一種面陣與線陣ccd相機組合的多角度掃描探頭的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于光學(xué)掃描測量領(lǐng)域，具體涉及一種面陣與線陣CCD相機組合的多角度掃描探頭。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在采用光學(xué)成像系統(tǒng)對待測物的表面進(jìn)行非接觸式缺陷掃描檢測時，一般采用如下兩種解決方案:一、采用單一面陣CCD相機進(jìn)行面陣步距掃描，以獲取待測物明暗相間的圖像，再經(jīng)過后續(xù)算法處理重建待測物的拼圖圖像，從拼圖圖像中檢測待測物表面的缺陷是否合格；二、采用單一線陣CCD相機進(jìn)行線陣連續(xù)掃描，以獲取待測物明暗相間的圖像，再經(jīng)過后續(xù)算法處理重建待測物的拼圖圖像，從拼圖圖像中檢測待測物表面的缺陷是否合格。采用單一面陣CCD相機進(jìn)行面陣步距掃描時，可以保障缺陷分辨率，但無法保障掃描速度，影響測量速度；采用單一線陣CCD相機進(jìn)行線陣連續(xù)掃描時，可以保障掃描速度，但無法保障缺陷解析率，也就是從重建的圖像中看不到待測物表面的精細(xì)結(jié)構(gòu)。當(dāng)用戶的樣品檢測需要同時兼顧大尺度缺陷的掃描速度和小尺度缺陷的局部分辨率時，現(xiàn)有的單個掃描探頭無法滿足要求，需要配置分別帶面陣CCD相機的設(shè)備和待線陣CCD相機的兩套設(shè)備。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種面陣與線陣CCD相機組合的多角度掃描探頭，使用后能夠同時兼顧大尺度缺陷的掃描速度和小尺度缺陷的局部分辨率的檢測要求。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:一種面陣與線陣(XD相機組合的多角度掃描探頭，包括基座、設(shè)置在基座上的線光源、和用于對線光源發(fā)出的光束進(jìn)行導(dǎo)光的光纖，其特征在于:固定在所述基座上的還設(shè)有面陣CCD相機和線陣CCD相機，分別觸發(fā)面陣CCD相機和線陣CCD相機動作的設(shè)有第一觸發(fā)器和第二觸發(fā)器，所述線光源與面陣CCD相機之間形成第一光路，所述線光源與線陣CCD相機之間形成第二光路，所述面陣CCD相機、線陣CCD相機和線光源三者之間實時共焦。
[0005]本實用新型的一個較佳實施例中，進(jìn)一步包括所述基座上設(shè)有變倍顯微鏡，所述面陣CCD相機固定在變倍顯微鏡上，且所述面陣CCD相機的中心與變倍顯微鏡的鏡筒中軸線重合，所述線陣CCD相機的中心與變倍顯微鏡的鏡筒中軸線之間的夾角為130°?140°，所述線光源的中心與變倍顯微鏡的鏡筒中軸線之間的夾角為57°?63°。
[0006]本實用新型的一個較佳實施例中，進(jìn)一步包括所述線陣(XD相機的中心與變倍顯微鏡的鏡筒中軸線之間的夾角為135°，所述線光源的中心與變倍顯微鏡的鏡筒中軸線之間的夾角為60°。
[0007]本實用新型的一個較佳實施例中，進(jìn)一步包括所述第一觸發(fā)器和第二觸發(fā)器同步輸出觸發(fā)信號。
[0008]本實用新型的一個較佳實施例中，進(jìn)一步包括所述第一觸發(fā)器和第二觸發(fā)器獨立輸出觸發(fā)信號。
[0009]本實用新型的一個較佳實施例中，進(jìn)一步包括所述基座包括橫向設(shè)置的面陣相機支架、和分別設(shè)置在面陣相機支架兩端的線光源支架和線陣相機支架，所述線光源設(shè)置在線光源支架上，所述線陣CCD相機設(shè)置在線陣相機支架上，所述變倍顯微鏡設(shè)置在面陣相機支架上。
[0010]本實用新型的有益效果是:本實用新型提供一種面陣與線陣C⑶相機組合的多角度掃描探頭，通過優(yōu)化設(shè)計結(jié)構(gòu)，在一臺掃描探頭上組合安裝面陣CCD相機和線陣CCD相機，兩相機共用一個線光源，能夠同時兼顧大尺度缺陷的掃描速度和小尺度缺陷的局部分辨率的檢測要求，以此來提升用戶產(chǎn)線的產(chǎn)品檢測效率和良率，降低檢測設(shè)備采購的成本。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實用新型實施例技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1是本實用新型優(yōu)選實施例的立體圖；
[0013]圖2是本實用新型優(yōu)選實施例工作時的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3是本實用新型優(yōu)選實施例的俯視圖。
[0015]其中，1-載物臺，3-待測樣品；
[0016]2-基座，4-線光源，6-光纖，8-面陣CCD相機，10-線陣CCD相機，12-第一觸發(fā)器，14-第二觸發(fā)器，16-第一光路，18-第二光路，20-變倍顯微鏡，22-面陣相機支架，24-線光源支架，26-線陣相機支架。
【具體實施方式】
[0017]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
[0018]實施例一本實施例中的掃描探頭基于面陣(XD相機8和線陣(XD相機10同時工作:
[0019]如圖1、2、3所示，本實施例中公開了一種基于面陣(XD相機與線陣(XD相機組合的多角度掃描探頭，包括基座2、設(shè)置在基座2上的線光源4、和用于對線光源4發(fā)出的光束進(jìn)行導(dǎo)光的光纖6，具體的，所述基座2包括橫向設(shè)置的面陣相機支架22、和分別設(shè)置在面陣相機支架22兩端的線光源支架24和線陣相機支架26，面陣相機支架22和線陣相機支架26上分別固定有面陣CCD相機8和線陣CCD相機10，線光源4設(shè)置在線光源支架24上，線光源4、面陣CCD相機8和線陣CCD相機10三者構(gòu)成本實用新型掃描探頭的主體部分，所述面陣CCD相機8、線陣CCD相機10和線光源4三者之間實時共焦，所述線光源4與面陣CCD相機8之間形成第一光路16，所述線光源4與線陣(XD相機10之間形成第二光路18，分別觸發(fā)面陣CCD相機8和線陣CCD相機10動作的設(shè)有第一觸發(fā)器12和第二觸發(fā)器14，作為本實用新型的優(yōu)選實施例，第一觸發(fā)器12和第二觸發(fā)器14同步輸出觸發(fā)信號。
[0020]為了實現(xiàn)面陣(XD相機8、線陣(XD相機10和線光源4三者之間實時共焦，本實用新型優(yōu)選實施例中基于以下結(jié)構(gòu)來實現(xiàn):所述基座2上設(shè)有變倍顯微鏡20，如圖1所示，變倍顯微鏡20設(shè)置在面陣相機支架22上，所述面陣(XD相機8固定在變倍顯微鏡20上，且所述面陣CCD相機8的中心與變倍顯微鏡20的鏡筒中軸線重合，所述線陣CCD相機10的中心與變倍顯微鏡20的鏡筒中軸線之間的夾角α 1為130°?140°，所述線光源4的中心與變倍顯微鏡20的鏡筒中軸線之間的夾角α2為57°?63°。線光源4、面陣C⑶相機8和線陣CCD相機10基于上述角度安裝時能夠確保三者之間實時共焦，三者之間實時共焦使得面陣CCD相機8和線陣CCD相機10能夠共用一組線光源4基于光學(xué)原理來獲取