專利名稱：設(shè)計(jì)一個(gè)探針卡的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種交互式探針卡的設(shè)計(jì)流程。本發(fā)明特別地考慮了使用一個(gè)可通過互聯(lián)網(wǎng)得到的自動(dòng)化程序的用戶化探針卡的設(shè)計(jì)。
背景技術(shù)：
單個(gè)集成電路裝置(芯片)典型地由在一個(gè)半導(dǎo)體晶圓上建立多個(gè)相同的裝置來制造的。通常，這些流程企圖在從該半導(dǎo)體晶圓分割單獨(dú)芯片之前建立多個(gè)完全功能的集成電路裝置。實(shí)際上，該晶圓自身的某些物理缺陷和在該晶圓的流程中的某些缺陷不可避免地導(dǎo)致一些芯片是“好”(完全功能)的，而一些芯片是“壞”(無功能和部分功能)的。通常希望在最后組裝之前能夠辨別出在一個(gè)晶圓上的該多個(gè)芯片中哪些是好的，并且最好是在將該芯片從該晶圓中分割出來之前辨別出來。所以，一個(gè)晶圓“檢測(cè)器”或“探針”可方便地被用來為所述芯片上的類似的多個(gè)壓接式接續(xù)焊盤(接合焊盤)制造多個(gè)離散的壓接式接續(xù)。如此，該半導(dǎo)體芯片可在從該晶圓分隔出來之前被測(cè)試和實(shí)施。一個(gè)傳統(tǒng)的晶圓檢測(cè)器元件是“探針卡”。該探針卡具有多個(gè)用來連接到該半導(dǎo)體芯片的所述相應(yīng)焊盤以便測(cè)試的探針元件。
傳統(tǒng)上，制造探針卡的設(shè)計(jì)階段必定涉及客戶和探針卡制造商之間的重要的、并且經(jīng)常是廣泛的、費(fèi)時(shí)的和直接的通信，例如對(duì)達(dá)到預(yù)期的設(shè)計(jì)規(guī)則、實(shí)施和裝配限制來說，相互交流是必不可少的，而達(dá)到預(yù)期的設(shè)計(jì)規(guī)則、實(shí)施和裝配限制對(duì)探針卡被賦予最終形式來說必不可少的。雖然，一個(gè)探針卡制造工程師在一個(gè)給定的時(shí)間內(nèi)可收到幾個(gè)工作指令，但是在給工程師提供某一詳盡的客戶設(shè)計(jì)信息值之前，一個(gè)特殊的探針卡的實(shí)際設(shè)計(jì)不可能開始的。最好在所有設(shè)計(jì)規(guī)則都得到客戶的確認(rèn)之前不開始實(shí)際的設(shè)計(jì)。接下來，工程師必須研制出一個(gè)滿足這些規(guī)則的設(shè)計(jì)，并再次與客戶確認(rèn)該設(shè)計(jì)的可接受性。
由于互聯(lián)網(wǎng)使得探針卡制造商與他們的客戶之間的通信更加容易，因而互聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn)潛在地加速了設(shè)計(jì)過程。尤其是當(dāng)前探針卡制造商建立的網(wǎng)站使客戶能夠通過互聯(lián)網(wǎng)發(fā)送和確認(rèn)他們的設(shè)計(jì)規(guī)則。盡管這樣，工程師仍然必須物理上設(shè)計(jì)每一探針卡，并等待相應(yīng)的客戶認(rèn)可每一個(gè)設(shè)計(jì)，才能開始制造探針卡。為了改進(jìn)這個(gè)程序，本發(fā)明提供一種在線工具使客戶能夠設(shè)計(jì)他們自己的探針卡。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明滿足了加快當(dāng)前探針卡設(shè)計(jì)程序的需要。尤其是在客戶輸入他們的探針卡設(shè)計(jì)規(guī)則、接收用來實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)的全部設(shè)計(jì)規(guī)則和接收確認(rèn)文件時(shí)提供了一個(gè)交互過程。每一組設(shè)計(jì)規(guī)則的集體可行性由自動(dòng)化計(jì)算機(jī)系統(tǒng)確定并傳送到客戶。如果可行，另一軟件使預(yù)定客戶能夠根據(jù)他們相應(yīng)的設(shè)計(jì)規(guī)則來建立確認(rèn)包。這些確認(rèn)包進(jìn)一步包括通常用來描述最終設(shè)計(jì)的圖形文件和確認(rèn)文件例如確認(rèn)晶圓接合焊盤的數(shù)據(jù)的文件。需要時(shí)，確認(rèn)包可由客戶檢查和修改。該過程反復(fù)地進(jìn)行，直到客戶對(duì)最終的設(shè)計(jì)滿足為止，此時(shí)該設(shè)計(jì)規(guī)則和確認(rèn)包被傳送到探針卡制造設(shè)計(jì)工程師以便制造該探針卡。
在另一實(shí)施例中，本發(fā)明提供一種探針卡模擬，在該模擬中，預(yù)定客戶可以檢查所建議的設(shè)計(jì)的信號(hào)完整性和確定合適的“最壞情況”信號(hào)響應(yīng)或退耦行為。在模擬過程中，除檢驗(yàn)信號(hào)響應(yīng)和退耦行為外，在另一實(shí)施例中，其他設(shè)計(jì)因素和參數(shù)可被模擬，例如功能正確性、延時(shí)正確性、全球和本地信號(hào)畸變(在特殊的組中或者在所有信號(hào)之間)、串?dāng)_分析(延時(shí)、插入或者其他現(xiàn)象)、電源完整性和抖動(dòng)效應(yīng)等。
在另一個(gè)實(shí)施例中，提供了探針卡性能的交互模擬。探針卡性能的數(shù)據(jù)被并入到一個(gè)整體的模擬演習(xí)中去，該整體模擬演習(xí)不僅包括該探針卡，還包括被測(cè)設(shè)備(或DUT)上的數(shù)據(jù)以及自動(dòng)測(cè)試設(shè)備上的數(shù)據(jù)。
通過考慮下面詳細(xì)描述的較佳實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會(huì)對(duì)設(shè)計(jì)一個(gè)探針卡的原理和系統(tǒng)有一個(gè)更全面的理解，并且也將對(duì)附加的優(yōu)點(diǎn)和目標(biāo)有所認(rèn)識(shí)。參考附圖，其中該附圖在下文中有簡(jiǎn)短的描述。


圖1A是用于晶圓測(cè)試的晶圓探測(cè)儀器的示意截面圖；
圖1B是圖1A所示晶圓探測(cè)儀器沿箭頭1B所示方向的透視俯視圖；圖2是設(shè)計(jì)一個(gè)探針卡的傳統(tǒng)程序的流程圖；圖3是本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例方框圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的設(shè)計(jì)一個(gè)探針卡的程序的流程圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的產(chǎn)生一個(gè)設(shè)計(jì)確認(rèn)包的步驟的流程圖；以及圖6是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的產(chǎn)生一個(gè)探針卡模擬的步驟的流程圖；具體實(shí)施方式
本發(fā)明滿足了建立用戶化探針卡的規(guī)格和設(shè)計(jì)規(guī)則、確認(rèn)設(shè)計(jì)的正確性以及用于制造的最后文件的確認(rèn)包對(duì)可訪問的互聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)的需要。特別地，該系統(tǒng)允許客戶交互地設(shè)計(jì)和校驗(yàn)探針卡，其中包括通過模擬，因而減少了探針卡訂購(gòu)程序的時(shí)間。在下文的詳細(xì)描述中，在一個(gè)或多個(gè)附圖中出現(xiàn)的相同的附圖標(biāo)記用來描述相同的單元。
圖1A是用于晶圓測(cè)試的晶圓探測(cè)儀器的示意截面圖。一個(gè)晶圓32包括多個(gè)安裝在一個(gè)硅片夾30上的半導(dǎo)體裝置或芯片(沒有單獨(dú)示出)。大量接合焊盤34例如幾百個(gè)相同的接合焊盤，形成在每一個(gè)芯片的上表面上。分別與每一個(gè)接合焊盤34相對(duì)應(yīng)的探針26被設(shè)置并固定到一個(gè)探針保持板22上，并直接安置在該晶圓32的上方。圖1B是所述探針的布置示意俯視圖，是圖1A所示晶圓探測(cè)儀器沿箭頭1B所示方向的透視俯視圖。該探針保持板22被固定在一個(gè)板保持構(gòu)件20中，并進(jìn)一步包括多個(gè)導(dǎo)電圖案24，這些導(dǎo)電圖案是電氣連接到每一個(gè)相應(yīng)探針26。這些導(dǎo)電圖案還電氣連接到一個(gè)分別位于晶圓測(cè)試頭10上的彈簧針陣列12。
圖2示出了用于設(shè)計(jì)探針卡的傳統(tǒng)程序的流程圖。當(dāng)一個(gè)探針卡制造公司從客戶那里接收到的一個(gè)特殊探針卡的大體設(shè)計(jì)規(guī)則時(shí)，這個(gè)程序就從步驟100開始。這些設(shè)計(jì)規(guī)則被傳送到工程師，其中這些設(shè)計(jì)規(guī)則在步驟110被測(cè)定。如果在步驟120時(shí)工程師對(duì)這些規(guī)則有疑問的話，在步驟125中聯(lián)系客戶，并在步驟110重新評(píng)定該設(shè)計(jì)規(guī)則；如果沒有疑問，工程師在步驟130產(chǎn)生探針卡的初步設(shè)計(jì)。這個(gè)初步設(shè)計(jì)在步驟140時(shí)被送到客戶，此時(shí)該初步設(shè)計(jì)將在步驟150被認(rèn)可，或者將再在步驟155中進(jìn)行進(jìn)一步的通信。如果客戶在步驟150時(shí)認(rèn)可該設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)在接下來的步驟160中制造；否則，客戶需要在步驟155對(duì)設(shè)計(jì)修改作詳細(xì)的說明，并且該修改后的設(shè)計(jì)被送到步驟110進(jìn)行重新的評(píng)定?？梢姡谝粋€(gè)設(shè)計(jì)最后定下來之前，探針卡制造商和客戶之間要有大量的相互交流。
圖3是本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例的方框圖。特別地，一個(gè)預(yù)定的客戶210通過互聯(lián)網(wǎng)200連接到一個(gè)探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220。該客戶210包含某些形式的具有適合在互聯(lián)網(wǎng)上通信的瀏覽應(yīng)用程序的計(jì)算裝置，例如個(gè)人計(jì)算機(jī)、便攜型計(jì)算機(jī)、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、蜂窩式電話等。該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220進(jìn)一步包括一個(gè)直接連接到一個(gè)HTML(超文本鏈接標(biāo)示語(yǔ)言)文件數(shù)據(jù)庫(kù)224和一個(gè)應(yīng)用處理器226的web服務(wù)器222。通過該應(yīng)用處理器226也連接到該web服務(wù)器222的是一個(gè)客戶信息數(shù)據(jù)庫(kù)228，還可以是該客戶210做出的歷史設(shè)計(jì)、某一客戶特殊的設(shè)計(jì)歷史或參數(shù)以及一個(gè)設(shè)計(jì)約束條件數(shù)據(jù)庫(kù)230。該設(shè)計(jì)約束條件數(shù)據(jù)庫(kù)230包含設(shè)計(jì)規(guī)則數(shù)據(jù)庫(kù)232、歷史設(shè)計(jì)234(例如該范圍不包括用戶化探針卡購(gòu)買方的保密資料)、制造/設(shè)計(jì)的實(shí)踐和服務(wù)商236(例如將導(dǎo)致一個(gè)更有效率的設(shè)計(jì)或一個(gè)更容易及高效的人造探針卡的產(chǎn)生的設(shè)計(jì)參數(shù)或規(guī)則，和將影響電子部件的選擇的聲稱相關(guān)的空間和其他機(jī)械的約束)以及設(shè)備信息238(例如特殊的測(cè)試機(jī)器的參數(shù)和約束條件)。進(jìn)一步的解釋，該實(shí)踐和制造數(shù)據(jù)庫(kù)236可包括一個(gè)指南，該指南建議客戶210利用設(shè)計(jì)容易的因素例如改進(jìn)型彈簧分配、DUT擾亂、LGA(矩柵陣列)分配基底設(shè)計(jì)和連線表等。實(shí)踐和制造數(shù)據(jù)庫(kù)236還可提供建議的設(shè)計(jì)修改，該建議設(shè)計(jì)修改可使該設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單化并使其更便宜(例如更少的PCB層、更少人工制造路線設(shè)計(jì)、更少的SXF層)或者更顯著地加速設(shè)計(jì)周期(例如提供該設(shè)計(jì)的主要部件的重復(fù)利用、例如PCB板或模塊)。該web服務(wù)器222處理從網(wǎng)站220來和到網(wǎng)站220去的通信，并通過互聯(lián)網(wǎng)200以HTML文件的形式將數(shù)據(jù)傳送到客戶210。該應(yīng)用處理器226提供某一數(shù)據(jù)處理應(yīng)用程序和與該網(wǎng)站服務(wù)器222的通信。
通過該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220，客戶210可建立密碼保護(hù)的帳戶，該密碼保護(hù)的帳戶可被用于進(jìn)入一個(gè)在該應(yīng)用處理器226上執(zhí)行的以便設(shè)計(jì)和校驗(yàn)用戶化探針卡的自動(dòng)應(yīng)用程序。然后，這個(gè)設(shè)計(jì)的確認(rèn)文件由該應(yīng)用處理器226自動(dòng)產(chǎn)生，并輸入到該客戶信息數(shù)據(jù)庫(kù)228中去?，F(xiàn)有的設(shè)計(jì)自動(dòng)應(yīng)用程序可被加入到數(shù)據(jù)庫(kù)224的HTML文件中去，以幫助產(chǎn)生確認(rèn)數(shù)據(jù)，該確認(rèn)數(shù)據(jù)實(shí)際上是以確認(rèn)為目的而產(chǎn)生的實(shí)際的設(shè)計(jì)。然后，工程師接收到這些設(shè)計(jì)文件，并在制造之前認(rèn)可該設(shè)計(jì)文件。雖然圖3只示出單個(gè)客戶210，但是可以預(yù)想許多個(gè)獨(dú)立的客戶可以以類似的方式與該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220進(jìn)行通信。
圖4是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的設(shè)計(jì)探針卡的自動(dòng)程序的流程圖。一個(gè)預(yù)定客戶210通過該探針卡網(wǎng)站220從步驟300開始該進(jìn)程。如果在步驟302時(shí)該預(yù)定客戶210具有一個(gè)現(xiàn)有的在線帳戶(在一個(gè)較佳實(shí)施例中，它是該客戶信息數(shù)據(jù)庫(kù)228中的一部分)，這個(gè)帳戶在步驟308中被記錄；否則該預(yù)定客戶210必須先在步驟304中注冊(cè)一個(gè)帳戶，并在在步驟308存儲(chǔ)該帳戶之前在步驟306中收到帳戶確認(rèn)。應(yīng)注意的是該注冊(cè)程序中的部分可包括輸入帳單、發(fā)貨信息以及類似信息，這些信息是用于以后對(duì)客戶帳戶進(jìn)行收費(fèi)的。
一旦帳戶被接受，該客戶210在步驟310中被要求選出一組預(yù)先確定的包含在反復(fù)的設(shè)計(jì)中重復(fù)使用的規(guī)格的探針卡模板。這些模板中的規(guī)格包括檢測(cè)器模型、檢測(cè)器的物理結(jié)構(gòu)、電子元件的位置標(biāo)準(zhǔn)、制造規(guī)則的標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)形象圖形等，以便裝上該探針卡。如果在步驟312中沒有得到想要的模板，客戶210在步驟314中被要求通過探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220交互地完成這些信息。然后，在步驟316中，該客戶建議的模板規(guī)格的變更的可行性將以自動(dòng)的方式被應(yīng)用程序校驗(yàn)。這個(gè)最初的校驗(yàn)可通過將該模板規(guī)格的建議變更視具體情況而定而以與已知的數(shù)據(jù)庫(kù)或圖表、已認(rèn)可的設(shè)計(jì)作比較來完成或代替地該建議模板順序地受到自動(dòng)或模擬測(cè)試來完成。如果在步驟316中測(cè)定的該模板不被接受，該程序返回到步驟310，在該步驟客戶被請(qǐng)求對(duì)該模板進(jìn)行進(jìn)一步的變更或設(shè)計(jì)更改。還要在設(shè)計(jì)規(guī)則程序庫(kù)232和設(shè)計(jì)實(shí)踐程序庫(kù)236中測(cè)定，以便促進(jìn)最后規(guī)格的形成。反之，如果該模板被接受，接下來，在步驟318中，客戶210被請(qǐng)求開始描述他們的特殊晶圓32的更詳細(xì)的規(guī)格例如接合焊盤34的方向、晶圓32的尺寸和信號(hào)的特征，以將他們的特殊的晶圓32描述成在線客戶信息的形式?？深A(yù)期該模板將是客戶特有的。被接受的、甚至被建議的為特殊的客戶而對(duì)模板作出的變更也被存儲(chǔ)在該客戶資料數(shù)據(jù)庫(kù)228中。
接下來是步驟320，該客戶210利用一系列的下拉式菜單選出所需的探針卡規(guī)格，其中包括探針卡的尺寸、彈簧針12的方向和探針26的數(shù)目。注意，該彈簧針12的方向最好卡在并固定在該模板中；一旦在該模板中彈簧墊被最優(yōu)地分配，只有在特殊情況下才需要轉(zhuǎn)動(dòng)該彈簧墊。在步驟322中，客戶210確認(rèn)通過該探針卡限定檢測(cè)器和該芯片之間的連接的“檢測(cè)通道分配”。表示一個(gè)芯片的連接的包括已在該探針卡模板中限定的標(biāo)準(zhǔn)化元件的示意圖被反饋。一旦該單個(gè)芯片的清晰度被接受，需要時(shí)客戶210既可手工地從一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化元件庫(kù)中編輯這個(gè)示意圖以包括另外元件，也可允許該應(yīng)用程序自動(dòng)產(chǎn)生這些另外的元件。如果需要特殊元件，客戶可詳細(xì)列出這些新元件的賣主、零件號(hào)碼和規(guī)格。應(yīng)理解，下拉式菜單的數(shù)目不限于上述的三個(gè)，它可以是設(shè)計(jì)元件的數(shù)目的任何一個(gè)。為每一個(gè)設(shè)計(jì)進(jìn)程(或設(shè)計(jì)因素)和該探針卡的機(jī)械元件例如加強(qiáng)板、內(nèi)插板、固定夾、區(qū)域部署和電子元件生成一個(gè)模板，其中它們之中的每一個(gè)是單獨(dú)地被認(rèn)可的，然后集合起來作為一個(gè)完整的設(shè)計(jì)被認(rèn)可的。
應(yīng)理解，客戶210可在所述進(jìn)程中每一個(gè)所述的步驟中交互地接收到確認(rèn)信息。正如所述，這個(gè)信息也可包括以幫助產(chǎn)生確認(rèn)數(shù)據(jù)的設(shè)計(jì)自動(dòng)應(yīng)用程序。例如為了確認(rèn)焊盤的位置、名稱和方向，而自動(dòng)產(chǎn)生了接合焊盤34的示意圖。一旦被確認(rèn)，該程序可自動(dòng)產(chǎn)生一個(gè)基于預(yù)先確定的布線規(guī)則的線路圖。如果該線路圖可以在預(yù)先確定的規(guī)則下產(chǎn)生的話，該線路圖顯示給客戶210，以校驗(yàn)該探針元件觸頭的位置和該相對(duì)的焊盤的位置之間的匹配以及信號(hào)的類型。否則，將通知該客戶210，并給予該客戶進(jìn)一步修改該探針卡規(guī)則和重復(fù)該線路圖產(chǎn)生的過程的機(jī)會(huì)。此時(shí)，該客戶會(huì)被提示進(jìn)入下一個(gè)步驟。類似的程序被用于其他方向信息以應(yīng)用于檢測(cè)器，該方向信息包括陣列線路圖、與晶圓槽相對(duì)的陣列方向和晶圓槽方向。為了簡(jiǎn)明起見，圖4沒有示出這些單獨(dú)的校驗(yàn)步驟，而由步驟318、320和322相應(yīng)的部分代替。應(yīng)注意，該探針卡的設(shè)計(jì)不必限于探測(cè)晶圓上的相同的芯片。更合適地，該探針卡設(shè)計(jì)可以是探測(cè)一個(gè)單個(gè)晶圓上的許多不同的芯片的。
進(jìn)一步的解釋，該模板選擇過程可更明確地包括許多子模板例如(1)一個(gè)顯示該探針布線可能性、單個(gè)被測(cè)設(shè)備(DUT)和多個(gè)被測(cè)設(shè)備的探針布線應(yīng)用程序；(2)一個(gè)選擇模塊和實(shí)現(xiàn)網(wǎng)表的空間轉(zhuǎn)換應(yīng)用程序；(3)一個(gè)將包括例如層數(shù)、DUT分配和路由效率的PCB應(yīng)用程序。客戶特殊的模板將被儲(chǔ)存在用戶匯總目錄228中，與普通的模板的處理不同，任何客戶都可通過網(wǎng)站220的普通模板數(shù)據(jù)庫(kù)而得到這些普通的模板。該可行性/客戶校驗(yàn)步驟318至324可使該客戶能夠提供準(zhǔn)確的設(shè)計(jì)規(guī)則，并在制造商將大量的時(shí)間和資金投入該設(shè)計(jì)進(jìn)程之前確認(rèn)該設(shè)計(jì)的可行性，因而減小了必要的設(shè)計(jì)校正和制造商的設(shè)計(jì)錯(cuò)誤的可能。
一旦完成，在步驟324中，該客戶的信息形式被用于產(chǎn)生一個(gè)設(shè)計(jì)確認(rèn)包。包括一個(gè)圖形文件、確認(rèn)文件和一個(gè)核對(duì)清單文件的所述確認(rèn)包被客戶在步驟330中重新檢查。如果客戶210在步驟328時(shí)認(rèn)可該設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)將被工程師在步驟330中重新檢查。還應(yīng)認(rèn)識(shí)到，該重新檢查步驟330可被省略和/或被用于接收認(rèn)可信息的自動(dòng)系統(tǒng)比較所代替，因而進(jìn)一步減少了該設(shè)計(jì)中工程師的花費(fèi)的時(shí)間和設(shè)備以及減少了認(rèn)可程序。如果該客戶210不認(rèn)可該設(shè)計(jì)，將返回到步驟318，該步驟提供用于修改和認(rèn)可的客戶信息形式的預(yù)成型方案。如果在步驟332中得到探針卡制造工程師(或系統(tǒng))的認(rèn)可，合同信息的確認(rèn)將在步驟336中完成。如果沒有校驗(yàn)的話，該客戶210在步驟334時(shí)被告知，并且返回到步驟318，其中客戶信息形式的預(yù)成型方案中需要修改的地方被高亮地顯示出來。如果合同信息(例如定價(jià)、時(shí)限、交貨限制和運(yùn)輸設(shè)備等)在步驟336中得到確認(rèn)，該設(shè)計(jì)將被傳送到步驟342中以便制造。實(shí)際上，該制造可能需要進(jìn)一步和另外的設(shè)計(jì)步驟例如模塊、PCB版面設(shè)計(jì)和連線表。接下來的圖4為一個(gè)用戶探針卡設(shè)計(jì)和一個(gè)該設(shè)計(jì)的產(chǎn)品合同產(chǎn)生可行性分析和確認(rèn)。相反地，如果該合同信息沒有在步驟336中被確認(rèn)的話，將在步驟338中告知該客戶210，并要求客戶在步驟340中再訪問該信息。在步驟340收到新的信息后，合同信息再經(jīng)過步驟336中的校驗(yàn)程序。
應(yīng)理解，客戶210可以隨時(shí)停止該探針卡設(shè)計(jì)期和隨時(shí)重新進(jìn)入。在該客戶210完成該程序之前，該設(shè)計(jì)都被當(dāng)作“在進(jìn)行中”，在變化發(fā)生時(shí)不需要修正控制。一旦客戶210“完成”該設(shè)計(jì)時(shí)，該設(shè)計(jì)被置于修正控制中，并且該設(shè)計(jì)的任何改變此后都被記錄下來并且儲(chǔ)存在該客戶信息數(shù)據(jù)庫(kù)228中。應(yīng)理解，該客戶可在不與探針卡制造應(yīng)用工程師通信或溝通的情況下，完成整個(gè)探針卡的設(shè)計(jì)程序。當(dāng)該客戶210希望與應(yīng)用工程師通信時(shí)，客戶也可具有引導(dǎo)一個(gè)與該應(yīng)用工程師的在線交互式會(huì)議的選擇權(quán)，其中客戶210可在與工程師通過電話通話的同時(shí)通過網(wǎng)站220檢查該設(shè)計(jì)。然后，該應(yīng)用工程師可以檢查該探針卡設(shè)計(jì)程序的狀況和確定該程序中那些步驟已被完成。
圖5是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例產(chǎn)生一個(gè)設(shè)計(jì)確認(rèn)包的步驟的流程圖?？蛻?10通過在步驟400中從該探針卡設(shè)計(jì)系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)224中取回模板文件而開始該進(jìn)程。此時(shí)，該模板文件最好是已被認(rèn)可的設(shè)計(jì)?？蛻?10通過在步驟405打開一個(gè)印刷電路板(PCB)圖形文件并在步驟410確認(rèn)該適當(dāng)?shù)膹椈舍?2的方向的來繼續(xù)該進(jìn)程。在步驟415，該P(yáng)CB被標(biāo)記上與特殊PCB設(shè)計(jì)相關(guān)的信息，其中包括客戶的設(shè)計(jì)名稱和晶圓圖的名稱。一旦該P(yáng)CB被標(biāo)記。步驟420將產(chǎn)生一個(gè)探針布線文件。然后，在步驟425中，該探針卡設(shè)計(jì)系統(tǒng)220中的一個(gè)內(nèi)含功能為該特殊的設(shè)計(jì)確定探針陣列26的適當(dāng)?shù)男?。?yīng)理解，步驟420和425也可與步驟405、410和415同時(shí)進(jìn)行。在步驟430中，該程序以該探針布線被復(fù)制到該P(yáng)CB圖形文件上來繼續(xù)著。步驟435接著為該設(shè)計(jì)標(biāo)記相關(guān)的機(jī)械信息例如該P(yáng)CB板的直徑、接合焊盤34的尺寸和探針陣列26的方向。然后，在步驟440，這個(gè)圖形文件被保存到一個(gè)直接放置在該探針卡設(shè)計(jì)系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)224中的確認(rèn)包中。
在步驟445，該系統(tǒng)進(jìn)行普通的檢查以確認(rèn)該圖文文件與客戶提供的信息一致。然后，在步驟450中，從該探針卡設(shè)計(jì)系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)224輸出接合焊盤34的信息，并在步驟455中用該信息為該特殊設(shè)計(jì)產(chǎn)生該確認(rèn)文件。應(yīng)注意，與每一單獨(dú)的接合焊盤34的特性相關(guān)的信息也被包含在該確認(rèn)文件中。特別是，該確認(rèn)文件包括與該晶圓32相關(guān)的每一單獨(dú)接合焊盤34的位置(例如用xy坐標(biāo)系來表示)和被探測(cè)的信號(hào)的類型。在步驟460中，與客戶提供的信息相一致的接合焊盤34的數(shù)據(jù)被確認(rèn)。在確認(rèn)其保真度后，然后在步驟465中，該確認(rèn)文件和與其相應(yīng)的圖形文件一起被保存在該探針卡設(shè)計(jì)系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)224的一個(gè)確認(rèn)包目錄中。在步驟470中，一個(gè)清單文件被加入到該確認(rèn)包目錄中，其中，在步驟475時(shí)，該清單文件與已產(chǎn)生的圖形和確認(rèn)文件被壓縮在一起。在這些文件被壓縮后，該確認(rèn)包在步驟480中被完成，并使客戶能夠得到該確認(rèn)包。在該進(jìn)程的中間點(diǎn)例如引導(dǎo)脫機(jī)分析時(shí)，用戶可以取回并檢查該確認(rèn)文件。也可使用傳統(tǒng)的技術(shù)對(duì)該確認(rèn)文件進(jìn)行加密，以對(duì)客戶的設(shè)計(jì)保密。
應(yīng)理解，上述的進(jìn)程是很可能高度交互進(jìn)程的概括?？蛇M(jìn)一步理解，該進(jìn)程很可能在設(shè)計(jì)階段中出現(xiàn)允許客戶210根據(jù)該具有當(dāng)前探針卡結(jié)構(gòu)方法的設(shè)計(jì)用不同的接合焊盤34布線圖作試驗(yàn)。因此，該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220僅允許客戶210繼續(xù)進(jìn)行符合這樣的方法的設(shè)計(jì)。
在一個(gè)較佳實(shí)施例中，該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220還可被用于交互地設(shè)計(jì)一個(gè)產(chǎn)生一個(gè)最佳測(cè)試互連系統(tǒng)的物理和電氣設(shè)計(jì)。特別地，本發(fā)明將允許客戶210檢查一個(gè)建議設(shè)計(jì)的信號(hào)完整性以及確定一個(gè)適當(dāng)?shù)摹白顗那闆r”信號(hào)響應(yīng)(也就是系統(tǒng)對(duì)單獨(dú)信號(hào)的極值的響應(yīng))或者退耦行為(也就是系統(tǒng)對(duì)各種同時(shí)工作的信號(hào)的響應(yīng)，例如在WC-BC環(huán)境、材料和制造過程狀況下)。圖6是一個(gè)提供整體系統(tǒng)模型的探針卡模擬步驟的流程圖。客戶210在步驟500中通過該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220開始該步驟，并在步驟505中記錄在系統(tǒng)中。在步驟510中，客戶210通過從客戶信息數(shù)據(jù)庫(kù)228打開期望的探針卡設(shè)計(jì)文件來繼續(xù)該進(jìn)程。為了建立一個(gè)整體系統(tǒng)模擬，與客戶用來測(cè)試該探針卡的所期望的測(cè)試設(shè)備相關(guān)的規(guī)格在步驟515中被輸入。
在步驟520中，客戶210決定是否進(jìn)行一個(gè)自動(dòng)模擬或一個(gè)基于特殊規(guī)則的模擬。在自動(dòng)模擬中，對(duì)各種信號(hào)特性和探針卡布線的響應(yīng)由該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220自動(dòng)地確定。如果客戶210在步驟520時(shí)選擇了自動(dòng)模擬，該自動(dòng)模擬將在步驟530中運(yùn)行。反之，客戶210在步驟525中輸入期望的模擬規(guī)則，并在步驟530中運(yùn)行該用戶化模擬。在一個(gè)較佳實(shí)施例中，客戶210能夠從該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220中大量的各種自動(dòng)模擬中進(jìn)行選擇。例如，客戶210可選擇執(zhí)行一個(gè)模仿新設(shè)計(jì)的探針卡在只提供電壓時(shí)系統(tǒng)的響應(yīng)的模擬，或者客戶可選擇執(zhí)行一個(gè)更高級(jí)別的其中多個(gè)邏輯信號(hào)都具有一個(gè)特殊的類型(也就是高或低)的模擬。在一個(gè)較佳實(shí)施例中還可得到客戶210希望確定該系統(tǒng)對(duì)特殊信號(hào)的響應(yīng)的客戶化模擬。反映這些模擬結(jié)果中任何一個(gè)的數(shù)據(jù)在步驟535時(shí)被客戶接收到，并在步驟540中被分析。根據(jù)該探針卡所期望的設(shè)計(jì)規(guī)則，客戶210可重復(fù)這個(gè)進(jìn)程以便在步驟545中運(yùn)行另一個(gè)模擬或在步驟550完全停止該模擬。當(dāng)許多模擬被運(yùn)行時(shí)，示范性的電氣模擬可被用于確定功能的正確性、延時(shí)的正確性、全球和本地信號(hào)的畸變(例如在特殊的組中或在所有信號(hào)之間)、串?dāng)_(例如延時(shí)、感應(yīng)等)分析、電源完整性以及抖動(dòng)效應(yīng)。
上述的設(shè)備模擬可通過各種方式來完成。例如，晶體管模型(也就是描述電特性的模型)或探針卡性能的其他相關(guān)數(shù)據(jù)被輸出到客戶210以便包含在一個(gè)包括模型用的設(shè)備和將用于測(cè)試該設(shè)備的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備系統(tǒng)的整體的模擬演習(xí)中。交替地，數(shù)據(jù)可直接從客戶210輸出到該探針卡設(shè)計(jì)網(wǎng)站220。進(jìn)一步舉例，一個(gè)探針卡模擬模型可包含在一個(gè)模擬引擎中，該模擬引擎可被送到客戶210。這將使客戶能夠用矢量來“引導(dǎo)”這個(gè)模型并且從模式中產(chǎn)生響應(yīng)，該響應(yīng)可被分析。終止數(shù)據(jù)或硬件加密狗可作為該模型的一部分以限制該模擬或應(yīng)用。在包括專有信息的該數(shù)據(jù)要求額外的保密的情況下，設(shè)計(jì)模擬可通過該客戶210與該探針卡制造商之間的單獨(dú)聯(lián)接來進(jìn)行。通過這種方式，該測(cè)試過程的一個(gè)包括該探針卡互相連接的系統(tǒng)效果的完整模擬可被建立以用來校驗(yàn)該整個(gè)設(shè)計(jì)、并預(yù)測(cè)該探針卡集成到一個(gè)特殊的測(cè)試系統(tǒng)中的影響和遵守一組已給定的設(shè)計(jì)規(guī)則。
在另一個(gè)實(shí)施例中，該模擬可通過互聯(lián)網(wǎng)現(xiàn)場(chǎng)地進(jìn)行。該探針卡模型將儲(chǔ)存在該探針卡制造商的服務(wù)器(探針卡數(shù)據(jù)網(wǎng)站)220上，并且該模擬文件和該預(yù)期的響應(yīng)被客戶210傳送到服務(wù)器220。一旦完成該模擬，該模擬的結(jié)果就被傳送到客戶210。通過一個(gè)安全的渠道例如加密以及其他渠道來完成這些通信。
通過對(duì)設(shè)計(jì)探針卡的方法和系統(tǒng)的較佳實(shí)施例的描述，所描述的系統(tǒng)所具有的某些優(yōu)點(diǎn)對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的。同時(shí)還可以認(rèn)識(shí)到，在本發(fā)明的范圍和精神之內(nèi)可作出各種的改進(jìn)、修改和變更的實(shí)施例。本發(fā)明通過權(quán)利要求書進(jìn)一步限定。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)計(jì)探針卡的自動(dòng)化系統(tǒng)，包括一個(gè)連接到網(wǎng)絡(luò)并適于通過網(wǎng)絡(luò)從預(yù)定的客戶那里接收設(shè)計(jì)規(guī)則的服務(wù)器；一個(gè)可在所述服務(wù)器上操作的應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序提供以下功能提供一個(gè)供預(yù)定的客戶使用的圖形界面，以便該客戶能夠輸入限定晶圓規(guī)格的信息和探針卡設(shè)計(jì)的規(guī)則；從所述預(yù)定客戶接收所述的信息；從所述信息產(chǎn)生一個(gè)描述所建議的探針卡設(shè)計(jì)的確認(rèn)包；以及與所述預(yù)定客戶關(guān)于所述建議的探針卡設(shè)計(jì)的可行性進(jìn)行的通信。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述圖形界面進(jìn)一步包括至少一個(gè)網(wǎng)頁(yè)。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述應(yīng)用程序進(jìn)一步提供從所述預(yù)定客戶那里接收購(gòu)貨單的功能，以便制造所述建議的探針卡設(shè)計(jì)。
4.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述的應(yīng)用程序進(jìn)一步提供確認(rèn)所述建議的探針卡設(shè)計(jì)的信號(hào)的整體性的功能。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述產(chǎn)生確認(rèn)包的功能進(jìn)一步包括產(chǎn)生所述建議探針卡設(shè)計(jì)的圖形。
6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述的通信功能進(jìn)一步包括將所述信息的建議修改通知所述預(yù)定客戶。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述通信功能進(jìn)一步包括將所述確認(rèn)包傳送到所述預(yù)定客戶。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述應(yīng)用程序進(jìn)一步提供確定所述建議探針卡設(shè)計(jì)的可行性的功能。
9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述接收購(gòu)貨單的功能進(jìn)一步包括給所述預(yù)定客戶對(duì)所述購(gòu)貨單開帳單的功能。
10.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述確認(rèn)功能進(jìn)一步包括對(duì)所述建議探針卡設(shè)計(jì)的運(yùn)行模擬的功能。
11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中所述確認(rèn)功能進(jìn)一步包括對(duì)所述建議探針卡設(shè)計(jì)執(zhí)行的自動(dòng)化模擬的功能。
12.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中所述確認(rèn)功能進(jìn)一步包括執(zhí)行一個(gè)基于特殊要求的模擬的功能，該特殊要求是由所述預(yù)定客戶設(shè)計(jì)的。
13.一種設(shè)計(jì)探針卡的自動(dòng)化方法，包括提供一種供預(yù)定客戶使用的圖形界面，以便該客戶能夠輸入限定晶圓規(guī)格的信息和探針卡設(shè)計(jì)規(guī)則；從所述預(yù)定客戶那里接收所述信息；從所述信息產(chǎn)生一個(gè)描述一個(gè)建議探針卡設(shè)計(jì)的確認(rèn)包；以及與所述預(yù)定客戶關(guān)于所述建議的探針卡設(shè)計(jì)的可行性進(jìn)行通信。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中提供一個(gè)圖形界面的所述步驟進(jìn)一步包括傳送至少一個(gè)網(wǎng)頁(yè)到一個(gè)由用戶操作的瀏覽應(yīng)用程序中。
15.如權(quán)利要求13所述的方法，進(jìn)一步包括從所述預(yù)定客戶那里接收購(gòu)貨單以便制造所述建議探針卡設(shè)計(jì)的步驟。
16.如權(quán)利要求13所述的方法，進(jìn)一步包括確認(rèn)所述建議探針卡設(shè)計(jì)的信號(hào)完整性的步驟。
17.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述產(chǎn)生確認(rèn)包的步驟進(jìn)一步包括產(chǎn)生所述建議探針卡設(shè)計(jì)的圖形的步驟。
18.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述通信步驟進(jìn)一步包括將對(duì)所述信息的建議修改通知所述預(yù)定客戶的步驟。
19.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述通信步驟進(jìn)一步包括將所述確認(rèn)包傳送到所述預(yù)定客戶的步驟。
20.如權(quán)利要求13所述的方法，進(jìn)一步包括確定所述建議探針卡設(shè)計(jì)的可行性的步驟。
21.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述接收購(gòu)貨單的步驟進(jìn)一步包括為所述預(yù)定客戶對(duì)所述購(gòu)貨單開帳單的步驟。
22.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述確認(rèn)步驟進(jìn)一步包括對(duì)所述建議探針卡設(shè)計(jì)的運(yùn)行模擬的步驟。
23.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述確認(rèn)步驟進(jìn)一步包括執(zhí)行一個(gè)所述建議探針卡設(shè)計(jì)的自動(dòng)化模擬的步驟。
24.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述確認(rèn)步驟進(jìn)一步包括執(zhí)行一個(gè)基于特殊規(guī)則的模擬的步驟，該特殊要求是由所述預(yù)定客戶設(shè)計(jì)的。
全文摘要
提供一種從由預(yù)定客戶通過互聯(lián)網(wǎng)提供的數(shù)據(jù)來設(shè)計(jì)探針卡的方法和系統(tǒng)。將預(yù)定客戶提供的設(shè)計(jì)規(guī)則輸入該系統(tǒng)，并編入到一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)中去。由一個(gè)自動(dòng)的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)來確定每一組設(shè)計(jì)規(guī)則的集體可行性，并傳遞給該預(yù)定客戶。如果可行，另外一個(gè)軟件允許該預(yù)定客戶根據(jù)他們?cè)O(shè)計(jì)規(guī)則來建立確認(rèn)包。這些確認(rèn)包進(jìn)一步由通常用來描述最終設(shè)計(jì)的圖形文件和確定晶圓接合焊盤數(shù)據(jù)的確認(rèn)文件組成。在該客戶認(rèn)可后，確認(rèn)包被檢查并轉(zhuǎn)送到應(yīng)用工程師。并提供探針卡性能的交互模擬。探針卡性能的數(shù)據(jù)被并入到一個(gè)整體的模擬演習(xí)，該整體模擬演習(xí)不僅包括該探針卡，還包括在試驗(yàn)中的裝置和晶圓上的數(shù)據(jù)，以及自動(dòng)測(cè)試設(shè)備上的數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)G06F17/50GK1555490SQ02818092
公開日2004年12月15日 申請(qǐng)日期2002年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月17日
發(fā)明者B·N·埃爾德瑞基, M·W·勃瑞德繆爾, S·格瑞夫, Y·帕恩特, B N 埃爾德瑞基, 勃瑞德繆爾, 魈, 鴟 申請(qǐng)人:佛姆費(fèi)克托公司