測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、固定于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的高精度標(biāo)定尺、設(shè)于所述高精度標(biāo)定尺上方的測(cè)量相機(jī)、及用于控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制模塊，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)依照所述運(yùn)動(dòng)控制模塊預(yù)設(shè)的步距運(yùn)轉(zhuǎn)，所述測(cè)量相機(jī)攝取預(yù)設(shè)步距期間內(nèi)所述高精度標(biāo)定尺的刻度線變化信息，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊通過(guò)所述高精度標(biāo)定尺的刻度線變化信息計(jì)算出在一定預(yù)設(shè)步距期間內(nèi)的實(shí)際行進(jìn)距離并依據(jù)所述實(shí)際行進(jìn)距離與預(yù)設(shè)步距之間的偏差值調(diào)整預(yù)設(shè)步距，本申請(qǐng)技術(shù)方案簡(jiǎn)單實(shí)用，大大降低了測(cè)量成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及精度測(cè)量領(lǐng)域，特別是涉及測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在一些自動(dòng)化設(shè)備中，產(chǎn)品加工精度的要求越來(lái)越高，設(shè)備中運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度將決定產(chǎn)品品質(zhì)是否合格，定位精度不足將導(dǎo)致不良率上升。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度對(duì)自動(dòng)化設(shè)備的整體性能起到?jīng)Q定性的作用。如在激光切割設(shè)備中的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在對(duì)工件進(jìn)行切割加工過(guò)程中，需要精確定位工件的位置才能實(shí)現(xiàn)高精度的切割，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度直接影響了對(duì)工件的加工精度。
[0003]目前，一般采用激光干涉儀來(lái)測(cè)量與校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度，但是激光干涉儀價(jià)格昂貴、操作復(fù)雜、不易攜帶，不適合用于設(shè)備的批量生產(chǎn)與檢驗(yàn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]基于此，有必要提供一種測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)測(cè)量?jī)x器價(jià)格昂貴、操作復(fù)雜、不易攜帶的問(wèn)題。
[0005]—種測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、固定于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的標(biāo)定尺、設(shè)于所述標(biāo)定尺上方的測(cè)量相機(jī)、及用于控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制模塊，所述標(biāo)定尺的定位精度高于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度;所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)依照所述運(yùn)動(dòng)控制模塊預(yù)設(shè)的步距運(yùn)轉(zhuǎn)，所述測(cè)量相機(jī)攝取預(yù)設(shè)步距期間內(nèi)所述標(biāo)定尺的刻度線變化信息，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊通過(guò)所述標(biāo)定尺的刻度線變化信息計(jì)算出在一定預(yù)設(shè)步距期間內(nèi)的實(shí)際行進(jìn)距離并依據(jù)所述實(shí)際行進(jìn)距離與預(yù)設(shè)步距之間的偏差值調(diào)整預(yù)設(shè)步距。
[0006]進(jìn)一步的，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)并通過(guò)運(yùn)動(dòng)控制模塊進(jìn)行控制，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊用于啟動(dòng)、關(guān)閉所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、及為所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)定步距。
[0007]作為一種優(yōu)選，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊接收來(lái)自測(cè)量相機(jī)的測(cè)量數(shù)據(jù)并計(jì)算運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)誤差值，再將誤差值傳送給運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的電機(jī)以校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)精度。
[0008]更進(jìn)一步的，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊利用該誤差值補(bǔ)償所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，即將偏差值取反后補(bǔ)償?shù)剿鲞\(yùn)動(dòng)控制模塊中，進(jìn)而校準(zhǔn)并提升所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度。
[0009]進(jìn)一步的，所述標(biāo)定尺的刻度線包括一個(gè)中心點(diǎn)、及自該中心點(diǎn)延伸出來(lái)的邊線。
[0010]具體的，所述標(biāo)定尺上的刻度線圖形設(shè)計(jì)為“X”形狀。
[0011]作為一種改進(jìn)，若所述標(biāo)定尺與所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向不一致時(shí):先測(cè)量所述“X”形刻度線延伸出的邊線的長(zhǎng)度與運(yùn)動(dòng)方向?qū)?yīng)的長(zhǎng)度值，再通過(guò)勾股定理計(jì)算出運(yùn)動(dòng)方向與所述“X”形刻度線之間的夾角Θ;則，所述標(biāo)定尺的運(yùn)行距離乘以?shī)A角Θ的余弦值即為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的實(shí)際運(yùn)行距離。
[0012]具體的，所述測(cè)量相機(jī)采用全局曝光CCD相機(jī)，所述測(cè)量相機(jī)的像素為1600x1200，每個(gè)像元的尺寸為4.4um，配置放大倍率為10倍的顯微鏡頭。
[0013]本申請(qǐng)實(shí)施例采用的上述至少一個(gè)技術(shù)方案能夠達(dá)到以下有益效果:在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上固定一個(gè)高精度標(biāo)定尺，通過(guò)計(jì)算在一定預(yù)設(shè)步距內(nèi)所述高精度標(biāo)定尺的實(shí)際移動(dòng)距離計(jì)算出在預(yù)設(shè)步距內(nèi)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的實(shí)際移動(dòng)距離，從而得出所述實(shí)際移動(dòng)距離與預(yù)設(shè)步距之間的偏差值，并以此偏差值來(lái)校準(zhǔn)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度，解決了現(xiàn)有技術(shù)中激光干涉儀價(jià)格昂貴、操作復(fù)雜、不易攜帶，不適合用于設(shè)備的批量生產(chǎn)與檢驗(yàn)的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本申請(qǐng)測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度裝置的布局示意圖；
[0015]圖2為本申請(qǐng)測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的標(biāo)定尺的平面視圖；
[0016]圖3為本申請(qǐng)測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類(lèi)似改進(jìn)，因此本實(shí)用新型不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。
[0018]需要說(shuō)明的是，當(dāng)元件被稱(chēng)為“固定于”、“設(shè)置于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。本文所使用的術(shù)語(yǔ)“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類(lèi)似的表述只是為了說(shuō)明的目的，并不表示是唯一的實(shí)施方式。
[0019]實(shí)施例1
[0020]如圖1所示，本申請(qǐng)實(shí)施例1的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301、固定于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301上的高精度標(biāo)定尺101、設(shè)于所述高精度標(biāo)定尺101上方的測(cè)量相機(jī)201、及用于控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl。所述運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl具有運(yùn)算與控制功能，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301由電機(jī)驅(qū)動(dòng)做直線運(yùn)動(dòng)，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl接收來(lái)自測(cè)量相機(jī)201的測(cè)量數(shù)據(jù)并計(jì)算運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)誤差值，再將誤差值傳送給運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的電機(jī)以校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的移動(dòng)精度。
[0021]所述高精度標(biāo)定尺101固定于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301上后，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的移動(dòng)量即是高精度標(biāo)定尺101的移動(dòng)量。所述高精度標(biāo)定尺101的精度等級(jí)高于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的定位精度，最佳實(shí)施例是所述高精度標(biāo)定尺101的定位精度是運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的十倍，本實(shí)施例中采用顯微鏡標(biāo)定用的量塊，其他實(shí)施例中也可采用其它類(lèi)型的標(biāo)定塊。
[0022]請(qǐng)參閱圖2所示，所述高精度標(biāo)定尺101上的定位圖形設(shè)計(jì)為“X”形狀，當(dāng)所述高精度標(biāo)定尺101在安裝時(shí)與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301運(yùn)動(dòng)方向不平行導(dǎo)致存在測(cè)量誤差時(shí):首先通過(guò)測(cè)量所述“X”形刻度線的邊線與運(yùn)動(dòng)方向之間的夾角Θ，即測(cè)量所述“X”形刻度線延伸出的邊線的長(zhǎng)度與運(yùn)動(dòng)方向?qū)?yīng)的長(zhǎng)度值，而后通過(guò)勾股定理計(jì)算出運(yùn)動(dòng)方向與所述“X”形刻度線之間的夾角Θ;此時(shí)，所述高精度標(biāo)定尺101的運(yùn)行距離L*COS0即為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的實(shí)際運(yùn)行距離。
[0023]在其他實(shí)施方式中，所述高精度標(biāo)定尺101上的刻度線不限于“X”形，刻度線具備一個(gè)中心點(diǎn)、及自該中心點(diǎn)向外延伸出來(lái)的邊線即可。
[0024]當(dāng)需要測(cè)量其它方向的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的定位精度時(shí)只需要將高精度標(biāo)定尺101旋轉(zhuǎn)角度后重新固定即可。
[0025]所述測(cè)量相機(jī)201采用全局曝光的CCD相機(jī)，可以抓拍高速運(yùn)動(dòng)的物體，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301可以連續(xù)運(yùn)動(dòng)而不需要每步進(jìn)一個(gè)步距停一下，提高了測(cè)量與校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的效率。所述測(cè)量相機(jī)201的像素為1600x1200，每個(gè)像元的尺寸為4.4um，且配置放大倍率為1倍的顯微鏡頭，如此，每個(gè)像元對(duì)應(yīng)到高精度標(biāo)定尺101上的尺寸為4.4um/10 =0.44Um，即系統(tǒng)的像素級(jí)分辨率為0.44Um。所以，所述測(cè)量相機(jī)的測(cè)量視場(chǎng)為:1600X4.4um= 7040um，1200x4.4um = 5280um。
[0026]當(dāng)所述運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl啟動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的電機(jī)驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301運(yùn)轉(zhuǎn)后，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301按照運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl設(shè)定的步距運(yùn)轉(zhuǎn);所述測(cè)量相機(jī)201拍攝所述高精度標(biāo)定尺101的刻度線變化信息，并發(fā)送給運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl;所述運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl依據(jù)所述刻度線變化信息計(jì)算出高精度標(biāo)定尺101在所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301預(yù)設(shè)步距動(dòng)作后的實(shí)際行進(jìn)距離，并將該實(shí)際行進(jìn)距離與所述運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl設(shè)定的步距進(jìn)行比較得到偏差值Σδ(1;所述運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl利用該偏差值Σ Sd補(bǔ)償所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301，即將偏差值取反后補(bǔ)償?shù)剿鲞\(yùn)動(dòng)控制模塊Cl中，如運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl的設(shè)定步距值是10mm，測(cè)量后獲得的實(shí)際行進(jìn)距離是10.05mm，則偏差值Σ Sd是0.05mm，那么將0.05mm取反為-0.05mm給到運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl，運(yùn)動(dòng)控制模塊Cl發(fā)送10-0.05 = 9.95mm指令即可，進(jìn)而校準(zhǔn)并提升所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的定位精度。
[0027]實(shí)施例2
[0028]如圖3所示為本申請(qǐng)實(shí)施例2提供的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的方法的流程圖，是指通過(guò)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301上固定一精度高于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的高精度標(biāo)定尺101，再通過(guò)測(cè)量相機(jī)201測(cè)量預(yù)設(shè)步距內(nèi)高精度標(biāo)定尺101的實(shí)際行進(jìn)距離，并計(jì)算出偏差值補(bǔ)充給所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301以校準(zhǔn)精度。包括以下步驟:
[0029]S11、發(fā)送啟動(dòng)指令給運(yùn)動(dòng)平臺(tái)使運(yùn)動(dòng)平臺(tái)以設(shè)定步距運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0030]本步驟所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊通過(guò)所述電機(jī)控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)轉(zhuǎn)，包括啟動(dòng)、關(guān)閉所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、及為所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)定步距等。
[0031]S12、獲取固定于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的高精度標(biāo)定尺在一定預(yù)設(shè)步距期間的刻度線變化?目息O
[0032]本步驟所述的高精度表定尺在運(yùn)動(dòng)方向上固定于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，本步驟是通過(guò)位于所述高精度標(biāo)定尺上方的測(cè)量相機(jī)拍攝獲取所述高精度表定尺在一定預(yù)設(shè)步距內(nèi)的刻度線變化信息。所述一定預(yù)設(shè)步距可以是在所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)一個(gè)預(yù)設(shè)步距的期間或者幾個(gè)預(yù)設(shè)步距的期間。
[0033]所述高精度標(biāo)定尺的精度大于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度，本實(shí)施例中采用顯微鏡標(biāo)定用的量塊，其他實(shí)施例中也可采用其它類(lèi)型的標(biāo)定塊。
[0034]所述測(cè)量相機(jī)201采用全局曝光的CCD相機(jī)，可以抓拍高速運(yùn)動(dòng)的物體，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301可以連續(xù)運(yùn)動(dòng)而不需要每步進(jìn)一個(gè)步距停一下，提高了測(cè)量與校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的效率。所述測(cè)量相機(jī)201的像素為1600x1200，每個(gè)像元的尺寸為4.4um，且配置放大倍率為1倍的顯微鏡頭，如此，每個(gè)像元對(duì)應(yīng)到高精度標(biāo)定尺101上的尺寸為4.4um/10 =0.44um，即系統(tǒng)的像素級(jí)分辨率為0.44um。所以，所述測(cè)量相機(jī)的測(cè)量視場(chǎng)為:1600x4.4um= 7040um，1200x4.4um = 5280um。
[0035]S13、依據(jù)所述獲取的高精度標(biāo)定尺的刻度線信息計(jì)算出在一定預(yù)設(shè)步距內(nèi)的實(shí)際行進(jìn)距離。
[0036]本步驟中，所述高精度標(biāo)定尺上的刻度線之間的距離時(shí)已知的，依據(jù)所述刻度線的移動(dòng)數(shù)量可以計(jì)算出在該步距內(nèi)的實(shí)際行進(jìn)距離。
[0037]S14、將所述實(shí)際行進(jìn)距離與所述預(yù)設(shè)步距進(jìn)行比較獲得偏差值。
[0038]本步驟是將所述實(shí)際行進(jìn)距離與所述預(yù)設(shè)步距進(jìn)行比較后獲得差值，所述差值可正可負(fù)，所述正或負(fù)差值即是偏差值Σ δ(1。
[0039]S15、利用獲得的偏差值校準(zhǔn)調(diào)整所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的步距。
[0040]本步驟包括:
[0041 ]通過(guò)所述偏差值調(diào)整所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)定的步距值；
[0042]將所述調(diào)整后的步距值指令傳送給所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的電機(jī)執(zhí)行。
[0043]請(qǐng)參閱圖2所示，所述高精度標(biāo)定尺101上的定位圖形設(shè)計(jì)為“X”形狀，當(dāng)所述高精度標(biāo)定尺101在安裝時(shí)與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301運(yùn)動(dòng)方向不平行導(dǎo)致存在測(cè)量誤差時(shí):首先通過(guò)測(cè)量所述“X”形刻度線的邊線與運(yùn)動(dòng)方向之間的夾角Θ，即測(cè)量所述“X”形刻度線延伸出的邊線的長(zhǎng)度與運(yùn)動(dòng)方向?qū)?yīng)的長(zhǎng)度值，而后通過(guò)勾股定理計(jì)算出運(yùn)動(dòng)方向與所述“X”形刻度線之間的夾角Θ;此時(shí)，所述高精度標(biāo)定尺101的運(yùn)行距離L*COS0即為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的實(shí)際運(yùn)行距離。
[0044]在其他實(shí)施方式中，所述高精度標(biāo)定尺101上的刻度線不限于“X”形，刻度線具備一個(gè)中心點(diǎn)、及自該中心點(diǎn)向外延伸出來(lái)的邊線即可。
[0045]本申請(qǐng)測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上固定一個(gè)高精度標(biāo)定尺，通過(guò)計(jì)算在一定預(yù)設(shè)步距內(nèi)所述高精度標(biāo)定尺的實(shí)際移動(dòng)距離計(jì)算出在預(yù)設(shè)步距內(nèi)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的實(shí)際移動(dòng)距離，從而得出所述實(shí)際移動(dòng)距離與預(yù)設(shè)步距之間的偏差值，并以此偏差值來(lái)校準(zhǔn)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度，解決了現(xiàn)有技術(shù)中激光干涉儀價(jià)格昂貴、操作復(fù)雜、不易攜帶，不適合用于設(shè)備的批量生產(chǎn)與檢驗(yàn)的問(wèn)題。
[0046]以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡(jiǎn)潔，未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說(shuō)明書(shū)記載的范圍。
[0047]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)實(shí)用新型專(zhuān)利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專(zhuān)利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、固定于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的標(biāo)定尺、設(shè)于所述標(biāo)定尺上方的測(cè)量相機(jī)、及用于控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制模塊，所述標(biāo)定尺的定位精度高于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度;所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)依照所述運(yùn)動(dòng)控制模塊預(yù)設(shè)的步距運(yùn)轉(zhuǎn)，所述測(cè)量相機(jī)攝取預(yù)設(shè)步距期間內(nèi)所述標(biāo)定尺的刻度線變化信息，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊通過(guò)所述標(biāo)定尺的刻度線變化信息計(jì)算出在一定預(yù)設(shè)步距期間內(nèi)的實(shí)際行進(jìn)距離并依據(jù)所述實(shí)際行進(jìn)距離與預(yù)設(shè)步距之間的偏差值調(diào)整預(yù)設(shè)步距。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)并通過(guò)運(yùn)動(dòng)控制模塊進(jìn)行控制，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊用于啟動(dòng)、關(guān)閉所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、及為所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)定步距。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊接收來(lái)自測(cè)量相機(jī)的測(cè)量數(shù)據(jù)并計(jì)算運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)誤差值，再將誤差值傳送給運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的電機(jī)以校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)精度。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)控制模塊利用該誤差值補(bǔ)償所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，即將偏差值取反后補(bǔ)償?shù)剿鲞\(yùn)動(dòng)控制模塊中，進(jìn)而校準(zhǔn)并提升所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，所述標(biāo)定尺的刻度線包括一個(gè)中心點(diǎn)、及自該中心點(diǎn)延伸出來(lái)的邊線。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，所述標(biāo)定尺上的刻度線圖形設(shè)計(jì)為“X”形狀。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，若所述標(biāo)定尺與所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向不一致時(shí):先測(cè)量所述“X”形刻度線延伸出的邊線的長(zhǎng)度與運(yùn)動(dòng)方向?qū)?yīng)的長(zhǎng)度值，再通過(guò)勾股定理計(jì)算出運(yùn)動(dòng)方向與所述“X”形刻度線之間的夾角Θ;則，所述標(biāo)定尺的運(yùn)行距離乘以?shī)A角Θ的余弦值即為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的實(shí)際運(yùn)行距離。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)量及校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度的裝置，其特征在于，所述測(cè)量相機(jī)采用全局曝光CCD相機(jī)，所述測(cè)量相機(jī)的像素為1600x1200，每個(gè)像元的尺寸為4.4um，配置放大倍率為10倍的顯微鏡頭。
【文檔編號(hào)】G01B11/00GK205561757SQ201620106362
【公開(kāi)日】2016年9月7日
【申請(qǐng)日】2016年2月2日
【發(fā)明人】武杰杰, 趙華龍, 石濤, 張挺
【申請(qǐng)人】深圳中科光子科技有限公司