關(guān)系的觸發(fā)行為。
1,配置內(nèi)部行為耦合關(guān)系由于每個(gè)設(shè)備都有不同的設(shè)備參數(shù)和屬性,每個(gè)設(shè)備參數(shù)和屬性又有不同的臨界 值,同時(shí)每個(gè)設(shè)備的耦合條件也是非常復(fù)雜的,會(huì)交叉包含了很多設(shè)備參數(shù)與屬性,因此, 對(duì)于這樣的問(wèn)題,采用了以單一的文本字符來(lái)組合在一起,形成規(guī)范的字符串腳本,即方便 了用戶的操作和查看,也能夠很好的解析出這些耦合邏輯。根據(jù)對(duì)系統(tǒng)中可能存在的參數(shù)進(jìn)行的需求分析,我們把設(shè)備參數(shù)歸入如下幾類INTEGER :32bit 有符號(hào)整數(shù)DOUBLE 雙精度浮點(diǎn)數(shù)STRING:字符串BOOLEAN 布爾型ENUM 枚舉型在配置這些參數(shù)值的時(shí)候,我們都是將其作為字符串的形式來(lái)保存和解析的。從前面圖2的介紹中可以看到,以具體舉例的方式進(jìn)行說(shuō)明例如當(dāng)pressure大 于100時(shí),我們將pressure作為一個(gè)單一的字符串,大于“>”作為一個(gè)字符串,“100”這樣 的參數(shù)值作為一個(gè)字符串,最后將這些字符串組合在一起變成“pressure > 100”這樣的腳 本。這是單個(gè)耦合條件的配置,又例如當(dāng)pressure小于200,同時(shí)flow大于100時(shí),在配 置完成單個(gè)耦合條件時(shí),使用提供的三種邏輯“AND,OR, X0R”中的“AND”,再對(duì)下一個(gè)耦合 條件進(jìn)行配置,最后將這些字符串組合在一起變成“pressureUOOand flow > 100”這樣的 腳本。當(dāng)耦合條件配置完成后,我們可以添加配合該耦合條件的一個(gè)出發(fā)耦合條件命 令,由該命令去觸發(fā)仿真設(shè)備的執(zhí)行行為,總的來(lái)說(shuō),觸發(fā)耦合條件命令也是一個(gè)字符串。為了方便大量配置信息的歸類和查找,采用了序列化表格的形式來(lái)管理。當(dāng)用戶 配置完成之后覺得有需要修改的地方,可以編輯和刪除這些配置信息,可以重復(fù)的對(duì)這些 配置進(jìn)行操作。如圖4所示,為本發(fā)明實(shí)施例的顯示用戶配置信息。如果選擇一個(gè)配置信 息編輯,則把之前配置過(guò)的信息載入在如圖2的界面之中,由修改之后再保存;如果選擇一 個(gè)配置信息的刪除,則只需要把之前配置過(guò)的信息從如圖4的所示中刪除即可。2,保存的數(shù)據(jù)方法與格式面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及其子系統(tǒng)需要在 本地保存用戶設(shè)定的配置信息,簡(jiǎn)明的、易維護(hù)的配置文件格式有助于簡(jiǎn)化開發(fā)。數(shù)據(jù)格式定義
系統(tǒng)釆用XML文檔來(lái)管理和保存配置數(shù)據(jù),一個(gè)示例Recipe文件如下
權(quán)利要求
一種內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,包括以下步驟從器件庫(kù)中選擇仿真設(shè)備;判讀是否曾配置過(guò)所述仿真設(shè)備;載入曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備的配置信息;對(duì)未曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備進(jìn)行耦合條件配置以得到對(duì)應(yīng)的配置信息;根據(jù)所述對(duì)應(yīng)的配置信息對(duì)所述未曾配置過(guò)的仿真設(shè)備進(jìn)行配置以得到觸發(fā)耦合關(guān)系命令;保存所述配置信息和所述觸發(fā)耦合關(guān)系命令;根據(jù)所述配置信息判斷是否觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令;和根據(jù)所述耦合關(guān)系命令對(duì)觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令的設(shè)備執(zhí)行相應(yīng)的操作。
2.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,對(duì)未曾配置過(guò)的所 述仿真設(shè)備進(jìn)行耦合條件配置還包括配置單個(gè)耦合條件或配置多個(gè)耦合條件。
3.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,所述根據(jù)配置信息 判斷是否觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令,進(jìn)一步包括根據(jù)所述配置信息的值判斷所述設(shè)備的參數(shù)是否滿足所述耦合條件;對(duì)滿足所述耦合條件的設(shè)備以觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令;和將所述耦合關(guān)系命令傳遞給執(zhí)行動(dòng)作模塊,以執(zhí)行相應(yīng)的設(shè)備行為動(dòng)作。
4.如權(quán)利要求3所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,采用多線程執(zhí)行方 法執(zhí)行所有的所述耦合關(guān)系和所述耦合關(guān)系之后的執(zhí)行動(dòng)作。
5.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,所述耦合關(guān)系命令 以一種消息傳遞的方式傳遞給所述執(zhí)行動(dòng)作模塊。
6.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,利用單個(gè)文本組成 規(guī)范的字符串腳本實(shí)現(xiàn)所述配置耦合關(guān)系條件,且以xml文件的格式保存所述配置信息。
7.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,采用序列化表格的 形式對(duì)所述配置信息進(jìn)行歸類和查找。
8.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,采用正則表達(dá)式的 模式匹配方法對(duì)所述耦合關(guān)系進(jìn)行條件判斷。
9.如權(quán)利要求8所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法,其特征在于,所述正則表達(dá)式程 序表示如下string pattern = @" \sand\s|\sor\s|\sxor\s“; foreach(Match m in Regex. Matches(actionscript, pattern))。
10.一種內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理系統(tǒng),其特征在于,包括配置子系統(tǒng),所述配置子系統(tǒng)用于從器件庫(kù)中選擇仿真設(shè)備;判讀是否曾配置過(guò)所述 仿真設(shè)備;載入曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備的配置信息;對(duì)未曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備進(jìn)行 耦合條件配置以得到所述配置信息;對(duì)所述未曾配置過(guò)的仿真設(shè)備進(jìn)行配置以得到觸發(fā)耦 合關(guān)系命令;保存所述配置信息和所述觸發(fā)耦合關(guān)系命令;根據(jù)所述配置信息判斷是否觸 發(fā)所述耦合關(guān)系命令;和執(zhí)行子系統(tǒng),所述執(zhí)行子系統(tǒng)用于對(duì)觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令的設(shè)備執(zhí)行相應(yīng)的操作。
11.如權(quán)利要求10所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理系統(tǒng),其特征在于,所述根據(jù)配置信 息判斷是否觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令,進(jìn)一步包括根據(jù)所述配置信息的值判斷所述設(shè)備的參數(shù)是否滿足所述耦合條件; 對(duì)滿足所述耦合條件的設(shè)備以觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令;和 將所述耦合關(guān)系命令傳遞給所述執(zhí)行子系統(tǒng)。
12.如權(quán)利要求10所述的內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理系統(tǒng),其特征在于,所述耦合關(guān)系命 令以消息傳遞的方式傳遞給所述執(zhí)行子系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明提出了一種內(nèi)部行為耦合關(guān)系管理方法及系統(tǒng)。其中,所述方法包括以下步驟從器件庫(kù)中選擇仿真設(shè)備;判讀是否曾配置過(guò)所述仿真設(shè)備;載入曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備的配置信息;對(duì)未曾配置過(guò)的所述仿真設(shè)備進(jìn)行耦合條件配置以得到所述配置信息;對(duì)所述未曾配置過(guò)的仿真設(shè)備進(jìn)行配置以得到觸發(fā)耦合關(guān)系命令;保存所述配置信息和所述觸發(fā)耦合關(guān)系命令;根據(jù)所述配置信息判斷是否觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令;和對(duì)觸發(fā)所述耦合關(guān)系命令的設(shè)備執(zhí)行相應(yīng)的操作。通過(guò)本發(fā)明能夠靈活配置、刪除、修改、保存仿真設(shè)備的內(nèi)部行為耦合關(guān)系,并且在設(shè)備仿真運(yùn)行時(shí)完全模擬真實(shí)設(shè)備的內(nèi)部行為耦合關(guān)系的功能。
文檔編號(hào)G06F17/50GK101957880SQ20101029193
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月26日
發(fā)明者徐華, 潘晨光, 鄧俊輝, 高士云 申請(qǐng)人:清華大學(xué)
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