一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及MOCVD外延片測(cè)溫儀探頭位置調(diào)節(jié)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]業(yè)內(nèi)習(xí)知，現(xiàn)有MOCVD設(shè)備外延片測(cè)溫儀探頭的安裝位置是固定的，如果托盤所放置的晶圓片的位置和數(shù)量發(fā)生變化，由于探頭位置固定，則探頭極有可能因測(cè)量不到外延片上的的正確位置而導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，從而影響對(duì)MOCVD反應(yīng)腔室的實(shí)際監(jiān)控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足與缺點(diǎn)，提供一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，能有效實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)溫儀安裝位置的無(wú)級(jí)精確調(diào)節(jié)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案為:一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，包括有探測(cè)口法蘭蓋、探頭安裝座、探頭調(diào)節(jié)架、探頭調(diào)節(jié)螺桿、螺桿安裝板，其中，所述探測(cè)口法蘭蓋安裝在用于生長(zhǎng)外延片的MOCVD反應(yīng)腔室的頂部，處于該MOCVD反應(yīng)腔室內(nèi)部托盤的上方，所述探測(cè)口法蘭蓋上開有觀察窗，供測(cè)溫儀探頭能夠在不同位置都可探測(cè)到托盤上晶圓片的情況，所述探頭安裝座滑動(dòng)安裝在探測(cè)口法蘭蓋上，并可在觀察窗的長(zhǎng)度方向上自由滑動(dòng)，所述測(cè)溫儀探頭垂直安裝在該探頭安裝座的探頭安裝位處，能透過(guò)觀察窗探測(cè)到托盤上相應(yīng)晶圓片的情況，并能夠隨探頭安裝座一起滑動(dòng)，所述探頭調(diào)節(jié)架上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，該通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿相適配，所述探頭調(diào)節(jié)架與探頭安裝座固定相連，能隨該探頭安裝座一起滑動(dòng)，所述螺桿安裝板豎直安裝在探測(cè)口法蘭蓋上，所述探頭調(diào)節(jié)螺桿的一端橫穿該螺桿安裝板后伸進(jìn)上述探頭調(diào)節(jié)架的通孔中，與該探頭調(diào)節(jié)架構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)，且所述探頭調(diào)節(jié)螺桿上裝配有配合螺桿安裝板用的限位件，用于限制該探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時(shí)軸向移動(dòng)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述探頭調(diào)節(jié)螺桿，能使得所述探頭安裝座及裝于該探頭安裝座上的測(cè)溫儀探頭在觀察窗的長(zhǎng)度方向上一起滑動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)。
[0005]所述探頭安裝座上設(shè)置有螺釘安裝孔，能夠采用螺釘通過(guò)該螺釘安裝孔將探頭安裝座固定在探測(cè)口法蘭蓋上。
[0006]所述限位件為卡簧，該卡簧裝于探頭調(diào)節(jié)螺桿上的環(huán)形凹槽處，通過(guò)卡簧與螺桿安裝板的配合限位，能避免探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時(shí)軸向移動(dòng)。
[0007]所述探頭安裝座橫跨于觀察窗的上方。
[0008]所述觀察窗為長(zhǎng)矩形結(jié)構(gòu)。
[0009]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點(diǎn)與有益效果:
[0010]本實(shí)用新型能夠無(wú)級(jí)精調(diào)探頭位置，并可固定測(cè)溫儀探頭，從而適應(yīng)托盤放置不同數(shù)量晶圓片和變更晶圓片放置位置的需求，很好地克服了現(xiàn)有MOCVD設(shè)備因測(cè)溫儀探頭安裝位置固定而導(dǎo)致的無(wú)法適應(yīng)托盤內(nèi)晶圓片數(shù)量和位置變化的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型所述無(wú)級(jí)可調(diào)裝置的安裝示意圖。
[0012]圖2為本實(shí)用新型所述無(wú)級(jí)可調(diào)裝置安裝在MOCVD反應(yīng)腔室上后的整體剖視圖。
[0013]圖3為本實(shí)用新型所述無(wú)級(jí)可調(diào)裝置安裝后的俯視圖。
[0014]圖4為圖3的A局部放大圖。
[0015]圖5為圖3的B局部放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0017]如圖1至圖5所示，本實(shí)施例所述的用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，包括有探測(cè)口法蘭蓋1、探頭安裝座2、探頭調(diào)節(jié)架3、探頭調(diào)節(jié)螺桿4、螺桿安裝板5，其中，所述探測(cè)口法蘭蓋I安裝在用于生長(zhǎng)外延片的MOCVD反應(yīng)腔室6的頂部，處于該MOCVD反應(yīng)腔室內(nèi)部托盤7的上方，所述探測(cè)口法蘭蓋I上開有長(zhǎng)矩形結(jié)構(gòu)的觀察窗8，以供測(cè)溫儀探頭9能夠在不同位置都可探測(cè)到托盤7上晶圓片10的情況，所述探頭安裝座2滑動(dòng)安裝在探測(cè)口法蘭蓋I上，并橫跨于觀察窗8的上方，可在觀察窗8的長(zhǎng)度方向上自由滑動(dòng)，所述測(cè)溫儀探頭9垂直安裝在該探頭安裝座2的探頭安裝位處，該探頭安裝位位于觀察窗8的正上方，測(cè)溫儀探頭9能透過(guò)觀察窗8探測(cè)到托盤7上相應(yīng)晶圓片10的情況，并能夠隨探頭安裝座2—起滑動(dòng)，所述探頭調(diào)節(jié)架3上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，且該通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿4相適配，所述探頭調(diào)節(jié)架3與探頭安裝座2固定相連，能隨該探頭安裝座2—起滑動(dòng)，所述螺桿安裝板5豎直安裝在探測(cè)口法蘭蓋上I，所述探頭調(diào)節(jié)螺桿4的一端橫穿該螺桿安裝板5后伸進(jìn)上述探頭調(diào)節(jié)架3的通孔中，與該探頭調(diào)節(jié)架3構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)，且所述探頭調(diào)節(jié)螺桿4上開有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽上裝有配合螺桿安裝板5用的限位件11(具體為卡簧)，通過(guò)卡簧與螺桿安裝板5的配合限位，能避免探頭調(diào)節(jié)螺桿4在調(diào)節(jié)時(shí)軸向移動(dòng)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述探頭調(diào)節(jié)螺桿4，能使得所述探頭安裝座2及裝于該探頭安裝座2上的測(cè)溫儀探頭9在觀察窗8的長(zhǎng)度方向上一起滑動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)。
[0018]此外，所述探頭安裝座2上還設(shè)置有螺釘安裝孔，當(dāng)調(diào)節(jié)所述測(cè)溫儀探頭9至合適的位置后，能夠用螺釘通過(guò)該螺釘安裝孔將探頭安裝座2固定在探測(cè)口法蘭蓋I上，以保持位置，保證測(cè)溫儀探頭9反饋溫度的準(zhǔn)確性。
[0019]在采用以上方案后，本實(shí)用新型能夠無(wú)級(jí)精調(diào)探頭位置，并可固定測(cè)溫儀探頭，從而適應(yīng)托盤放置不同數(shù)量晶圓片和變更晶圓片放置位置的需求，很好地克服了現(xiàn)有MOCVD設(shè)備因測(cè)溫儀探頭安裝位置固定而導(dǎo)致的無(wú)法適應(yīng)托盤內(nèi)晶圓片數(shù)量和位置變化的問(wèn)題，值得推廣。
[0020]以上所述之實(shí)施例子只為本實(shí)用新型之較佳實(shí)施例，并非以此限制本實(shí)用新型的實(shí)施范圍，故凡依本實(shí)用新型之形狀、原理所作的變化，均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，其特征在于:包括有探測(cè)口法蘭蓋、探頭安裝座、探頭調(diào)節(jié)架、探頭調(diào)節(jié)螺桿、螺桿安裝板，其中，所述探測(cè)口法蘭蓋安裝在用于生長(zhǎng)外延片的MOCVD反應(yīng)腔室的頂部，處于該MOCVD反應(yīng)腔室內(nèi)部托盤的上方，所述探測(cè)口法蘭蓋上開有觀察窗，供測(cè)溫儀探頭能夠在不同位置都可探測(cè)到托盤上晶圓片的情況，所述探頭安裝座滑動(dòng)安裝在探測(cè)口法蘭蓋上，并可在觀察窗的長(zhǎng)度方向上自由滑動(dòng)，所述測(cè)溫儀探頭垂直安裝在該探頭安裝座的探頭安裝位處，能透過(guò)觀察窗探測(cè)到托盤上相應(yīng)晶圓片的情況，并能夠隨探頭安裝座一起滑動(dòng)，所述探頭調(diào)節(jié)架上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，該通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿相適配，所述探頭調(diào)節(jié)架與探頭安裝座固定相連，能隨該探頭安裝座一起滑動(dòng)，所述螺桿安裝板豎直安裝在探測(cè)口法蘭蓋上，所述探頭調(diào)節(jié)螺桿的一端橫穿該螺桿安裝板后伸進(jìn)上述探頭調(diào)節(jié)架的通孔中，與該探頭調(diào)節(jié)架構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)，且所述探頭調(diào)節(jié)螺桿上裝配有配合螺桿安裝板用的限位件，用于限制該探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時(shí)軸向移動(dòng)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述探頭調(diào)節(jié)螺桿，能使得所述探頭安裝座及裝于該探頭安裝座上的測(cè)溫儀探頭在觀察窗的長(zhǎng)度方向上一起滑動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，其特征在于:所述探頭安裝座上設(shè)置有螺釘安裝孔，能夠采用螺釘通過(guò)該螺釘安裝孔將探頭安裝座固定在探測(cè)口法蘭蓋上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，其特征在于:所述限位件為卡簧，該卡簧裝于探頭調(diào)節(jié)螺桿上的環(huán)形凹槽處，通過(guò)卡簧與螺桿安裝板的配合限位，能避免探頭調(diào)節(jié)螺桿在調(diào)節(jié)時(shí)軸向移動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，其特征在于:所述探頭安裝座橫跨于觀察窗的上方。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，其特征在于:所述觀察窗為長(zhǎng)矩形結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于調(diào)節(jié)外延片測(cè)溫儀探頭位置的無(wú)級(jí)可調(diào)裝置，包括探測(cè)口法蘭蓋、探頭安裝座、探頭調(diào)節(jié)架、探頭調(diào)節(jié)螺桿、螺桿安裝板，探測(cè)口法蘭蓋裝在MOCVD反應(yīng)腔室頂部，探測(cè)口法蘭蓋上開有觀察窗，探頭安裝座滑動(dòng)安裝在探測(cè)口法蘭蓋上，可在觀察窗的長(zhǎng)度方向上自由滑動(dòng)，測(cè)溫儀探頭垂直裝在探頭安裝座上，探頭調(diào)節(jié)架上貫通有帶內(nèi)螺紋的通孔，通孔上的內(nèi)螺紋與探頭調(diào)節(jié)螺桿相適配，探頭調(diào)節(jié)架與探頭安裝座固定相連，螺桿安裝板豎直裝在探測(cè)口法蘭蓋上，探頭調(diào)節(jié)螺桿的一端橫穿螺桿安裝板后伸進(jìn)探頭調(diào)節(jié)架的通孔中，與探頭調(diào)節(jié)架構(gòu)成螺母絲桿機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型能有效實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)溫儀安裝位置的無(wú)級(jí)精確調(diào)節(jié)。
【IPC分類】G01K1/14
【公開號(hào)】CN205192634
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520925955
【發(fā)明人】劉向平, 楊翠柏, 方聰, 張楊, 張露, 靳愷, 王雷
【申請(qǐng)人】中山德華芯片技術(shù)有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2015年11月19日