用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法及裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法及裝置，該方法包括：確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)；判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)；在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制；在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判斷時(shí)間間隔限制是否為最大時(shí)間間隔限制；在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)；以及根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理。通過本發(fā)明，解決了具有時(shí)間間隔限制的制造流程中派貨準(zhǔn)確性低的問題。
【專利說明】
用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法及裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明設(shè)及產(chǎn)品制造領(lǐng)域，具體而言，設(shè)及一種用于具有時(shí)間間隔限制的制造流 程處理方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 在產(chǎn)品制造工藝中，為了制造出高質(zhì)量的產(chǎn)品，某些制造工序之間有嚴(yán)格的時(shí)間 間隔要求，當(dāng)某一工序完成后，一定要在特定時(shí)間內(nèi)完成另一工序，上述時(shí)間間隔要求即時(shí) 間間隔限制，例如，在晶圓制造工藝中，為了嚴(yán)格管控時(shí)間間隔限制，會(huì)在時(shí)間間隔限制區(qū) 間開始的站點(diǎn)之前設(shè)定一個(gè)虛擬站點(diǎn)（虛擬工藝步驟）作為緩沖站點(diǎn)，隨著制造流程越來 越先進(jìn)，時(shí)間間隔限制的要求也越來越嚴(yán)。如表1所示，工藝步驟2光刻完成后一定要在72 小時(shí)內(nèi)完成工藝步驟8蝕刻，蝕刻完成后24小時(shí)必須完成工藝步驟10光阻去除，為了嚴(yán)格 滿足運(yùn)種時(shí)間要求，操作員在處理工藝步驟1和工藝步驟7的時(shí)候，要了解工藝步驟7的產(chǎn) 能和工藝步驟2到工藝步驟7的在制品狀況，W及工藝步驟10的產(chǎn)能和工藝步驟7到工藝 步驟10的在制品狀況，在確信工藝步驟7的產(chǎn)能在72小時(shí)之內(nèi)能完成工藝步驟2到工藝 步驟7之間的在制品，W及工藝步驟10的產(chǎn)能在24小時(shí)之內(nèi)能完成工藝步驟7到工藝步 驟10之間的在制品后，操作員在生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)中手動(dòng)派工（Manual Dispatch)工藝步 驟1的虛擬站點(diǎn)，當(dāng)產(chǎn)品到達(dá)工藝步驟7時(shí)，手動(dòng)派工工藝步驟7的虛擬站點(diǎn)，對(duì)于運(yùn)種時(shí) 間間隔限制1的結(jié)束站點(diǎn)同時(shí)又是時(shí)間間隔限制2的開始站點(diǎn)的情況，稱之為連環(huán)時(shí)間間 隔限制，其中，上述在制品是指處于制造流程中的產(chǎn)品。
[0003] 表1晶圓制造流程表
[0004] 陽0化]

[0006] 并不是每個(gè)操作員都能及時(shí)的做出正確判斷，導(dǎo)致產(chǎn)品生產(chǎn)周期（cycle time)變 長(zhǎng)，同時(shí)虛擬站點(diǎn)的手動(dòng)派工也帶來一定程度的誤操作風(fēng)險(xiǎn)，通常在整個(gè)晶圓制造流程中， 還有很多運(yùn)樣的虛擬站點(diǎn)，總體而言大約12%的站點(diǎn)移動(dòng)量是虛擬站點(diǎn)移動(dòng)。W上面的例 子，當(dāng)工藝步驟10由于某種不可預(yù)知原因（突然停機(jī)或工程師臨時(shí)借機(jī)等）產(chǎn)能不能保證 在24小時(shí)內(nèi)完成工藝步驟7到工藝步驟10之間的在制品，顯然運(yùn)時(shí)工藝步驟7應(yīng)該停止 向下派貨，但是又不能無限制停下來，因?yàn)樗€處在時(shí)間間隔限制UQT1)的區(qū)間內(nèi)，此時(shí)， 工藝步驟7需不需要停止派貨，工藝步驟2到工藝步驟6需不需要放慢下來，甚至工藝步 驟1要不要停止派貨（例如，工藝步驟10會(huì)無限期停線時(shí)，顯然工藝步驟1應(yīng)當(dāng)會(huì)停止派 貨），其中，上述的派貨是指將在制品派送到下一個(gè)站點(diǎn)進(jìn)行處理?？傮w而言，技術(shù)越先進(jìn)的 產(chǎn)品，連環(huán)時(shí)間間隔限制越多，40/45納米的晶圓產(chǎn)品生產(chǎn)流程中有40%的站點(diǎn)處于連環(huán) 時(shí)間間隔限制中，操作人員來判斷時(shí)往往不能做到及時(shí)正確。在現(xiàn)在的300毫米的晶圓廠 中，已經(jīng)在使用實(shí)時(shí)派工巧eal Time Dispatch,簡(jiǎn)稱為RTD)，實(shí)時(shí)派工可W根據(jù)事先定義 好的規(guī)則給出派貨結(jié)果，操作人員僅需要依據(jù)該系統(tǒng)推薦的產(chǎn)品順序生產(chǎn)產(chǎn)品即可，通過 合理的設(shè)定RTD規(guī)則可W實(shí)現(xiàn)虛擬站點(diǎn)的自動(dòng)跳過，調(diào)整產(chǎn)品優(yōu)先級(jí)（lot priority),運(yùn) 樣總體的生產(chǎn)產(chǎn)品效率便會(huì)大大提高。目前工廠管控虛擬站點(diǎn)W及時(shí)間間隔限制區(qū)間內(nèi)的 派貨方法存在如下問題：
[0007] 1.當(dāng)前工廠基于經(jīng)驗(yàn)根據(jù)后續(xù)時(shí)間間隔限制站點(diǎn)在制品水位的方式來管控之前 的虛擬站點(diǎn)的派工，但運(yùn)種方法的在處理連環(huán)時(shí)間間隔限制時(shí)，由于生產(chǎn)流程跨度大，需要 耗費(fèi)大量的手動(dòng)派貨，W及大量的溝通時(shí)間，出現(xiàn)異常狀況不能及時(shí)反應(yīng)，其中，在制品水 位是指在制品的數(shù)量。
[0008] 2.當(dāng)機(jī)臺(tái)產(chǎn)能由于停機(jī)或者借機(jī)出現(xiàn)產(chǎn)能變小時(shí)，當(dāng)前工廠基于經(jīng)驗(yàn)根據(jù)在制品 水位來通知前站產(chǎn)品的速度W避免超出時(shí)間間隔限制，無法做到及時(shí)反應(yīng)，也往往由于緊 張過度導(dǎo)致機(jī)臺(tái)空置，或者由于過于樂觀導(dǎo)致超出時(shí)間間隔限制。
[0009] 3.當(dāng)前實(shí)時(shí)派工的派貨考慮到了產(chǎn)品的剩余時(shí)間間隔（Remain Q Time,簡(jiǎn)稱為 RQT)時(shí)間的長(zhǎng)短來派貨，對(duì)于剩余時(shí)間間隔比較緊急的產(chǎn)品會(huì)優(yōu)先派貨，但是運(yùn)種過于簡(jiǎn) 單，無法針對(duì)產(chǎn)品剩余時(shí)間間隔的大小與產(chǎn)品真正到達(dá)時(shí)間間隔限制結(jié)束站點(diǎn)時(shí)的時(shí)間W 及各站點(diǎn)機(jī)臺(tái)的負(fù)載和狀態(tài)做出判斷。
[0010] 針對(duì)相關(guān)技術(shù)中具有時(shí)間間隔限制的制造流程中派貨準(zhǔn)確性低的問題，目前尚未 提出有效的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法及 裝置，W解決相關(guān)技術(shù)中具有時(shí)間間隔限制的制造流程中派貨準(zhǔn)確性低的問題。
[0012] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種用于具有時(shí)間間隔限制 的制造流程處理方法。
[0013] 根據(jù)本發(fā)明的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法包括：確定預(yù)設(shè)流程中 第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，第一對(duì)象是處于預(yù)設(shè)流程中的對(duì)象；判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn) 是否為虛擬站點(diǎn)；在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷第一對(duì)象所到達(dá)的 站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制；在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判斷 時(shí)間間隔限制是否為最大時(shí)間間隔限制；在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)， 計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)，其中，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)用于確定第一對(duì)象的優(yōu)先 級(jí)和確定是否跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)；W及根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處 理。
[0014] 進(jìn)一步地，在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)之前，該方法還包括：計(jì)算第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值，其中，路徑標(biāo)記用于表示第 一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)是否均存在能夠運(yùn)行的機(jī) 臺(tái)，當(dāng)路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每 一個(gè)站點(diǎn)均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)路徑標(biāo)記的值不為第一值時(shí)，第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn) 至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中至少有一個(gè)站點(diǎn)不存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)；W及判斷第一對(duì)象 的路徑標(biāo)記的值是否為第一值，其中，在判斷出第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，計(jì)算 第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)。
[0015] 進(jìn)一步地，在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)包括：計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，得到 第一時(shí)間；計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔，得到 第二時(shí)間；獲取預(yù)設(shè)安全系數(shù)；W及根據(jù)第一時(shí)間、第二時(shí)間和預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定第一對(duì) 象的緊急程度等級(jí)。
[0016] 進(jìn)一步地，計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期， 得到第一時(shí)間包括：計(jì)算剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間，其中，剩余站點(diǎn)為第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到 時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)之間的所有站點(diǎn)和時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)；計(jì)算剩余站點(diǎn)的等 待時(shí)間；W及由剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間和剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間相加得到第一時(shí)間。
[0017] 進(jìn)一步地，計(jì)算剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間包括：獲取剩余站點(diǎn)在歷史第一預(yù)設(shè)天數(shù)的 生產(chǎn)時(shí)間；W及根據(jù)剩余站點(diǎn)在歷史第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間計(jì)算剩余站點(diǎn)生產(chǎn)時(shí)間。
[0018] 進(jìn)一步地，計(jì)算剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間包括：計(jì)算剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的 等待時(shí)間；計(jì)算第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間，其中，第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間基于第一對(duì) 象和機(jī)臺(tái)的狀態(tài)進(jìn)行計(jì)算；W及由剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間和第一對(duì)象的 下一次處理時(shí)間計(jì)算剩余站點(diǎn)等待時(shí)間。
[0019] 進(jìn)一步地，根據(jù)第一時(shí)間、第二時(shí)間和預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定第一對(duì)象的緊急程度等 級(jí)包括：計(jì)算第一時(shí)間和第二時(shí)間的比值，得到第一比值；將第一比值與預(yù)設(shè)安全系數(shù)相 乘，得到第二比值；獲取預(yù)設(shè)的多個(gè)緊急程度區(qū)間，其中，緊急程度區(qū)間與第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)一一對(duì)應(yīng)；W及根據(jù)第二比值所處的緊急程度區(qū)間確定第一對(duì)象的緊急程度等 級(jí)。
[0020] 進(jìn)一步地，根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理包括：判斷第一對(duì)象的緊 急程度等級(jí)是否大于第一預(yù)設(shè)等級(jí)值；W及在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于第一預(yù) 設(shè)等級(jí)值時(shí)，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，其中，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是指將第一對(duì) 象派送至第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)的后續(xù)的站點(diǎn)中。
[0021] 進(jìn)一步地，在根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理之后，該方法還包括：判 斷第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值；如果判斷出第一對(duì)象的緊急程度等 級(jí)大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值，則保持第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)不變；W及如果判斷出第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)不大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值，則提高第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)。
[0022] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用于具有時(shí)間間隔限制 的制造流程處理裝置。
[0023] 根據(jù)本發(fā)明的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置包括：確定單元，用于 確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，第一對(duì)象是處于預(yù)設(shè)流程中的對(duì)象；第一判斷單 元，用于判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)；第二判斷單元，用于在判斷出第一對(duì) 象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制；第Ξ 判斷單元，用于在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判斷時(shí)間間隔限制 是否為最大時(shí)間間隔限制；第一計(jì)算單元，用于在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限 制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)，其中，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)用于確定第一對(duì)象的 優(yōu)先級(jí)和確定是否跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)；W及處理單元，用于根據(jù)第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)進(jìn)行流程處理。
[0024] 進(jìn)一步地，該裝置還包括：第二計(jì)算單元，用于計(jì)算第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值，其 中，路徑標(biāo)記用于表示第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)是 否均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間 隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)路徑標(biāo)記的值不為第一值時(shí)， 第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中至少有一個(gè)站點(diǎn)不存在能夠運(yùn)行的 機(jī)臺(tái)；W及第四判斷單元，用于判斷第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值是否為第一值，其中，在判斷 出第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)。
[00巧]進(jìn)一步地，第一計(jì)算單元包括：第一計(jì)算模塊，用于計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到 時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，得到第一時(shí)間；第二計(jì)算模塊，用于計(jì)算第一對(duì)象所 到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔，得到第二時(shí)間；獲取模塊，用于獲 取預(yù)設(shè)安全系數(shù)；W及確定模塊，用于根據(jù)第一時(shí)間、第二時(shí)間和預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定第一對(duì) 象的緊急程度等級(jí)。
[00%] 進(jìn)一步地，處理單元包括：第一判斷模塊，用于判斷第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否 大于第一預(yù)設(shè)等級(jí)值；W及跳過模塊，用于在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于第一預(yù) 設(shè)等級(jí)值時(shí)，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，其中，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是指將第一對(duì) 象派送至第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)的后續(xù)的站點(diǎn)中。
[0027] 進(jìn)一步地，該裝置還包括：第五判斷單元，用于判斷第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否 大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值；保持單元，用于在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于第二預(yù)設(shè)等 級(jí)值時(shí)，保持第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)不變；W及提高單元，用于在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等 級(jí)不大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值時(shí)，提高第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)。
[0028] 通過本發(fā)明，采用根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理，即根據(jù)第一對(duì)象 的緊急程度等級(jí)來確定是否向下派貨，解決了相關(guān)技術(shù)中具有時(shí)間間隔限制的制造流程中 派貨準(zhǔn)確性低的問題，進(jìn)而達(dá)到了提高具有時(shí)間間隔限制的制造流程中派貨準(zhǔn)確性效果。
【附圖說明】
[0029] 構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí) 施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：
[0030] 圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法的流程 圖；
[0031] 圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法的 流程圖；
[0032] 圖3是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法的 流程圖；W及
[0033] 圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置的示意 圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034] 需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可W相 互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0035] 為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本申請(qǐng)方案，下面將結(jié)合本申請(qǐng)實(shí)施例中的 附圖，對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是 本申請(qǐng)一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒旧暾?qǐng)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù) 人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范 圍。
[0036] 需要說明的是，本申請(qǐng)的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語"第一"、"第 二"等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解運(yùn)樣使 用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可W互換，W便運(yùn)里描述的本申請(qǐng)的實(shí)施例。此外，術(shù)語"包括"和 "具有及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元 的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有 清楚地列出的或?qū)τ谶\(yùn)些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。
[0037] 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，提供了一種用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，圖1 是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法的流程圖。
[0038] 如圖1所示，該方法包括如下的步驟S102至步驟S112 :
[0039] 步驟S102 :確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，第一對(duì)象是處于預(yù)設(shè)流程中 的對(duì)象。
[0040] 預(yù)設(shè)流程可W是任意具有時(shí)間間隔限制的制造流程，例如，晶圓制造流程，通常， 完整生產(chǎn)一種產(chǎn)品通常包含多個(gè)工序，該多個(gè)工序共同組成該產(chǎn)品的制造流程。站點(diǎn)是指 預(yù)設(shè)流程中的工序或是步驟，例如，晶圓制造流程中包括表面清洗、初次氧化、熱處理、離子 注入等工序，其中，每個(gè)工序都可W稱為站點(diǎn)。第一對(duì)象是處于預(yù)設(shè)流程中的對(duì)象，例如，處 于制造流程中待處理的產(chǎn)品，簡(jiǎn)稱為在制品，在產(chǎn)品制造流程中，在制品依次經(jīng)過多個(gè)站點(diǎn) 的加工處理才能成為最終的成品。W下本發(fā)明實(shí)施例W第一對(duì)象為在制品為例進(jìn)行說明。
[0041] 步驟S104 :判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)。
[0042] 虛擬站點(diǎn)為預(yù)設(shè)流程中的緩沖站點(diǎn)，對(duì)預(yù)設(shè)流程中的對(duì)象并沒有實(shí)際的處理過 程，僅用于管控預(yù)設(shè)流程中的時(shí)間間隔限制。制造執(zhí)行系統(tǒng)（Manufac化ring Execution System,簡(jiǎn)稱為ME巧可W為企業(yè)提供包括制造數(shù)據(jù)管理、計(jì)劃排程管理、生產(chǎn)調(diào)度管理等 管理模塊，在制造執(zhí)行系統(tǒng)中配置有各個(gè)站點(diǎn)的信息，例如，站點(diǎn)的類型、機(jī)臺(tái)的數(shù)量等，通 過獲取制造執(zhí)行系統(tǒng)中的站點(diǎn)配置信息可W判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)。
[0043] 步驟S106 :在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷第一對(duì)象所到達(dá) 的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制。
[0044] 在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，獲取第一對(duì)象的相關(guān)信息，第一 對(duì)象的相關(guān)信息包含時(shí)間間隔限制的時(shí)間長(zhǎng)度、時(shí)間間隔限制的開始站點(diǎn)、時(shí)間間隔限制 的結(jié)束站點(diǎn)、時(shí)間間隔限制的類型等信息，其中，時(shí)間間隔限制的類型包括最大時(shí)間間隔限 制和最少時(shí)間間隔限制。通過第一對(duì)象的相關(guān)信息可W判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否具 有時(shí)間間隔限制，可W通過判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否處于時(shí)間間隔限制的開始站點(diǎn) 和時(shí)間間隔限制的開始站點(diǎn)之間或下一個(gè)站點(diǎn)為時(shí)間間隔限制的開始站點(diǎn)來判斷第一對(duì) 象所到達(dá)的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制，具體地，當(dāng)判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)的下一 個(gè)站點(diǎn)為時(shí)間間隔限制的開始站點(diǎn)或處于時(shí)間間隔限制的開始站點(diǎn)和時(shí)間間隔限制的開 始站點(diǎn)之間時(shí)，說明第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制，否則為不具有時(shí)間間隔限 制的站點(diǎn)。 W45] 步驟S108 :在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判斷時(shí)間間隔 限制是否為最大時(shí)間間隔限制。
[0046] 最大時(shí)間間隔限制是指完成某個(gè)工序或多個(gè)工序的時(shí)間必需小于某個(gè)時(shí)間間隔， 例如，在晶圓制造流程中，第一次光刻必需在72小時(shí)時(shí)間內(nèi)完成，第一次蝕刻必需在24小 時(shí)時(shí)間內(nèi)完成，否則會(huì)影響晶圓的質(zhì)量。具體地，根據(jù)上述第一對(duì)象的相關(guān)信息可W判斷時(shí) 間間隔限制是否為最大時(shí)間間隔限制。
[0047] 步驟S110 :在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)，其中，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)用于確定第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)和確定是否跳過第 一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)。
[0048] 緊急程度等級(jí)用于衡量處理第一對(duì)象的緊急程度，當(dāng)處理第一對(duì)象的剩余時(shí)間間 隔較充裕時(shí)，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)較高，相應(yīng)的，當(dāng)處理第一對(duì)象的剩余時(shí)間間隔較少 時(shí)，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)較低，例如，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)分為四個(gè)等級(jí)，緊急程 度等級(jí)0至緊急程度等級(jí)3,當(dāng)?shù)谝粚?duì)象的緊急程度等級(jí)為3時(shí)，說明當(dāng)前不急于處理第一 對(duì)象，當(dāng)?shù)谝粚?duì)象的緊急程度等級(jí)為0時(shí)，說明當(dāng)前需要立即處理第一對(duì)象，否則，可能不 能在時(shí)間間隔限制區(qū)間內(nèi)完成該工序。具體地，可W根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)確定當(dāng) 前第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否需要繼續(xù)向下派貨，即將第一對(duì)象派送到下一個(gè)站點(diǎn)進(jìn)行處 理。此外，還可w根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)來確定第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)，w第一對(duì)象為在 制品為例進(jìn)行說明，制造執(zhí)行系統(tǒng)會(huì)根據(jù)在制品的加工順序初始化在制品的優(yōu)先級(jí)，即先 加工的在制品的優(yōu)先級(jí)高于后加工的在制品的優(yōu)先級(jí)，制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)一步根據(jù)在制品的 優(yōu)先級(jí)來調(diào)度在制品加工過程的等待時(shí)間，優(yōu)先級(jí)越局的在制品在加工過程的等待時(shí)間越 少。 W例優(yōu)選地，判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度 等級(jí)包括：計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，得到第一 時(shí)間；計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔，得到第二 時(shí)間；獲取預(yù)設(shè)安全系數(shù)；W及根據(jù)第一時(shí)間、第二時(shí)間和預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定第一對(duì)象的 緊急程度等級(jí)。
[0050] 第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)即剩余站點(diǎn)，第一對(duì)象所到達(dá) 的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期即剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)周期（即第一時(shí)間），剩 余站點(diǎn)的生產(chǎn)周期是指剩余站點(diǎn)中每個(gè)站點(diǎn)完成在制品加工的時(shí)間之和，具體地，可 剩余站點(diǎn)過去預(yù)設(shè)天數(shù)內(nèi)完成在制品處理的平均時(shí)間作為剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，也可W是 獲取過去預(yù)設(shè)天數(shù)內(nèi)完成在制品處理的時(shí)間的中間值作為剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)周期。如表2所 示，工藝步驟2至工藝步驟10是一個(gè)時(shí)間間隔限制區(qū)間，假設(shè)在制品處于工藝步驟7中，此 時(shí)，剩余站點(diǎn)包括工藝步驟8至工藝步驟10,剩余站點(diǎn)的生成周期是指工藝步驟8至工藝步 驟10運(yùn)四個(gè)站點(diǎn)全部完成在制品的加工的時(shí)間之和。第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔 限制的終止站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔即剩余站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔（即第二時(shí)間），如表2中，工 藝步驟2至工藝步驟10是一個(gè)時(shí)間間隔限制區(qū)間，時(shí)間間隔限制區(qū)間包括兩個(gè)子時(shí)間間隔 限制區(qū)間，即時(shí)間間隔限制區(qū)間1和時(shí)間間隔限制區(qū)間2,時(shí)間間隔限制區(qū)間1的長(zhǎng)度為72 小時(shí)，時(shí)間間隔限制區(qū)間2的長(zhǎng)度為24小時(shí)，假設(shè)在制品處于工藝步驟5中，時(shí)間間隔限制 區(qū)間1的剩余時(shí)間間隔為12小時(shí)，此時(shí)，剩余站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔為36小時(shí)，即時(shí)間間隔 限制區(qū)間1的剩余時(shí)間間隔和時(shí)間間隔限制區(qū)間2的時(shí)間長(zhǎng)度之和。預(yù)設(shè)安全系數(shù)是為了 提高在制品加工處理的安全性而設(shè)置的一個(gè)參數(shù)，通常，操作人員可W根據(jù)經(jīng)驗(yàn)來合理設(shè) 置該預(yù)設(shè)安全系數(shù)的值。
[0051] 表2晶圓制造流程表
[0052]
[0053] 可選地，根據(jù)第一時(shí)間、第二時(shí)間和預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定第一對(duì)象的緊急程度等級(jí) 包括：計(jì)算第一時(shí)間和第二時(shí)間的比值，得到第一比值；將第一比值與預(yù)設(shè)安全系數(shù)相乘， 得到第二比值；獲取預(yù)設(shè)的多個(gè)緊急程度區(qū)間，其中，緊急程度區(qū)間與第一對(duì)象的緊急程度 等級(jí)一一對(duì)應(yīng)；W及根據(jù)第二比值所處的緊急程度區(qū)間確定第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)。
[0054] 緊急程度區(qū)間用于對(duì)緊急程度等級(jí)進(jìn)行劃分，例如，將緊急程度等級(jí)分為4個(gè)等 級(jí)，第二比值處于區(qū)間0和1之間，此時(shí)可W將區(qū)間[oa]劃分為4個(gè)子區(qū)間，例如，[0， 0.3]、[0.3,0. 6]、[0.6,0.引和[0.8,1]，其中，[0,0.3]對(duì)應(yīng)于緊急程度等級(jí) 0,化 3,0.6] 對(duì)應(yīng)于緊急程度等級(jí)1，[0.6,0.引對(duì)應(yīng)于緊急程度等級(jí)2, [0.8,1]對(duì)應(yīng)于緊急程度等級(jí) 3,第二比值處于哪個(gè)區(qū)間中則對(duì)應(yīng)于該區(qū)間對(duì)應(yīng)的緊急程度等級(jí)。 陽化5] 優(yōu)選地，計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，得 到第一時(shí)間包括：計(jì)算剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間，其中，剩余站點(diǎn)為第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí) 間間隔限制的終止站點(diǎn)之間的所有站點(diǎn)和時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)；計(jì)算剩余站點(diǎn)的等待 時(shí)間；W及由剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間和剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間相加得到第一時(shí)間。
[0056] 當(dāng)在制品到達(dá)某個(gè)站點(diǎn)時(shí)，可能該站點(diǎn)不會(huì)立即對(duì)該在制品進(jìn)行處理，而需要經(jīng) 過一定時(shí)間的等待后才對(duì)該在制品進(jìn)行處理，因此，每個(gè)站點(diǎn)的生產(chǎn)周期應(yīng)包括該在制品 在該站點(diǎn)的等待時(shí)間和該站點(diǎn)實(shí)際處理該在制品的時(shí)間。剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間即剩余站點(diǎn) 中每個(gè)站點(diǎn)實(shí)際處理在制品所花費(fèi)的時(shí)間之和，剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間即在制品在剩余站點(diǎn) 中每個(gè)站點(diǎn)中等待的時(shí)間之和，因此，剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)周期（即第一時(shí)間）為剩余站點(diǎn)的生 產(chǎn)時(shí)間和剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間之和，具體地，也可W通過分別計(jì)算剩余站點(diǎn)中每個(gè)站點(diǎn)的 生產(chǎn)周期，將剩余站點(diǎn)中全部站點(diǎn)的生產(chǎn)周期相加得到剩余站點(diǎn)的生成周期。
[0057] 優(yōu)選地，計(jì)算剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間包括：獲取剩余站點(diǎn)在歷史第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生 產(chǎn)時(shí)間；W及根據(jù)剩余站點(diǎn)在歷史第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間計(jì)算剩余站點(diǎn)生產(chǎn)時(shí)間。
[005引由于剩余站點(diǎn)中每個(gè)站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間是一個(gè)比較收斂的值，即變化較少，因此，可 W直接根據(jù)剩余站點(diǎn)的歷史生產(chǎn)時(shí)間來確定，例如，取剩余站點(diǎn)在過去90天的生產(chǎn)時(shí)間的 中值作為剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間，也可W是取剩余站點(diǎn)在過去90天的生產(chǎn)時(shí)間的平均值作 為剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間。剩余站點(diǎn)在歷史第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間是指剩余站點(diǎn)在過去的 第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間，第一預(yù)設(shè)天數(shù)用戶可W根據(jù)時(shí)間情況進(jìn)行設(shè)置，例如，可W是過 去30天，也可W是過去60。通過統(tǒng)計(jì)剩余站點(diǎn)在過去第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間確定剩余站 點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間，得到的結(jié)果更為準(zhǔn)確可靠，而且計(jì)算較為簡(jiǎn)單。具體地，如果找不到剩余站 點(diǎn)在過去第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間，可用剩余站點(diǎn)群組在過去第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間代 替。
[0059] 優(yōu)選地，計(jì)算剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間包括：計(jì)算剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等 待時(shí)間；計(jì)算第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間，其中，第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間基于第一對(duì)象 和機(jī)臺(tái)的狀態(tài)進(jìn)行計(jì)算；W及由剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間和第一對(duì)象的下 一次處理時(shí)間計(jì)算剩余站點(diǎn)等待時(shí)間。 W60] 剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間不如剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間穩(wěn)定，如果僅依賴剩余站點(diǎn)在過去 的生產(chǎn)等待時(shí)間來計(jì)算剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間，得到的結(jié)果的準(zhǔn)確性較低。因此，本發(fā)明實(shí) 施例綜合考慮剩余站點(diǎn)在過去的生產(chǎn)等待時(shí)間和基于在制品、機(jī)臺(tái)的狀態(tài)預(yù)測(cè)得到的下一 次處理時(shí)間來確定剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間W提高得到的剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間的準(zhǔn)確性。具體 地，剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間可W是剩余站點(diǎn)在過去90天的等待時(shí)間，也 可W是剩余站點(diǎn)在過去60天的等待時(shí)間。在得到剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí) 間之后，可W對(duì)第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間設(shè)置權(quán)重，對(duì)于越接近當(dāng)前時(shí)間的權(quán)重越大，W獲 取剩余站點(diǎn)在過去90天的等待時(shí)間為例進(jìn)行說明，可W將剩余站點(diǎn)在過去30天的等待時(shí) 間的中值、剩余站點(diǎn)在過去30天到60天的等待時(shí)間的中值和剩余站點(diǎn)在過去60天到90 天的等待時(shí)間的中值分別乘W不同的權(quán)重再相加，例如，剩余站點(diǎn)在過去30天的等待時(shí)間 的中值乘W 0. 5,剩余站點(diǎn)在過去30天到60天的等待時(shí)間的中值乘W 0. 3,剩余站點(diǎn)在過 去60天到90天的等待時(shí)間的中值乘W 0. 2。第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間的計(jì)算W表3和 表4為例進(jìn)行說明，在表3中，標(biāo)識(shí)V用于表示機(jī)臺(tái)可W處理在制品，例如，在制品A可W由 機(jī)臺(tái)1和機(jī)臺(tái)2處理，在制品B可W有機(jī)臺(tái)1、機(jī)臺(tái)2和機(jī)臺(tái)3處理，在制品C可W由機(jī)臺(tái)2 和機(jī)臺(tái)3處理，在制品D可W由機(jī)臺(tái)1和機(jī)臺(tái)3處理，在表4中，RTa、RTe、RTc和RT D分別表 不在制品A、在制品B、在制品C和在制品D的生廣時(shí)間，T1、T2和T3分別表不機(jī)臺(tái)1、機(jī)臺(tái) 2和機(jī)臺(tái)3的下一次處理時(shí)間，則在制品的下一次處理時(shí)間為能夠處理該在制品的機(jī)臺(tái)的 下一次處理時(shí)間中的最小值，例如，在制品A的下一次處理時(shí)間為機(jī)臺(tái)1的下一次處理時(shí)間 和機(jī)臺(tái)2的下一次處理時(shí)間中的較小值。在得到剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間 和第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間后，取兩者中數(shù)值較大的值作為剩余站點(diǎn)等待時(shí)間。如果剩 余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間用剩余站點(diǎn)群組在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間 代替，計(jì)算剩余站點(diǎn)基于歷史數(shù)據(jù)的生產(chǎn)等待時(shí)間的意義在于找到一個(gè)剩余站點(diǎn)群組等待 時(shí)間的參照物，由于沒有引入仿真工具，必須找到一種預(yù)測(cè)等待時(shí)間的方法。
[0061] 表3在制品和機(jī)臺(tái)狀態(tài)表
[0062]
[0063] 表4在制品下一次處理時(shí)間計(jì)算表
[0064]
陽0化]步驟S112 :根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理。
[0066] 具體的，在得到第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)之后，可W根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等 級(jí)確定是否需要派貨，即將第一對(duì)象派送至預(yù)設(shè)流程的下一個(gè)站點(diǎn)進(jìn)行處理?？蛇x地，根據(jù) 第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理包括：判斷第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大于第一 預(yù)設(shè)等級(jí)值；W及在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于第一預(yù)設(shè)等級(jí)值時(shí)，跳過第一對(duì) 象所到達(dá)的站點(diǎn)，其中，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是指將第一對(duì)象派送至第一對(duì)象所到 達(dá)的站點(diǎn)的后續(xù)的站點(diǎn)中。
[0067] 第一預(yù)設(shè)等級(jí)值的設(shè)置與第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)相關(guān)，例如，當(dāng)?shù)谝粚?duì)象的緊 急程度等級(jí)設(shè)置為4個(gè)等級(jí)，即緊急程度等級(jí)0、緊急程度等級(jí)1、緊急程度等級(jí)2和緊急程 度等級(jí)3,其中，緊急程度等級(jí)值越大說明緊急程度越低，此時(shí)，用戶可W根據(jù)實(shí)際需求設(shè)置 第一預(yù)設(shè)等級(jí)值，例如，設(shè)置第一預(yù)設(shè)等級(jí)值為緊急程度等級(jí)2,即只要第一對(duì)象的緊急程 度等級(jí)大于緊急程度等級(jí)2時(shí)，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，即將第一對(duì)象派送至第一對(duì) 象所到達(dá)的站點(diǎn)后續(xù)的站點(diǎn)中進(jìn)行處理，也可W設(shè)置第一預(yù)設(shè)等級(jí)值為緊急程度等級(jí)3。
[0068] 本發(fā)明實(shí)施例根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)來確定是否需要向下一個(gè)站點(diǎn)派貨， 其中，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)的確定綜合考慮了剩余站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔和剩余站點(diǎn)的 生產(chǎn)周期，相比于現(xiàn)有技術(shù)中僅考慮剩余站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔來確定是否向下派貨，提高 了向下派貨的準(zhǔn)確性，解決了具有時(shí)間間隔限制的制造流程中派貨準(zhǔn)確性低的問題。
[0069] 優(yōu)選地，在根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理之后，該方法還包括：判斷 第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值；如果判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí) 大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值，則保持第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)不變；W及如果判斷出第一對(duì)象的緊急程 度等級(jí)不大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值，則提高第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)。
[0070] 同上，第二預(yù)設(shè)等級(jí)值的設(shè)置與第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)也相關(guān)，例如，設(shè)置第二 預(yù)設(shè)等級(jí)值為緊急程度等級(jí)2,即當(dāng)?shù)谝粚?duì)象的緊急程度等級(jí)大于緊急程度等級(jí)2時(shí)，則保 持第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)不變，當(dāng)?shù)谝粚?duì)象的緊急程度等級(jí)不大于緊急程度等級(jí)2時(shí)，則提高 第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)，例如，如果第一對(duì)象之前的優(yōu)先級(jí)為優(yōu)先級(jí)2,則將第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí) 提高為優(yōu)先級(jí)1，第一對(duì)象優(yōu)先權(quán)的提高使得第一對(duì)象在處理站點(diǎn)的等待時(shí)間相應(yīng)減少。
[0071] 優(yōu)選地，在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急程 度等級(jí)之前，該方法還包括：計(jì)算第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值，其中，路徑標(biāo)記用于表示第一 對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)是否均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)， 當(dāng)路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè) 站點(diǎn)均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)路徑標(biāo)記的值不為第一值時(shí)，第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r 間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中至少有一個(gè)站點(diǎn)不存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)；W及判斷第一對(duì)象的路 徑標(biāo)記的值是否為第一值，其中，在判斷出第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，計(jì)算第一 對(duì)象的緊急程度等級(jí)。
[0072] 通過分別判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn) 是否具有可W運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，如果某個(gè)站點(diǎn)具有能夠處理第一對(duì)象的機(jī)臺(tái)時(shí)，則路徑標(biāo)記為 1，否則，路徑標(biāo)記為0,如果判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中全 部站點(diǎn)的標(biāo)識(shí)均為1，此時(shí)第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值，該第一值也可W設(shè)為1，如 果判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中存在站點(diǎn)的標(biāo)識(shí)均不為1， 此時(shí)第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值不為第一值，例如，可W是與第一值不同的任意標(biāo)識(shí)。具體 地，可W通過獲取實(shí)時(shí)派工巧eal Time Dispatch,簡(jiǎn)稱為RTD)的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)之一設(shè)備和處理 關(guān)系巧quipment and process relationship,簡(jiǎn)稱為EPR)來判斷處理站點(diǎn)是否具有能夠 處理第一對(duì)象的機(jī)臺(tái)。在判斷出第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，即第一對(duì)象所到達(dá) 的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)均有能夠處理第一對(duì)象的機(jī)臺(tái)，此時(shí)才繼 續(xù)計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)。判斷第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值的意義在于保證每個(gè)時(shí)間 間隔限制區(qū)間里的每一個(gè)在制品到時(shí)間間隔限制區(qū)間的終止站點(diǎn)前都至少有一個(gè)機(jī)臺(tái)可 W運(yùn)行，運(yùn)顯然是保證在制品不會(huì)超過時(shí)間間隔限制的前提。如果在制品在時(shí)間間隔限制 區(qū)間里的虛擬站點(diǎn)的路徑標(biāo)記不為第一值，除非當(dāng)前在制品的緊急程度等級(jí)最高，即當(dāng)前 需要立即處理該在制品，否者該在制品不能派送至下一個(gè)站點(diǎn)進(jìn)行處理。具體地，在判斷出 路徑標(biāo)記的值不為第一值時(shí)，繼續(xù)判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為時(shí)間間隔限制區(qū)間之 間的虛擬站點(diǎn)，如果是，則繼續(xù)判斷第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否為最高等級(jí)，如果是則將 第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)提升為最高優(yōu)先級(jí)，否則停止向下一個(gè)站點(diǎn)派貨。
[0073] W下W實(shí)例對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的應(yīng)用進(jìn)行詳細(xì)說明，如圖2所示，該方法包括如下 步驟S202至步驟S220 :
[0074] 步驟S202 :在制品到達(dá)站點(diǎn)，即待處理的產(chǎn)品到達(dá)產(chǎn)品制造流程的某個(gè)處理步 驟。
[0075] 步驟S204 :判斷是否為虛擬站點(diǎn)。根據(jù)制造執(zhí)行系統(tǒng)的站點(diǎn)配置信息可W判斷該 站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)，如果判斷出該站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)，執(zhí)行步驟S208,否則執(zhí)行步驟S206。
[0076] 步驟S206 :結(jié)束，即不向下一個(gè)站點(diǎn)派貨，在制品停留在當(dāng)前站點(diǎn)中。 陽077] 步驟S208 :獲取在制品基礎(chǔ)信息。在制品基礎(chǔ)信息包含時(shí)間間隔限制的時(shí)間長(zhǎng) 度、時(shí)間間隔限制的開始站點(diǎn)、時(shí)間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)、時(shí)間間隔限制的類型等信息。
[0078] 步驟S210 :判斷是否為時(shí)間間隔區(qū)間限制的虛擬站點(diǎn)。根據(jù)該在制品的基礎(chǔ)信息 判斷該站點(diǎn)是否為時(shí)間間隔區(qū)間限制的虛擬站點(diǎn)，如果判斷出該站點(diǎn)為時(shí)間間隔區(qū)間限制 的虛擬站點(diǎn)，執(zhí)行步驟S212,否則執(zhí)行步驟S206。
[0079] 步驟S212 :判斷是否為最大時(shí)間間隔區(qū)間限制。時(shí)間間隔區(qū)間限制包括最大時(shí)間 間隔限制和最少時(shí)間間隔限制，本發(fā)明實(shí)施例僅用于最大時(shí)間間隔區(qū)間限制的派貨。具體 地，根據(jù)上述在制品基礎(chǔ)信息可W判斷是否為最大時(shí)間間隔區(qū)間限制，在判斷出為最大時(shí) 間間隔區(qū)間限制時(shí)，執(zhí)行步驟S214,否則執(zhí)行步驟S206。
[0080] 步驟S214 :獲取路徑標(biāo)記。路徑標(biāo)記用于表示在制品所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限 制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)是否均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)在制品所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間 隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)時(shí)，路徑標(biāo)記為1，否則路徑標(biāo)記為 0。
[0081] 步驟S216 :判斷路徑標(biāo)記是否為1，在判斷出路徑標(biāo)記為1時(shí)，執(zhí)行步驟S218,否 則執(zhí)行步驟S206。
[0082] 步驟S218 :判斷緊急程度等級(jí)是否大于預(yù)設(shè)值。緊急程度等級(jí)用于衡量處理在制 品的緊急程度，可W結(jié)合剩余站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔和剩余站點(diǎn)的生成周期W及預(yù)設(shè)的安全 系數(shù)共同確定緊急程度等級(jí)。預(yù)設(shè)值可W根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)置，例如，當(dāng)緊急程度等級(jí)設(shè) 置為4個(gè)等級(jí)，即緊急程度等級(jí)0、緊急程度等級(jí)1、緊急程度等級(jí)2和緊急程度等級(jí)3,其 中，緊急程度等級(jí)值越大說明緊急程度越低，此時(shí)可W設(shè)置預(yù)設(shè)值為緊急程度等級(jí)2,當(dāng)緊 急程度等級(jí)大于緊急程度等級(jí)2時(shí)，執(zhí)行步驟S220,否則執(zhí)行步驟S206。
[0083] 步驟S220 :跳過虛擬站點(diǎn)，即跳過在制品當(dāng)前所到達(dá)的站點(diǎn)，將在制品派送至下 一個(gè)站點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)向下一個(gè)站點(diǎn)派貨。
[0084] 圖3詳細(xì)說明了本發(fā)明實(shí)施例如何自動(dòng)改變?cè)谥破穬?yōu)先級(jí)，如圖3所示，該方法包 括步驟S302至步驟S328。 陽0財(cái)步驟S302 :處于時(shí)間間隔限制區(qū)間的在制品，即該在制品位于時(shí)間間隔區(qū)間的站 點(diǎn)中。
[0086] 步驟S304 :判斷路徑標(biāo)記是否為1。當(dāng)判斷出路徑標(biāo)記為1時(shí)，執(zhí)行步驟S306,否 貝1J，執(zhí)行步驟S320。
[0087] 步驟S306 :判斷緊急程度等級(jí)是否大于為3。具體地，可W預(yù)先將緊急程度等級(jí)劃 分為緊急程度等級(jí)0至緊急程度等級(jí)4,其中，緊急程度等級(jí)值越大說明緊急程度越低。當(dāng) 緊急程度等級(jí)大于3時(shí)，執(zhí)行步驟S308,否則執(zhí)行步驟S310。
[008引步驟S308 :保持在制品優(yōu)先級(jí)，即在制品的優(yōu)先級(jí)不變。優(yōu)先級(jí)的值越小，優(yōu)先級(jí) 越高，則在制品在處理站點(diǎn)的等待時(shí)間越短，例如，優(yōu)先級(jí)0高于優(yōu)先級(jí)1。
[0089] 步驟S310 :判斷緊急程度等級(jí)是否大于為2。具體地，當(dāng)緊急程度等級(jí)大于2時(shí)， 執(zhí)行步驟S312,否則執(zhí)行步驟S314。
[0090] 步驟S312 :提升在制品優(yōu)先級(jí)至優(yōu)先級(jí)2,即將在制品優(yōu)先級(jí)提升為優(yōu)先級(jí)2。
[0091] 步驟S314 :判斷緊急程度等級(jí)是否大于為1。具體地，當(dāng)緊急程度等級(jí)大于1時(shí)， 執(zhí)行步驟S316,否則，執(zhí)行步驟S318。
[0092] 步驟S316 :提升在制品優(yōu)先級(jí)至優(yōu)先級(jí)1，即將在制品的優(yōu)先級(jí)提升為優(yōu)先級(jí)1。
[0093] 步驟S318 :提升在制品優(yōu)先級(jí)至優(yōu)先級(jí)0,即將在制品的優(yōu)先級(jí)提升為優(yōu)先級(jí)0。
[0094] 步驟S320 :判斷是否為虛擬站點(diǎn)，判斷方法同上述步驟S210。當(dāng)判斷出為虛擬站 點(diǎn)時(shí)，執(zhí)行步驟S322,否則執(zhí)行步驟S328。
[0095] 步驟S322 :判斷是否為時(shí)間間隔限制區(qū)間之間虛擬站點(diǎn)。虛擬站點(diǎn)分為時(shí)間間隔 限制區(qū)間之間的虛擬站點(diǎn)和時(shí)間間隔限制區(qū)間之前的虛擬站點(diǎn)，在判斷出為時(shí)間間隔限制 區(qū)間之間的虛擬站點(diǎn)時(shí)，執(zhí)行步驟S324,否則，執(zhí)行步驟S328。
[0096] 步驟S324 :判斷緊急程度等級(jí)是否為0。緊急程度等級(jí)0為緊急程度最高的急程 度等級(jí)，當(dāng)在制品的緊急程度等級(jí)為0時(shí)，說明需要立即處理該在制品，否則可能超過時(shí)間 間隔限制，執(zhí)行步驟S326,否則執(zhí)行步驟S328。
[0097] 步驟S326 :提升在制品優(yōu)先級(jí)至優(yōu)先級(jí)0,其中，優(yōu)先級(jí)0為最高優(yōu)先級(jí)。
[009引步驟S328 :停止派貨，即在制品不再被派送至下一個(gè)站點(diǎn)，停留在當(dāng)前站點(diǎn)中。
[0099] 本發(fā)明實(shí)施例建立基于路徑標(biāo)記和緊急程度等級(jí)算法為基礎(chǔ)的派貨方法，自動(dòng)改 變?cè)谥破穬?yōu)先級(jí)，決定在制品是否向下走，自動(dòng)跳過虛擬站點(diǎn)從而減少手動(dòng)動(dòng)作，避免超過 時(shí)間間隔限制避免機(jī)臺(tái)由于時(shí)間間隔限制原因?qū)е碌臋C(jī)臺(tái)控制，提高生產(chǎn)效率。
[0100] 本發(fā)明實(shí)施例基于現(xiàn)有工廠已經(jīng)建立了基于操作人員根據(jù)經(jīng)驗(yàn)設(shè)定后續(xù)時(shí)間間 隔限制站點(diǎn)在制品的水位的方式來管控之前的虛擬站點(diǎn)W及使用實(shí)時(shí)派工的設(shè)備和處理 關(guān)系來判斷在制品未來站點(diǎn)是否有機(jī)臺(tái)可W運(yùn)行和得到需要處理的在制品列表等。需要進(jìn) 行W下Ξ個(gè)方面的設(shè)置： 陽101] (1)安全系數(shù)和時(shí)間間隔限制區(qū)間站點(diǎn)群設(shè)置模塊：技術(shù)人員首先在系統(tǒng)中設(shè)定 并維護(hù)時(shí)間間隔限制站點(diǎn)相關(guān)信息，包括時(shí)間間隔限制區(qū)間，產(chǎn)品批號(hào)，安全系數(shù)等。 陽102] 似虛擬站點(diǎn)與時(shí)間間隔限制區(qū)間站點(diǎn)匹配模塊：系統(tǒng)根據(jù)上述時(shí)間間隔限制區(qū) 間站點(diǎn)配置，自動(dòng)從工廠的流程數(shù)據(jù)庫中找出與其匹配的（也即流程當(dāng)中之前連接著的） 各項(xiàng)已設(shè)定的虛擬站點(diǎn)信息。
[0103] (3)路徑標(biāo)記和緊急程度等級(jí)算法模塊：定義路徑標(biāo)記，該參數(shù)表示在制品未來 所要到達(dá)的時(shí)間間隔限制區(qū)間站點(diǎn)，是否每個(gè)站點(diǎn)都有機(jī)臺(tái)可運(yùn)行，定義緊急程度等級(jí)，該 參數(shù)表示在制品到達(dá)時(shí)間間隔限制終止站點(diǎn)的緊急程度，定義了得到上述項(xiàng)的中間參數(shù)， 能同時(shí)考慮歷史值與實(shí)時(shí)的在制品機(jī)臺(tái)的準(zhǔn)許狀況來判斷在制品的緊急程度，其中，機(jī)臺(tái) 的準(zhǔn)許狀況即該機(jī)臺(tái)是否可進(jìn)行在制品處理。
[0104] 通過本發(fā)明實(shí)施例，技術(shù)人員可實(shí)時(shí)維護(hù)安全系數(shù)和時(shí)間間隔限制區(qū)間站點(diǎn)群配 置，保證當(dāng)前生效的站點(diǎn)群的范圍可控。系統(tǒng)可根據(jù)在制品水位，各站點(diǎn)之間的機(jī)臺(tái)和在制 品處理流程的約束關(guān)系，合理判斷在制品是否往下走，在制品優(yōu)先級(jí)是否需要改變，虛擬站 點(diǎn)是否可W跳過。線上操作員只需點(diǎn)擊實(shí)時(shí)派工查詢來獲取機(jī)臺(tái)的處理在制品的信息，同 時(shí)不需要人為操作來跳過虛擬站點(diǎn)，工程師可W根據(jù)在制品及時(shí)了解線上產(chǎn)能出問題的地 方，運(yùn)Ξ者相結(jié)合可極大的降低了生產(chǎn)復(fù)雜性，提高生產(chǎn)效率同時(shí)更有效管控時(shí)間間隔限 制風(fēng)險(xiǎn)。
[0105] 從W上的描述中，可W看出，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果：
[0106] 本發(fā)明實(shí)施例通過確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，判斷第一對(duì)象所到 達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)，在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷第一對(duì)象 所到達(dá)的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制，在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制 時(shí)，判斷時(shí)間間隔限制是否為最大時(shí)間間隔限制，在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔 限制時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)，W及根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理。 本發(fā)明實(shí)施例根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)確定是否需要向下派貨、是否跳過虛擬站點(diǎn)W 及是否需要更改第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)，其中，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)的確定綜合考慮了剩 余站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔和剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，不需要人為操作來跳過虛擬站點(diǎn)，避免超 過時(shí)間間隔限制避免機(jī)臺(tái)由于時(shí)間間隔限制原因?qū)е碌臋C(jī)臺(tái)控制，提高生產(chǎn)效率，解決了 現(xiàn)有技術(shù)中具有時(shí)間間隔限制的制造流程中派貨準(zhǔn)確性低的問題。 陽107] 需要說明的是，在附圖的流程圖示出的步驟可W在諸如一組計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令的 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中執(zhí)行，并且，雖然在流程圖中示出了邏輯順序，但是在某些情況下，可不 同于此處的順序執(zhí)行所示出或描述的步驟。
[0108] 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的另一方面，提供了一種用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處 理裝置，該用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置可W用于執(zhí)行本發(fā)明實(shí)施例的用于 具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，本發(fā)明實(shí)施例的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流 程處理方法也可W通過本發(fā)明實(shí)施例的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置來執(zhí) 行。 陽109] 如圖4所示，該用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置包括：確定單元10,第 一判斷單元20,第二判斷單元30,第Ξ判斷單元40,第一計(jì)算單元50和處理單元60。
[0110] 確定單元10,用于確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，第一對(duì)象是處于預(yù)設(shè) 流程中的對(duì)象。 陽111] 第一判斷單元20,用于判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)。
[0112] 第二判斷單元30,用于在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷第一 對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制。
[0113] 第Ξ判斷單元40,用于在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判 斷時(shí)間間隔限制是否為最大時(shí)間間隔限制。
[0114] 第一計(jì)算單元50,用于在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算第一 對(duì)象的緊急程度等級(jí)，其中，第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)用于確定第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)和確定 是否跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)。
[0115] 可選地，第一計(jì)算單元50包括：第一計(jì)算模塊，用于計(jì)算第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn) 到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，得到第一時(shí)間；第二計(jì)算模塊，用于計(jì)算第一對(duì)象 所到達(dá)的站點(diǎn)到時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的剩余時(shí)間，得到第二時(shí)間；獲取模塊，用于獲取 預(yù)設(shè)安全系數(shù)；W及確定模塊，用于根據(jù)第一時(shí)間、第二時(shí)間和預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定第一對(duì)象 的緊急程度等級(jí)。
[0116] 處理單元60,用于根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理。
[0117] 可選地，處理單元60包括：第一判斷模塊，用于判斷第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是 否大于第一預(yù)設(shè)等級(jí)值；W及跳過模塊，用于在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于第一 預(yù)設(shè)等級(jí)值時(shí)，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，其中，跳過第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是指將第一 對(duì)象派送至第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)的后續(xù)的站點(diǎn)中。
[0118] 本發(fā)明實(shí)施例通過確定單元10確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，第一判 斷單元20判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)，第二判斷單元30在判斷出第一對(duì) 象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制，第Ξ 判斷單元40在判斷出第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判斷時(shí)間間隔限制是 否為最大時(shí)間間隔限制，第一計(jì)算單元50在判斷出時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)， 計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)，W及處理單元60根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程 處理。本發(fā)明實(shí)施例第一計(jì)算單元50綜合考慮了剩余站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔和剩余站點(diǎn)的 生產(chǎn)周期來計(jì)算緊急程度等級(jí)，并根據(jù)第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)來確定是否向下派貨，提 高了向下派貨的準(zhǔn)確性，解決了現(xiàn)有技術(shù)中具有時(shí)間間隔限制的制造流程中派貨準(zhǔn)確性低 的問題。
[0119] 優(yōu)選地，該裝置還包括：第二計(jì)算單元，用于計(jì)算第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值，其中， 路徑標(biāo)記用于表示第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)是否 均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔 限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)路徑標(biāo)記的值不為第一值時(shí)，第 一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至?xí)r間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中至少有一個(gè)站點(diǎn)不存在能夠運(yùn)行的機(jī) 臺(tái)；W及第四判斷單元，用于判斷第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值是否為第一值，其中，在判斷出 第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，計(jì)算第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)。
[0120] 優(yōu)選地，該裝置還包括：第五判斷單元，用于判斷第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大 于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值；保持單元，用于在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于第二預(yù)設(shè)等級(jí) 值時(shí)，保持第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)不變；W及提高單元，用于在判斷出第一對(duì)象的緊急程度等級(jí) 不大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值時(shí)，提高第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)。 陽121] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，上述的本發(fā)明的各模塊或各步驟可W用通用 的計(jì)算裝置來實(shí)現(xiàn)，它們可W集中在單個(gè)的計(jì)算裝置上，或者分布在多個(gè)計(jì)算裝置所組成 的網(wǎng)絡(luò)上，可選地，它們可W用計(jì)算裝置可執(zhí)行的程序代碼來實(shí)現(xiàn)，從而，可W將它們存儲(chǔ) 在存儲(chǔ)裝置中由計(jì)算裝置來執(zhí)行，或者將它們分別制作成各個(gè)集成電路模塊，或者將它們 中的多個(gè)模塊或步驟制作成單個(gè)集成電路模塊來實(shí)現(xiàn)。運(yùn)樣，本發(fā)明不限制于任何特定的 硬件和軟件結(jié)合。
[0122] W上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技 術(shù)人員來說，本發(fā)明可W有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修 改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于，包括： 確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，所述第一對(duì)象是處于所述預(yù)設(shè)流程中的對(duì) 象； 判斷所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)； 在判斷出所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn) 是否具有時(shí)間間隔限制； 在判斷出所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判斷所述時(shí)間間隔限制是 否為最大時(shí)間間隔限制； 在判斷出所述時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算所述第一對(duì)象的緊急程度等 級(jí)，其中，所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)用于確定所述第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)和確定是否跳過 所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)；以及 根據(jù)所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 在判斷出所述時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)之 前，所述方法還包括： 計(jì)算所述第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值，其中，所述路徑標(biāo)記用于表示所述第一對(duì)象所到 達(dá)的站點(diǎn)至所述時(shí)間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)是否均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)所 述路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至所述時(shí)間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn) 中每一個(gè)站點(diǎn)均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)所述路徑標(biāo)記的值不為第一值時(shí)，所述第一對(duì)象 所到達(dá)的站點(diǎn)至所述時(shí)間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中至少有一個(gè)站點(diǎn)不存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)； 以及 判斷所述第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值是否為第一值， 其中，在判斷出所述第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，計(jì)算所述第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 在判斷出所述時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)包 括： 計(jì)算所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到所述時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，得到第 一時(shí)間； 計(jì)算所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到所述時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的剩余時(shí)間間隔，得 到第二時(shí)間； 獲取預(yù)設(shè)安全系數(shù)；以及 根據(jù)所述第一時(shí)間、所述第二時(shí)間和所述預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定所述第一對(duì)象的緊急程度 等級(jí)。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 計(jì)算所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到所述時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)的生產(chǎn)周期，得到第一時(shí) 間包括： 計(jì)算剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間，其中，所述剩余站點(diǎn)為所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到所述 時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)之間的所有站點(diǎn)和所述時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn)； 計(jì)算所述剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間；以及 由所述剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間和所述剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間相加得到所述第一時(shí)間。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 計(jì)算剩余站點(diǎn)的生產(chǎn)時(shí)間包括： 獲取所述剩余站點(diǎn)在歷史第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間；以及 根據(jù)所述剩余站點(diǎn)在歷史第一預(yù)設(shè)天數(shù)的生產(chǎn)時(shí)間計(jì)算所述剩余站點(diǎn)生產(chǎn)時(shí)間。6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 計(jì)算所述剩余站點(diǎn)的等待時(shí)間包括： 計(jì)算所述剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間； 計(jì)算所述第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間，其中，所述第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間基于所 述第一對(duì)象和機(jī)臺(tái)的狀態(tài)進(jìn)行計(jì)算；以及 由所述剩余站點(diǎn)在歷史第二預(yù)設(shè)天數(shù)的等待時(shí)間和所述第一對(duì)象的下一次處理時(shí)間 計(jì)算所述剩余站點(diǎn)等待時(shí)間。7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 根據(jù)所述第一時(shí)間、所述第二時(shí)間和所述預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí) 包括： 計(jì)算所述第一時(shí)間和所述第二時(shí)間的比值，得到第一比值； 將所述第一比值與所述預(yù)設(shè)安全系數(shù)相乘，得到第二比值； 獲取預(yù)設(shè)的多個(gè)緊急程度區(qū)間，其中，所述緊急程度區(qū)間與所述第一對(duì)象的緊急程度 等級(jí)一一對(duì)應(yīng)；以及 根據(jù)所述第二比值所處的緊急程度區(qū)間確定所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 根據(jù)所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理包括： 判斷所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大于第一預(yù)設(shè)等級(jí)值；以及 在判斷出所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于所述第一預(yù)設(shè)等級(jí)值時(shí)，跳過所述第一對(duì) 象所到達(dá)的站點(diǎn)，其中，跳過所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是指將所述第一對(duì)象派送至所述 第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)的后續(xù)的站點(diǎn)中。9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理方法，其特征在于， 在根據(jù)所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理之后，所述方法還包括： 判斷所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值； 如果判斷出所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于所述第二預(yù)設(shè)等級(jí)值，則保持所述第一 對(duì)象的優(yōu)先級(jí)不變；以及 如果判斷出所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)不大于所述第二預(yù)設(shè)等級(jí)值，則提高所述第 一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)。10. -種用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置，其特征在于，包括： 確定單元，用于確定預(yù)設(shè)流程中第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，所述第一對(duì)象是處于所述預(yù) 設(shè)流程中的對(duì)象； 第一判斷單元，用于判斷所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否為虛擬站點(diǎn)； 第二判斷單元，用于在判斷出所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)為虛擬站點(diǎn)時(shí)，判斷所述第 一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是否具有時(shí)間間隔限制； 第三判斷單元，用于在判斷出所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)具有時(shí)間間隔限制時(shí)，判斷 所述時(shí)間間隔限制是否為最大時(shí)間間隔限制； 第一計(jì)算單元，用于在判斷出所述時(shí)間間隔限制為最大時(shí)間間隔限制時(shí)，計(jì)算所述第 一對(duì)象的緊急程度等級(jí)，其中，所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)用于確定所述第一對(duì)象的優(yōu) 先級(jí)和確定是否跳過所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)；以及 處理單元，用于根據(jù)所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)進(jìn)行流程處理。11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置，其特征在 于，所述裝置還包括： 第二計(jì)算單元，用于計(jì)算所述第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值，其中，所述路徑標(biāo)記用于表示 所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至所述時(shí)間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)是否均存在能 夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)所述路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至所述時(shí)間 間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中每一個(gè)站點(diǎn)均存在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)，當(dāng)所述路徑標(biāo)記的值不為第一 值時(shí)，所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)至所述時(shí)間間隔限制的結(jié)束站點(diǎn)中至少有一個(gè)站點(diǎn)不存 在能夠運(yùn)行的機(jī)臺(tái)；以及 第四判斷單元，用于判斷所述第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值是否為第一值， 其中，在判斷出所述第一對(duì)象的路徑標(biāo)記的值為第一值時(shí)，計(jì)算所述第一對(duì)象的緊急 程度等級(jí)。12. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置，其特征在 于，所述第一計(jì)算單元包括： 第一計(jì)算模塊，用于計(jì)算所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到所述時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn) 的生產(chǎn)周期，得到第一時(shí)間； 第二計(jì)算模塊，用于計(jì)算所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)到所述時(shí)間間隔限制的終止站點(diǎn) 的剩余時(shí)間間隔，得到第二時(shí)間； 獲取模塊，用于獲取預(yù)設(shè)安全系數(shù)；以及 確定模塊，用于根據(jù)所述第一時(shí)間、所述第二時(shí)間和所述預(yù)設(shè)安全系數(shù)確定所述第一 對(duì)象的緊急程度等級(jí)。13. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置，其特征在 于，所述處理單元包括： 第一判斷模塊，用于判斷所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大于第一預(yù)設(shè)等級(jí)值；以 及 跳過模塊，用于在判斷出所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于所述第一預(yù)設(shè)等級(jí)值時(shí)， 跳過所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)，其中，跳過所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)是指將所述第一 對(duì)象派送至所述第一對(duì)象所到達(dá)的站點(diǎn)的后續(xù)的站點(diǎn)中。14. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于具有時(shí)間間隔限制的制造流程處理裝置，其特征在 于，所述裝置還包括： 第五判斷單元，用于判斷所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)是否大于第二預(yù)設(shè)等級(jí)值； 保持單元，用于在判斷出所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)大于所述第二預(yù)設(shè)等級(jí)值時(shí)， 保持所述第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)不變；以及 提高單元，用于在判斷出所述第一對(duì)象的緊急程度等級(jí)不大于所述第二預(yù)設(shè)等級(jí)值 時(shí)，提高所述第一對(duì)象的優(yōu)先級(jí)。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK105988443SQ201510090163
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月27日
【發(fā)明人】譚小兵, 王曉東
【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司