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基于紅外輻射測量的激光功率計的制作方法

文檔序號:8941006閱讀:698來源:國知局
基于紅外輻射測量的激光功率計的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及激光功率測量技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于紅外輻射測量的激光功率 計。
【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)有技術(shù)中,由于在生產(chǎn)、檢驗或維修激光設(shè)備和激光儀器時,均需要對激光設(shè)備 和激光儀器的激光功率進行測量,所以激光功率計成為了必不可少的工具。其中,光電型激 光功率計是測量激光功率所使用的主要設(shè)備之一。
[0003] 上述光電型激光功率計通常由光電探測器和適當(dāng)?shù)碾娐方M成。其中,光電探測器 用于探測待測激光,并將探測到的待測激光進行光電轉(zhuǎn)換,生成電信號,使光電型激光功率 計可以通過測量電信號確定待測激光的激光功率。
[0004] 但是,由于光電探測器具有光譜選擇性,也就是說,光電探測器對不同波長范圍內(nèi) 的待測激光的響應(yīng)度不一樣,使得光電型激光功率計只能對特定波長范圍內(nèi)的待測激光的 激光功率進行測量,其探測的光譜范圍較窄,適用性不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明提供一種基于紅外輻射測量的激光功率計,用以解決現(xiàn)有技術(shù)中光電型激 光功率計探測的光譜范圍較窄,適用性不高的技術(shù)問題。
[0006] 為達到上述目的,本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案:
[0007] 第一方面,本發(fā)明提供一種基于紅外輻射測量的激光功率計,所述基于紅外輻射 測量的激光功率計包括:紅外輻射轉(zhuǎn)換器、會聚裝置、斬波器、驅(qū)動器、第一探測器、第二探 測器和控制處理器;其中,所述驅(qū)動器的輸入端與所述控制處理器的第一輸出端連接,所述 驅(qū)動器的輸出端與所述斬波器連接,所述控制處理器的第一輸入端與所述第一探測器的輸 出端連接,所述控制處理器的第二輸入端與所述第二探測器的輸出端連接;
[0008] 所述會聚裝置位于所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器和所述斬波器之間,用于將接收到的所述 紅外輻射轉(zhuǎn)換器發(fā)射的紅外輻射線會聚至所述第一探測器的光敏面;
[0009] 所述斬波器位于所述第一探測器的光敏面和所述第二探測器的光敏面的正前方。 [0010] 結(jié)合第一方面,在第一方面的第一種可能的實施方式中,所述基于紅外輻射測量 的激光功率計還包括:第一帶通光學(xué)濾波器和第二帶通光學(xué)濾波器;
[0011] 所述第一帶通光學(xué)濾波器覆蓋在所述第一探測器的光敏面,所述第二帶通光學(xué)濾 波器覆蓋在所述第二探測器的光敏面。
[0012] 結(jié)合第一方面或第一方面的第一種可能的實施方式,在第一方面的第二種可能的 實施方式中,所述基于紅外輻射測量的激光功率計還包括:顯示器;
[0013] 所述顯示器的輸入端與所述控制處理器的第二輸出端連接。
[0014] 結(jié)合第一方面的第二種可能的實施方式,在第一方面的第三種可能的實施方式 中,所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器的光感應(yīng)區(qū)域設(shè)置有吸光涂層。
[0015] 結(jié)合第一方面的第三種可能的實施方式,在第一方面的第四種可能的實施方式 中,所述會聚裝置為透射式會聚裝置,所述透射式會聚裝置用于將所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器發(fā) 射的紅外輻射線透射會聚至所述第一探測器的光敏面。
[0016] 結(jié)合第一方面的第四種可能的實施方式,在第一方面的第五種可能的實施方式 中,所述透射式會聚裝置的入射面和出射面均鍍有針對所述紅外輻射線波長的增透膜。
[0017] 結(jié)合第一方面的第三種可能的實施方式,在第一方面的第六種可能的實施方式 中,所述會聚裝置為反射式會聚裝置,所述反射式會聚裝置用于將所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器發(fā) 射的紅外輻射線反射會聚至所述第一探測器的光敏面。
[0018] 結(jié)合第一方面的第六種可能的實施方式,在第一方面的第七種可能的實施方式 中,所述反射式會聚裝置的反射面鍍有針對所述紅外輻射線波長的反射膜,所述反射膜為 金膜、銀膜、銅膜、鋁膜或高反射介質(zhì)膜;其中,所述高反射介質(zhì)膜為對所述紅外輻射線的反 射率大于99. 5%的反射介質(zhì)膜。
[0019] 結(jié)合第一方面,在第一方面的第八種可能的實施方式中,所述第一探測器和所述 第二探測器均為銻化銦InSb探測器,或者,所述第一探測器和所述第二探測器均為碲鎘汞 TgCdTe探測器。
[0020] 本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計,通過紅外輻射轉(zhuǎn)換器具有的光熱 轉(zhuǎn)換的功能,可以將紫外到遠紅外光譜區(qū)內(nèi)任一波長的待測激光轉(zhuǎn)換為紅外輻射線,進而 通過測量紅外輻射線即可確定待測激光的激光功率。因此,本發(fā)明提供的基于紅外輻射測 量的激光功率計,可以對紫外到遠紅外光譜范圍內(nèi)的任一波長的待測激光的激光功率進行 測量,提高了激光功率計的適用性。
【附圖說明】
[0021] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022] 圖1為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0023] 圖2為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0024] 圖3為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計實施例三的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0025] 圖4為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計實施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026] 附圖標(biāo)記:
[0027] 101 :紅外輻射轉(zhuǎn)換器; 102 :會聚裝置;
[0028] 103 :斬波器; 104 :驅(qū)動器;
[0029] 105 :第一探測器; 106 :第二探測器;
[0030] 107 :控制處理器; 108 :激光發(fā)射源;
[0031] 109 :第一帶通光學(xué)濾波器; 110 :第二帶通光學(xué)濾波器;
[0032] 111 :顯示器; 1041 :驅(qū)動器的輸入端;
[0033] 1042 :驅(qū)動器的輸出端; 1051 :第一探測器的輸出端;
[0034] 1052 :第一探測器的光敏面; 1061 :第二探測器的輸出端;
[0035] 1062 :第二探測器的光敏面; 1071 :控制處理器的第一輸入端;
[0036] 1072 :控制處理器的第二輸入端;1073 :控制處理器的第一輸出端;
[0037] 1074 :控制處理器的第二輸出端;1111 :顯示器的輸入端。
【具體實施方式】
[0038] 下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完 整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;?本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他 實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0039] 本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計可以用于測量待測激光的激光功 率。其中,該待測激光可以為任一激光發(fā)射源所發(fā)射的激光,例如:激光器、激光應(yīng)用設(shè)備 等。
[0040] 本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計,旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中的光電型激 光功率計探測的光譜范圍較窄,適用性不高的技術(shù)問題。
[0041] 為了便于對本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計進行描述,在下述實施 例中,將基于紅外輻射測量的激光功率計簡稱為激光功率計,將除待測激光和"紅外輻射轉(zhuǎn) 換器發(fā)射的紅外輻射線"之外的其他光均稱為雜散光。
[0042] 下面以具體地實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進行詳細說明。下面這幾個具體的實施 例可以相互結(jié)合,對于相同或相似的概念或過程可能在某些實施例不再贅述。
[0043]圖1為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測量的激光功率計實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖,如 圖1所示,該基于紅外輻射測量的激光功率計包括:紅外輻射轉(zhuǎn)換器101、會聚裝置102、斬 波器103、驅(qū)動器104、第一探測器105、第二探測器106和控制處理器107 ;其中,驅(qū)動器的 輸入端1041與控制處理器的第一輸出端1073連接,驅(qū)動器的輸出端1042與斬波器103連 接,控制處理器的第一輸入端1071與第一探測器的輸出端1051連接,控制處理器的第二輸 入端1072與第二探測器的輸出端1061連接;會聚裝置102位于紅外輻射轉(zhuǎn)換器101和斬 波器103之間,用于將接收到的紅外輻射轉(zhuǎn)換器101發(fā)射的紅外輻射線會聚至第一探測器 的光敏面1052。斬波器103位于第一探測器的光敏面1052和第二探測器的光敏面1062的 正前方。
[0044] 具體的,上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101可以設(shè)置在能夠吸收激光發(fā)射源108發(fā)射的待 測激光的任一位置,其中,紅外輻射轉(zhuǎn)換器101上設(shè)置有光感應(yīng)區(qū)域,該光感應(yīng)區(qū)域用于吸 收激光發(fā)射源108發(fā)射的待測激光,并對吸收的待測激光進行光熱轉(zhuǎn)換,使光感應(yīng)區(qū)域的 溫度升高并向外發(fā)射紅外輻射線,由設(shè)置在紅外輻射轉(zhuǎn)換器101所發(fā)射的紅外輻射線所覆 蓋的范圍內(nèi)的會聚裝置102接收該部分紅外輻射線,并將接收到的紅外輻射線會聚至第一 探測器的光敏面1052。由于上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101具有在紫外到遠紅外光譜區(qū)響應(yīng)曲線 平坦的特點,因此,上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101可以對紫外到遠紅外光譜區(qū)內(nèi)的任一波長的 待測激光進行光熱轉(zhuǎn)換,并向外發(fā)射紅外輻射線,也就是說,上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101對其 吸收的待測激光的波長沒有限制,因而,本發(fā)明提供的激光功率計,可以通過紅外輻射轉(zhuǎn)換 器1
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