空心陰極放電試驗(yàn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及放電測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]空心陰極放電HCD是一種特殊形式的輝光放電，它發(fā)生在相對(duì)靠近的兩個(gè)陰極和陽極之間，陰極也可以為圓柱或球形。HCD具有工作氣壓高，維持電壓低，粒子數(shù)反轉(zhuǎn)濃度大等優(yōu)點(diǎn)，故廣泛應(yīng)用于光譜分析、表面處理、電磁波吸收、氣體污染凈化等領(lǐng)域。與正常輝光放電相比，HCD的電子束彼此匯合，負(fù)輝區(qū)重疊在一起，發(fā)光更明亮且均勻，而且隨著放電電流密度的增加，往往陰極位降減少。在相同的電流密度下，空心陰極內(nèi)的電子密度比正常輝光放電要高2?3個(gè)量級(jí)。本實(shí)用新型給出一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，能夠產(chǎn)生空心陰極放電，從而為研宄空心陰極放電特性提供了實(shí)驗(yàn)途徑。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，包括真空室、圓柱空心陰極、陽極、高壓電源，所述真空室上開設(shè)有進(jìn)氣口、測(cè)量口、排氣口、電源口，其中，所述進(jìn)氣口通過進(jìn)氣閥門連接氣瓶；所述測(cè)量口連接真空計(jì)；所述排氣口通過排氣閥門連接真空泵；所述高壓電源通過電流表連接陽極，通過電阻連接陰極，所述陰極還通過高壓探頭連接示波器。
[0004]所述真空室為圓柱形不銹鋼真空室，內(nèi)徑為32cm，高度為60cm。
[0005]所述真空室下部通過進(jìn)氣閥門接無油真空泵，所述無油真空泵的抽速為8L/s，極限真空為8Pa。
[0006]所述真空室上部通過進(jìn)氣閥門接氬氣瓶。
[0007]所述真空計(jì)為電容薄膜式絕對(duì)壓力變送器。
[0008]所述真空室兩側(cè)設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱的觀察窗。
【附圖說明】
[0009]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0010]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的空心陰極放電試驗(yàn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0012]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的空心陰極放電試驗(yàn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，本實(shí)施例的一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，包括真空系統(tǒng)和放電系統(tǒng)兩部分，其中，真空系統(tǒng)為放電提供所需的真空環(huán)境；放電系統(tǒng)由可調(diào)直流高壓電源驅(qū)動(dòng)真空室內(nèi)的空心陰極放電。真空系統(tǒng)的主體是一個(gè)圓柱形的不銹鋼真空室1，內(nèi)徑為32cm，高度為60cm ;所述真空室I下部通過進(jìn)氣閥門9接無油真空泵7，所述無油真空泵7的抽速為8L/s，極限真空為8Pa。所述真空室I上部通過進(jìn)氣閥門9接氬氣瓶6。真空系統(tǒng)的氣壓通過真空計(jì)8:電容薄膜式絕對(duì)壓力變送器測(cè)量。所述真空室I兩側(cè)設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱的觀察窗。
[0013]空心陰極放電系統(tǒng)包括空心陰極放電裝置、驅(qū)動(dòng)電源和測(cè)試電路?？招年帢O放電裝置包括空心陰極2和一對(duì)平板陽極3?？招年帢O為內(nèi)徑10mm，外徑12mm，長(zhǎng)20mm的316L型不銹鋼管；陽極為兩個(gè)不銹鋼平板，平行置于陰極兩側(cè)，陰極和陽極間距為d = 10cm。陰極上加直流負(fù)高壓，由線性直流穩(wěn)壓穩(wěn)流電源5提供，電源輸出負(fù)直流高壓，輸出最高電壓電流值為2000V/1A、電源波紋電壓小于0.1% +10mV，在額定電壓和電流值范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，最小電壓調(diào)節(jié)為IV，最小電流調(diào)節(jié)為0.1mA?？招年帢O通過一個(gè)限流電阻10與電源連接，陽極通過電流表12接地，測(cè)試放電平均電流。陰極電壓通過高壓探頭11和示波器4測(cè)量，同時(shí)也測(cè)量采樣電阻上的電壓以測(cè)試放電電流。
[0014]在實(shí)驗(yàn)之前用酒精進(jìn)行清洗，去除基體表面的浮塵等雜質(zhì)。試驗(yàn)時(shí)用機(jī)械真空泵先將真空室的氣壓抽至最低氣壓，再打開進(jìn)氣閥門輸入氬氣，如此重復(fù)二到三次，待氣壓值穩(wěn)定值所需氣壓后關(guān)閉進(jìn)氣、抽氣閥門，此時(shí)真空室內(nèi)可以認(rèn)為是純凈的氬氣。然后調(diào)節(jié)電壓，記錄數(shù)據(jù)，再進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
[0015]最后應(yīng)說明的是:以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，包括真空室、圓柱空心陰極、陽極、高壓電源，其特征在于，所述真空室上開設(shè)有進(jìn)氣口、測(cè)量口、排氣口、電源口，其中，所述進(jìn)氣口通過進(jìn)氣閥門連接氣瓶；所述測(cè)量口連接真空計(jì)；所述排氣口通過排氣閥門連接真空泵；所述高壓電源通過電流表連接陽極，通過電阻連接陰極，所述陰極還通過高壓探頭連接示波器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，其特征在于，所述真空室為圓柱形不銹鋼真空室，內(nèi)徑為32cm，高度為60cm。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，其特征在于，所述真空室下部通過進(jìn)氣閥門接無油真空泵，所述無油真空泵的抽速為8L/s，極限真空為8Pa。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，其特征在于，所述真空室上部通過進(jìn)氣閥門接氬氣瓶。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，其特征在于，所述真空計(jì)為電容薄膜式絕對(duì)壓力變送器。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，其特征在于，所述真空室兩側(cè)設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱的觀察窗。
【專利摘要】本實(shí)用新型給出一種空心陰極放電試驗(yàn)裝置，包括真空室、圓柱空心陰極、陽極、高壓電源，所述真空室上開設(shè)有進(jìn)氣口、測(cè)量口、排氣口、電源口，其中，所述進(jìn)氣口通過進(jìn)氣閥門連接氣瓶；所述測(cè)量口連接真空計(jì)；所述排氣口通過排氣閥門連接真空泵；所述高壓電源通過電流表連接陽極，通過電阻連接陰極，所述陰極還通過高壓探頭連接示波器。本實(shí)用新型給出的空心陰極放電試驗(yàn)裝置，能夠產(chǎn)生空心陰極放電，從而為研究空心陰極放電特性提供了實(shí)驗(yàn)途徑。
【IPC分類】G01R31/24
【公開號(hào)】CN204666775
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520249572
【發(fā)明人】劉曉嵐
【申請(qǐng)人】劉曉嵐
【公開日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2015年4月19日