用于電輸運測量的電連接裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電輸運測量測量技術(shù)，更具體地，涉及用于電輸運測量的電連接裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在材料科學(xué)和凝聚態(tài)物理等研究中，電輸運特性是材料的重要性質(zhì)。電輸運測量系統(tǒng)能對材料進行電輸運性質(zhì)測量，所述電輸運性質(zhì)測量包括霍爾效應(yīng)測量、磁阻測量、不同磁場和不同溫度下的1-V特性測量、R-T (固定磁場，電阻隨著溫度變化的特性)特性測量和R-H(固定溫度，電阻隨著磁場變化的特性)特性測量等。
[0003]多功能電輸運測量系統(tǒng)通常包括位于樣品室中的樣品以及位于樣品室外部的測量儀器。在測量時，測量室置于存貯液氮或液氦獲得的低溫容器(例如杜瓦)中。低溫容器與加熱裝置相結(jié)合，使得樣品的環(huán)境溫度例如可以在1.8K至400K之間變化。在樣品室中或外部，還可以配置磁體(例如超導(dǎo)磁體)，使得樣品的環(huán)境磁場例如在-14T至14T之間變化。
[0004]例如，樣品室是位于樣品桿頂端的用于放置樣品的空間。樣品室中包括承載片。將樣品固定在承載片上，然后經(jīng)由穿過樣品桿的多根導(dǎo)線，將樣品與測量儀器相連接。在測量時，將樣品桿插入低溫容器中。測量儀器經(jīng)由導(dǎo)線提供驅(qū)動信號和獲得感測信號。
[0005]在現(xiàn)有的多功能電輸運測量系統(tǒng)中，采用焊料或銀膠將導(dǎo)線與樣品電連接。由于焊接和粘接均需要一定的鍵合面積，因此在樣品上難以布置多組導(dǎo)線。該電連接方法不能獲得和比較樣品表面的局部特性。此外，在測量時操作繁瑣，焊接和粘接需要操作人員具有一定的技巧，否則可能由于虛焊等導(dǎo)致接觸不良，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。在測量多個樣品的情形下，由于每次都需要焊接或粘接導(dǎo)線而導(dǎo)致測量效率低。
[0006]因此，期望進一步改善用于電輸運測量的電連接裝置的便利性、可靠性、以及實現(xiàn)樣品的局部特性的測量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]有鑒于此，本發(fā)明提出了一種用于電輸運測量的電連接裝置。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供一種用于電輸運測量的電連接裝置，包括:探針座，所述探針座具有至少一組第一安裝孔和第二安裝孔，所述至少一組第一安裝孔貫穿所述探針座，用于安裝至少一組探針，所述至少一組探針分別包括多個探針；承載片，所述承載片上包括至少一個樣品槽，用于放置待測樣品；以及基座，所述基座具有由隔板彼此隔開的第三安裝孔和第一槽，所述第三安裝孔用于容納所述探針座，所述第一槽用于容納所述承載片，其中，所述隔板具有至少一個貫穿孔，使得在將所述探針座和所述承載片安裝在所述基座上時，所述至少一組探針分別經(jīng)由所述至少一個貫穿孔中的相應(yīng)一個到達所述承載片上的樣品表面。
[0009]優(yōu)選地，所述電連接裝置還包括底托，所述底托限定所述第一槽的下表面，使得承載片經(jīng)由所述第一槽位于基座的側(cè)壁的開口進出。
[0010]優(yōu)選地，所述至少一組第一安裝孔分別包括不同直徑的第一部分和第二部分，與所述至少一組探針的相應(yīng)部分的直徑匹配，從而限定所述至少一組探針沿徑向的位置。
[0011]優(yōu)選地，所述探針座的所述第二安裝孔包括位于所述探針座的一個表面上的開口、以及封閉端部，所述基座的所述第三安裝孔包括位于隔板上表面的柱體，所述柱體從隔板向上延伸，所述柱體的直徑與所述第二安裝孔的直徑匹配，以及在將所述探針座安裝在所述基座上時，所述柱體的頂端與所述第二安裝孔端部接觸，從而限定所述探針座的位置，使得所述至少一組探針到達接觸樣品表面的合適位置
[0012]優(yōu)選地，所述電連接裝置還包括位于所述第二安裝孔的端部的第一操作孔，以及在所述柱體頂端開口的中心孔，并且在將所述探針座安裝在所述基座上時，經(jīng)由所述第一操作孔，將螺釘旋入所述中心孔中進行固定。
[0013]優(yōu)選地，所述中心孔包括內(nèi)螺紋。
[0014]優(yōu)選地，所述中心孔包括附加的含有內(nèi)螺紋的套筒，所述套筒的熱膨脹系數(shù)與所述基座匹配。
[0015]優(yōu)選地，所述電連接裝置還包括位于所述第二安裝孔的側(cè)壁的第二操作孔，在將所述探針座與所述基座分離時，經(jīng)由所述第二操作孔抬起和取下所述探針座。
[0016]優(yōu)選地，所述第一槽包括卡口，所述承載片包括與所述卡口形狀相對應(yīng)的凸緣，從而限定所述承載片在所述第一槽中的位置。
[0017]優(yōu)選地，所述探針座上可拆卸安裝三組探針，每組探針包括四個探針。
[0018]優(yōu)選地，所述基座和所述探針座的材料分別為聚甲醛樹脂，所述基座和所述探針座分別通過注塑成型工藝一體形成。
[0019]優(yōu)選地，所述承載片上還設(shè)有探針槽，用于容納未使用的探針，以防止所述未使用的探針壓到所述承載片的表面。
[0020]優(yōu)選地，所述承載片的材料選自無氧銅、紫銅、鈹銅之一。
[0021]優(yōu)選地，所述基座的外壁設(shè)有槽，用于提供導(dǎo)線通道。
[0022]優(yōu)選地，所述底托的外壁設(shè)有槽，用于提供導(dǎo)線通道。
[0023]優(yōu)選地，所述樣品槽為矩形，所述樣品槽的四角設(shè)有圓孔，以方便將所述待測樣品放入樣品槽和將所述待測樣品從樣品槽中取出。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的電連接裝置，通過多組探針可以實現(xiàn)多個樣品的同時測量，可插拔的承載片提高了更換樣品的效?；偷淄型獗谏系穆窬€槽提供了導(dǎo)線通道，避免導(dǎo)線纏繞在一起。利用在探針座上固定位置的多組探針和在承載片上固定位置的樣品，可以提高測量的便利性、可靠性以及實現(xiàn)樣品的局部特性的測量。
【附圖說明】
[0025]通過以下參照附圖對本發(fā)明實施例的描述，本發(fā)明的上述以及其它目的、特征和優(yōu)點將更為清楚，在附圖中:
[0026]圖1a-1c分別示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的電連接裝置的的正視圖、立體圖以及頂視圖；
[0027]圖2示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的電連接裝置在測量時的示意性立體圖；
[0028]圖3a_3b分別示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的電連接裝置的探針座的立體圖以及剖視圖；
[0029]圖4a_4d分別示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的電連接裝置的基座的頂視圖、底視圖、立體圖以及剖視圖；
[0030]圖5a_5d示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的電連接裝置的第一至第四承載片的頂視圖。
【具體實施方式】
[0031]在下文對本發(fā)明的細節(jié)描述中，詳盡描述了一些特定的細節(jié)部分。對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說沒有這些細節(jié)部分的描述也可以完全理解本發(fā)明。為了避免混淆本發(fā)明的實質(zhì)，公知的方法、過程、流程、元件和電路并沒有詳細敘述。此外，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在此提供的附圖都是為了說明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。除非上下文明確要求，否則整個說明書和權(quán)利要求書中的“包括”、“包含”等類似詞語應(yīng)當(dāng)解釋為包含的含義而不是排他或窮舉的含義；也就是說，是“包括但不限于”的含義。在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。本發(fā)明涉及一種電連接裝置。以下基于實施例對本發(fā)明進行描述，但是本發(fā)明并不僅僅限于這些實施例。
[0032]圖1a-1c分別示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的電連接裝置的正視圖、立體圖以及頂視圖。該電連接裝置包括:基座100、探針座200、多個探針300、底托400以及承載片500。
[0033]多個探針300可拆卸地安裝在