一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，包括：機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的掃描機(jī)構(gòu)、控制器、操作機(jī)構(gòu)、拍照機(jī)構(gòu)、圖像處理器、密封罩、鼓風(fēng)器、及抽真空器；利用激光被折射的原理對(duì)石墨烯上的污點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，具有較高的準(zhǔn)確性，采用聚合性更好的激光進(jìn)行逐一掃描具有更強(qiáng)的精確性和防錯(cuò)性，激光傳感器采集激光信號(hào)，有控制單元分析，其不透光的特性能夠便于試驗(yàn)，具有防止其他光的干擾而影響測(cè)試結(jié)果；密封罩內(nèi)的負(fù)壓環(huán)境，減少密封罩能的空氣，減少空氣離子對(duì)激光強(qiáng)度和偏射度的影響；減少密封罩的粉塵避免，密封罩內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響；提高結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確率，為測(cè)試提供一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。
【專利說(shuō)明】
一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯是從石墨材料中剝離出來(lái)、由碳原子組成的只有一層原子厚度的二維晶體。石墨烯既是最薄的材料，也是最強(qiáng)韌的材料，斷裂強(qiáng)度比最好的鋼材還要高200倍。同時(shí)它又有很好的彈性，拉伸幅度能達(dá)到自身尺寸的20%。如果用一塊面積I平方米的石墨烯做成吊床，本身重量不足I毫克可以承受一只一千克的貓。石墨烯幾乎是完全透明的，只吸收
2.3%的光。另一方面，它非常致密，即使是最小的氣體原子也無(wú)法穿透。這些特征使得它非常適合作為透明電子產(chǎn)品的原料，如透明的觸摸顯示屏、發(fā)光板和太陽(yáng)能電池板。
[0003]由于石墨烯的優(yōu)良的性能，石墨烯成為當(dāng)今科技發(fā)展的一個(gè)突破瓶頸的要點(diǎn)，雖然我國(guó)在石墨烯的論文研究上位居世界前列，但是在石墨烯的應(yīng)用及檢測(cè)上還存在諸多不足，在石墨烯的應(yīng)用中，多層石墨烯在重合過(guò)程中，是否達(dá)到使用的要求，需要良好的檢測(cè)手段及檢測(cè)設(shè)備。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的在于:針對(duì)上述存在的問(wèn)題，提供一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，利用激光被折射的原理對(duì)石墨烯上的污點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，具有較高的準(zhǔn)確性，采用聚合性更好的激光進(jìn)行逐一掃描具有更強(qiáng)的精確性和防錯(cuò)性，激光傳感器采集激光信號(hào)，有控制單元分析，其不透光的特性能夠便于試驗(yàn)，具有防止其他光的干擾而影響測(cè)試結(jié)果;密封罩內(nèi)的負(fù)壓環(huán)境，減少密封罩能的空氣，減少空氣離子對(duì)激光強(qiáng)度和偏射度的影響;減少密封罩的粉塵避免，密封罩內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響;提高結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確率，為測(cè)試提供一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。
[0005]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0006]本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，包括:機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的掃描機(jī)構(gòu)、控制器、操作機(jī)構(gòu)、拍照機(jī)構(gòu)、圖像處理器、密封罩、鼓風(fēng)器、及抽真空器；
[0007]掃描機(jī)構(gòu)包括掃描架和固定在掃描架上激光器、升降器，激光器包括一扁平激光發(fā)生器、一圓頭激光發(fā)生器及凹形的激光接收槽，激光接收槽內(nèi)側(cè)的設(shè)有若干激光傳感器；激光傳感器、兩激光發(fā)生器和升降器分別與控制器電連接;所述升降器高、中、低三個(gè)檔位，分別對(duì)應(yīng)不同速度;低速檔的移動(dòng)速度為5cm/min;
[0008]操作機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)臺(tái)和設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)上的固定器、反射鏡及光屏，移動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有橫向移動(dòng)器和縱向移動(dòng)器，移動(dòng)臺(tái)及光屏與控制器電連接;光屏設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)的側(cè)方，用于產(chǎn)生單一色彩的光;反射鏡設(shè)于固定器的下方；
[0009]拍照機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)架上的固定架、設(shè)置在固定架上的照相機(jī);在照相機(jī)的鏡頭處設(shè)有伸縮裝置，在伸縮裝置下方設(shè)有可移動(dòng)的放大鏡;該拍照機(jī)構(gòu)與控制器相連；
[0010]圖像處理器設(shè)置與機(jī)架內(nèi)部，與控制器相連，用于圖像處理；
[0011]密封罩設(shè)于機(jī)架上方，并與機(jī)架構(gòu)成不透光的密閉空間，在密封罩的邊沿處設(shè)有密封環(huán)；
[0012]抽真空器設(shè)置與機(jī)架內(nèi)，包括真空電機(jī)、出氣口、及抽氣口；出氣口、及抽氣口之間設(shè)有單向閥；
[0013]鼓風(fēng)器與設(shè)置與機(jī)架上包括依次相連的氮?dú)夤?、電磁閥、及鼓風(fēng)頭;在抽氣口處還通過(guò)電磁閥及管道連接該氮?dú)夤蕖?br>[0014]更進(jìn)一步，所述密封罩為不透明密封罩;在密封罩上設(shè)有可開(kāi)閉的觀察口。
[0015]更進(jìn)一步，所述鼓風(fēng)器的鼓風(fēng)頭上具有扁平的噴嘴。
[0016]更進(jìn)一步，所述真空電機(jī)采用220v的三相交流步進(jìn)電機(jī);所述出氣口大于抽氣口。
[0017]更進(jìn)一步，所述氮?dú)夤迌?nèi)包括88%的氮?dú)狻?%的氦氣和7%氫氣。
[0018]更進(jìn)一步，所述扁平激光發(fā)生器產(chǎn)生寬為1mm、厚度為1um的偏平激光;所述圓頭激光發(fā)生器產(chǎn)生半徑為1um的柱形激光。
[0019]由于上述結(jié)構(gòu)，利用激光被折射的原理對(duì)石墨烯上的污點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，具有較高的準(zhǔn)確性，采用聚合性更好的激光進(jìn)行逐一掃描具有更強(qiáng)的精確性和防錯(cuò)性，激光傳感器采集激光信號(hào)，有控制單元分析，其不透光的特性能夠便于試驗(yàn)，具有防止其他光的干擾而影響測(cè)試結(jié)果；照相機(jī)為高清相機(jī)，能夠?qū)Ψ糯?00倍-1000倍的進(jìn)行照相，其具有連拍功能，能夠瞬間拍攝較多的照片，圖像處理器進(jìn)行檢測(cè)，具有更好的防誤性，提高精確性，密封罩內(nèi)的負(fù)壓環(huán)境，能夠降低空氣流動(dòng)，對(duì)激光光線的影響，其鼓風(fēng)器能夠?qū)υ撁荛]空間進(jìn)行清掃，避免空氣中的塵埃掉落到待檢測(cè)的石墨烯上，影響檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
[0020]更進(jìn)一步，多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)包括:
[0021]控制單元，包括控制器；
[0022]掃描單兀，包括掃描機(jī)構(gòu)，掃描機(jī)構(gòu)包括激光器、升降器，激光器包括一扁平激光發(fā)生器、一圓頭激光發(fā)生器及凹形的激光接收槽、及設(shè)于激光接收槽內(nèi)側(cè)的若干激光傳感器;激光器升降至指定位置后，帶形激光器產(chǎn)生寬為1_、厚度為1um的偏平激光，激光經(jīng)石墨烯反射后由激光接收槽內(nèi)指定區(qū)域的激光傳感器接收;非指定區(qū)域內(nèi)的激光傳感器接收到激光或指定區(qū)域內(nèi)的激光傳感器接收到的激光強(qiáng)度變化超過(guò)設(shè)定值時(shí)，則打開(kāi)圓頭激光發(fā)生器產(chǎn)生半徑為1um的柱形激光，柱形激光沿帶形激光的寬度方向掃描，柱形激光經(jīng)石墨烯和反射鏡反射激光傳感器上，便于計(jì)算出石墨烯上帶污點(diǎn)的位置；
[0023]操作單元，包括移動(dòng)臺(tái)和上設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)上的固定器和反射鏡，移動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有橫向移動(dòng)器和縱向移動(dòng)器，移動(dòng)臺(tái)及光屏與控制器電連接；固定器用于固定石墨烯，反射鏡設(shè)于石墨烯下方，光屏設(shè)于固定器的側(cè)邊，用于產(chǎn)生單色光；移動(dòng)臺(tái)移動(dòng)時(shí)，使設(shè)于固定器上的石墨烯水平移動(dòng)，反射激光至激光傳感器；
[0024]拍照單元，包括拍照機(jī)構(gòu)，拍照機(jī)構(gòu)包括照相機(jī)、設(shè)于照相機(jī)鏡頭處的伸縮裝置、及可移動(dòng)的放大鏡、及光屏;放大鏡可移動(dòng)至伸縮裝置前端，便于拍照;反射光屏產(chǎn)生的單色光由照相機(jī)拍照；
[0025]真空單元，包括密封罩、抽真空器及鼓風(fēng)器;抽真空器包括真空電機(jī)、出氣口、抽氣口和設(shè)置在出氣口與抽氣口之間的單向閥；鼓風(fēng)器包括氮?dú)夤?、電磁閥、及鼓風(fēng)頭，鼓風(fēng)頭由控制器控制轉(zhuǎn)動(dòng);在抽氣口處還通過(guò)電磁閥連接有氮?dú)夤?密封罩配合機(jī)架將掃描單元、操作單元、及拍照單元密封;氮?dú)夤迌?nèi)包括了 88%的氮?dú)狻?%的氦氣和7%氫氣；[0026 ]圖像處理單元，用于對(duì)拍照單元采集到的圖片進(jìn)行圖像處理；
[0027]控制單元分別與掃描單元、操作單元、拍照單元、及真空單元、圖像處理單元相連，并用于控制各單元。
[0028]由于上述系統(tǒng)，使各個(gè)單元精確配合，達(dá)到更好的檢測(cè)效果，能夠依照其使用方法，對(duì)其進(jìn)行有效檢測(cè)，減輕了人工檢測(cè)的工作量，能夠精確控制每個(gè)單元的統(tǒng)一調(diào)配工作，避免各個(gè)單元之間的動(dòng)作沖突，影響其動(dòng)作的準(zhǔn)確性;其掃描單元，產(chǎn)生兩種不同的激光，分別對(duì)激光進(jìn)行，初次掃描和精確掃描，避免了因個(gè)別原因影響掃描的準(zhǔn)確性;操作單元，對(duì)石墨烯進(jìn)行移動(dòng)，能夠移動(dòng)距離更小，避免激光移動(dòng)方式，速度過(guò)快，掃描速度不宜控制的缺陷；拍照單元能夠?qū)⑽埸c(diǎn)放大后直觀的顯示，能夠便于觀察和展示;真空單元，減少密封罩能的空氣，減少空氣離子對(duì)激光強(qiáng)度和偏射度的影響；同時(shí)，其鼓風(fēng)器，能夠排出空氣中顆粒大的氣體，同時(shí)減少密封罩的粉塵避免，密封罩內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響。
[0029]更進(jìn)一步，控制系統(tǒng)的真空方法:
[0030](I)、關(guān)閉密封罩，并檢測(cè)密封罩縫隙處的密封狀況；
[0031 ] (2)、控制單元給真空電機(jī)5-5.5A的電流使其以180-200r/min的轉(zhuǎn)速動(dòng)作并抽出密封罩內(nèi)的空氣，使密封罩內(nèi)的絕對(duì)氣壓為80-88kpa;
[0032](3)、控制單元控制鼓風(fēng)器打開(kāi)，并控制鼓風(fēng)頭向密封罩內(nèi)注入氮?dú)饬?，以吹起密封腔?nèi)的灰塵；
[0033](4)、控制單元加大供給真空電機(jī)的電流使其轉(zhuǎn)速提高至230-240r/min;同時(shí)使密封罩內(nèi)的絕對(duì)氣壓不高于SOkpa;
[0034](5)、5_8min后，關(guān)閉鼓風(fēng)器，并對(duì)密封罩內(nèi)進(jìn)一步降壓至絕對(duì)壓力30_35kpa。
[0035]由于上述方法，能夠快捷的清掃該密封環(huán)境，能夠減少密封罩能的空氣，減少空氣離子對(duì)激光強(qiáng)度和偏射度的影響；減少密封罩的粉塵避免，密封罩內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響;提高結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確率，為測(cè)試提供一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。
[0036]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0037]1、利用激光被折射的原理對(duì)石墨烯上的污點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，具有較高的準(zhǔn)確性，采用聚合性更好的激光進(jìn)行逐一掃描具有更強(qiáng)的精確性和防錯(cuò)性，激光傳感器采集激光信號(hào)，有控制單元分析，其不透光的特性能夠便于試驗(yàn)，具有防止其他光的干擾而影響測(cè)試結(jié)果；
[0038]2、照相機(jī)為高清相機(jī)，能夠?qū)Ψ糯?00倍-1000倍的進(jìn)行照相，其具有連拍功能，能夠瞬間拍攝較多的照片，圖像處理器進(jìn)行檢測(cè)，具有更好的防誤性，提高精確性，密封罩內(nèi)的負(fù)壓環(huán)境，能夠降低空氣流動(dòng)，對(duì)激光光線的影響，其鼓風(fēng)器能夠?qū)υ撁荛]空間進(jìn)行清掃，避免空氣中的塵埃掉落到待檢測(cè)的石墨烯上，影響檢測(cè)的準(zhǔn)確性；
[0039]3、各個(gè)單元精確配合，達(dá)到更好的檢測(cè)效果，能夠依照其使用方法，對(duì)其進(jìn)行有效檢測(cè)，減輕了人工檢測(cè)的工作量，能夠精確控制每個(gè)單元的統(tǒng)一調(diào)配工作，避免各個(gè)單元之間的動(dòng)作沖突，影響其動(dòng)作的準(zhǔn)確性；
[0040]4、操作單元，對(duì)石墨烯進(jìn)行移動(dòng)，能夠移動(dòng)距離更小，避免激光移動(dòng)方式，速度過(guò)快，掃描速度不宜控制的缺陷；減少密封罩的粉塵避免，密封罩內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響;提高結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確率，為測(cè)試提供一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。
【附圖說(shuō)明】
[0041]圖1是本實(shí)用新型的多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置圖。
[0042]圖中標(biāo)記:1-機(jī)架，2-移動(dòng)臺(tái)，3-拍照機(jī)構(gòu)，4-鼓風(fēng)頭，5-掃描機(jī)構(gòu)，6-光屏，7-密封罩，8-氮?dú)夤蓿?-真空電機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0043]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。
[0044]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0045]具體實(shí)施例1:
[0046]如圖1所示，本實(shí)用新型的一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，包括:機(jī)架I和設(shè)置在機(jī)架I上的掃描機(jī)構(gòu)5、控制器、操作機(jī)構(gòu)、拍照機(jī)構(gòu)3、圖像處理器、密封罩7、鼓風(fēng)器、及抽真空器；
[0047]掃描機(jī)構(gòu)5包括掃描架和固定在掃描架上激光器、升降器，激光器包括一扁平激光發(fā)生器、一圓頭激光發(fā)生器及凹形的激光接收槽，激光接收槽內(nèi)側(cè)的設(shè)有若干激光傳感器；激光傳感器、兩激光發(fā)生器和升降器分別與控制器電連接；
[0048]操作機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)臺(tái)2和設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)2上的固定器、反射鏡及光屏6，移動(dòng)臺(tái)2上設(shè)置有橫向移動(dòng)器和縱向移動(dòng)器，移動(dòng)臺(tái)2及光屏6與控制器電連接;光屏6設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)2的側(cè)方，用于產(chǎn)生單一色彩的光;反射鏡設(shè)于固定器的下方；
[0049]拍照機(jī)構(gòu)3包括固定在機(jī)架I上的固定架、設(shè)置在固定架上的照相機(jī);在照相機(jī)的鏡頭處設(shè)有伸縮裝置，在伸縮裝置下方設(shè)有可移動(dòng)的放大鏡;該拍照機(jī)構(gòu)3與控制器相連；
[0050]圖像處理器設(shè)置與機(jī)架I內(nèi)部，與控制器相連，用于圖像處理；
[0051 ]密封罩7設(shè)于機(jī)架I上方，并與機(jī)架I構(gòu)成不透光的密閉空間，在密封罩7的邊沿處設(shè)有密封環(huán)；
[0052]抽真空器設(shè)置與機(jī)架I內(nèi)，包括真空電機(jī)9、出氣口、及抽氣口；出氣口、及抽氣口之間設(shè)有單向閥；
[0053]鼓風(fēng)器與設(shè)置與機(jī)架I上包括依次相連的氮?dú)夤?、電磁閥、及鼓風(fēng)頭4;在抽氣口處還通過(guò)電磁閥及管道連接該氮?dú)夤?。
[0054]扁平激光發(fā)生器產(chǎn)生寬為1mm、厚度為1um的偏平激光；圓頭激光發(fā)生器產(chǎn)生半徑為I Oum的柱形激光。
[0055]升降器高、中、低三個(gè)檔位，分別對(duì)應(yīng)不同速度;低速檔的移動(dòng)速度為5cm/min;
[0056]密封罩7為不透明密封罩7;在密封罩7上設(shè)有可開(kāi)閉的觀察口。
[0057]鼓風(fēng)器的鼓風(fēng)頭4上具有扁平的噴嘴。
[0058]真空電機(jī)9采用220v的三相交流步進(jìn)電機(jī);出氣口大于抽氣口。
[0059]氮?dú)夤?內(nèi)包括88%的氮?dú)狻?%的氦氣和7%氫氣。
[0060]由于上述結(jié)構(gòu)，利用激光被折射的原理對(duì)石墨烯上的污點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，具有較高的準(zhǔn)確性，采用聚合性更好的激光進(jìn)行逐一掃描具有更強(qiáng)的精確性和防錯(cuò)性，激光傳感器采集激光信號(hào)，有控制單元分析，其不透光的特性能夠便于試驗(yàn)，具有防止其他光的干擾而影響測(cè)試結(jié)果；照相機(jī)為高清相機(jī)，能夠?qū)Ψ糯?00倍-1000倍的進(jìn)行照相，其具有連拍功能，能夠瞬間拍攝較多的照片，圖像處理器進(jìn)行檢測(cè)，具有更好的防誤性，提高精確性，密封罩7內(nèi)的負(fù)壓環(huán)境，能夠降低空氣流動(dòng)，對(duì)激光光線的影響，其鼓風(fēng)器能夠?qū)υ撁荛]空間進(jìn)行清掃，避免空氣中的塵埃掉落到待檢測(cè)的石墨烯上，影響檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
[0061]具體實(shí)施例2:
[0062]根據(jù)實(shí)施例1的多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)，包括:
[0063]控制單元，包括控制器；
[0064]掃描單兀，包括掃描機(jī)構(gòu)5，掃描機(jī)構(gòu)5包括激光器、升降器，激光器包括一扁平激光發(fā)生器、一圓頭激光發(fā)生器及凹形的激光接收槽、及設(shè)于激光接收槽內(nèi)側(cè)的若干激光傳感器;激光器升降至指定位置后，帶形激光器產(chǎn)生寬為1mm、厚度為1um的偏平激光，激光經(jīng)石墨烯反射后由激光接收槽內(nèi)指定區(qū)域的激光傳感器接收;非指定區(qū)域內(nèi)的激光傳感器接收到激光或指定區(qū)域內(nèi)的激光傳感器接收到的激光強(qiáng)度變化超過(guò)設(shè)定值時(shí)，則打開(kāi)圓頭激光發(fā)生器產(chǎn)生半徑為1um的柱形激光，柱形激光沿帶形激光的寬度方向掃描，柱形激光經(jīng)石墨烯和反射鏡反射激光傳感器上，便于計(jì)算出石墨烯上帶污點(diǎn)的位置；
[0065]操作單元，包括移動(dòng)臺(tái)2和上設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)2上的固定器和反射鏡，移動(dòng)臺(tái)2上設(shè)置有橫向移動(dòng)器和縱向移動(dòng)器，移動(dòng)臺(tái)2及光屏6與控制器電連接；固定器用于固定石墨烯，反射鏡設(shè)于石墨烯下方，光屏6設(shè)于固定器的側(cè)邊，用于產(chǎn)生單色光;移動(dòng)臺(tái)2移動(dòng)時(shí)，使設(shè)于固定器上的石墨烯水平移動(dòng)，反射激光至激光傳感器；
[0066]拍照單元，包括拍照機(jī)構(gòu)3，拍照機(jī)構(gòu)3包括照相機(jī)、設(shè)于照相機(jī)鏡頭處的伸縮裝置、及可移動(dòng)的放大鏡、及光屏6;放大鏡可移動(dòng)至伸縮裝置前端，便于拍照;反射光屏6產(chǎn)生的單色光由照相機(jī)拍照；
[0067]真空單元，包括密封罩7、抽真空器及鼓風(fēng)器;抽真空器包括真空電機(jī)9、出氣口、抽氣口和設(shè)置在出氣口與抽氣口之間的單向閥；鼓風(fēng)器包括氮?dú)夤?、電磁閥、及鼓風(fēng)頭4，鼓風(fēng)頭4由控制器控制轉(zhuǎn)動(dòng);在抽氣口處還通過(guò)電磁閥連接有氮?dú)夤?;密封罩7配合機(jī)架I將掃描單元、操作單元、及拍照單元密封;氮?dú)夤?內(nèi)包括了88%的氮?dú)狻?%的氦氣和7%氫氣；
[0068]圖像處理單元，用于對(duì)拍照單元采集到的圖片進(jìn)行圖像處理；
[0069]控制單元分別與掃描單元、操作單元、拍照單元、及真空單元、圖像處理單元相連，并用于控制各單元。
[0070]由于上述系統(tǒng)，使各個(gè)單元精確配合，達(dá)到更好的檢測(cè)效果，能夠依照其使用方法，對(duì)其進(jìn)行有效檢測(cè)，減輕了人工檢測(cè)的工作量，能夠精確控制每個(gè)單元的統(tǒng)一調(diào)配工作，避免各個(gè)單元之間的動(dòng)作沖突，影響其動(dòng)作的準(zhǔn)確性;其掃描單元，產(chǎn)生兩種不同的激光，分別對(duì)激光進(jìn)行，初次掃描和精確掃描，避免了因個(gè)別原因影響掃描的準(zhǔn)確性;操作單元，對(duì)石墨烯進(jìn)行移動(dòng)，能夠移動(dòng)距離更小，避免激光移動(dòng)方式，速度過(guò)快，掃描速度不宜控制的缺陷；拍照單元能夠?qū)⑽埸c(diǎn)放大后直觀的顯示，能夠便于觀察和展示;真空單元，減少密封罩7能的空氣，減少空氣離子對(duì)激光強(qiáng)度和偏射度的影響；同時(shí)，其鼓風(fēng)器，能夠排出空氣中顆粒大的氣體，同時(shí)減少密封罩7的粉塵避免，密封罩7內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響。
[0071]具體實(shí)施例3:
[0072]根據(jù)具體實(shí)施例2的控制系統(tǒng)的真空方法:
[0073](1)、關(guān)閉密封罩7，并檢測(cè)密封罩7縫隙處的密封狀況；
[0074](2)、控制單元給真空電機(jī)95-5.5A的電流使其以180-200r/min的轉(zhuǎn)速動(dòng)作并抽出密封罩7內(nèi)的空氣，使密封罩7內(nèi)的絕對(duì)氣壓為80-88kpa;
[0075](3)、控制單元控制鼓風(fēng)器打開(kāi)，并控制鼓風(fēng)頭4向密封罩7內(nèi)注入氮?dú)饬?，以吹起密封腔?nèi)的灰塵；
[0076](4)、控制單元加大供給真空電機(jī)9的電流使其轉(zhuǎn)速提高至230-240r/min;同時(shí)使密封罩7內(nèi)的絕對(duì)氣壓不高于80kpa;
[0077](5)、5_8min后，關(guān)閉鼓風(fēng)器，并對(duì)密封罩7內(nèi)進(jìn)一步降壓至絕對(duì)壓力30_35kpa。
[0078]由于上述方法，能夠快捷的清掃該密封環(huán)境，能夠減少密封罩7能的空氣，減少空氣離子對(duì)激光強(qiáng)度和偏射度的影響;減少密封罩7的粉塵避免，密封罩7內(nèi)的粉塵對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響;提高結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確率，為測(cè)試提供一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。
[0079]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，其特征在于，包括:機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的掃描機(jī)構(gòu)、控制器、操作機(jī)構(gòu)、拍照機(jī)構(gòu)、圖像處理器、密封罩、鼓風(fēng)器、及抽真空器； 掃描機(jī)構(gòu)包括掃描架和固定在掃描架上激光器、升降器，激光器包括一扁平激光發(fā)生器、一圓頭激光發(fā)生器及凹形的激光接收槽，激光接收槽內(nèi)側(cè)的設(shè)有若干激光傳感器;激光傳感器、兩激光發(fā)生器和升降器分別與控制器電連接;所述升降器高、中、低三個(gè)檔位，分別對(duì)應(yīng)不同速度;低速檔的移動(dòng)速度為5cm/min; 操作機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)臺(tái)和設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)上的固定器、反射鏡及光屏，移動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有橫向移動(dòng)器和縱向移動(dòng)器，移動(dòng)臺(tái)及光屏與控制器電連接;光屏設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)的側(cè)方，用于產(chǎn)生單一色彩的光;反射鏡設(shè)于固定器的下方； 拍照機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)架上的固定架、設(shè)置在固定架上的照相機(jī);在照相機(jī)的鏡頭處設(shè)有伸縮裝置，在伸縮裝置下方設(shè)有可移動(dòng)的放大鏡;該拍照機(jī)構(gòu)與控制器相連； 圖像處理器設(shè)置與機(jī)架內(nèi)部，與控制器相連，用于圖像處理； 密封罩設(shè)于機(jī)架上方，并與機(jī)架構(gòu)成不透光的密閉空間，在密封罩的邊沿處設(shè)有密封環(huán)； 抽真空器設(shè)置與機(jī)架內(nèi)，包括真空電機(jī)、出氣口、及抽氣口；出氣口、及抽氣口之間設(shè)有單向閥； 鼓風(fēng)器與設(shè)置與機(jī)架上包括依次相連的氮?dú)夤?、電磁閥、及鼓風(fēng)頭;在抽氣口處還通過(guò)電磁閥及管道連接該氮?dú)夤蕖?.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，其特征在于，所述密封罩為不透明密封罩;在密封罩上設(shè)有可開(kāi)閉的觀察口。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，其特征在于，所述鼓風(fēng)器的鼓風(fēng)頭上具有扁平的噴嘴。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層石墨烯污點(diǎn)真空檢測(cè)裝置，其特征在于，所述真空電機(jī)采用220v的三相交流步進(jìn)電機(jī);所述出氣口大于抽氣口。
【文檔編號(hào)】G01N21/88GK205426803SQ201520819579
【公開(kāi)日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2015年10月22日
【發(fā)明人】詹炳輝
【申請(qǐng)人】深圳市科恩石墨烯納米科技有限公司