專利名稱：基于參考信息的評(píng)價(jià)方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的制作方法
基于參考信息的評(píng)價(jià)方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品
背景技術(shù)：
印刷電路板是在復(fù)雜的工藝過程中制造的。印刷電路板的評(píng)價(jià)過程可以包括將實(shí)
際印刷電路板信息與代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息進(jìn)行比校。該比較會(huì)導(dǎo)致多個(gè)假警報(bào) 和誤檢測(cè)，因?yàn)樵O(shè)計(jì)信息不一定反映出實(shí)際可接受的印刷電路板。 需要提供用于評(píng)價(jià)印刷電路板的有效評(píng)價(jià)過程。

發(fā)明內(nèi)容
—種基于參考信息的評(píng)價(jià)方法，所述方法包括響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè) 計(jì)信息并且響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；以及響應(yīng)于所述 參考信息和代表印刷電路板的實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
—種基于參考信息的評(píng)價(jià)方法，所述方法包括響應(yīng)于包括代表所需印刷電路 板的設(shè)計(jì)信息的第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，包括估計(jì)的印刷電路板信息的第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)；和包括實(shí)際 印刷電路板信息的第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，來(lái)生成參考信息；以及響應(yīng)于參考信息和實(shí)際印刷電路 板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。 —種基于參考信息的評(píng)價(jià)系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，適于存儲(chǔ)代表所需印 刷電路板的設(shè)計(jì)信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果；參考信息生成器，適于響應(yīng) 于設(shè)計(jì)信息并且響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；以及評(píng)價(jià)器， 適于響應(yīng)于參考信息和代表印刷電路板的實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電 路板。 —種基于參考信息的評(píng)價(jià)系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，適于存儲(chǔ)參考信息； 參考信息生成器，適于響應(yīng)于包括代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息的第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，包括 估計(jì)的印刷電路板信息的第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)；和包括實(shí)際印刷電路板信息的第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，來(lái) 生成參考信息；以及評(píng)價(jià)器，適于響應(yīng)于參考信息和實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng) 價(jià)印刷電路板。 —種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)存儲(chǔ)用于執(zhí)行 下述操作的指令響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息并且響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息 的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；以及響應(yīng)于參考信息和代表印刷電路板的實(shí)際印刷電路 板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。 —種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)存儲(chǔ)用于執(zhí)行 下述操作的指令響應(yīng)于其包括代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息的第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，包括 估計(jì)的印刷電路板信息的第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)；和包括實(shí)際印刷電路板信息的第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，來(lái) 生成參考信息；以及響應(yīng)于參考信息和實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路 板。


依據(jù)以下結(jié)合附圖作出的詳細(xì)描述，將更全面地理解并懂得本發(fā)明，在附圖中
圖1示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的處理器和各種數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)； 圖2示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的印刷電路板的所需掃描圖案和將一個(gè)條帶分為 多個(gè)區(qū)域的劃分； 圖3示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)所需區(qū)域與多個(gè)所需對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)； 圖4示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)所需區(qū)域與多個(gè)所需感興趣區(qū)； 圖5示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的估計(jì)的焊盤和估計(jì)的焊接掩模及可接受的容差； 圖6示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)所需感興趣區(qū)與多個(gè)所需不相關(guān)區(qū)； 圖7示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)條帶的總體對(duì)準(zhǔn)； 圖8示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)區(qū)域的對(duì)準(zhǔn)； 圖9示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的參考特征的生成； 圖10示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的閾值與灰度級(jí)信息； 圖11示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的感興趣區(qū)的生成； 圖12示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的參考對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)的生成； 圖13示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的參考感興趣區(qū)的生成和響應(yīng)于鉆孔位置的參考 不相關(guān)區(qū)的生成； 圖14示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的參考感興趣層壓區(qū)的生成； 圖15示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的基于參考信息的評(píng)價(jià)方法；以及 圖16示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的基于參考信息的評(píng)價(jià)方法。
具體實(shí)施例方式
由于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的裝置大部分由本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的電子組件和電路組成，因 此將只在如上所述的、對(duì)于理解并懂得本發(fā)明的基本概念認(rèn)為必要的程度上來(lái)解釋電路細(xì) 節(jié)，以便不使本發(fā)明的教導(dǎo)變得模糊或混亂。 在以下的說(shuō)明書中，將參考本發(fā)明實(shí)施例的具體示例來(lái)描述本發(fā)明。然而顯然，可 以在不脫離如所附權(quán)利要求中闡明的本發(fā)明的廣泛精神與范圍的情況下，對(duì)其做出多種修 改和變化。 已經(jīng)表明，可以通過將實(shí)際印刷電路板(PCB)信息與參考信息進(jìn)行比較來(lái)改進(jìn)對(duì) 其的評(píng)價(jià)，其中，所述參考信息是從PCB設(shè)計(jì)信息以及以前獲得的實(shí)際PCB信息得到的。參 考信息可以定義感興趣區(qū)和不相關(guān)區(qū)，其中，感興趣區(qū)內(nèi)的實(shí)際PCB信息被過濾并與參考 特征進(jìn)行比較，而不相關(guān)區(qū)內(nèi)的實(shí)際PCB信息被忽略。 圖15示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基于參考信息的評(píng)價(jià)方法1500。
方法1500由步驟1510、 1520和1530開始。 步驟1510包括接收代表所需PCB的設(shè)計(jì)信息。可以通過應(yīng)用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì) (CAD)處理來(lái)生成設(shè)計(jì)信息。設(shè)計(jì)信息可以包括與整個(gè)PCB或者與該P(yáng)CB的一部分有關(guān)的信息。 PCB可以包括多個(gè)所需區(qū)域，理論上它們是一樣的-其設(shè)計(jì)信息基本上相同。所需 區(qū)域可以包括多個(gè)所需對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)和多個(gè)感興趣區(qū)。參考圖3中所示的示例，區(qū)域110包括 所需對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)114、115和116。這些所需對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)中只有一部分會(huì)需要對(duì)準(zhǔn)，如由對(duì)準(zhǔn)窗口 H7、118和119所示的，每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)窗口包括所需對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)的一部分。不同的對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)可
7以由不同的材料構(gòu)成，并可以需要不同的掩模。這些掩?？梢远x感興趣區(qū)并且還可以定 義不相關(guān)區(qū)。掩?？梢允翘撗谀＃谏蓞⒖夹畔⒌倪^程中應(yīng)用它，另外或者可替換地，在 PCB的評(píng)價(jià)過程中使用它?？梢蕴幚韰^(qū)域的設(shè)計(jì)信息，以便定義一個(gè)或多個(gè)掩模，例如第一 掩模115'(其包括三個(gè)感興趣區(qū)113)和第二掩模114'(其包括感興趣區(qū)111和112)，如 圖4所示。在對(duì)準(zhǔn)過程期間，可以搜索整個(gè)區(qū)域以尋找對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)，但這不是必須的。例如， 可以僅搜索對(duì)準(zhǔn)窗口來(lái)尋找對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。 步驟1510可以包括接收處理過的設(shè)計(jì)信息或處理設(shè)計(jì)信息。所述處理可以包括 例如對(duì)設(shè)計(jì)信息應(yīng)用形態(tài)(morphological)運(yùn)算，例如腐蝕運(yùn)算、膨脹運(yùn)算、細(xì)化運(yùn)算或開運(yùn)算。 步驟1510可以包括接收或生成包含代表所需PCB的設(shè)計(jì)信息的第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。參 考圖l，第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)標(biāo)記為第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)10。 為了方便起見，可以在多個(gè)PCB的制造過程中更新設(shè)計(jì)信息。這個(gè)更新可以響應(yīng) 于在以前的PCB評(píng)價(jià)過程中發(fā)現(xiàn)的制造缺陷而進(jìn)行。在此情況下，方法1500可以包括接收 或生成一個(gè)以上的設(shè)計(jì)信息數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。例如，參考圖1中所示的示例，第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)40可 以用于存儲(chǔ)更新的設(shè)計(jì)信息。注意，可以以各種方式存儲(chǔ)多于兩個(gè)時(shí)間點(diǎn)上的設(shè)計(jì)信息。
步驟1520包括接收或生成估計(jì)的PCB信息，其估計(jì)被輸入了設(shè)計(jì)信息的制造過程 的結(jié)果。步驟1520可以包括響應(yīng)于代表所需PCB的設(shè)計(jì)信息和至少一個(gè)制造工藝參數(shù)來(lái) 生成估計(jì)的PCB信息。 所述至少一個(gè)制造工藝參數(shù)可以是蝕刻系數(shù)、特征移位、反射系數(shù)或它們的組合。 不同的特征和不同的材料可以具有不同的制造工藝參數(shù)。 蝕刻系數(shù)表示由蝕刻引起的變形_它可以表示在應(yīng)用估計(jì)蝕刻處理來(lái)生成特征
之后，所需特征的大小與估計(jì)特征的大小之間的比。 特征移位參數(shù)可以表示特征與其所需位置的預(yù)期偏差。 反射系數(shù)可以表示期望從被照射特征接收到多少光。反射系數(shù)可以影響從該特征 接收的檢測(cè)信號(hào)的電平。反射系數(shù)取決于材料，并且還會(huì)受到特征的預(yù)期平滑度的影響。
參考圖5中所示的示例-金焊盤可以在不同的位置-例如，在范圍126內(nèi)接觸焊 接掩模。換句話說(shuō)_在金焊盤與焊接掩模之間的邊框可以在不被認(rèn)為是缺陷的情況下，位 于范圍126內(nèi)的任何位置。因此，在范圍126內(nèi)分別接觸焊接掩模121、123和125的金焊 盤120、 122和124被認(rèn)為是可接受的估計(jì)特征。 步驟1520可以包括接收或生成包含估計(jì)的PCB信息的第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。參考圖1， 第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)被標(biāo)記為第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)20。 為了方便起見，在多個(gè)PCB的制造過程中可以更新估計(jì)的PCB信息。所述更新可 以響應(yīng)于在以前的PCB評(píng)價(jià)期間發(fā)現(xiàn)的制造缺陷而進(jìn)行。在此情況下，方法1500可以包括 接收或生成一個(gè)以上的估計(jì)PCB信息數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。例如，參考圖1中示出的示例，第五數(shù)據(jù)結(jié) 構(gòu)50可以用于存儲(chǔ)更新的估計(jì)PCB信息。注意，可以以各種方式存儲(chǔ)多于兩個(gè)時(shí)間點(diǎn)上的 PCB信息。 步驟1530包括接收或生成實(shí)際PCB信息。由光學(xué)檢查系統(tǒng)獲得實(shí)際PCB信息。該 實(shí)際PCB信息可以包括明場(chǎng)信息、暗場(chǎng)信息或其組合。方法1500可由獲得實(shí)際PCB信息的 光學(xué)檢查系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)，但也可由從另一個(gè)系統(tǒng)接收實(shí)際PCB信息的系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。而對(duì)于本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，方法1500可以包括接收一些實(shí)際PCB信息并獲得(生成) 一些實(shí)際 PCB信息。例如，生成明場(chǎng)信息而接收暗場(chǎng)信息。而對(duì)于另一個(gè)示例，生成一部分PCB的實(shí) 際PCB信息，而接收另一部分的實(shí)際PCB信息。而對(duì)于再另一個(gè)示例，生成與由第一材料構(gòu) 成的特征有關(guān)的實(shí)際PCB信息，而接收與由另一材料構(gòu)成的特征有關(guān)的實(shí)際PCB信息。
可以以各種方式獲得實(shí)際PCB信息，例如逐條帶地在光柵圖中掃描PCB。每一個(gè)條 帶可以包括多個(gè)理論上相同的區(qū)域，并且每一個(gè)區(qū)域可以包括一個(gè)或多個(gè)感興趣區(qū)和一個(gè) 或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。參考圖2，借助諸如條帶100(1)...100(10的多個(gè)條帶來(lái)掃描PCB 100， 希望每一個(gè)條帶包括理論上相同的區(qū)域，例如條帶100(1)的區(qū)域H0、120和130。
在與參考特征進(jìn)行任何比較之前，應(yīng)當(dāng)對(duì)準(zhǔn)實(shí)際PCB信息。鑒于感興趣區(qū)與不相 關(guān)區(qū)，對(duì)準(zhǔn)應(yīng)在過濾PCB圖像之前。因此，步驟1530可以包括或者隨后可以是將實(shí)際PCB 信息與預(yù)定坐標(biāo)對(duì)準(zhǔn)，所述預(yù)定坐標(biāo)還與參考信息對(duì)準(zhǔn)。 對(duì)準(zhǔn)可以包括多個(gè)階段，例如(i)在整個(gè)條帶(例如圖7的條帶171)的實(shí)際PCB 信息與由軸170表示的坐標(biāo)系之間的整體對(duì)準(zhǔn)；(ii)在每一個(gè)區(qū)域(例如圖8的區(qū)域181 和180)與由軸170表示的坐標(biāo)系之間的基于區(qū)域的對(duì)準(zhǔn)；(iii)子區(qū)域?qū)?zhǔn)，其中將每個(gè) 區(qū)域的像素組對(duì)準(zhǔn)。區(qū)域?qū)?zhǔn)還可以或者可替換地響應(yīng)于對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)，例如圖6的參考對(duì)準(zhǔn) 目標(biāo)130而進(jìn)行。子區(qū)域?qū)?zhǔn)可以根據(jù)邊緣檢測(cè)從而可以是基于邊緣的對(duì)準(zhǔn)。
方法1500可以包括步驟1530以及步驟1540，或者可替換地包括步驟1540。步驟 1540包括執(zhí)行實(shí)際PCB信息的統(tǒng)計(jì)分析，以提供結(jié)果。另外或者可替換地，步驟1540可以 包括接收該結(jié)果。 統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果可以包括以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB特征。通過應(yīng)用統(tǒng)計(jì)函數(shù)來(lái)生成這 些特征，統(tǒng)計(jì)函數(shù)例如但不限于，平均、加權(quán)平均等。如果步驟1540包括對(duì)實(shí)際PCB信息執(zhí) 行統(tǒng)計(jì)分析以提供結(jié)果，那么步驟1530可以在步驟1540之前。 步驟1510、 1520和1540之后是響應(yīng)于(代表所需PCB)的設(shè)計(jì)信息并響應(yīng)于實(shí)際 PCB信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果而生成參考信息的步驟1550。注意，在可獲得這個(gè)結(jié)果之前(例 如-在獲得實(shí)際PCB之前)；步驟1550可以包括生成或接收初始參考信息。可以響應(yīng)于步 驟1510的執(zhí)行結(jié)果并響應(yīng)于步驟1520的執(zhí)行結(jié)果，或者可替換地響應(yīng)于步驟1520的執(zhí)行 結(jié)果，生成初始參考信息。 如果步驟1550之前是可選的步驟1520，那么步驟1550還包括響應(yīng)于估計(jì)的PCB 信息而生成參考信息。 步驟1540的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果可以與設(shè)計(jì)信息相結(jié)合，以便定義參考特征。例如，這 個(gè)結(jié)合可以有助于檢測(cè)出現(xiàn)在設(shè)計(jì)信息中但沒有出現(xiàn)在被檢查PCB中的遺漏特征。
步驟1550可以包括以下步驟中的至少一個(gè) 步驟1551，生成參考信息，參考信息包括至少一個(gè)感興趣區(qū)、至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)、 至少一個(gè)參考特征和至少一個(gè)參考對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。 步驟1552，響應(yīng)于縮小的所需特征和與所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征的統(tǒng)計(jì)分 析結(jié)果，定義參考特征。步驟1552可以包括在以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB特征所在位置或者縮 小的所需特征所在位置生成參考特征。考慮所需特征可以有助于檢測(cè)遺漏的特征。縮小所 需特征以便補(bǔ)償實(shí)際特征的未對(duì)準(zhǔn)或者移位，使得即使實(shí)際特征略微偏離其所需位置，在 縮小的所需特征與實(shí)際特征之間仍將會(huì)存在重疊。
步驟1553，包括響應(yīng)于在與特定所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征內(nèi)的實(shí)際鉆孔 位置，定義在與該特定所需特征相關(guān)聯(lián)的感興趣區(qū)內(nèi)的不相關(guān)區(qū)。由于表示鉆孔的像素的 灰度級(jí)的波動(dòng)或變化，難以檢測(cè)到鉆孔，所述鉆孔包括空鉆孔、部分填充的鉆孔和滿鉆孔 (full drill)。為了增加評(píng)價(jià)處理的魯棒性，應(yīng)忽略鉆孔。鉆孔的位置可以從其期望的位置 偏離，但通常局限于特定的子區(qū)域?？梢詫⑦@個(gè)子區(qū)域定義為不相關(guān)區(qū)，如圖13所示。子 區(qū)域620包括鉆孔630的可能位置，將整個(gè)子區(qū)域620定義為不相關(guān)區(qū)620。因此，參考感 興趣區(qū)610包括不相關(guān)區(qū)620。 方法1500可以包括響應(yīng)于一個(gè)參考特征而更新另一個(gè)參考特征，尤其當(dāng)這些參 考特征彼此靠近時(shí)。 步驟1554，響應(yīng)于與第二實(shí)際特征相關(guān)聯(lián)的參考特征，定義與第一實(shí)際特征相關(guān) 聯(lián)的參考特征，其中第一實(shí)際特征由第一材料構(gòu)成，第二實(shí)際特征靠近第一實(shí)際特征并由 與第一材料不同的第二材料構(gòu)成。例如，步驟1554可以包括響應(yīng)于與金焊盤相關(guān)聯(lián)的第二 參考特征740，定義與由層壓材料(laminate)構(gòu)成的實(shí)際特征相關(guān)聯(lián)的第一參考特征750。 參考圖14中示出的示例，所需感興趣區(qū)710包括圍繞所需金焊盤730的所需層壓材料特征 720。所需金焊盤730具有矩形形狀，但參考金焊盤740 (在利用以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB金 焊盤信息來(lái)更新這個(gè)參考特征之后)小于所需金焊盤730并具有圓角。因此，響應(yīng)于參考 金焊盤740的邊界，增大參考層壓材料特征750。 步驟1555，定義應(yīng)被認(rèn)為屬于一個(gè)特征的像素的允許灰度級(jí)范圍。步驟1555可以 包括分析以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB特征的像素的灰度級(jí)并定義閾值。所述閾值定義允許灰度 級(jí)范圍的上邊界和下邊界?？梢愿鶕?jù)評(píng)價(jià)過程的期望靈敏度或重復(fù)性來(lái)定義閾值。較大的 范圍更靈敏，但提供較少的重復(fù)性結(jié)果。可以將邊界定義為具有相同灰度級(jí)的灰度級(jí)像素 的數(shù)量的函數(shù)。因此，可以構(gòu)建以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB特征的灰度級(jí)的直方圖，直方圖中出 現(xiàn)的小于預(yù)定閾值的像素將被忽略。定義參考特征的邊界的像素可以具有對(duì)應(yīng)于允許灰度 級(jí)范圍的邊界的灰度級(jí)。 參考圖10中示出的示例-直方圖1002表示以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB特征1146 (位 于感興趣區(qū)1150內(nèi))的每一個(gè)灰度級(jí)值的像素?cái)?shù)。在閾值運(yùn)算(根據(jù)灰度級(jí)像素的數(shù)量) 后，將允許灰度級(jí)范圍1010的下邊界和上邊界定義為1020和1030。這些閾值定義參考特征 1140的邊界1142，其中具有在允許灰度級(jí)范圍IOIO之外的灰度級(jí)的像素(位于區(qū)域1150 中)被認(rèn)為屬于參考特征1140的背景?？梢詾檫@些像素分配0灰度級(jí)。在步驟1560的評(píng) 價(jià)過程中，忽略實(shí)際PCB信息中具有在允許灰度級(jí)范圍IOIO之外的灰度級(jí)的像素。
步驟1555可以包括按照每種材料、每個(gè)特征類型、每個(gè)掩模等來(lái)定義允許灰度級(jí) 范圍。 步驟1556，計(jì)算掩模。每一個(gè)掩模定義至少一個(gè)感興趣區(qū)和至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)。 步驟1556可以包括為由不同材料構(gòu)成的特征定義不同的掩模。 在執(zhí)行步驟1550之后，生成更新的參考信息，并可以將其存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)，例如圖1 的第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)50中。 步驟1550可以包括定義略大于參考特征的感興趣區(qū)。參考圖11中示出的實(shí)例， 感興趣區(qū)440包括參考特征420和背景像素430?？梢砸罁?jù)以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB特征、依 據(jù)所需特征或依據(jù)它們的組合來(lái)獲得參考特征420。
可以多次重復(fù)步驟1510、 1520、 1530、 1540和1550，以便生成更新的參考信息。步
驟1550之后可以是步驟1510，在步驟1510期間鑒于更新的參考信息來(lái)更新設(shè)計(jì)信息。步
驟1550之后可以是步驟1520，在步驟1520期間更新估計(jì)的PCB信息。 步驟1550之后是步驟1560，步驟1560根據(jù)參考信息與代表PCB的實(shí)際PCB信息
之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)PCB?？梢酝ㄟ^將實(shí)際PCB信息與參考信息進(jìn)行比較來(lái)確定這個(gè)關(guān)系。 步驟1560可以包括根據(jù)從一個(gè)或多個(gè)其它PCB獲得的反映實(shí)際PCB信息的參考
信息來(lái)評(píng)價(jià)特定PCB。例如，在步驟1510-1550的特定重復(fù)過程中，在步驟1560期間可以獲
得第x'個(gè)PCB的實(shí)際PCB信息，并處理反映一直到第(x-l)'個(gè)PCB的參考信息。因此，在
步驟1560的下一次重復(fù)期間將使用響應(yīng)于第x'個(gè)實(shí)際PCB的參考信息。 步驟1560可以包括評(píng)價(jià)PCB的一個(gè)或多個(gè)部分、評(píng)價(jià)PCB的一個(gè)或多個(gè)區(qū)域，甚
至評(píng)價(jià)一個(gè)或多個(gè)PCB特征?？梢栽谥圃爝^程分析、產(chǎn)量測(cè)量等中使用該評(píng)價(jià)。 步驟1560可以包括在實(shí)際特征像素與參考特征像素之間進(jìn)行比較，其中實(shí)際特
征像素具有在允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)，參考特征像素具有在允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度
級(jí)。這可以通過過濾具有在允許灰度級(jí)范圍之外的灰度級(jí)的像素來(lái)實(shí)現(xiàn)。 步驟1560可以包括生成與PCB和/或PCB的制造過程有關(guān)的報(bào)告(例如，打印報(bào)
告)，在制造過程中引入變化(例如_改變制造過程的物理屬性)等。 步驟1560之后可以是步驟1510，在步驟1510期間鑒于評(píng)價(jià)結(jié)果來(lái)更新設(shè)計(jì)信息。 步驟1550之后可以是步驟1520，在步驟1520期間鑒于評(píng)價(jià)結(jié)果來(lái)更新估計(jì)的PCB信息。
方法1500可以響應(yīng)于諸如自從最后一次更新以來(lái)方法1500的重復(fù)次數(shù)，或者諸 如檢測(cè)到需要更新的某些制造錯(cuò)誤(或者檢測(cè)到實(shí)際PCB信息的值的預(yù)定變化)之類的預(yù) 定準(zhǔn)則來(lái)更新設(shè)計(jì)信息以及估計(jì)的PCB信息，或者可替換地更新估計(jì)的PCB信息。
返過來(lái)參考圖l，方法1500可以由系統(tǒng)100來(lái)執(zhí)行。系統(tǒng)IOO包括(i)存儲(chǔ)器單 元90，適于存儲(chǔ)代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果； (ii)參考信息生成器70，適于響應(yīng)于設(shè)計(jì)信息并響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析 結(jié)果來(lái)生成參考信息；及(iii)評(píng)價(jià)器80，適于響應(yīng)于參考信息與代表印刷電路板的實(shí)際 印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。 評(píng)價(jià)器80和參考信息生成器70可以是硬件模塊、軟件模塊或其組合。它們可以 由諸如圖1的處理器60的一臺(tái)或多臺(tái)計(jì)算機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn)。 可以將參考信息生成器70配置為執(zhí)行以下操作中的至少一個(gè)或其組合(i)生
成參考信息，參考信息包括至少一個(gè)感興趣區(qū)、至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)、至少一個(gè)參考特征和至 少一個(gè)參考對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)；(ii)響應(yīng)于縮小的所需特征和與所述所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際
特征的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，定義參考特征的形狀；(iii)響應(yīng)于在與特定所需特征相關(guān)聯(lián)的多 個(gè)實(shí)際特征內(nèi)的實(shí)際鉆孔位置，定義在與所述特定所需特征相關(guān)聯(lián)的感興趣區(qū)內(nèi)的不相關(guān) 區(qū)；(iv)響應(yīng)于代表靠近第一實(shí)際特征定位并由不同于第一材料的第二材料構(gòu)成的第二 實(shí)際特征的實(shí)際信息，定義與由所述第一材料構(gòu)成的第一實(shí)際特征相關(guān)聯(lián)的參考特征；(v) 響應(yīng)于由金構(gòu)成的印刷電路板的另一個(gè)特征的感興趣區(qū)的參考，定義由層壓材料構(gòu)成的特 定特征的參考感興趣區(qū)；(vi)定義應(yīng)認(rèn)為是屬于一個(gè)特征的像素的允許灰度級(jí)范圍；所述 定義包括確定從多個(gè)理論上相同的實(shí)際特征獲得的灰度級(jí)信息的閾值；(vii)定義每種材 料的允許灰度級(jí)范圍；(viii)計(jì)算掩模；其中，每一個(gè)掩模定義至少一個(gè)感興趣區(qū)和至少
11一個(gè)不相關(guān)區(qū)；(ix)為由不同材料構(gòu)成的特征定義不同的掩模；(x)響應(yīng)于代表所需印刷 電路板的設(shè)計(jì)信息、至少一個(gè)制造工藝參數(shù)和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成 參考信息；其中，至少一個(gè)制造工藝參數(shù)可以是蝕刻系數(shù)、特征移位和反射系數(shù)；以及(xi) 響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、印刷電路板信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分 析結(jié)果，定義參考信息。 參考圖12中示出的示例，參考信息生成器70可以更新對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)信息，以提供更新 的對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)，例如更新的對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)530、532、533、521和510。所述更新可以響應(yīng)于以統(tǒng)計(jì)方 式生成的PCB對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)和所需對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)而進(jìn)行。通過應(yīng)用諸如方法1500的步驟1550的步 驟來(lái)生成以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。 可以將評(píng)價(jià)器80配置為在具有在允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的實(shí)際特征像素與 具有在允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的參考特征像素之間進(jìn)行比較。 參考圖9中示出的示例，處理器60可以通過以下操作來(lái)生成參考特征221 :(i)接 收多個(gè)理論上相同的特征的實(shí)際PCB信息，希望這些多個(gè)理論上相同的特征位于諸如區(qū)域 201、202、203、204、205、206、207和208的區(qū)域內(nèi)，尤其在這些區(qū)域內(nèi)的感興趣區(qū)內(nèi)，(ii)以 統(tǒng)計(jì)方式處理與每一個(gè)理論上相同的特征相關(guān)的實(shí)際PCB信息，以提供以統(tǒng)計(jì)方式生成的 PCB特征211 (在感興趣區(qū)210內(nèi))，(iii)在以統(tǒng)計(jì)方式生成的PCB特征211與縮小的設(shè)計(jì) 特征213(在感興趣區(qū)212內(nèi))之間執(zhí)行與(AND)運(yùn)算(或者不然應(yīng)用另一種合并運(yùn)算)， 以提供參考特征221 (在感興趣區(qū)220內(nèi))。 圖16示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基于參考信息的評(píng)價(jià)方法1600。
方法1600以步驟1610開始，步驟1610響應(yīng)于(i)第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括代表所 需PCB的設(shè)計(jì)信息，(ii)第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括估計(jì)的PCB ;及(iii)第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括 實(shí)際PCB信息，來(lái)生成參考信息。第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可以存儲(chǔ)實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析 結(jié)果，步驟1610可以包括響應(yīng)于該結(jié)果而生成參考信息。 步驟1610之后可以是步驟1620，步驟1620響應(yīng)于參考信息與代表PCB的實(shí)際PCB 信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)PCB。 步驟1610之后還可以是步驟1630，步驟1630將更新的設(shè)計(jì)信息存儲(chǔ)在第四數(shù)據(jù) 結(jié)構(gòu)中。在此情況下，步驟1610還可以對(duì)第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)做出響應(yīng)。 步驟1610之后還可以是步驟1640，步驟1640將更新的估計(jì)印刷電路板信息存儲(chǔ)
在第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中。在此情況下，步驟1610還可以對(duì)第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)做出響應(yīng)。 回來(lái)參考圖l，方法1600可以由系統(tǒng)100來(lái)執(zhí)行。存儲(chǔ)器單元90可以存儲(chǔ)第一
到第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)10、20、30、40和50。參考信息生成器70適于響應(yīng)于第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)10，
其包括代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)20，其包括估計(jì)的印刷電路板信息；
及第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)30，其包括實(shí)際印刷電路板信息，來(lái)生成參考信息。評(píng)價(jià)器80可以響應(yīng)于
參考信息與實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。 可以將參考信息生成器70配置為響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果來(lái) 生成參考信息。 可以將存儲(chǔ)器單元90配置為將更新的設(shè)計(jì)信息存儲(chǔ)在第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)40中，可以
將參考信息生成器70配置為響應(yīng)于第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)40來(lái)生成參考信息。 可以將存儲(chǔ)器單元90配置為將更新的估計(jì)印刷電路板信息存儲(chǔ)在第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)50中，可以將參考信息生成器70配置為響應(yīng)于第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)50來(lái)生成參考信息。 系統(tǒng)100可以執(zhí)行方法1500和1600的組合。處理器60可以執(zhí)行存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)
可讀介質(zhì)中的指令，如下所示。 可以提供一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。它可以包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)存儲(chǔ)用于執(zhí)行下述操作的指令響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，并響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；及響應(yīng)于參考信息與代表印刷電路板的實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于生成包括至少一個(gè)感興趣區(qū)、至少
一個(gè)不相關(guān)區(qū)、至少一個(gè)參考特征和至少一個(gè)參考對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)的參考信息。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于縮小的所需特征和與所述所
需特征相關(guān)的多個(gè)實(shí)際特征的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，定義參考特征的形狀。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于在與特定所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征內(nèi)的實(shí)際鉆孔位置，定義在與所述特定所需特征相關(guān)聯(lián)的感興趣區(qū)內(nèi)的不相關(guān)區(qū)。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于代表接近第一實(shí)際特征并由不同于第一材料的第二材料構(gòu)成的第二實(shí)際特征的實(shí)際信息，定義與由所述第一材料構(gòu)成的第一實(shí)際特征相關(guān)聯(lián)的參考特征。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于由金構(gòu)成的印刷電路板的另
一個(gè)特征的感興趣區(qū)的參考，定義由層壓材料構(gòu)成的特定特征的參考感興趣區(qū)。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于定義應(yīng)認(rèn)為是屬于一個(gè)特征的像素
的允許灰度級(jí)范圍；其中，所述定義包括確定從多個(gè)理論上相同的實(shí)際特征獲得的灰度級(jí)
信息的閾值。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于定義每種材料的允許灰度級(jí)范圍。
計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于在具有在允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的實(shí)際特征像素與具有在允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的參考特征像素之間進(jìn)行比較。
計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于計(jì)算掩模；其中，每一個(gè)掩模定義至少一個(gè)感興趣區(qū)和至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括46條指令，用于為由不同材料構(gòu)成的特征定義不同的掩模。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、至少一個(gè)制造工藝參數(shù)和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息。
計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括，其中，所述至少一個(gè)制造工藝參數(shù)是從包括蝕刻系數(shù)、特征移位和反射系數(shù)的組中選擇的。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、估計(jì)的印刷電路板信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息。
提供了一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。它包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)存儲(chǔ)用于執(zhí)行下述操作的指令響應(yīng)于第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括估計(jì)的印刷電路板信息；及第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括實(shí)際印刷電路板信息，來(lái)生成參考信息；及響應(yīng)于參考信息與實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果來(lái)生成參考信息。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于將更新的設(shè)計(jì)信息存儲(chǔ)在第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，并用于響應(yīng)于第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)來(lái)生成參考信息。 計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可以包括這樣的指令，其用于將更新的估計(jì)印刷電路板信息存儲(chǔ)在第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，并用于響應(yīng)于第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)來(lái)生成參考信息。 本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離所要求保護(hù)的本發(fā)明的精神與范圍的情況下，易于想到本文所描述內(nèi)容的變化、修改及其它實(shí)現(xiàn)方式。 而且，本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)認(rèn)識(shí)到在上述操作的功能之間的界限僅是示例性的?？梢詫⒍鄠€(gè)操作的功能合并在單個(gè)操作中，和/或?qū)蝹€(gè)操作的功能分布在其它多個(gè)操作中。此外，可替換的實(shí)施例可以包括一個(gè)具體操作的多個(gè)實(shí)例，并且在各種其它實(shí)施例中可以改變操作的順序。 因此，應(yīng)當(dāng)理解，本文所示的架構(gòu)僅僅是示例性的，實(shí)際上可以實(shí)現(xiàn)完成相同功能的許多其它架構(gòu)。理論上，但意義明確的，用以完成相同功能的組件的任何布置都有效地"相關(guān)聯(lián)"，以便完成所需的功能。因此，可以將本文中組合完成具體功能的任意兩個(gè)組件看作是彼此"相關(guān)聯(lián)的"，以便完成所需的功能，而與架構(gòu)或中間的組件無(wú)關(guān)。同樣，可以將如此相關(guān)聯(lián)的任意兩個(gè)組件看作是彼此"操作上連接的"或者"操作上耦合的"，用以完成所需的功能。 然而，其它修改、變化和替換方案也是可能的。因此，應(yīng)將說(shuō)明書和附圖認(rèn)為是示例性的，而不是限制性意義的。 詞語(yǔ)"包括"不排除除了在權(quán)利要求中列出的那些之外，還存在其它元件或步驟。
應(yīng)理解，如此使用的這些術(shù)語(yǔ)在適當(dāng)?shù)沫h(huán)境下是可以互換的，以使得本文所述的本發(fā)明的
實(shí)施例例如能夠在除了本文所示或所述的那些環(huán)境之外的其它情況下進(jìn)行操作。 而且，將本文所用的術(shù)語(yǔ)"一"定義為一個(gè)或多于一個(gè)。此外，不應(yīng)將權(quán)利要求中
使用的引導(dǎo)性短語(yǔ)，例如"至少一個(gè)"和"一個(gè)或多個(gè)"解釋為暗示由不定冠詞"一"引導(dǎo)的
另一個(gè)權(quán)利要求要素將包含如此引導(dǎo)的權(quán)利要求要素的任何特定權(quán)利要求局限于僅包含
一個(gè)這種要素的發(fā)明，即使在同一個(gè)權(quán)利要求包括引導(dǎo)性短語(yǔ)"一個(gè)或多個(gè)"或"至少一個(gè)"
以及諸如"一"之類的不定冠詞的情況下。對(duì)于使用定冠詞的情況也是如此。除非另有說(shuō)
明，諸如"第一"和"第二"的術(shù)語(yǔ)用于在這種術(shù)語(yǔ)所描述的要素之間進(jìn)行任意地區(qū)分。因
此，這些術(shù)語(yǔ)不一定旨在表示這種要素的時(shí)間上的或其它優(yōu)先次序。唯一的事實(shí)是，在相互
不同的權(quán)利要求中描述的某些措施并不表示這些措施的組合不能用于產(chǎn)生良好的效果。
1權(quán)利要求
一種基于參考信息的評(píng)價(jià)方法，所述方法包括響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，并響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；以及響應(yīng)于所述參考信息與代表印刷電路板的實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
2. 如權(quán)利要求l所述的方法，包括生成參考信息，所述參考信息包括至少一個(gè)感興趣 區(qū)、至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)、至少一個(gè)參考特征和至少一個(gè)參考對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。
3. 如權(quán)利要求2所述的方法，包括響應(yīng)于縮小的所需特征和與所述所需特征相關(guān)聯(lián) 的多個(gè)實(shí)際特征的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，定義參考特征的形狀。
4. 如權(quán)利要求2所述的方法，包括響應(yīng)于在與特定所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征 內(nèi)的實(shí)際鉆孔位置，定義在與所述特定所需特征相關(guān)聯(lián)的感興趣區(qū)內(nèi)的不相關(guān)區(qū)。
5. 如權(quán)利要求2所述的方法，包括響應(yīng)于代表接近第一實(shí)際特征定位并由不同于第 一材料的第二材料構(gòu)成的第二實(shí)際特征的實(shí)際信息，定義與由所述第一材料構(gòu)成的第一實(shí) 際特征相關(guān)聯(lián)的參考特征。
6. 如權(quán)利要求2所述的方法，包括響應(yīng)于由金構(gòu)成的印刷電路板的另一個(gè)特征的感 興趣區(qū)的參考，定義由層壓材料構(gòu)成的特定特征的參考感興趣區(qū)。
7. 如權(quán)利要求2所述的方法，包括定義應(yīng)認(rèn)為是屬于一個(gè)特征的像素的允許灰度級(jí) 范圍；其中，所述定義包括確定從多個(gè)理論上相同的實(shí)際特征獲得的灰度級(jí)信息的閾值。
8. 如權(quán)利要求7所述的方法，包括定義每種材料的允許灰度級(jí)范圍。
9. 如權(quán)利要求7所述的方法，包括在具有在所述允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的實(shí)際 特征像素與具有在所述允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的參考特征像素之間進(jìn)行比較。
10. 如權(quán)利要求l所述的方法，包括計(jì)算掩模；其中，每一個(gè)掩模定義至少一個(gè)感興趣 區(qū)和至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)。
11. 如權(quán)利要求IO所述的方法，包括為由不同材料構(gòu)成的特征定義不同的掩模。
12. 如權(quán)利要求1所述的方法，包括響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、至少一 個(gè)制造工藝參數(shù)和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息。
13. 如權(quán)利要求12所述的方法，其中，從包括蝕刻系數(shù)、特征移位和反射系數(shù)的組中選 擇所述至少一個(gè)制造工藝參數(shù)。
14. 如權(quán)利要求1所述的方法，包括響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、估計(jì)的 印刷電路板信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息。
15. —種基于參考信息的評(píng)價(jià)方法，所述方法包括 響應(yīng)于下列數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)來(lái)生成參考信息第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息， 第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括估計(jì)的印刷電路板信息；禾口 第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括實(shí)際印刷電路板信息，以及響應(yīng)于所述參考信息與實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
16. 如權(quán)利要求15所述的方法，包括響應(yīng)于所述實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié) 果來(lái)生成參考信息。
17. 如權(quán)利要求15所述的方法，包括將更新的設(shè)計(jì)信息存儲(chǔ)在第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，其中，所述生成還響應(yīng)于所述第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)而進(jìn)行。
18. 如權(quán)利要求15所述的方法，包括將更新的估計(jì)印刷電路板信息存儲(chǔ)在第五數(shù)據(jù) 結(jié)構(gòu)中，其中，所述生成還響應(yīng)于所述第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)而進(jìn)行。
19. 一種基于參考信息的評(píng)價(jià)系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器單元，適于存儲(chǔ)代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì) 分析結(jié)果；參考信息生成器，適于響應(yīng)于所述設(shè)計(jì)信息并響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；以及評(píng)價(jià)器，適于響應(yīng)于所述參考信息與代表印刷電路板的實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān) 系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
20. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為生成參考信息，所 述參考信息包括至少一個(gè)感興趣區(qū)、至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)、至少一個(gè)參考特征和至少一個(gè)參 考對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。
21. 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于縮小的所 需特征和與所述所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，定義參考特征的形狀。
22. 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于在與特定 所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征內(nèi)的實(shí)際鉆孔位置，定義在與所述特定所需特征相關(guān)聯(lián)的 感興趣區(qū)內(nèi)的不相關(guān)區(qū)。
23. 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于代表接近第一實(shí)際特征定位并由不同于第一材料的第二材料構(gòu)成的第二實(shí)際特征的實(shí)際信息，定義 與由所述第一材料構(gòu)成的第一實(shí)際特征相關(guān)聯(lián)的參考特征。
24. 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于由金構(gòu)成 的印刷電路板的另一個(gè)特征的感興趣區(qū)的參考，定義由層壓材料構(gòu)成的特定特征的參考感 興趣區(qū)。
25. 如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為定義應(yīng)認(rèn)為是屬 于一個(gè)特征的像素的允許灰度級(jí)范圍；其中，所述定義包括確定從多個(gè)理論上相同的實(shí)際 特征獲得的灰度級(jí)信息的閾值。
26. 如權(quán)利要求25所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為定義每種材料的 允許灰度級(jí)范圍。
27. 如權(quán)利要求25所述的系統(tǒng)，其中，所述評(píng)價(jià)器被配置為在具有在所述允許灰度級(jí) 范圍內(nèi)的灰度級(jí)的實(shí)際特征像素與具有在所述允許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的參考特征像 素之間進(jìn)行比較。
28. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為計(jì)算掩模；其中， 每一個(gè)掩模定義至少一個(gè)感關(guān)趣區(qū)和至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)。
29. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為為由不同材料構(gòu) 成的特征定義不同的掩模。
30. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于代表所需 印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、至少一個(gè)制造工藝參數(shù)和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果， 生成參考信息。
31. 如權(quán)利要求30所述的系統(tǒng)，其中，從包括蝕刻系數(shù)、特征移位和反射系數(shù)的組中選 擇所述至少一個(gè)制造工藝參數(shù)。
32. 如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于代表所需 印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、估計(jì)的印刷電路板信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果， 定義參考信息。
33. —種基于參考信息的評(píng)價(jià)系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括 存儲(chǔ)器單元，適于存儲(chǔ)參考信息；參考信息生成器，適于響應(yīng)于下列數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)來(lái)生成參考信息第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，第二數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括估計(jì)的印刷電路板信息；禾口 第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括實(shí)際印刷電路板信息，以及評(píng)價(jià)器，適于響應(yīng)于所述參考信息與實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
34. 如權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于所述實(shí)際 印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果來(lái)生成參考信息。
35. 如權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，所述存儲(chǔ)器單元被配置為將更新的設(shè)計(jì)信息存 儲(chǔ)在第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于所述第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)而生 成參考信息。
36. 如權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，所述存儲(chǔ)器單元被配置為將更新的估計(jì)印刷電 路板信息存儲(chǔ)在第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，其中，所述參考信息生成器被配置為響應(yīng)于所述第五數(shù) 據(jù)結(jié)構(gòu)而生成參考信息。
37. —種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)存儲(chǔ)用于執(zhí)行下 述操作的指令響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，并響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的 統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；以及響應(yīng)于所述參考信息與代表印刷電路板的實(shí)際印刷電 路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
38. 如權(quán)利要求37所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于生成包括至少一 個(gè)感興趣區(qū)、至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)、至少一個(gè)參考特征和至少一個(gè)參考對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)的參考信息。
39. 如權(quán)利要求38所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于縮小的所 需特征和與所述所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，定義參考特征的形狀。
40. 如權(quán)利要求38所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于在與特定 所需特征相關(guān)聯(lián)的多個(gè)實(shí)際特征內(nèi)的實(shí)際鉆孔位置，定義在與所述特定所需特征相關(guān)聯(lián)的 感興趣區(qū)內(nèi)的不相關(guān)區(qū)。
41. 如權(quán)利要求38所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于代表接近第一實(shí)際特征的位置定位并由不同于第一材料的第二材料構(gòu)成的第二實(shí)際特征的實(shí)際信 息，定義與由所述第一材料構(gòu)成的第一實(shí)際特征相關(guān)聯(lián)的參考特征。
42. 如權(quán)利要求38所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于由金構(gòu)成 的印刷電路板的另一個(gè)特征的感興趣區(qū)的參考，定義由層壓材料構(gòu)成的特定特征的參考感 興趣區(qū)。
43. 如權(quán)利要求38所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于定義應(yīng)認(rèn)為是屬于一個(gè)特征的像素的允許灰度級(jí)范圍；其中，所述定義包括確定從多個(gè)理論上相同的實(shí)際 特征獲得的灰度級(jí)信息的閾值。
44. 如權(quán)利要求43所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于定義每種材料的 允許灰度級(jí)范圍。
45. 如權(quán)利要求43所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于在具有在所述允 許灰度級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的實(shí)際特征像素與具有在所述允許灰變級(jí)范圍內(nèi)的灰度級(jí)的參 考特征像素之間進(jìn)行比較。
46. 如權(quán)利要求37所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于計(jì)算掩模；其中，每一個(gè)掩模定義至少一個(gè)感興趣區(qū)和至少一個(gè)不相關(guān)區(qū)。
47. 如權(quán)利要求46所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于為由不同材料構(gòu) 成的特征定義不同的掩模。
48. 如權(quán)利要求37所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于代表所需 印刷電路板的設(shè)計(jì)信息、至少一個(gè)制造工藝參數(shù)和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果， 生成參考信息。
49. 如權(quán)利要求48所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，從包括蝕刻系數(shù)、特征移位和反射系 數(shù)的組中選擇所述至少一個(gè)制造工藝參數(shù)。
50. 如權(quán)利要37所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于代表所需印 刷電路板的設(shè)計(jì)信息、估計(jì)的印刷電路板信息和實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生 成參考信息。
51. —種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)存儲(chǔ)用于執(zhí)行下述 操作的指令響應(yīng)于第一數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，第二數(shù)據(jù)結(jié) 構(gòu)，其包括估計(jì)的印刷電路板信息；和第三數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其包括實(shí)際印刷電路板信息，生成參 考信息；及響應(yīng)于所述參考信息與實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
52. 如權(quán)利要求51所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于響應(yīng)于所述實(shí)際 印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果來(lái)生成參考信息。
53. 如權(quán)利要求51所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于將更新的設(shè)計(jì)信 息存儲(chǔ)在第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，及用于響應(yīng)于所述第四數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)來(lái)生成參考信息。
54. 如權(quán)利要求51所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括這樣的指令，其用于將更新的估計(jì)印 刷電路板信息存儲(chǔ)在第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，以及用于響應(yīng)于所述第五數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)來(lái)生成參考信 息。
全文摘要
一種基于參考信息的評(píng)價(jià)方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，所述方法包括(a)響應(yīng)于代表所需印刷電路板的設(shè)計(jì)信息，并響應(yīng)于實(shí)際印刷電路板信息的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果，生成參考信息；以及(b)響應(yīng)于所述參考信息與代表印刷電路板的實(shí)際印刷電路板信息之間的關(guān)系來(lái)評(píng)價(jià)印刷電路板。
文檔編號(hào)G06F17/50GK101714180SQ200910209699
公開日2010年5月26日 申請(qǐng)日期2009年9月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月23日
發(fā)明者M·雷根斯布格爾, M·霍姆琴科, N·舒爾 申請(qǐng)人:卡姆特有限公司