能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置，更為詳細(xì)地，涉及一種利用干涉儀的同時(shí)能夠檢測到檢測對象的有色信息的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝及Fro工藝中決定質(zhì)量的多種因素中，控制薄膜層厚度所占的比重較大，因此可以認(rèn)為有必要在工藝中直接監(jiān)測薄膜層。所謂的“薄膜層”為基層，即為形成在基板表面上的具有非常微細(xì)厚度的層，通常厚度為數(shù)nm?數(shù)μπι。為了將這些薄膜層作為特定用途來應(yīng)用，有必要知道薄膜層的厚度、組成、粗糙度及其他物理、光學(xué)特性。在此，雖然檢測半導(dǎo)體工藝及其他應(yīng)用工藝中使用的薄膜層厚度的方法有多種方式，但通常使用利用干涉儀的方法和利用分光光度計(jì)的方法。
[0003]另外，最近對于具有如R/G/B的有色信息的如IXD面板的半導(dǎo)體器件，也檢測薄膜層的物理、光學(xué)特性的同時(shí)，還能檢測到如R/G/B的有色信息的技術(shù)備受關(guān)注。
[0004]圖1為示意地表示以往的三維形狀檢測裝置的光路圖。如圖1所示，以往的三維形狀檢測裝置包括光源10、光線分割器30、透鏡部40及光線檢測部50，該裝置通過對從光源10發(fā)射的光線在透鏡部40中被分割為兩束以上的光線并在進(jìn)行路徑上產(chǎn)生差異后，被分割的光線重新合并時(shí)產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象進(jìn)行觀察，從而檢測檢測對象的形狀等。
[0005]然而，這種以往的三維形狀檢測裝置因光線的干涉效果，無法準(zhǔn)確地檢測到檢測對象的有色信息，因此通常通過在檢測對象上按各顏色不同地形成的圖案來識(shí)別。
[0006]S卩，以往技術(shù)并不是通過區(qū)別有色信息而直接判別的，因此具有在檢測對象上沒有形成圖案或圖案的形狀形成為各顏色的形狀彼此相同時(shí)，不能將各有色信息區(qū)別檢測的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]因此，本發(fā)明的目的是為了解決所述的問題而提出的，其目的是提供一種能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置，該能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置能夠利用干涉儀檢測檢測對象的形狀，并且還能檢測到檢測對象的顏色信息。
[0008]所述目的，通過本發(fā)明的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置來實(shí)現(xiàn)，該能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置利用干涉光對檢測對象的形狀進(jìn)行檢測，所述三維形狀檢測裝置的特征在于，包括:光源，用于發(fā)射光線；光線分割器，用于對從所述光源發(fā)射的光線進(jìn)行反射或?qū)νㄟ^檢測對象反射的光線進(jìn)行透射；透鏡部，用于使通過所述光線分割器反射的光線聚集到所述檢測對象；光線檢測部，用于檢測從所述檢測對象反射的光線；及光線調(diào)節(jié)部，配置在所述光源和所述光線分割器之間的光路上，用于阻斷從所述光源的中心區(qū)域發(fā)射的光線，從而減弱在所述透鏡部中產(chǎn)生的光線的干涉。
[0009]在此，優(yōu)選所述光線調(diào)節(jié)部包括:主體部，設(shè)置有用于透射光線的透射部；和光圈，設(shè)置在所述透射部的內(nèi)部，用于阻斷光線，并且從所述光源發(fā)射的光線所透射的光路優(yōu)選被限制在所述透射部的外面和所述光圈的外面之間的區(qū)域。
[0010]此外，優(yōu)選所述光圈設(shè)置為圓形、多邊形及棒形中的至少一個(gè)。
[0011]在此，優(yōu)選所述光線調(diào)節(jié)部有選擇地安裝在所述光源和所述光線分割器之間的光路上O
[0012]此外，優(yōu)選進(jìn)一步包括:輔助光線調(diào)節(jié)部，配置在所述光線調(diào)節(jié)部和所述光線分割器之間的光路上，用于阻斷通過所述光線調(diào)節(jié)部的部分光線。
[0013]在此，優(yōu)選所述透鏡部的倍率為50倍以下。
[0014]此外，優(yōu)選所述輔助光線調(diào)節(jié)部設(shè)置有用于透射光線的開口部，在透射所述光線調(diào)節(jié)部的光線中，部分光線透射所述開口部后到達(dá)檢測對象。
[0015]在此，優(yōu)選所述光圈的中心軸和所述開口部的中心軸設(shè)置為相同的軸。
[0016]此外，優(yōu)選所述透射部的面積比所述開口部的面積寬。
[0017]在此，優(yōu)選所述光線檢測部包括用于檢測干涉光的第一照相機(jī)和用于檢測顏色信息的第二照相機(jī)，并且所述三維形狀檢測裝置進(jìn)一步包括第二光線分割器，所述第二光線分割器設(shè)置在所述光線檢測部和所述光線分割器之間的光路上，用于將從檢測對象反射的光線透射到所述第一照相機(jī)或第二照相機(jī)中的至少一個(gè)照相機(jī)。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，提供一種能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置，該能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置能夠利用干涉儀檢測檢測對象的形狀，并且還能檢測檢測對象的顏色信息。
[0019]此外，由于有選擇地安裝光線調(diào)節(jié)部，因此能夠檢測檢測對象的形狀及顏色信息。
[0020]此外，由于能夠根據(jù)透鏡部的倍率調(diào)節(jié)向檢測對象入射的光線，因此能夠與透鏡部的倍率無關(guān)地檢測檢測對象的顏色信息。
[0021]此外，由于光圈和開口部的中心軸相一致，因此能夠易于調(diào)節(jié)向檢測對象入射的光線。
【附圖說明】
[0022]圖1為示意地表示以往的三維形狀檢測裝置的光路圖，
[0023]圖2為示意地表示本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置的光路圖，
[0024]圖3為示意地表示在圖2的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中的光線調(diào)節(jié)部一例的圖，
[0025]圖4為示意地表示在圖2的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中的光線調(diào)節(jié)部另一例的圖，
[0026]圖5為示意地表示在圖2的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中從光源發(fā)射的光線通過光線調(diào)節(jié)部的模樣的圖，
[0027]圖6為示意地表示在圖5的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中通過光線調(diào)節(jié)部的光線向透鏡部入射的模樣的圖，
[0028]圖7及圖8為表示在圖2的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中檢測檢測對象的顏色信息的模樣的照片，
[0029]圖9為示意地表示本發(fā)明的第二實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置的光路圖，
[0030]圖10為示意地表示本發(fā)明的第二實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置的光路圖，
[0031]圖11為示意地表示在圖10的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中從光源發(fā)射的光線通過光線調(diào)節(jié)部的模樣的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]在對本發(fā)明進(jìn)行說明之前需要說明的是，在多個(gè)實(shí)施例中，對于具有相同結(jié)構(gòu)的構(gòu)件使用相同的附圖標(biāo)記，并在第一實(shí)施例中進(jìn)行代表性的說明，在其他實(shí)施例中針對與第一實(shí)施例不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0033]下面，參照附圖對本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0034]圖2為示意地表示本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置的光路圖。
[0035]參照圖2，本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置100為使通過透鏡部140的光線產(chǎn)生的干涉效果最小化的裝置，包括:光源110、光線調(diào)節(jié)部120、光線分割器130、透鏡部140及光線檢測部160。
[0036]所述光源110用于發(fā)射光線，在本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置100中光源110使用白色光源，但并不局限于此。
[0037]圖3為示意地表示在圖2的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中的光線調(diào)節(jié)部一例的圖，圖4為示意地表示在圖2的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置中的光線調(diào)節(jié)部另一例的圖。
[0038]參照圖3或圖4，所述光線調(diào)節(jié)部120配置在光源110和后述的光線分割器130之間的光路上，用于阻斷從光源110的中心區(qū)域發(fā)射的光線，從而最大限度地減小在后述的透鏡部140中產(chǎn)生的光線的干涉。
[0039]S卩，為了檢測檢測對象的形狀等，利用光線的干涉效果，但在檢測有色信息時(shí)利用光線調(diào)節(jié)部120，在光源110中阻斷產(chǎn)生干涉較活躍的中心光線前往檢測對象，從而能夠最大限度的減小在后述的透鏡部130中產(chǎn)生的光線的干涉，以檢測檢測對象的有色信息。
[0040]在本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠檢測顏色信息的三維形狀檢測裝置100中，光線調(diào)節(jié)部120包括主體部121及光圈123。
[0041]所述主體部121起到光線調(diào)節(jié)部120的主框架作用，在包括光源110的中心區(qū)域的區(qū)域形成有透射光線的透射部122。
[0042]在此，優(yōu)選主體部121和透射部122具有相同的中心軸，并且透射部122形成在主體部121的中央部，但并不局限于此。
[0043]此外，主體部121和透射部122設(shè)置為圓形，但并不局限于此，也可設(shè)置為多邊形的形狀。
[0044]此外，透射部122設(shè)置為貫通主體部121，但并不局限于此，也可由用于透射光線的膜來形成。
[0045]所述光圈123設(shè)置在透射部122的內(nèi)部，光圈123用于阻斷向與設(shè)置有光圈123的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域行進(jìn)的光線(下稱“中心光線”)，從而光圈123設(shè)置為只使中心光線以外的周邊光線通過。
[0046]在此，周邊光線與中心光線相比，光線的干涉效果發(fā)生率低，并且在透鏡部140內(nèi)的光線的干涉效果發(fā)生率也低。
[0047]在此，優(yōu)選光圈123形成在透射部122的中央部，但并不局限于此。
[0048]此