質譜分析系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及流體取樣分析，特別涉及質譜分析系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002] 在線質譜根據(jù)不同物質質荷比不同進行分離及檢測，完成對被測物質的分析。為 達到最佳的檢測效果，所有的分離及檢測過程都在真空系統(tǒng)中完成，所以要求真空系統(tǒng)具 備幾個條件：
[0003] ⑴長期穩(wěn)定維持較高的真空度，通常在lE-5Torr以下；
[0004] ⑵真空腔體溫度穩(wěn)定；
[0005] ⑶進入真空腔體內離子源的氣體溫度及壓力穩(wěn)定；
[0006] 圖1示意性地給出了現(xiàn)有技術中采用的真空腔方案，如圖1所示，真空腔11內的 真空度依靠抽氣泵21工作，達到測量所需的對lE-5T 〇rr以下，而樣氣溫度主要靠毛細管91 的加熱器，在樣氣進入離子源之前加熱到恒定溫度，再進入離子源離子化。
[0007] 分子平均自由行程公式
【主權項】
1. 一種質譜分析系統(tǒng)，所述質譜分析系統(tǒng)包括真空腔、抽氣泵；其特征在于：所述質譜 分析系統(tǒng)進一步包括： 氣源，所述氣源連接制冷器的輸入端； 制冷器，所述制冷器的輸出端連接轉換部件的進口； 轉換部件，所述轉換部件設置在所述真空腔的一側，內部具有錐體，錐體底部的外圍設 置通孔，所述通孔的軸線與所述真空腔的軸線異面； 流體通道，所述流體通道設置在所述真空腔的外緣，輸入端連通所述通孔，輸出端連通 外界。
2. 根據(jù)權利要求1所述的質譜分析系統(tǒng)，其特征在于：所述轉換部件進一步包括： 第一部件，所述第一部件具有進口，且內部中空； 第二部件，所述第二部件具有錐體，錐體的周圍設置所述通孔；第二部件連接所述第一 部件。
3. 根據(jù)權利要求1所述的質譜分析系統(tǒng)，其特征在于：所述通孔的軸線與所述真空腔 的軸線的所成角為30度。
4. 根據(jù)權利要求1所述的質譜分析系統(tǒng)，其特征在于：制冷器采用渦旋制冷器。
5. 根據(jù)權利要求1所述的質譜分析系統(tǒng)，其特征在于：所述抽氣泵和真空腔之間具有 隔熱層。
6. 根據(jù)權利要求1所述的質譜分析系統(tǒng)，其特征在于：所述質譜分析系統(tǒng)進一步包 括： 溫度傳感器，所述溫度傳感器設置在所述真空腔內，輸出端連接控制器； 控制器，所述控制器用于根據(jù)溫度傳感器的值而調整電磁閥的開度； 電磁閥，所述電磁閥設置在所述氣源和制冷器之間的流路上。
【專利摘要】本實用新型提供了一種質譜分析系統(tǒng)，所述質譜分析系統(tǒng)包括真空腔、抽氣泵；進一步包括：氣源，所述氣源連接制冷器的輸入端；制冷器，所述制冷器的輸出端連接轉換部件的進口；轉換部件，所述轉換部件設置在所述真空腔的一側，內部具有錐體，錐體底部的外圍設置通孔，所述通孔的軸線與所述真空腔的軸線異面；流體通道，所述流體通道設置在所述真空腔的外緣，輸入端連通所述通孔，輸出端連通外界。本實用新型具有抗干擾、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。
【IPC分類】G01N27-62
【公開號】CN204462073
【申請?zhí)枴緾N201420866867
【發(fā)明人】張進偉, 鄭利武, 任焱
【申請人】聚光科技(杭州)股份有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2014年12月31日