亚洲狠狠干,亚洲国产福利精品一区二区,国产八区,激情文学亚洲色图

一種單晶棒測(cè)量設(shè)備的制造方法

文檔序號(hào):9162024閱讀:413來源:國(guó)知局
一種單晶棒測(cè)量設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及單晶棒測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 單晶棒進(jìn)行切片工序前必須測(cè)量其直徑、長(zhǎng)度等外觀數(shù)據(jù),以確定單晶棒是否符 合正常使用。目前單晶棒直徑和長(zhǎng)度的測(cè)量分別采用游標(biāo)卡尺和直尺,晶棒的直徑測(cè)量需 要在單晶棒不同截面多次測(cè)量,檢測(cè)人員采用游標(biāo)卡尺測(cè)量時(shí),易受人為因素干擾,如測(cè)量 人員的熟練程度、測(cè)量操作方法等,測(cè)量精度低、偏差大,且每次測(cè)量均需調(diào)整游標(biāo)卡尺,工 作效率低。單晶棒長(zhǎng)度和直徑的測(cè)量分開測(cè)量,測(cè)量用時(shí)長(zhǎng)。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種單晶棒測(cè)量設(shè)備,能夠方便、快速的測(cè) 量出單晶棒的直徑和長(zhǎng)度,受人為干擾少,具有測(cè)量精度高,測(cè)量效率高的優(yōu)點(diǎn)。
[0004] 為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種單晶棒測(cè)量設(shè)備,包 括一對(duì)平行導(dǎo)軌,所述導(dǎo)軌之間設(shè)有放置板,用于放置單晶棒,所述導(dǎo)軌與單晶棒的軸向平 行;所述每個(gè)平行導(dǎo)軌上各設(shè)有一個(gè)能夠在所述導(dǎo)軌上滑動(dòng)的支架,其中一個(gè)支架上設(shè)有 激光位移傳感器,能夠測(cè)量支架位移,所述激光位移傳感器與單片機(jī)電連接,所述單片機(jī)與 顯示屏電連接,所測(cè)得位移數(shù)據(jù)由顯示屏顯示;所述放置板的上方設(shè)有直徑測(cè)量裝置,包括 殼體,所述殼體的兩側(cè)分別對(duì)稱設(shè)有一個(gè)向外伸出的水平桿,所述水平桿的端部卡扣在同 側(cè)的支架上;所述殼體的下部為測(cè)量端,呈拱橋形狀,位于待測(cè)單晶棒上方,所述測(cè)量端底 面上設(shè)有三個(gè)激光測(cè)距傳感器,分別位于同一圓的三個(gè)四等分點(diǎn)上,且所述三個(gè)激光測(cè)距 傳感器的測(cè)量面為同平面,測(cè)量方向均指向所述圓的圓心;所述激光測(cè)距傳感器與單片機(jī) 電連接,所述三個(gè)激光測(cè)距傳感器將測(cè)量得到的數(shù)據(jù)傳送至所述單片機(jī),所述單片機(jī)將數(shù) 據(jù)計(jì)算處理得到測(cè)量直徑,由顯示屏顯示。
[0005] 進(jìn)一步地,所述單片機(jī)、顯示屏均固定在殼體的上部。
[0006] 進(jìn)一步地,所述殼體下部測(cè)量端的底面為內(nèi)凹弧面。
[0007] 進(jìn)一步地,所述支架下方設(shè)有滾輪,其兩側(cè)設(shè)有連桿,所述連桿一端固定在所述支 架上,另一端連接同側(cè)的滾輪軸;所述導(dǎo)軌為與滾輪形狀相匹配的凹形槽,包括底部的滑槽 軌道和兩側(cè)的卡槽軌道,所述滾輪軸位于所述卡槽軌道內(nèi)。
[0008] 進(jìn)一步地,所述支架下方設(shè)有前后兩個(gè)滾輪。
[0009] 進(jìn)一步地,所述激光位移傳感器位于支架內(nèi),其所在的支架與水平桿卡扣處設(shè)有 電子插頭,所述水平桿對(duì)應(yīng)位置設(shè)有電子插口,所述電子插頭與激光位移傳感器電連接,所 述電子插口與所述單片機(jī)電連接。
[0010] 測(cè)量時(shí),單晶棒置于放置板上,直徑測(cè)量裝置的測(cè)量端罩于單晶棒上,支架從單晶 棒的一端向另一端移動(dòng)測(cè)量,直徑測(cè)量裝置實(shí)時(shí)測(cè)量出單晶棒不同截面的直徑,由顯示屏 顯示讀出,支架移動(dòng)到單晶棒末端時(shí),激光位移傳感器測(cè)測(cè)量出的位移距離即為單晶棒的 長(zhǎng)度。
[0011] 直徑測(cè)量裝置中三個(gè)激光測(cè)距傳感器測(cè)量出單晶棒相應(yīng)截面內(nèi)三個(gè)測(cè)量點(diǎn)到相 應(yīng)激光測(cè)距傳感器的距離,由于測(cè)量端激光測(cè)距傳感器所在圓的半徑已知,通過建立二維 坐標(biāo)系確定測(cè)量點(diǎn)的坐標(biāo),這3個(gè)坐標(biāo)能確定一個(gè)三角形,三角形的外接圓即為單晶棒此 處截面的直徑,由單片機(jī)通過三角形外接圓半徑公式計(jì)算得到該直徑。
[0012] 采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0013] 本實(shí)用新型采用激光測(cè)距傳感器和激光位移傳感器測(cè)量數(shù)據(jù),測(cè)量精度高、速度 快,能夠顯著提高測(cè)量工作效率,降低了人為操作原因的干擾;測(cè)量出的數(shù)據(jù)經(jīng)單片機(jī)計(jì)算 得到的直徑和長(zhǎng)度通過顯示屏直接顯示,相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)游標(biāo)卡尺測(cè)量讀值,人員讀值更 方便,效率更高。
[0014] 本實(shí)用新型通過單晶棒直徑測(cè)量過程同時(shí)能夠測(cè)量出單晶棒的長(zhǎng)度,節(jié)約了一次 測(cè)量步驟,減少測(cè)量用時(shí),工作效率更高。
[0015] 本實(shí)用新型與單晶棒無接觸,可方便的移動(dòng),能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量單晶棒不同部位直徑, 使用方便、適用性好。
【附圖說明】
[0016] 圖1是本實(shí)用新型一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017] 圖2是圖1所示實(shí)施例的前視圖;
[0018] 圖3是圖2中A部分結(jié)構(gòu)的放大示意圖;
[0019] 圖4是圖1所示實(shí)施例的俯視圖;
[0020] 圖5是支架的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0021] 圖6是直徑測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0022] 圖7是直徑測(cè)量裝置的俯視圖;
[0023] 圖8是直徑測(cè)量裝置的仰視圖;
[0024] 圖9是直徑測(cè)量裝置測(cè)量單晶棒直徑的原理圖;
[0025] 圖10是本實(shí)用新型的電氣控制系統(tǒng)框圖。
[0026] 其中,1、直徑測(cè)量裝置;2、支架;3、導(dǎo)軌;4、放置板;5、單晶棒;11、測(cè)量端;12、激 光測(cè)距傳感器;13、殼體的上部;14、水平桿;15、顯示屏;16、電源開關(guān);17、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換按鈕; 18、電子插口;21、卡扣處;22、電子插頭;23、連桿;24、滾輪;25、滾輪軸;26、激光位移傳感 器。
【具體實(shí)施方式】
[0027] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)單晶棒直徑和長(zhǎng)度測(cè)量需分次進(jìn)行,測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)、效率低,和現(xiàn)有技 術(shù)采用游標(biāo)卡尺測(cè)量單晶棒直徑操作不方便、測(cè)量易受人為干擾導(dǎo)致精度低的技術(shù)問題, 本實(shí)用新型提供了一種單晶棒測(cè)量設(shè)備,包括由平行導(dǎo)軌、放置板和可移動(dòng)支架構(gòu)成的長(zhǎng) 度測(cè)量裝置和設(shè)于平行導(dǎo)軌之間并能夠隨支架移動(dòng)的直徑測(cè)量裝置,支架上設(shè)有激光位移 傳感器,能夠測(cè)量支架位移;直徑測(cè)量裝置由位于同一圓的三個(gè)四等分點(diǎn)上設(shè)置的三個(gè)激 光測(cè)距傳感器實(shí)現(xiàn)對(duì)單晶棒截面直徑的測(cè)量,激光位移傳感器和激光測(cè)距傳感器均與單片 機(jī)電連接,單片機(jī)與顯示屏電連接,測(cè)量數(shù)據(jù)由顯示屏讀出。本實(shí)用新型一次操作能夠同時(shí) 測(cè)量出單晶棒直徑和長(zhǎng)度數(shù)據(jù),使用方便,精度高,能夠顯著提高工作效率。
[0028] 下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0029] -種單晶棒測(cè)量設(shè)備,包括一對(duì)平行導(dǎo)軌3,所述導(dǎo)軌3之間設(shè)有放置板4,用于放 置單晶棒5,所述導(dǎo)軌3與單晶棒5的軸向平行;所述每個(gè)平行導(dǎo)軌3上各設(shè)有一個(gè)能夠在 所述導(dǎo)軌3上滑動(dòng)的支架2,其中一個(gè)支架2上設(shè)有激光位移傳感器26,能夠測(cè)量支架2位 移,所述激光位移傳感器26與單片機(jī)電連接,所述單片機(jī)與顯示屏15電連接,所測(cè)得位移 數(shù)據(jù)由顯示屏15顯示;所述放置板4的上方設(shè)有直徑測(cè)量裝置1,包括殼體,所述殼體的兩 側(cè)分別對(duì)稱設(shè)有一個(gè)向外伸出的水平桿14,所述水平桿14的端部卡扣在同側(cè)的支架2上; 所述殼體的下部為測(cè)量端11,呈拱橋形狀,位于待測(cè)單晶棒5上方,所述測(cè)量端11底面上設(shè) 有三個(gè)激光測(cè)距傳感器12,分別位于同一圓的三個(gè)四等分點(diǎn)上,且所述三個(gè)激
當(dāng)前第1頁(yè)1 2 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1