專利名稱：一種氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置，具體地說是由馬達(dá)與可變電阻器連動(dòng)調(diào)節(jié)流量控制閥的一種氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置。
背景技術(shù)：
常用氣體流量控制系統(tǒng)與質(zhì)流控制器之間是通過一與可變電阻器連動(dòng)的馬達(dá)，調(diào)節(jié)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)方向而改變流量控制閥的開口大小。由于該馬達(dá)能與常用氣體流量控制系統(tǒng)輸出的10V電壓相容，因此能適用。但實(shí)用新型的質(zhì)流控制器的控制電壓為5V，明顯與常用氣體質(zhì)流控制系統(tǒng)輸出的10V電壓不相容，因而衍生下列問題1、若將常用的氣體流量控制系統(tǒng)全改為直接控制實(shí)用新型的質(zhì)流控制器(MFC)，因系統(tǒng)更改勢必要耗費(fèi)龐大費(fèi)用，不符合經(jīng)濟(jì)效益，且舊系統(tǒng)廢棄不用，殊為可惜。
2、若延用原有的流量控制裝置，則一旦損壞，目前市面上難以買到適合的零件更換。
3、常用的流量控制器的舊零件因多年使用，多數(shù)已到使用年限，若不及時(shí)更換，則可能造成氣體外泄的意外或工廠停擺的損失。
4、常用的流量控制器與質(zhì)流控制閥非一體成型，若無校正，可能造成誤差。
本實(shí)用新型發(fā)明人鑒于上述常用氣體流量控制系統(tǒng)與實(shí)用新型質(zhì)流控制器之間的不相容所衍生的各項(xiàng)缺點(diǎn)，乃亟思加以改良創(chuàng)新，并經(jīng)多年苦心孤詣潛心研究后，終于成功研發(fā)完成本氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置，期待能以最低成本解決此一龐大且迫切的需求。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的第一個(gè)目的在于提供一種低成本的氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置；本實(shí)用新型的第二個(gè)目的在于提供一種快速解決常用氣體流量控制系統(tǒng)與實(shí)用新型質(zhì)流控制器之間不相容問題的可行裝置；本實(shí)用新型的第三個(gè)目的在于提供一種具有伺服控制功能的氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置。
可達(dá)到上述實(shí)用新型目的的氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置包括馬達(dá)、第一可變電阻器、第二可變電阻器、連動(dòng)器、第一連接頭、第二連接頭及金屬外殼，其內(nèi)部電線按功能區(qū)分為紅、黑、白三種顏色。
氣體質(zhì)流控制系統(tǒng)通過該第一連接頭下達(dá)指令，通過比較器執(zhí)行伺服控制功能，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)同步調(diào)整第一、第二可變電阻器，可使10V及5V的輸入電壓作等比例變化，再經(jīng)該第二連接頭傳送到質(zhì)流控制器，達(dá)到轉(zhuǎn)換電壓范圍及控制流量的目的。
本實(shí)用新型的有益效果是
1.取代原有的氣體流量控制器，僅在實(shí)用新型氣體質(zhì)流控制器上加裝一轉(zhuǎn)接裝置，故可大幅減少設(shè)備系統(tǒng)修改支出。
2.本實(shí)用新型具有輸入電壓與輸出電壓在不同范圍的特性，并具有伺服控制的功能。
3.因本實(shí)用新型使用實(shí)用新型MFC在出廠時(shí)已完成校正，故可減少流量誤差。
4.目前有許多高離子植入機(jī)，皆面臨原有氣體流量控制系統(tǒng)與實(shí)用新型質(zhì)流控制器不相容的問題，因此本實(shí)用新型將有廣泛的使用空間。


圖1為常用氣體流量控制系統(tǒng)圖。
圖2為加裝轉(zhuǎn)換裝置的氣體質(zhì)流控制系統(tǒng)圖。
圖3為該氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置的內(nèi)部構(gòu)造圖。
圖4為該氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置的電路圖。
圖5為該氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置與質(zhì)流控制器組合的外觀圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示為常用氣體流量控制系統(tǒng)圖，系統(tǒng)內(nèi)部的比較器同時(shí)接受系統(tǒng)輸入電壓V1(最大為10V)及由可變電阻器3經(jīng)b伺服的馬達(dá)2動(dòng)作電壓V2，該動(dòng)作電壓V2是由于馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)之后帶動(dòng)齒輪4，同時(shí)調(diào)整可變電阻3(兩端的最大電壓也為10V)的電阻及氣體質(zhì)流控制閥1而獲得，V1和V2進(jìn)行比較后，將信息由a傳入馬達(dá)2，再經(jīng)齒輪傳動(dòng)而調(diào)節(jié)氣體質(zhì)流控制閥1。
如圖2所示為加裝轉(zhuǎn)換裝置的氣體質(zhì)流控制系統(tǒng)圖，系統(tǒng)內(nèi)部的比較器同時(shí)接受系統(tǒng)輸入電壓V1(最大為10V)及由第一可變電阻器6經(jīng)d伺服的馬達(dá)5動(dòng)作電壓V3，該動(dòng)作電壓V3是由于馬達(dá)5動(dòng)作后經(jīng)連動(dòng)器8調(diào)整第一可變電阻器6(兩端最大電壓為10V)的電阻而獲得，V1及V3進(jìn)行比較后，若V1＞V3，則信息由C傳入馬達(dá)5經(jīng)連動(dòng)器8同時(shí)增大第一可變電阻器6及第二可變電阻器7；同理，若V1＜V3，則信息由C傳入馬達(dá)5經(jīng)連動(dòng)器8同時(shí)減小第一可變電阻器6及第二可變電阻器7(兩端的最大電壓為5V)，如此反覆循環(huán)構(gòu)成伺服控制，直到V1＝V3時(shí)，馬達(dá)5停止轉(zhuǎn)動(dòng)，外加的5V電壓經(jīng)調(diào)整后的第二個(gè)可變電阻器7變?yōu)閂4由f輸出至質(zhì)流控制器(Mass Flow Controller，MFC)則V4必在0～5V之間，故無電壓過大可能。
如圖3所示為該轉(zhuǎn)換裝置的內(nèi)部構(gòu)造圖，第一連接頭9是與氣體流量控制系統(tǒng)連接的部位，第二連接頭10是與MFC連接的部位，第一可變電阻器6與第二可變電阻器7共同裝置于一圓柱體構(gòu)造內(nèi)部，連動(dòng)器8具有抗震及抗阻尼的結(jié)構(gòu)，并具有一支持構(gòu)造11，馬達(dá)5則位于尾端。其內(nèi)部電線顏色共三種，分別為紅(火線)、黑(地線)及白色(調(diào)整可變電阻用)。外覆一長方體金屬外殼13，連接頭則裸露于外。
如圖4所示為該氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置的電路圖，第一可變電阻用)。外覆一長方體金屬外殼13，連接頭則裸露于外。
如圖4所示為該氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置的電路圖，第一可變電阻器6兩端FH輸入電壓為10V，第二可變電阻器7兩端AC輸入電壓為5V，其中AH接紅色火線，CFI接黑色地線，BG接白線，兩可變電阻器與馬達(dá)5雙連(虛線)，F(xiàn)G兩端電壓V3回傳至比較器與系統(tǒng)輸入電壓V1作伺服控制的比較，再將二者的壓差傳至J以控制馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)改變兩可變電阻，而B、C兩端的電壓V4則輸出至MFC。
如圖5所示為該氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置與質(zhì)流控制器組合的外觀圖，本實(shí)用新型若要達(dá)到控制空氣流量的目的，則該轉(zhuǎn)換裝置須和MFC組合搭配使用，圖中長方體為本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)接裝置，質(zhì)流控制器有一進(jìn)氣孔及一出氣孔。
上例詳細(xì)說明是針對本實(shí)用新型的一個(gè)可行實(shí)施例的具體說明，該實(shí)用新型并非用以限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡未脫離本實(shí)用新型技術(shù)精神所進(jìn)行的等效實(shí)施或變更，均應(yīng)包含于本實(shí)用新型的專利范圍中。
權(quán)利要求1.一種氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于所述轉(zhuǎn)換裝置，其內(nèi)部具有一馬達(dá)(5)及一第一可變電阻器(6)以及一第二可變電阻器(7)，該馬達(dá)(5)的最大控制電壓為10V；一質(zhì)流控制器(12)，其最大控制電壓為5V，該轉(zhuǎn)換裝置內(nèi)部的馬達(dá)(5)與氣體質(zhì)流控制系統(tǒng)相連接，該馬達(dá)(5)與兩個(gè)可變電阻器連動(dòng)，該第二可變電阻器(7)再與質(zhì)流控制器(12)相連接。
2.按權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該轉(zhuǎn)換裝置包括一第一可變電阻器(6)、一第二可變電阻器(7)、一馬達(dá)(5)、一連動(dòng)器(8)、一第一連接頭(9)以及一第二連接頭(10)；該第一連接頭(9)與該第一可變電阻器(6)及該馬達(dá)(5)相連，該馬達(dá)(5)與該第一可變電阻器(6)及該第二可變電阻器(7)通過連動(dòng)器(8)連動(dòng)，該第二可變電阻器(7)則與該第二連接頭(10)相連。
3.按權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該第一可變電阻器(6)的最佳實(shí)施以可變電阻值為10KΩ為單位。
4.按權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該第二可變電阻器(7)的最佳實(shí)施以可變電阻值為10KΩ為單位。
5.按權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該第一連接頭(9)的外觀為長方形，具有復(fù)數(shù)接腳。
6.按權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該第二連接頭(1 0)的外觀為圓柱形。
7.按權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該連動(dòng)器(8)具有抗震、抗阻尼結(jié)構(gòu)。
專利摘要一種氣體質(zhì)流控制器的轉(zhuǎn)換裝置，包括馬達(dá)、一第一可變電阻器和第二可變電阻器，一質(zhì)流控制器，該轉(zhuǎn)換裝置內(nèi)部的馬達(dá)與氣體質(zhì)流控制系統(tǒng)相連接，該馬達(dá)與兩個(gè)可變電阻器連動(dòng)，該第二可變電阻器再與質(zhì)流控制器相連接。本實(shí)用新型的特點(diǎn)在于轉(zhuǎn)換裝置具有伺服控制功能，在氣體流量控制系統(tǒng)零件汰舊換新之際取代原有流量控制器，避免系統(tǒng)大幅更新，省下一筆可觀的設(shè)備費(fèi)用。
文檔編號G05D7/06GK2665770SQ0324895
公開日2004年12月22日 申請日期2003年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月29日
發(fā)明者童拱照 申請人:亞泰半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司