柔性基板檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及檢測柔性基板的檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，曾有提出檢測在基板上形成的電路圖形的基板檢測裝置。專利文獻I揭示這類基板檢測裝置。
[0003]專利文獻I的基板檢測裝置具有固定電路基板的固定裝置，和對電路基板進行探測(probing)的探測裝置。固定裝置具有夾緊機構(gòu)，其構(gòu)成為能夾緊電路基板的邊緣部。探測裝置具有能對電路基板的導(dǎo)體圖形接觸探針的探針單元。對應(yīng)電路基板的正反面分別具備探針單元。
[0004]由此構(gòu)成，電路基板是在水平狀態(tài)下由固定裝置夾緊，在其兩面從上下分別接觸探針。然后，通過探針單元輸入電信號，執(zhí)行所定的電性檢測。
[0005]在所述專利文獻I中揭示的基板檢測裝置所設(shè)定的是針對具有一定剛性的所謂硬式(rigid)基板進行檢測的。另一方面，最近為了基板的薄型化、提高電特性等目的，便有使用柔性基板的情況。該柔性基板是，例如，以長膠片狀多個面板基板(Mult1-panelsubstrate)的形態(tài)成批制造多個觸控面板，再將該長膠片卷繞成基板卷的形態(tài)供應(yīng)給下一個工序，因此通過大量生產(chǎn)在實現(xiàn)降低成本和提高操作性方面具有優(yōu)點。
[0006]該柔性基板具有如上所述的優(yōu)點，但從另一方面容易產(chǎn)生彎曲或曲折，必須慎重處理。在這種觀點下，所述專利文獻I的基板檢測裝置是將電路基板在水平狀態(tài)下夾緊，從該電路基板的上下夾在探測裝置之間進行檢測。因此，若在如專利文獻I的基板檢測裝置中對軟性電路基板進行檢測時，由于電路基板因自重容易向下成凸狀彎曲，因此認為很難使探針接觸在電路基板的正確位置上，尤其對電路基板的雙面同時進行檢測會非常困難。
[0007]另外，在柔性基板的檢測中采用專利文獻I的情況下，考慮從電路基板的上方接觸探針時，由于對電路基板施加其自重和探針的向下施加壓力兩者，因此電路基板會更容易彎曲。在這種情況下，為使電路基板不彎曲，可以考慮用夾緊裝置強力夾緊的方法，但這種情況下夾緊裝置將變得大型化、復(fù)雜化、重型化，不值得采取。
[0008]另外，專利文獻I的基板檢測裝置是以上下方向移動探針，從而對電路基板接觸/遠離探針。因此，不得不抵抗重力而將重物，即探針單元及其支撐部件提升，從而需要大型的驅(qū)動手段，這便是增加費用的原因。
[0009]【現(xiàn)有技術(shù)文獻】
[0010]【專利文獻I】
[0011]日本專利第5179289號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明提供一種可以對軟性電路基板順利進行檢測，同時容易實現(xiàn)簡化及輕量化的基板檢測裝置。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的觀點，提供具有以下構(gòu)成的柔性基板檢測裝置。即，對柔性基板進行檢測的柔性基板檢測裝置具有輸送路徑和檢測部機構(gòu)。在所述輸送路徑連續(xù)地輸送由多個單位基板排列配置的柔性基板。所述檢測部機構(gòu)可使用于檢測在所述輸送路徑上輸送的所述柔性基板的檢測部，接近/遠離所述柔性基板。所述輸送路徑包含向垂直向上和垂直向下中的至少一個方向輸送所述柔性基板的縱向輸送部分。所述檢測部機構(gòu)對于在所述縱向輸送部分所輸送的所述柔性基板，以垂直所述柔性基板的方向移動所述檢測部，從而使檢測部接近/遠離所述柔性基板。
[0014]在所述柔性基板檢測裝置中，所述檢測部機構(gòu)具有作為所述檢測部的夾具，所述夾具具有能與所述柔性基板導(dǎo)通接觸的多個探針。所述檢測部機構(gòu)使所述檢測部接觸/遠離所述柔性基板。
[0015]在所述柔性基板檢測裝置中，所述夾具包含在所述柔性基板的厚度方向的一側(cè)面能導(dǎo)通接觸的第一夾具，和在所述柔性基板的厚度方向的另一側(cè)面能導(dǎo)通接觸的第二夾具。在由所述第一夾具和所述第二夾具夾住所述柔性基板的狀態(tài)下，可以檢測所述柔性基板。
[0016]在所述柔性基板檢測裝置中，所述檢測部機構(gòu)具有第一移動機構(gòu)、第二移動機構(gòu)和姿勢改變機構(gòu)。所述第一移動機構(gòu)可以使所述夾具在平行于所述柔性基板的面上移動。所述第二移動機構(gòu)可以使所述夾具向所述柔性基板的厚度方向平行移動。所述姿勢改變機構(gòu)可以改變在平行于所述柔性基板的面上的所述夾具的傾斜度。
[0017]在所述柔性基板檢測裝置中，所述檢測部機構(gòu)具有作為所述檢測部的用于測定所述柔性基板的檢測部位的光學(xué)單元。所述檢測部機構(gòu)使所述檢測部接近/遠離所述柔性基板，由此保持該檢測部和所述柔性基板的檢測距離。
[0018]在所述柔性基板檢測裝置中，所述檢測部機構(gòu)具有作為所述檢測部的用于測定所述柔性基板的厚度方向的一側(cè)面檢測部位的第一光學(xué)單元，和用于測定所述柔性基板的厚度方向的另一側(cè)面檢測部位的第二光學(xué)單元。所述第一光學(xué)單元和所述第二光學(xué)單元是以相互不同的高度配置。
[0019]在所述柔性基板檢測裝置中，所述檢測部機構(gòu)具有用于拍攝所述柔性基板的拍攝部。所述檢測部機構(gòu)以所述拍攝部拍攝所述柔性基板的拍攝信息為基礎(chǔ)，對所述柔性基板對齊所述檢測部的位置。
[0020]在所述柔性基板檢測裝置中，所述檢測部機構(gòu)具有第一檢測部、第二檢測部、第一拍攝部和第二拍攝部。所述第一檢測部配置在于所述縱向輸送部分上所輸送的所述柔性基板的厚度方向的一側(cè)。所述第二檢測部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一側(cè)。所述第一拍攝部配置在所述柔性基板的厚度方向的一側(cè)。所述第二拍攝部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一側(cè)。所述第一拍攝部可以拍攝所述第二檢測部。所述第二拍攝部可以拍攝所述第一檢測部。
[0021]優(yōu)選地，所述柔性基板檢測裝置具有供應(yīng)部，其可以設(shè)置連續(xù)供應(yīng)所述柔性基板的基板卷。
[0022]優(yōu)選地，在所述柔性基板檢測裝置中，能回收異物的回收部設(shè)置在比所述檢測部更低的位置上。
[0023]優(yōu)選地，在所述柔性基板檢測裝置中，由負壓能吸附所述柔性基板的吸附導(dǎo)向件配置在所述縱向輸送部分。
[0024]根據(jù)本發(fā)明，檢測部是接近/遠離保持柔性基板直線性的縱向輸送部分。由此，無需考慮自重產(chǎn)生的柔性基板的彎曲，因此可以對柔性基板以高精密度對齊檢測部位置進行檢測。因此，易于省略或簡化用于夾緊或引導(dǎo)柔性基板的機構(gòu)，從而可以實現(xiàn)裝置的低成本化、輕量化。而且，例如，即使用于移動檢測部的驅(qū)動機構(gòu)發(fā)熱，在柔性基板的縱向輸送部分以上下方向容易排除其熱。因此，很難產(chǎn)生溫度或濕度的不均勻，可以在更穩(wěn)定的環(huán)境下進行柔性基板的檢測。
[0025]而且，對保持柔性基板直線性的縱向輸送部分接觸/遠離夾具，從而對柔性基板可以使夾具接觸正確的位置。其結(jié)果，可以有效地進行電性檢測。
[0026]并且，對保持柔性基板直線性的縱向輸送部分接觸各夾具，從而可以在柔性基板的正反兩面的正確位置分別同時接觸兩個夾具進行電性檢測。因此，可以在柔性基板的兩面一并進彳丁檢測，可以大幅提尚檢測的效率。
[0027]而且，可以使夾具適當?shù)貙R位置而接觸/遠離柔性基板，因此可以順利地進行電性檢測。
[0028]并且，可以適當?shù)乜刂乒鈱W(xué)單元和柔性基板的距離，因此可以順利地進行光學(xué)檢測。
[0029]而且，可以一并檢測柔性基板的正反兩面，因此可以提高光學(xué)檢測的效率。而且，兩個光學(xué)單元以不同的高度配置，因此可以實現(xiàn)很難影響彼此測定的布局。
[0030]并且，基于實際拍攝柔性基板而獲取的信息，可以對柔性基板以高精密度對齊檢測部的位置。
[0031]而且，由第一及第二拍攝部拍攝對柔性基板的厚度方向的相對側(cè)分別進行檢測的第一及第二檢測部，因此可以獲取有關(guān)其位置關(guān)系或表面狀態(tài)等的有用信息。
[0032]并且，從基板卷連續(xù)供應(yīng)柔性基板，可以對多個單位基板連續(xù)地進行檢測，因此可以提尚檢測效率。
[0033]而且，隨著檢測部的移動等產(chǎn)生粒子等異物時，也可由異物回收部有效地回收因自重落下的所述異物。因此，可以防止因異物的粘附所導(dǎo)致的柔性基板的品質(zhì)下降。
[0034]并且，用吸附導(dǎo)向件可以使垂直方向狀態(tài)的柔性基板保持不動，因此檢測部機構(gòu)可以順利地進行檢測。而且，通過對吸附導(dǎo)向件進行負壓供應(yīng)/停止的切換，可以容易切換柔性基板的保持/解放。
【附圖說明】
[0035]圖1是本發(fā)明第一實施形態(tài)之基板檢測裝置整體構(gòu)成的概略立體圖。
[0036]圖2是柔性基板的縱向輸送部分周圍構(gòu)成的正面圖。
[0037]圖3是第一夾具機構(gòu)詳細構(gòu)成的立體圖。
[0038]圖4是設(shè)置有靜電吸附板的變形例的正面圖。
[0039]圖5是在第二實施形態(tài)的基板檢測裝置中，縱向輸送部分周圍構(gòu)成的正面圖。
[0040]圖6是第二實施形態(tài)的變形例的正面圖。
[0041][附圖標記說明]
[0042]10:柔性基板檢測裝置 11:柔性基板
[0043]Ila:基板卷21:(操出部)供應(yīng)部
[0044]23:輸送路徑23a:縱向輸送部分
[0045]30:檢測部機構(gòu)33:第一夾具(第一檢測部，檢測部)
[0046]33x:第一光學(xué)單元(第一檢測部，檢測部)
[0047]34:第二夾具(第二檢測部，檢測部)
[0048]34x:第二光學(xué)單元(第二檢測部，檢測部)
[0049]41:移動機構(gòu)80:靜電吸附板(異物回收部)
[0050]82:吸附導(dǎo)向件
【具體實施方式】
[0051]接著，結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施形態(tài)進行說明。圖1是本發(fā)明第一實施形態(tài)之基板檢測裝置10整體構(gòu)成的概略立體圖。圖2是柔性基板11的縱向輸送部分23a周圍構(gòu)成的正面圖。圖3是第一夾具機構(gòu)31詳細構(gòu)成的立體圖。
[0052]圖1所示第一實施形態(tài)的基板檢測裝置(柔性基板檢測裝置)10，其通過設(shè)置檢測對象即柔性基板11，從而對形成在該柔性基板11的電路圖形進行電性檢測。具體地，電性檢測有電路圖形的導(dǎo)通或短路檢測、電路圖形的電容檢測等，基板檢測裝置